JP2015080007A - 水晶デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水晶デバイス(100)は、所定の周波数で振動する振動部(111)、振動部を空間を挟んで囲み振動部よりも厚く形成される枠部(112)、及び振動部と枠部とを連結する連結部(113)を含む水晶振動片(110)と、枠部の一主面に接合され第1厚さ(C1)に形成される第1接合部(132)を有するリッド板(130)と、枠部の他主面に接合されるベース板(120)と、を有している。また、水晶デバイスの振動部は、枠部、ベース板、及びリッド板により囲まれるキャビティ(101)に密封され、リッド板のキャビティに面する部分の厚さ(C2)が第1厚さよりも厚い。
【選択図】図2
Description
<水晶デバイス100の構成>
図1は、水晶デバイス100の分解斜視図である。水晶デバイス100は主に、水晶振動片110と、ベース板120と、リッド板130と、により形成されている。水晶振動片110には、例えばATカットの水晶振動片が用いられる。ATカットの水晶振動片は、主面(YZ面)が結晶軸(XYZ)のY軸に対して、X軸を中心としてZ軸からY軸方向に35度15分傾斜されている。以下の説明では、ATカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をY’軸及びZ’軸として用いる。すなわち、水晶デバイス100において水晶デバイス100の長手方向をX軸方向、水晶デバイス100の高さ方向をY’軸方向、X軸方向及びY’軸方向に垂直な方向をZ’軸方向として説明する。
水晶デバイスでは、リッド板及びベース板の耐圧性を向上させるために、リッド板及びベース板に、リッド板及びベース板を支える支持部を形成しても良い。以下に支持部を有する水晶デバイスについて説明する。また、以下の説明では、第1実施形態と同じ部分に関しては第1実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
図3は、水晶デバイス200の分解斜視図である。水晶デバイス200は主に、リッド板230と、ベース板220と、水晶振動片210と、により形成されている。水晶振動片210は、枠部212と、振動部111と、連結部213と、を含んで形成されている。枠部212は振動部111を囲むように形成されており、枠部212と振動部111とは振動部111の−X軸側の辺の中央から−X軸方向に伸びて枠部212に連結する連結部213により連結されている。また、枠部212と振動部111との間には水晶振動片210をY’軸方向に貫通する貫通溝217が形成されており、枠部212の内側側面には貫通溝217側に突き出た突起216が形成されている。
図6は、水晶デバイス300の分解斜視図である。水晶デバイス300は主に、リッド板330と、ベース板320と、水晶振動片310と、により形成されている。水晶振動片310は、枠部312と、振動部111と、連結部213と、を含んでいる。枠部312は連結部213を囲むように形成されており、また、連結部213は振動部111の−X軸側の辺の中央から−X軸方向に伸びて枠部312に連結している。枠部312と振動部111との間には水晶振動片310をY’軸方向に貫通する貫通溝317が形成されている。また、枠部312には、Z’軸方向に平行に連結部213に向かって突き出た突起316が形成されている。突起316の+Y’軸側の面及び−Y’軸側の面である表裏面には、金属膜318が形成されている。金属膜318は、例えば励振電極114及び引出電極115と同じ材料により形成される。
101、201、301 … キャビティ
110、210、310 … 水晶振動片
111 … 振動部
112、212、312 … 枠部
113、213 … 連結部
114 … 励振電極
115 … 引出電極
120、220、320 … ベース板
121 … キャスタレーション
122 … 接続電極
123 … 外部電極
130、230、330 … リッド板
131 … 凸部
132 … 第1接合部
151 … 低融点ガラス
216、316 … 突起
217、317 … 貫通溝
224、231 … 凹部
225、233 … 支持部
226 … 第2接合部
232 … 第1接合部
318、327、334 … 金属膜
Claims (5)
- 所定の周波数で振動する振動部、前記振動部を空間を挟んで囲み前記振動部よりも厚く形成される枠部、及び前記振動部と前記枠部とを連結する連結部を含む水晶振動片と、
前記枠部の一主面に接合され第1厚さに形成される第1接合部を有するリッド板と、
前記枠部の他主面に接合されるベース板と、を有し、
前記振動部は、前記枠部、前記ベース板、及び前記リッド板により囲まれるキャビティに密封され、
前記リッド板の前記キャビティに面する部分の厚さが前記第1厚さよりも厚い水晶デバイス。 - 所定の周波数で振動する振動部、前記振動部を空間を挟んで囲む枠部、及び前記振動部と前記枠部とを連結する連結部を含む水晶振動片と、
前記枠部の一主面に接合され第1厚さに形成される第1接合部を有するリッド板と、
前記枠部の他主面に接合され第2厚さに形成される第2接合部を有するベース板と、を含み、
前記振動部は、前記枠部、前記ベース板、及び前記リッド板により囲まれるキャビティに密封され、
前記枠部は前記キャビティの内側に突き出た突起を有し、
前記リッド板及び前記ベース板は、前記突起と厚さ方向に重なる位置に、前記第1厚さ及び前記第2厚さと同じ厚さの支持部を有する水晶デバイス。 - 前記突起は、前記連結部の前記空間を挟んだ両側に形成される請求項2に記載の水晶デバイス。
- 前記突起の表裏面及び前記支持部の前記突起に向かい合う面には、金属膜が形成される請求項2又は請求項3に記載の水晶デバイス。
- 前記ベース板は、平板状に形成される請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の水晶デバイス。
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