JP5129005B2 - 圧電振動子及び圧電素子の製造方法並びに圧電振動子の製造方法 - Google Patents
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Description
前記振動部と、この振動部を溝部を介して取り囲む枠部とが支持部を介して一体に形成された圧電基板と、
前記振動部の一面側及び他面側に夫々形成された励振電極と、
前記励振電極に接続され、前記振動部の一面側から当該振動部の側面を介して他面側まで引き出された引き出し電極と、を備え、
前記圧電基板における振動部の周囲に形成された前記溝部は、前記振動部の側面における引き出し電極が形成される領域の幅が、前記振動部の側面における引き出し電極が形成されない領域の幅よりも大きくなるように形成されていることを特徴とする。
圧電材料からなる素子用のウエハに、前記振動部を多数配列するように、この振動部を取り囲む溝部を、当該振動部を前記ウエハに接続する部位を除いて形成する工程と、
次いで前記振動部の一面側及び他面側に励振電極を形成すると共に、前記振動部の側面に引き出し電極を形成する工程と、を含み、
前記溝部を形成する工程は、前記振動部の側面における引き出し電極が形成される領域の幅が、前記振動部の側面における引き出し電極が形成されない領域の幅よりも大きくなるように形成することを特徴とする。
次いで前記振動部の一面側及び他面側に励振電極を形成すると共に、前記振動部の側面に引き出し電極を形成する工程と、を含み、
前記溝部を形成する工程は、前記振動部の側面における引き出し電極が形成される領域の幅が、前記振動部の側面における引き出し電極が形成されない領域の幅よりも大きくなるように形成することを特徴とする。
このように構成されたパッケージ型水晶振動子の発振動作は、ベース体6の外部底面に設けられた電極パッド64a〜64d、電極部63a,63b、引き出し電極41a,41bを通って振動部22の励振電極4a,4bに電圧が印加されることで起こる。
従って振動部22の側面における引き出し電極41aを形成しない領域32に対しては、十分に露光光を照射し、後の工程において現像液により除去しなければならないが、もともと引き出し電極41aを形成しない領域32にレジスト膜82が付着しにくい状態であり、付着量が少ない。また光は、貫通溝3の幅が小さい場合であっても、導電性膜81やレジスト膜82よりは当該貫通溝3に入り込みやすい。従って、振動部22の表面や裏面のレジスト膜82を十分に感光させる程度の露光条件であれば、側面のレジスト膜82に対しても、現像処理において不要な部位を除去する程度に、十分に感光させることができる。
21 枠部
22 振動部
23a,23b 支持部
3 貫通溝
31 第1の領域
32 第2の領域
4a,4b 励振電極
41a,41b 引き出し電極
5 蓋体
6 ベース体
Claims (7)
- 蓋体及びベース体により気密封止された空間に振動部が設けられた圧電振動子において、
前記振動部と、この振動部を溝部を介して取り囲む枠部とが支持部を介して一体に形成された圧電基板と、
前記振動部の一面側及び他面側に夫々形成された励振電極と、
前記励振電極に接続され、前記振動部の一面側から当該振動部の側面を介して他面側まで引き出された引き出し電極と、を備え、
前記圧電基板における振動部の周囲に形成された前記溝部は、前記振動部の側面における引き出し電極が形成される領域の幅が、前記振動部の側面における引き出し電極が形成されない領域の幅よりも大きくなるように形成されていることを特徴とする圧電振動子。 - 前記圧電基板における振動部の周囲に形成された前記溝部は、前記振動部の側面における引き出し電極が形成される領域の幅は、前記振動部の厚さ以上の大きさに設定され、前記振動部の側面における引き出し電極が形成されない領域の幅は、前記振動部の厚さより小さい大きさに設定されることを特徴とする請求項1記載の圧電振動子。
- 振動部と、この振動部の一面側及び他面側に夫々形成された励振電極と、この励振電極に接続され、前記振動部の一面側から当該振動部の側面を介して他面側まで引き出された引き出し電極と、を備えた圧電素子を製造する方法において、
圧電材料からなる素子用のウエハに、前記振動部を多数配列するように、この振動部を取り囲む溝部を、当該振動部を前記ウエハに接続する部位を除いて形成する工程と、
次いで前記振動部の一面側及び他面側に励振電極を形成すると共に、前記振動部の側面に引き出し電極を形成する工程と、を含み、
前記溝部を形成する工程は、前記振動部の側面における引き出し電極が形成される領域の幅が、前記振動部の側面における引き出し電極が形成されない領域の幅よりも大きくなるように形成することを特徴とする圧電素子の製造方法。 - 前記振動部に励振電極及び引き出し電極を形成する工程は、
前記振動部の一面側及び他面側並びに、側面における引き出し電極が形成される領域に励振電極及び引き出し電極の材料となる導電性膜を形成する工程と、
次いで前記導電性膜の上に前記励振電極及び引き出し電極の形状に対応するレジストパターンを形成する工程と、
次いで前記導電性膜を前記レジストパターンを用いてエッチングすることにより、前記振動部に励振電極及び引き出し電極を形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項3記載の圧電素子の製造方法。 - 請求項1記載の圧電振動子を製造する方法において、
圧電材料からなる素子用のウエハに、前記支持部により前記振動部を接続した状態でこの振動部を多数配列するように、当該振動部を取り囲む溝部を形成する工程と、
次いで前記振動部の一面側及び他面側に励振電極を形成すると共に、前記振動部の側面に引き出し電極を形成する工程と、を含み、
前記溝部を形成する工程は、前記振動部の側面における引き出し電極が形成される領域の幅が、前記振動部の側面における引き出し電極が形成されない領域の幅よりも大きくなるように形成することを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 前記振動部に励振電極及び引き出し電極を形成する工程は、
前記振動部の一面側及び他面側並びに、側面における引き出し電極が形成される領域に励振電極及び引き出し電極の材料となる導電性膜を形成する工程と、
次いで前記導電性膜の上に前記励振電極及び引き出し電極の形状に対応するレジストパターンを形成する工程と、
次いで前記導電性膜を前記レジストパターンを用いてエッチングすることにより、前記励振電極及び引き出し電極を形成して圧電素子を形成する工程と、
次いでこの圧電素子を、蓋体及びベース体により気密封止する工程と、を含むことを特徴とする請求項5記載の圧電振動子の製造方法。 - 請求項1記載の圧電振動子を製造する方法において、
請求項5記載の方法を用いて、素子用のウエハに、励振電極及び引き出し電極が形成され、その周囲に溝部が形成された振動部を、当該ウエハにその支持部により接続しながら、多数配列して形成する工程と、
前記素子用のウエハの上面及び下面に夫々の蓋用のウエハ及びベース体用のウエハを重ねて互いに接合する工程と、
この工程の後、ウエハの積層体を切断して、各圧電振動子に分割する工程と、を備えたことを特徴とする請求項5記載の圧電振動子の製造方法。
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