JP2009260845A - 圧電振動デバイスの製造方法および圧電振動デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 透光性材料からなる第1と第2の基材2,4が、水晶基板3の表裏主面に、金属膜Sを介して接合される水晶振動子1の製造方法であって、
第2の基材4の表主面と水晶基板3の主面の、前記金属膜Sが配される位置よりも内側に、金属導体72,34,45,46を各々形成する導体形成工程と、
前記金属導体の少なくとも一部が平面視で重なるように、前記基材2,4を水晶基板3の表裏主面に各々接合してパッケージを形成するパッケージ形成工程と、
パッケージ外部の一方向から、レーザービームを前記重なった金属導体に照射し、当該金属導体同士を接続して内部配線導体を形成する配線導体形成工程と、を有している。
【選択図】 図6
Description
少なくとも1つの前記基材の圧電基板と対向する主面と、前記圧電基板の主面の、前記金属膜が配される位置よりも内側の位置に、金属導体を各々形成する導体形成工程と、前記金属導体の少なくとも一部が平面視で重なるように、前記基材を、前記圧電基板の表裏主面に金属膜を介して各々接合することによってパッケージを形成するパッケージ形成工程と、パッケージ外部の一方向から、レーザービームあるいは電子ビームを、前記基材および圧電基板の内部を透過するように、前記重なった金属導体に照射し、当該金属導体同士を接続して内部配線導体を形成する配線導体形成工程とを、有する圧電振動デバイスの製造方法となっている。
以下、圧電基板として水晶基板を用いた水晶振動子を例に挙げて、本発明による第1の実施形態について図1乃至6に基づいて説明する。図1は本発明の第1の実施形態を示す水晶振動子の長辺方向の断面図であり、図2は本発明の第1の実施形態を示す第1の基材の長辺方向の断面図、図3は本発明の第1の実施形態を示す水晶基板の長辺方向の断面図、図4は本発明の第1の実施形態を示す第1の基材の長辺方向の断面図、図5は本発明の第1の実施形態におけるパッケージ形成工程を示す断面図を、図6は本発明の第1の実施形態における配線導体形成工程を示す断面図を表している。
本発明における第2の実施形態を、圧電基板として水晶基板を用いた水晶振動子を例に挙げて、図7を用いて説明する。図7は本発明の第2の実施形態を示す水晶振動子の長辺方向の断面図であり、第1の実施形態と同様の構成については、同番号を付して説明の一部を割愛するとともに、前述の実施形態と同様の効果を有する。
本発明における第3の実施形態を、圧電基板として水晶基板を用いた水晶振動子を例に挙げて、図8を用いて説明する。図8は本発明の第3の実施形態を示す水晶振動子の長辺方向の断面図であり、第1の実施形態と同様の構成については、同番号を付して説明の一部を割愛するとともに、前述の実施形態と同様の効果を有する。
2 第1の基材
3 水晶基板
4 第2の基材
5 外部接続端子
7 ロウ材
M 内部配線導体
S、S1、S2、S3、S4 金属膜
21 表主面(第1の基材)
22 裏主面(第1の基材)
311、321 薄肉部
312、322 厚肉部
34、45、46 接続電極
41 表主面(第2の基材)
42 裏主面(第2の基材)
33、43、44 貫通導体
61、62 励振電極
71、72 引出電極
Claims (3)
- 透光性を有する2つの基材が、透光性の圧電基板の表裏主面に、金属膜を介して接合されてなる圧電振動デバイスの製造方法であって、
少なくとも1つの前記基材の圧電基板と対向する主面と、前記圧電基板の主面の、
前記金属膜が配される位置よりも内側の位置に、金属導体を各々形成する導体形成工程と、
前記金属導体の少なくとも一部が平面視で重なるように、前記基材を、前記圧電基板の表裏主面に金属膜を介して各々接合することによってパッケージを形成するパッケージ形成工程と、
パッケージ外部の一方向から、レーザービームあるいは電子ビームを、前記基材および圧電基板の内部を透過するように、前記重なった金属導体に照射し、当該金属導体同士を接続して内部配線導体を形成する配線導体形成工程とを、
有する圧電振動デバイスの製造方法。 - 透光性を有する2つの基材が、透光性の圧電基板の表裏主面に、金属膜を介して接合されてなる圧電振動デバイスであって、
少なくとも1つの前記基材の主面と、前記圧電基板の主面には、前記金属膜が配される位置よりも内側の位置に金属導体が各々形成されているとともに、
前記2つの基材と前記圧電基板との接合によって、少なくとも一部が平面視で重なり合った金属導体が、パッケージ外部の一方向からのレーザービームあるいは電子ビームの照射によって一体化された内部配線導体を備えていることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 前記2つの基材と、前記圧電基板との接合によって、少なくとも一部が平面視で重なり合った金属導体の間にロウ材が介在し、レーザービームあるいは電子ビームの照射によって、前記重なり合った金属導体と前記ロウ材とが一体化された内部配線導体を備えていることを特徴とする請求項2に記載の圧電振動デバイス。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011093456A1 (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス、およびその製造方法 |
JP2015080007A (ja) * | 2013-10-15 | 2015-04-23 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス |
WO2016136283A1 (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
US9635769B2 (en) | 2012-04-10 | 2017-04-25 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, electronic apparatus, method of manufacturing base substrate, and method of manufacturing electronic device |
US11251774B2 (en) | 2017-09-01 | 2022-02-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd.. | Quartz crystal resonator unit |
