JP5158706B2 - 水晶振動子の製造方法及び水晶振動子並びに電子部品 - Google Patents
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水晶基板に、前記水晶片の一辺と水晶基板とを当該一辺の中央部1カ所にて接続する接続部を除いて当該水晶片の外形に沿って設けられる外形形成用貫通溝と、前記接続部の両側において互いに対向するように前記水晶片に進入して伸びる切り込み貫通溝と、この切り込み貫通溝同士の間に、前記水晶片を前記水晶基板から切り離す位置を規制するために設けられる切り離し用貫通溝とを、前記水晶基板に対してウェットエッチングを行うことにより形成する工程と、
次いで前記接続部の両側にて水晶片の一面から、前記一辺の側面及び前記切り込み貫通溝に臨む前記水晶片の側面を介して、水晶片の他面に亘って引き出し電極を形成し、水晶片における引き出し電極よりも前記一辺とは反対側の領域に励振電極を形成する工程と、
次いでこれら励振電極及び引き出し電極が形成された水晶片を前記切り離し用貫通溝が形成された位置において前記水晶基板から切り離す工程と、を含み、
前記切り離し用貫通溝は、前記切り込み貫通溝における水晶片の中央側の先端部から、前記接続部における幅方向中央部に向かって食い込むように形成されていることを特徴とする。
2 水晶振動子
20 水晶層
21 水晶片
22 接続部
23 凹部
24,25 励振電極
26,27 引き出し電極
61 外形形成用貫通溝
62 切り込み貫通溝
63 切り離し用貫通溝
Claims (3)
- 矩形状の水晶片と、この水晶片に形成された励振電極及び引き出し電極と、を備えた水晶振動子を製造する方法において、
水晶基板に、前記水晶片の一辺と水晶基板とを当該一辺の中央部1カ所にて接続する接続部を除いて当該水晶片の外形に沿って設けられる外形形成用貫通溝と、前記接続部の両側において互いに対向するように前記水晶片に進入して伸びる切り込み貫通溝と、この切り込み貫通溝同士の間に、前記水晶片を前記水晶基板から切り離す位置を規制するために設けられる切り離し用貫通溝とを、前記水晶基板に対してウェットエッチングを行うことにより形成する工程と、
次いで前記接続部の両側にて水晶片の一面から、前記一辺の側面及び前記切り込み貫通溝に臨む前記水晶片の側面を介して、水晶片の他面に亘って引き出し電極を形成し、水晶片における引き出し電極よりも前記一辺とは反対側の領域に励振電極を形成する工程と、
次いでこれら励振電極及び引き出し電極が形成された水晶片を前記切り離し用貫通溝が形成された位置において前記水晶基板から切り離す工程と、を含み、
前記切り離し用貫通溝は、前記切り込み貫通溝における水晶片の中央側の先端部から、前記接続部における幅方向中央部に向かって食い込むように形成されていることを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 請求項1に記載された水晶振動子の製造方法により製造されたことを特徴とする水晶振動子。
- 請求項2に記載の水晶振動子を含むことを特徴とする電子部品。
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