JP5129284B2 - 圧電振動子及び圧電振動子の製造方法 - Google Patents
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Description
ガラス又は水晶により構成されたベース体と、
前記ベース体と同じ材料により構成され、ベース体の一面側を密封して気密な空間を形成する蓋体と、
前記気密な空間において、ベース体上に載置され、表面に励振電極が形成されると共に、前記励振電極と電気的に接続される第1及び第2の電極端子がベース体側に設けられた圧電振動片と、
前記圧電振動片における第1及び第2の電極端子と夫々対応する位置に、ベース体をエッチングすることにより構成され、その上面が平坦な第1及び第2の突起部と、
これら突起部の表面に形成されると共に、外部端子に電気的に接続された金属膜と、
前記金属膜と、前記圧電振動片の電極端子とを夫々電気的に接続するために、各突起部の上面全体に塗布された導電性接着剤と、を備え、
前記第1及び第2の突起部は、各々島状に配置されると共に全周に亘って上面から下方に向うに連れて広がる形状であることを特徴とする。
ガラス基板又は水晶基板の表面をマスクを用いてエッチングすることにより、圧電振動片を収納する凹部と前記第1及び第2の突起部とを備えたベース体を形成する工程と、
このベース体の表面に金属膜を成膜する工程と、
前記金属膜をエッチングすることにより、前記突起部の表面に金属膜を形成する工程と、
次いで前記第1及び第2の突起部の上面に導電性接着剤を塗布すると共に、励振電極と当該励振電極と電気的に接続されるようにその一面側に設けられた第1及び第2の電極端子とを備えた圧電振動片を、前記第1及び第2の電極端子が前記第1及び第2の突起部の金属膜上に載置されるように配置する工程と、
を含むことを特徴とする。
31 枕部
32 突部
33 凹部
41,42 突起部
43 上面
44 底部
46 側面
47 電極膜
48 導電路
5 蓋体
51 凹部
53,54 外部端子
6,7 ガラス基板
Claims (4)
- ガラス又は水晶により構成されたベース体と、
前記ベース体と同じ材料により構成され、ベース体の一面側を密封して気密な空間を形成する蓋体と、
前記気密な空間において、ベース体上に載置され、表面に励振電極が形成されると共に、前記励振電極と電気的に接続される第1及び第2の電極端子がベース体側に設けられた圧電振動片と、
前記圧電振動片における第1及び第2の電極端子と夫々対応する位置に、ベース体をエッチングすることにより構成され、その上面が平坦な第1及び第2の突起部と、
これら突起部の表面に形成されると共に、外部端子に電気的に接続された金属膜と、
前記金属膜と、前記圧電振動片の電極端子とを夫々電気的に接続するために、各突起部の上面全体に塗布された導電性接着剤と、を備え、
前記第1及び第2の突起部は、各々島状に配置されると共に全周に亘って上面から下方に向うに連れて広がる形状であることを特徴とする圧電振動子。 - 前記突起部の上面と底部との距離は、10μm以上50μm以下であることを特徴とする請求項1記載の圧電振動子。
- 前記金属膜の厚さは、0.2μm以上0.5μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動子。
- 請求項1ないし3のいずれか一つに記載の圧電振動子を製造する方法であって、
ガラス基板又は水晶基板の表面をマスクを用いてエッチングすることにより、圧電振動片を収納する凹部と前記第1及び第2の突起部とを備えたベース体を形成する工程と、
このベース体の表面に金属膜を成膜する工程と、
前記金属膜をエッチングすることにより、前記突起部の表面に金属膜を形成する工程と、
次いで前記第1及び第2の突起部の上面に導電性接着剤を塗布すると共に、励振電極と当該励振電極と電気的に接続されるようにその一面側に設けられた第1及び第2の電極端子とを備えた圧電振動片を、前記第1及び第2の電極端子が前記第1及び第2の突起部の金属膜上に載置されるように配置する工程と、
を含むことを特徴とする圧電振動子の製造方法。
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