JP2011160095A - 圧電振動片、圧電振動デバイス、及び圧電振動デバイスの製造方法 - Google Patents
圧電振動片、圧電振動デバイス、及び圧電振動デバイスの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】圧電材料からなる圧電振動片1において、前記圧電材料に接合する第1金属と、この第1金属に接合する第2金属とにより励振電極26,27を形成する。ここで、前記第2金属は前記第1金属よりも高い導電性を有するものとし、且つ、前記第2金属に対する前記第1金属の重量比を、5.9%超〜30.3%以下とする。
【選択図】図2
Description
前記圧電振動片にアニール処理を施すアニール処理工程と、前記圧電振動片に対して最終の周波数調整を行う周波数調整工程と、前記搭載工程及び前記アニール処理工程の後、前記周波数調整工程の前に、前記圧電振動片に対して熱処理を施す事前熱処理工程と、前記周波数調整工程の後に、前記圧電振動片に対して熱処理を施す後熱処理工程とを備えることを特徴とする。
<実施例1〜8、比較例1〜3>
実施例1〜8、及び比較例1〜3に係る圧電振動片は、いずれも、上記した図2に示す構成の水晶振動片2である。これらの実施例1〜8、及び比較例1〜3に係る水晶振動片において、励振電極26,27は、脚部21,22の両主面及び両側面上にクロムからなる下地電極層(Cr層)を形成し、この下地電極層上に金からなる上部電極層(Au層)を形成して構成された薄膜であり、熱処理が全く施されていない状態でのCr層及びAu層の膜厚は、以下の表1及び表2に示す通りとなっている。なお、表1及び表2には、励振電極26,27を構成する金(第2金属)に対するクロム(第1金属)の重量比を重量比(Cr/Au)として示している。また、比較例2及び3は、従来の圧電振動片として一般に適用されている水晶振動片である。
11 内部空間
2 水晶振動片(圧電振動片)
20 基板
21,22 脚部
211,221 脚部の先端部の金属膜
23 基部
25 溝部
26,27 励振電極
28 引出電極
3 ベース(第1封止部材)
31 底部
32 壁部
33 封止材
4 蓋(第2封止部材)
5 金属バンプ
1a 水晶振動子(圧電振動子)
2a 水晶振動片(圧電振動片)
20a 基板
21a,22a 脚部
23a 基部
24a 振動部の外周の領域の一部
25a 振動部
26a 振動部の外周の領域
27a,28a 水晶振動片の接合部
3a 第1封止部材
31a 第1封止部材の一主面
32a 第1封止部材の接合部
4a 第2封止部材
41a 第2封止部材の一主面
42a 第2封止部材の接合部
6a,7a 封止材
Claims (5)
- 圧電材料からなる圧電振動片であって、
前記圧電材料に接合する第1金属と、この第1金属に接合する第2金属とにより励振電極が形成されており、
前記第2金属が前記第1金属よりも高い導電性を有し、且つ、前記第2金属に対する前記第1金属の重量比が、5.9%超〜30.3%以下である
ことを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片であって、
前記第1金属がクロム、ニッケル、モリブデン、チタン、又はタングステンであることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1又は2に記載の圧電振動片であって、
前記第2金属が金であることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1乃至3のいずれか1つに記載の圧電振動片が搭載されている圧電振動デバイスであって、
前記圧電振動片と、
この圧電振動片の前記励振電極を気密封止するための第1封止部材及び第2封止部材と
を備えることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項4に記載の圧電振動デバイスの製造方法であって、
前記第1封止部材に前記圧電振動片を搭載する搭載工程と、
前記圧電振動片にアニール処理を施すアニール処理工程と、
前記圧電振動片に対して最終の周波数調整を行う周波数調整工程と、
前記搭載工程及び前記アニール処理工程の後、前記周波数調整工程の前に、前記圧電振動片に対して熱処理を施す事前熱処理工程と、
前記周波数調整工程の後に、前記圧電振動片に対して熱処理を施す後熱処理工程と
を備えることを特徴とする圧電振動デバイスの製造方法。
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