JP5973212B2 - 音叉型圧電振動子の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 45
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 18
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 12
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 10
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
2 振動腕
3 長溝
3a 長溝形成領域
4 エッチング耐蝕膜
5 レジスト膜
6 励振電極
7 開口部
8 凸部
10 音叉型水晶振動子
101 基部
102 振動腕
103 長溝
104 エッチング耐蝕膜
105 レジスト膜
106 励振電極
107 開口部
108 残渣
110 音叉型圧電振動子
Claims (3)
- 圧電材料からなり、基部と、該基部から延在する複数の振動腕とを有し、前記振動腕に長溝を備える音叉型圧電振動子の製造方法であって、前記圧電基板にエッチング耐蝕膜を形成する工程と、前記エッチング耐蝕膜上にレジスト膜を形成する工程と、前記長溝を形成する領域上の前記レジスト膜および前記エッチング耐蝕膜に、前記長溝を形成する領域で前記振動腕の幅方向に分割する複数の開口部を形成する工程と、前記圧電基板のエッチング異方性によって、残渣が出やすい側の前記開口部の幅を、残渣が出にくい側の前記開口部の幅より狭くした前記エッチング耐蝕膜をエッチングマスクとして、前記圧電基板をエッチングし前記長溝の底部が前記圧電基板の表面に略平行な平坦面となるよう前記長溝を形成する工程と、を有することを特徴とする音叉型圧電振動子の製造方法。
- 前記長溝を形成する工程は、音叉形状を形成する工程と異なることを特徴とする請求項1に記載の音叉型圧電振動子の製造方法。
- 前記長溝を形成する工程は、音叉形状を形成する工程と同時に行われることを特徴とする請求項1に記載の音叉型圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012091862A JP5973212B2 (ja) | 2012-04-13 | 2012-04-13 | 音叉型圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012091862A JP5973212B2 (ja) | 2012-04-13 | 2012-04-13 | 音叉型圧電振動子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013223009A JP2013223009A (ja) | 2013-10-28 |
JP5973212B2 true JP5973212B2 (ja) | 2016-08-23 |
Family
ID=49593720
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012091862A Active JP5973212B2 (ja) | 2012-04-13 | 2012-04-13 | 音叉型圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5973212B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5592812B2 (ja) * | 2011-01-27 | 2014-09-17 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計 |
JP6173774B2 (ja) * | 2013-05-29 | 2017-08-02 | シチズンファインデバイス株式会社 | 水晶振動子及びその製造方法 |
EP3468036A1 (fr) * | 2017-10-03 | 2019-04-10 | Micro Crystal AG | Résonateur piezo-electrique de petite taille |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3915640B2 (ja) * | 2002-07-02 | 2007-05-16 | 株式会社大真空 | 水晶z板のエッチング方法及びその方法によって成形された水晶ウェハ |
JP4241022B2 (ja) * | 2002-12-17 | 2009-03-18 | セイコーエプソン株式会社 | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2005167529A (ja) * | 2003-12-02 | 2005-06-23 | Citizen Watch Co Ltd | 水晶片の製造方法及び水晶振動子の製造方法 |
-
2012
- 2012-04-13 JP JP2012091862A patent/JP5973212B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013223009A (ja) | 2013-10-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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