WO2024027737A1 (zh) * | 2022-08-05 | 2024-02-08 | 天津大学 | 双基板和压电层形成三明治结构的石英谐振器及电子器件 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63104512A (ja) * | 1986-10-21 | 1988-05-10 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電共振子の封止構造 |
JP2001119264A (ja) * | 1999-10-15 | 2001-04-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP2004129223A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-04-22 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品およびその製造方法 |
WO2006104265A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corporation | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP2007096777A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子の製造方法 |
JP2007243378A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子及びその製造方法 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63104512A (ja) * | 1986-10-21 | 1988-05-10 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電共振子の封止構造 |
JP2001119264A (ja) * | 1999-10-15 | 2001-04-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP2004129223A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-04-22 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品およびその製造方法 |
WO2006104265A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corporation | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP2007096777A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子の製造方法 |
JP2007243378A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子及びその製造方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8723400B2 (en) | 2010-01-29 | 2014-05-13 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device and manufacturing method therefor |
JP5853702B2 (ja) * | 2010-01-29 | 2016-02-09 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
WO2011093456A1 (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス、およびその製造方法 |
US9635769B2 (en) | 2012-04-10 | 2017-04-25 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, electronic apparatus, method of manufacturing base substrate, and method of manufacturing electronic device |
JP2015080007A (ja) * | 2013-10-15 | 2015-04-23 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス |
KR20170122229A (ko) * | 2015-02-26 | 2017-11-03 | 가부시키가이샤 다이신쿠 | 압전 진동 디바이스 |
WO2016136283A1 (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
JPWO2016136283A1 (ja) * | 2015-02-26 | 2017-12-07 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
CN107534427A (zh) * | 2015-02-26 | 2018-01-02 | 株式会社大真空 | 压电振动器件 |
KR101963699B1 (ko) * | 2015-02-26 | 2019-03-29 | 가부시키가이샤 다이신쿠 | 압전 진동 디바이스 |
JP2019193304A (ja) * | 2015-02-26 | 2019-10-31 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
CN107534427B (zh) * | 2015-02-26 | 2020-09-15 | 株式会社大真空 | 压电振动器件 |
US11515857B2 (en) | 2015-02-26 | 2022-11-29 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
US11251774B2 (en) | 2017-09-01 | 2022-02-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd.. | Quartz crystal resonator unit |
WO2024027737A1 (zh) * | 2022-08-05 | 2024-02-08 | 天津大学 | 双基板和压电层形成三明治结构的石英谐振器及电子器件 |
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