JP5002304B2 - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
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前記工程が終わった状態では、前記水晶片の主面に水晶エッチングする際にマスクにしていた金属膜が残っており、またこの金属膜の上にレジスト膜が残っており、この状態において、前記水晶片の外形寸法よりも一回り小さい外形のパターン以外のレジスト膜と、前記溝部の外形寸法よりも一回り大きいレジスト膜を剥離する工程と、
その後、このレジスト膜が剥離した箇所の金属膜をエッチングする工程と、
前記水晶片をエッチング液に接触させ、Z軸方向のエッチング速度がX軸方向のエッチング速度よりも大きいことを利用して、前記金属膜が覆われていない水晶片の縁部及び溝部の縁部に段部を形成する工程と、
前記レジスト及び金属膜を剥離し、続いて水晶片の全周に亘って金属膜を形成する工程と、
次に水晶片の全周に亘って金属膜を覆う領域を備えたレジストマスクを形成し、このレジストマスクを用いて、前記金属膜をエッチングして電極パターンを形成する工程と、を備えたことを特徴とする。
前記工程が終わった状態では、前記水晶片の主面に水晶エッチングする際にマスクにしていた金属膜が残っており、またこの金属膜の上にレジスト膜が残っており、この状態において、水晶片の外形においては水晶片の幅よりも金属膜の幅が短くなるように、溝部においては溝部のパターン幅が広がる方向に、金属膜をエッチングする工程と、
前記水晶片をエッチング液に接触させ、Z軸方向のエッチング速度がX軸方向のエッチング速度よりも大きいことを利用して、前記金属膜が覆われていない水晶片の縁部及び溝部の縁部に段部を形成する工程と、
前記レジスト及び金属膜を剥離し、続いて水晶片の全周に亘って金属膜を形成する工程と、
次に水晶片の全周に亘って金属膜を覆う領域を備えたレジストマスクを形成し、このレジストマスクを用いて、前記金属膜をエッチングして電極パターンを形成する工程と、を備えたことを特徴とする。
水晶片の主面に、水晶エッチング処理を行う際にマスクにしていた金属膜、または新たに形成した金属膜が残っており、金属膜の上にはレジスト膜が残っていない状態においては、
当該金属膜の上に新たにレジスト膜を形成する工程と、
次に水晶片の主面の外形寸法よりも一回り小さい(数μm程度内側にくるように)外形のパターン以外のレジスト膜と、溝パターンよりも一回り大きいレジスト膜とを剥離する工程と、
レジスト膜が剥離された個所の金属膜を除去する工程と、
その後、水晶エッチングによって、金属膜が剥離された個所の水晶を深さ方向に例えば5μm程度水晶エッチングすることで、水晶片の縁部が一段以上の多段形状となることを特徴とする。
水晶片の主面にのみ水晶エッチング処理を行う際にマスクにしていた金属膜が残っており、当該金属膜の上にはレジスト膜が残っている状態においては、
水晶幅よりも、外形においては金属幅を細く、溝部においては溝パターン幅が広がる方向に、金属膜をエッチングする(片側数μmづつ)工程と、
その後、前記処理によって、金属膜が剥離されあらたに水晶面が現われた個所に対して、深さ方向に例えば5μm程度水晶エッチングすることで、水晶片の縁部が一段以上の多段形状となることを特徴とする。
全てのレジスト膜及び金属膜を剥離し、続いて水晶片の全周に亘って金属膜を形成する工程と、
次に水晶片の全周に亘って金属膜を覆う領域を備えたレジスト膜を形成する工程と、
電極パターンとなる個所のレジスト膜を残し、それ以外のレジスト膜を剥離する工程と、
レジスト膜が剥離された個所の金属膜を剥離する工程と、
レジスト膜を全て剥離する工程によって、電極パターンが形成されることになる。
そしてNi層13及びAu層14が形成されている水晶片10を例えばフッ酸からなるエッチング液に接触させる。当該水晶片10は水晶のX軸に沿って切り出されているので、Z軸方向のエッチング速度がX軸方向のエッチング速度よりも大きいことを利用して、Ni層13及びAu層14が覆われていない水晶片の縁部及び溝部31,32の縁部に例えば1段あるいは複数段の段部4が形成される(図2(d)及び図4(d))。しかる後、水晶片10の両主面(表面及び裏面)に形成されているレジスト膜15、Ni層13及びAu層14を剥離し、続いて水晶片10の全周に亘ってNi層13とAu層14とを順次スパッタ法によって形成する(図3(a)及び図5(a))。
2a,2b 振動腕部
7 パッケージ
10 水晶片
11 金属膜
12 レジスト膜
13 Ni層
14 Au層
15 レジスト膜
16 電極膜
17 エッジ部
18 レジスト膜
31,32 溝部
4 段部
