JP5562772B2 - メサ型のatカット水晶振動片及び水晶デバイス - Google Patents
メサ型のatカット水晶振動片及び水晶デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP5562772B2 JP5562772B2 JP2010202543A JP2010202543A JP5562772B2 JP 5562772 B2 JP5562772 B2 JP 5562772B2 JP 2010202543 A JP2010202543 A JP 2010202543A JP 2010202543 A JP2010202543 A JP 2010202543A JP 5562772 B2 JP5562772 B2 JP 5562772B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- excitation
- vibrating piece
- mesa
- cut quartz
- crystal vibrating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
<水晶デバイス100の構成>
図1(a)は、水晶デバイス100の斜視図である。水晶デバイス100は、リッド10、ベース20、及びベース20内に載置されているATカット水晶振動片30(図1(b)参照)により構成されている。ATカットの水晶振動片は、主面が人工水晶の結晶軸(XYZ)のY軸に対して、X軸を中心としてZ軸からY軸方向に35度15分傾斜している。このため、水晶デバイス100の長辺方向をx軸方向、水晶デバイス100の短辺方向をz’軸方向、水晶デバイス100の上下方向をy’軸方向として説明する。また本明細書の説明としてy’軸方向の高低を、+方向を高く−方向を低いと表現する。
ATカット水晶振動片30の最適な寸法を求めるべく実験を行った。実験は振動周波数を一定にして励振部31のx軸方向の長さMxを変化させ、各MxにおいてCI(クリスタルインピーダンス)値を測定することにより行った。以下、これらの関係について説明する。
ATカット水晶振動片30には外枠が形成されていても良い。以下に、外枠が形成されているATカット水晶振動片を備える水晶デバイス200について説明する。
図4(a)は、水晶デバイス200の斜視図である。水晶デバイス200は、リッド210と、ATカット水晶振動片230と、ベース220とにより構成されている。水晶デバイス200は、上部にリッド210が配置され、下部にベース220が配置され、ATカット水晶振動片230はリッド210とベース220とに挟まれた位置に配置されている。また、ベース220の下面には外部電極221が形成されている。リッド210及びベース220は、ガラス又は水晶等の材料で形成されている。
20、220 … ベース
21、221 … 外部電極
22、222 … 接続電極
24 … キャビティ
30、230 … ATカット水晶振動片
31、231 … 励振部
32、232 … 励振外周部
33、233 … 励振電極
34、234 … 引出電極
40 … 封止材
41 … 導電性接着剤
100、200 … 水晶デバイス
211 … 第1面
212、225 … 凹部
223 … 第2面
235 … 外枠
236 … 接続腕
237 … 接続点
Claims (7)
- 矩形の励振部と、前記励振部の外周に形成され前記励振部よりも厚さが薄い励振外周部とを有するメサ型のATカット水晶振動片において、
前記励振部の厚さをt、前記励振部の結晶軸のx軸方向の長さをMxとするとき、Mx/tが16.1以上18.0以下となる範囲でクリスタルインピーダンスが極小値をとり、前記極小値のときの前記励振部の寸法が前記Mx/tを満たすメサ型のATカット水晶振動片。
- 振動周波数が38.400MHzであり、前記Mx/tが17.3以上17.7以下である請求項1に記載のメサ型のATカット水晶振動片。
- 振動周波数が32.736MHzであり、前記Mx/tが16.1以上16.6以下又は16.7以上16.9以下である請求項1に記載のメサ型のATカット水晶振動片。
- 振動周波数が26.000MHzであり、前記Mx/tが16.1以上16.4以下又は17.3以上18.0以下である請求項1に記載のメサ型のATカット水晶振動片。
- 前記励振外周部の周囲を囲み且つ前記励振外周部を支持する外枠を有する請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のメサ型のATカット水晶振動片。
- 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のメサ型のATカット水晶振動片と、
凹部が形成され前記凹部に前記メサ型のATカット水晶振動片を収容するベースと、
前記凹部を密閉するリッドと、
を備える水晶デバイス。 - 一主面と他主面とを有する請求項5に記載のメサ型のATカット水晶振動片と、
前記外枠の一主面に接合される第1面を有するリッドと、
前記外枠の他主面に接合される第2面を有するベースと、
を備える水晶デバイス。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010202543A JP5562772B2 (ja) | 2010-09-10 | 2010-09-10 | メサ型のatカット水晶振動片及び水晶デバイス |
CN2011102254969A CN102386871A (zh) | 2010-09-02 | 2011-08-02 | 台面型at切割水晶振动片及水晶装置 |
US13/223,463 US8525394B2 (en) | 2010-09-02 | 2011-09-01 | Mesa-type AT-cut quartz-crystal vibrating piece and quartz-crystal device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010202543A JP5562772B2 (ja) | 2010-09-10 | 2010-09-10 | メサ型のatカット水晶振動片及び水晶デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012060480A JP2012060480A (ja) | 2012-03-22 |
