JP5277866B2 - 圧電振動片、および圧電デバイス - Google Patents
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Description
先ず図1を参照しながら圧電振動片としての水晶振動片について説明する。図1(A)、図1(B)及び図1(C)は、本実施の形態に係る水晶振動片を示しており、図1(A)は上面図、図1(B)は図1(A)のP−P断面図、図1(C)は下面図である。
これにより、F調工程においてプロービング端子を水晶振動片10の同一平面にプロービングすることが可能となる。従って、プローブ端子の構造を、例えばストレート端子など簡単な構造とすることができる。
次に、図2、および図5を参照しながら圧電デバイスについて説明する。図2は、本実施の形態に係る圧電デバイスを示す断面図である。図5は、圧電デバイスの製造方法を示す斜視図である。
圧電デバイス100を構成する上側基板20および下側基板30の材質は、絶縁性の材質であれば特に限定されないが、材質の熱膨張差を考慮すると圧電振動片と同一の材質であることが好ましい。本例では、圧電振動片として水晶振動片を用いていることから、上側基板20および下側基板30の材質は、水晶からなる。
次に、本実施の形態に係る圧電デバイス100の製造方法について説明する。
先ず、大型の水晶板を準備し、図1に示すスリット16a,16bを形成して、圧電振動部11および枠部12を設ける。この工程は、例えばフォトリソグラフィ技術を利用したウェットエッチングにより設けられる。このとき、少なくとも枠部12の外側部12cが上側基板20及び下側基板30と接合する面である表裏面(上面、下面)は、鏡面研磨加工する。鏡面研磨加工は、各接合面の表面粗さが好ましくは1nm以下となるように行う。
上述と並行して、複数の上側基板20を縦及び横方向に連続して配置した大型の上側水晶板120(図5参照)を準備する。
同様に、複数の下側基板30を縦及び横方向に連続して配置した大型の下側水晶板130(図5参照)を準備する。
前述のように準備された上側水晶板120、中間水晶板110、下側水晶板130の各接合面をプラズマ処理により表面活性化する。プラズマ処理後、中間水晶板110の上下面に上側水晶板120及び下側水晶板130を互いに重ね合わせる。
前述した圧電デバイスの変形例1を以下に図3に沿って説明する。図3は、圧電デバイスの変形例1を示す正断面図である。なお、前述した圧電デバイスと同じ構成については同符号を付けて説明を省略することもある。
前述した圧電デバイスの変形例2を以下に図4に沿って説明する。図4は、圧電デバイスの変形例2を示す正断面図である。
Claims (6)
- 圧電振動部と、
前記圧電振動部の周囲を囲む枠部と、
前記圧電振動部と前記枠部とを接続する一対の接続部と、
前記圧電振動部の一方の面に形成された第1の励振電極と、
前記圧電振動部の他方の面に形成された第2の励振電極と、
前記第1の励振電極から、一方の前記接続部の一方の面と側面とを通って他方の面に延出され、前記側面に形成された部位が他方の前記接続部と対向する側面にのみ形成されている第1の接続電極と、
前記第2の励振電極から、前記他方の接続部の他方の面に延出された第2の接続電極と、を有することを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片において、
前記第1の接続電極は、前記一方の接続部の他方の面から、前記圧電振動部を挟み反対側の前記枠部の他方の面まで延出されており、
前記第2の接続電極は、前記他方の接続部の他方の面から、前記接続部が接続される側の前記枠部まで延出されていることを特徴とする圧電振動片。 - 圧電振動部と、前記圧電振動部の周囲を囲む枠部と、前記圧電振動部と前記枠部とを接続する一対の接続部と、前記圧電振動部の一方の面に形成された第1の励振電極と、前記圧電振動部の他方の面に形成された第2の励振電極と、前記第1の励振電極から、一方の前記接続部の一方の面と側面とを通って他方の面に延出され、前記側面に形成された部位が他方の前記接続部と対向する側面にのみ形成されている第1の接続電極と、前記第2の励振電極から、前記他方の接続部の他方の面に延出された第2の接続電極と、を含む圧電振動片と、
前記他方の面と対向するように前記圧電振動片と接続されたベース部と、を有することを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項3に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第1の接続電極は、前記接続部の他方の面から、前記圧電振動部を挟み反対側の前記枠部の他方の面まで延出されており、
前記第2の接続電極は、前記接続部の他方の面から、前記接続部が接続される側の前記枠部まで延出されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 圧電振動部と、前記圧電振動部の周囲を囲む枠部と、前記圧電振動部と前記枠部とを接続する接続部と、前記圧電振動部の一方の面に形成された第1の励振電極と、前記圧電振動部の他方の面に形成された第2の励振電極と、前記第1の励振電極から前記接続部の一方の面と前記接続部の側面とを通り、前記接続部の他方の面に延出された第1の接続電極と、前記第2の励振電極から前記接続部の他方の面に延出された第2の接続電極と、を含む圧電振動片と、
前記他方の面と対向するように前記圧電振動片と接続されたベース部と、
前記ベース部の前記圧電振動片と対向する面に形成された、前記第1の接続電極および前記第2の接続電極と接続される第1の外部接続電極および第2の外部接続電極と、
前記第1の接続電極および前記第2の接続電極と前記圧電振動片との間、または前記第1の外部接続電極および前記第2の外部接続電極と前記ベース部との間の少なくとも一方に形成された、可撓性を有する第1の樹脂突起部とを有し、
前記第1の接続電極と前記第1の外部接続電極との接続、および前記第2の接続電極と前記第2の外部接続電極との接続は、前記第1の樹脂突起部を介して行われていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項5に記載の圧電デバイスにおいて、
前記ベース部との間に前記圧電振動片を挟持する蓋体と、
前記第1の樹脂突起部に対向する前記圧電振動片の一方の面または前記蓋体の前記圧電振動片に対向する面の少なくとも一方に形成された第2の樹脂突起部と、を有し、
前記ベース部および前記蓋体との間で、対向する前記第1の樹脂突起部と前記第2の樹脂突起部とが前記圧電振動片を挟持していることを特徴とする圧電デバイス。
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