41,51 励振電極
42,52 引き出し電極
Claims (5)
- 水晶のX軸に沿って切り出された水晶ウエハを、レジストマスクを用いて所定の水晶片の形状に加工し、続いて水晶片の表面に溝部を形成する工程と、
前記工程が終わった状態では、前記水晶片の主面に水晶エッチングする際にマスクにしていた金属膜が残っており、またこの金属膜の上にレジスト膜が残っており、この状態において、前記水晶片の外形寸法よりも一回り小さい外形のパターン以外のレジスト膜と、前記溝部の外形寸法よりも一回り大きいレジスト膜を剥離する工程と、
その後、このレジスト膜が剥離した箇所の金属膜をエッチングする工程と、
前記水晶片をエッチング液に接触させ、Z軸方向のエッチング速度がX軸方向のエッチング速度よりも大きいことを利用して、前記金属膜が覆われていない水晶片の縁部及び溝部の縁部に段部を形成する工程と、
前記レジスト及び金属膜を剥離し、続いて水晶片の全周に亘って金属膜を形成する工程と、
次に水晶片の全周に亘って金属膜を覆う領域を備えたレジストマスクを形成し、このレジストマスクを用いて、前記金属膜をエッチングして電極パターンを形成する工程と、を備えたことを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 水晶のX軸に沿って切り出された水晶ウエハを、レジストマスクを用いて所定の水晶片の形状に加工し、続いて水晶片の表面に溝部を形成する工程と、
前記工程が終わった状態では、前記水晶片の主面に水晶エッチングする際にマスクにしていた金属膜が残っており、またこの金属膜の上にレジスト膜が残っており、この状態において、水晶片の外形においては水晶片の幅よりも金属膜の幅が短くなるように、溝部においては溝部のパターン幅が広がる方向に、金属膜をエッチングする工程と、
前記水晶片をエッチング液に接触させ、Z軸方向のエッチング速度がX軸方向のエッチング速度よりも大きいことを利用して、前記金属膜が覆われていない水晶片の縁部及び溝部の縁部に段部を形成する工程と、
前記レジスト及び金属膜を剥離し、続いて水晶片の全周に亘って金属膜を形成する工程と、
次に水晶片の全周に亘って金属膜を覆う領域を備えたレジストマスクを形成し、このレジストマスクを用いて、前記金属膜をエッチングして電極パターンを形成する工程と、を備えたことを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 水晶エッチングによって、外形の形成、および振動部に溝を形成する振動子の場合は溝部の形成が終わった状態において、
水晶片の主面に、水晶エッチング処理を行う際にマスクにしていた金属膜、または新たに形成した金属膜が残っており、金属膜の上にはレジスト膜が残っていない状態においては、
当該金属膜の上に新たにレジスト膜を形成する工程と、
次に水晶片の主面の外形寸法よりも一回り小さい外形のパターン以外のレジスト膜と、溝パターンよりも一回り大きいレジスト膜とを剥離する工程と、
レジスト膜が剥離された個所の金属膜を除去する工程と、
その後、水晶エッチングによって、金属膜が剥離された個所の水晶を深さ方向に水晶エッチングすることで、水晶片の縁部が一段以上の多段形状となることを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 水晶エッチングによって、外形の形成、および振動部に溝を形成する振動子の場合は溝部の形成が終わった状態において、
水晶片の主面に水晶エッチング処理を行う際にマスクにしていた金属膜が残っており、当該金属膜の上にはレジスト膜が残っている状態においては、
水晶幅よりも、外形においては金属幅を細く、溝部においては溝パターン幅が広がる方向に、金属膜をエッチングする工程と、
その後、前記処理によって、金属膜が剥離されあらたに水晶面が現われた個所に対して、深さ方向に水晶エッチングすることで、水晶片の縁部が一段以上の多段形状となることを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 前記水晶片の縁部が一段以上の多段形状となった状態において、
全てのレジスト膜及び金属膜を剥離し、続いて水晶片の全周に亘って金属膜を形成する工程と、
次に水晶片の全周に亘って金属膜を覆う領域を備えたレジスト膜を形成する工程と、
電極パターンとなる個所のレジスト膜を残し、それ以外のレジスト膜を剥離する工程と、
レジスト膜が剥離された個所の金属膜を剥離する工程と、
レジスト膜を全て剥離する工程によって、電極パターンが形成されることを特徴とする請求項3または4に記載の水晶振動子の製造方法。
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