JP5562772B2 true JP5562772B2 (ja) | 2014-07-30 |
Family
ID=46057013
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010202543A Active JP5562772B2 (ja) | 2010-09-02 | 2010-09-10 | メサ型のatカット水晶振動片及び水晶デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5562772B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4665282B2 (ja) * | 2000-02-18 | 2011-04-06 | エプソントヨコム株式会社 | Atカット水晶振動子 |
JP4341583B2 (ja) * | 2005-06-02 | 2009-10-07 | エプソントヨコム株式会社 | メサ型水晶振動子 |
JP2008263387A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Epson Toyocom Corp | メサ型圧電振動片 |
JP4936221B2 (ja) * | 2007-06-08 | 2012-05-23 | セイコーエプソン株式会社 | メサ型圧電振動片、メサ型圧電振動デバイス、発振器、及び電子機器 |
-
2010
- 2010-09-10 JP JP2010202543A patent/JP5562772B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012060480A (ja) | 2012-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5562757B2 (ja) | メサ型のatカット水晶振動片及び水晶デバイス | |
JP6017189B2 (ja) | 圧電振動片及び圧電デバイス | |
US8525394B2 (en) | Mesa-type AT-cut quartz-crystal vibrating piece and quartz-crystal device | |
JP2013062578A (ja) | 水晶振動片及び水晶デバイス | |
JP6791766B2 (ja) | 圧電振動片及び圧電デバイス | |
JP5991566B1 (ja) | 水晶振動子及びその製造方法並びに水晶振動デバイス | |
JP5699809B2 (ja) | 圧電振動片 | |
JP5930532B2 (ja) | 圧電振動片及び圧電デバイス | |
JP2013042440A (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子、電子デバイス、及び電子機器 | |
JP5624410B2 (ja) | メサ型のatカット水晶振動片及び水晶デバイス | |
JP2016039516A (ja) | 圧電デバイス | |
JP5988125B1 (ja) | 水晶振動子及び水晶振動デバイス | |
US10985727B2 (en) | Piezoelectric vibrator | |
US10938368B2 (en) | Piezoelectric-resonator-mounting substrate, and piezoelectric resonator unit and method of manufacturing the piezoelectric resonator unit | |
JP5562772B2 (ja) | メサ型のatカット水晶振動片及び水晶デバイス | |
JP5562787B2 (ja) | メサ型のatカット水晶振動片及び水晶デバイス | |
JP6179838B2 (ja) | 水晶振動子及び水晶振動デバイス | |
JP5742620B2 (ja) | 水晶振動子および水晶振動子の製造方法 | |
JP5943160B2 (ja) | Scカット水晶基板、振動素子、電子デバイス、発振器、及び電子機器 | |
JP2015173366A (ja) | 圧電振動片及び圧電デバイス | |
JP5887968B2 (ja) | Scカット水晶基板、振動素子、電子デバイス、発振器、及び電子機器 | |
JP6137274B2 (ja) | 振動素子、振動子、電子デバイス、及び電子機器 | |
JP2015186196A (ja) | 圧電振動片及び圧電デバイス | |
US11152908B2 (en) | Method for manufacturing piezoelectric vibration element and method for manufacturing piezoelectric vibrator | |
JP2017228825A (ja) | 圧電デバイス及びベース |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130731 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140306 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140519 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140611 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5562772 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |