JP2008167171A - 圧電振動片の製造方法、圧電振動片および圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電振動片を製造する製造方法は、エッチング異方性を有する平板の圧電材料を準備する工程(S112)と、この圧電材料の両面に耐蝕膜を形成する工程(S112)と、この耐蝕膜の両面にフォトレジストを塗布する第一塗布工程(S114)と、圧電材料の片面のみに圧電振動片のパターンを露光する第一露光工程(S116)と、この第一露光工程後にフォトレジストを現像し、片面にのみ現れた耐蝕膜を除去する(S118)工程と、耐蝕膜を除去して現われた圧電材料をエッチングする第一エッチング工程(S126)と、を備える。
【選択図】図4
Description
この構成によれば、片側のみに圧電振動片のパターンを露光した状態で、エッチングを行う。このため、両面の圧電振動片のパターンが位置ずれするということがないし、表面から裏面のフォトレジストに露光することがないので、露光光の不足という問題もない。
このような構成によると、CI値を下げる溝部を振動腕に形成した音叉型の圧電振動片を形成する際にも、本発明は適用することができる。振動腕は位置ずれなく露光され、エッチングがなされる。このため、振動腕は、励振時にX方向にのみ屈曲振動することになる。
圧電材料が水晶で圧電振動片が音叉型である場合、振動腕の長手方向、幅方向および厚み方向をそれぞれ水晶のY軸方向、X軸方向およびZ軸方向に対応させて配向する。そして、ウェットエッチングを行う。水晶は+X方向のエッチングレートが高いのでウェットエッチングだと、振動腕の断面形状が非対称になる。このため、ウェットエッチングに続いてドライエッチングで異方性の箇所をエッチングする。このようにして、エッチング形状の精度が上がる。
さらに、エッチング表面の仕上がり粗さもコントロールすることができる。このため、その振動腕におけるバランスを良好に確保することができる。
耐蝕膜およびレジスト膜が圧電材料の少なくとも一面に形成されている。この状態の圧電材料に対してレーザー光が照射されることになる。圧電材料の側面部の一部を除去する際に、誤って圧電材料の一面にレーザー光が照射されても、耐蝕膜およびレジスト膜が存在するために、直ちに圧電材料までレーザー光が到達しない。このため、その圧電振動片が不良品になるおそれが少なくなる。エッチング異方性を有する圧電材料から圧電振動片の外形をウェットエッチングで加工すると、圧電振動片の断面形状は非対称となり側面部の一部が突き出た形状となる。しかし、側面部の一部をレーザー光で除去することによって、かかる断面形状の非対称を解消または改善することができる。したがって、振動の漏れによる歪みエネルギの損失を防止して、安定した屈曲運動を繰り返すことが可能になる。また、ウェットエッチングを行わず直接レーザー光で圧電振動片の外形を加工することも考えられるが、その方法だと、非常に時間がかかることになる。一方、第4の観点の圧電振動片を製造する製造方法は、断面が非対称の側面部のみをレーザー光で加工するため生産性が高い。
耐蝕膜およびレジスト膜が圧電材料の表面から除去された状態で、誤って圧電材料の表面にレーザー光が照射されると、圧電振動片は不良品となってしまう。この構成によれば、圧電振動片に保護マスクを配置することで直ちに不良品となることはない。また、耐蝕膜およびレジスト膜が圧電材料の表面に存在している場合であっても、保護マスクを配置すれば、誤ってレーザー光が照射された場合に確実に圧電振動片を保護できる。
フェムト秒レーザーは、多光子吸収プロセスにより、熱を介在せずに精密な加工を実現することができるため、数ミリメートル以下の大きさである圧電振動片の加工には最適である。
CI値を下げるための溝部も、エッチング異方性の影響があるが両面からエッチングされるため、振動に与える影響は少ない。このためウェットエッチングでも、安定した振動特性を発揮する圧電振動片を製造することができる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
図1(a)は、音叉型水晶振動片20の全体構成を示した平面図であり、(b)は、音叉型水晶振動片20の一本の振動腕21のB−B断面図である。音叉型水晶振動片20の母材は、Z板に加工された水晶単結晶ウエハ10で形成されている。小型で必要な性能を得るために、図1(a)に示すように、音叉型水晶振動片20は、基部29と、この基部29の一端部から図1において上方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕21を備えている。一対の振動腕21の根元26は、テーパー部を設けることによって、周囲温度の変化に起因する共振周波数の変動やバラツキを抑えている。根元26のテーパー部の形状はU字形状でもV字形状などでよい。以下、本実施形態では一対の振動腕21を備えた音叉型水晶振動片20で説明するが、3本または4本の振動腕21を備えた音叉型水晶振動片20であってもよい。
本実施形態の水晶振動子50について、図面を参照して説明する。図2は、本発明の実施形態にかかる水晶振動子50の概略図を示している。図2(a)は全体斜視図であり、図2(b)は断面図であり、図2(c)は金属蓋体71を取り外した上面図である。
図3は、音叉型水晶振動片のパターンの露光が終了し、現像が終わった状態の単結晶水晶ウエハを示している。図3(a)は、本実施形態に用いる円形の単結晶水晶ウエハ10の構成を示す一方の面の斜視図であり、(b)は他方の面の斜視図である。
この円形の単結晶水晶ウエハ10は、たとえば厚さ0.1mmの人工水晶からなり、円形の単結晶水晶ウエハ10の直径は3インチまたは4インチである。さらに、円形の単結晶水晶ウエハ10の軸方向が特定できるように、図3(a)に示すように、単結晶水晶ウエハ10の周縁部の一部には、水晶の結晶方向を特定するオリエンテーションフラット10cが形成されている。
<音叉型水晶振動デバイスの製造工程>
図4および図5は、音叉型水晶振動片20の外形および溝部を形成するためのフローチャートである。各図の右側に、音叉型水晶振動片20の振動腕21となる付近の単結晶水晶ウエハ10の断面を示す。図6は、電極パターンの形成およびパッケージングのためのフローチャートである。
図4のステップS112では、まず、単結晶水晶ウエハ10を用意する。そして、単結晶水晶ウエハ10の全面に、耐蝕膜32をスパッタリングもしくは蒸着などの手法により形成する。圧電材料としての単結晶水晶ウエハ10を使用する場合に、金(Au)や銀(Ag)等を直接成膜することは困難なため、下地としてクロム(Cr)やチタン(Ti)等を使用する。つまり、この実施形態では、耐蝕膜32としてクロム層の上に金層を重ねた金属膜を使用する。たとえば、クロム層の厚みは500オングストローム、金層の厚みも1000オングストローム程度とする。この状態の単結晶水晶ウエハ10を、図4(a)に示す。
従来は、片面露光装置を使って単結晶水晶ウエハ10の片側ずつ露光して両面露光したり、両面露光装置を使って一度に単結晶水晶ウエハ10の両面を露光したりする。片面露光装置では、単結晶水晶ウエハ10を裏返したりするために、音叉型水晶振動片20の外形パターンが両面で一致しない場合がある。両面露光装置を用いた場合であっても、2枚のフォトマスクを互いに位置合わせする際に位置ずれが生じてしまう。本実施形態では、片面しか露光しないため両面で音叉型水晶振動片20の外形パターンの位置合わせをする必要がない。
次に、図5のステップS122では、音叉型水晶振動片20の振動腕21に溝部27を形成するため、溝部27のパターンを振動腕21のフォトレジスト層36’を露光する。この状態の単結晶水晶ウエハ10を、図5(f)に示す。
ステップS124では、露光されたフォトレジスト42’が現像され除去される。ただし、図5(g)に示すように、この時点では耐蝕膜32まではエッチングで除去しない。この状態では、図4(d)に示したように、ステップS124で単結晶水晶ウエハ10の片面の耐蝕膜32が除去されており、再び、音叉型水晶振動片20の外形パターンの水晶材料10が現われる。また、溝部27に関しては露光されたフォトレジスト42’が除去されるが、耐蝕膜32が残っている。
さらに、エッチング表面の仕上がり粗さもコントロールすることができる。ドライエッチング後には、単結晶水晶ウエハ10が図5(h)に示した状態にする。
続いて、ステップS132で残ったフォトレジスト層36’
および耐蝕膜32を除去する。これらの工程を経て、図5(k)に示すように、音叉型水晶振動片20に溝部27が正確な位置に形成される。
ステップS134では、音叉型水晶振動片20を純水で洗浄し、音叉型水晶振動片20の全面に駆動電極としての励振電極などを形成するための金属膜を蒸着またはスパッタリング等の手法により形成する。
ステップS136では、スプレーを使って全面にフォトレジストを塗布する。溝部27などが形成されているため、溝部27にも均一にフォトレジストを塗布する。
続いて、ステップS142で、残ったフォトレジストを除去する。これらの工程を経て、音叉型水晶振動片20に励振電極などが正確な位置および電極幅で形成される。
これまでの工程により、電極パターン23、電極パターン25および溝部27が形成された音叉型水晶振動片20が得られた。
そこで、ステップS144では、セラミック製のパッケージ51に音叉型水晶振動片20を導電性接着剤31で接着する。具体的には、音叉型水晶振動片20の基部29を、配線層81に塗布した導電性接着剤31の上に載置して、導電性接着剤31を仮硬化させる。次に、硬化炉で導電性接着剤31を本硬化することにより音叉型水晶振動片20を端子電極82に対して接合する。
次に、ステップS148で、真空チャンバ内などに音叉型水晶振動片20を収容したパッケージ51を移し、蓋体71を封止材57により接合する。
続いてステップS150で、最後に圧電振動デバイス50の駆動特性などの検査を行い、圧電振動デバイス50を完成させる。
図5のステップS126では、ドライエッチングを行ったが、ドライエッチングは一般にエッチング速度がウェットエッチングに比べて十分の一以下の速度である。そのため、ウェットエッチングを利用しつつ、振動腕21の側面部が表面または裏面に対して垂直になるようにレーザー加工を行う工程を使用しても良い。
図7(a)は、図5のステップS126に代えて、レーザー加工するフローチャートである。(b)は、本発明の音叉型水晶振動片20の振動腕21の側面部を、レーザー光LLを用いて除去(蒸散・昇華)する装置構成を示す概略図である。
ステップS127では、フェムト秒レーザー光LLで、振動腕21の側面の水晶材料が表面または裏面に対して垂直になるようにレーザー加工を行う。なお、振動に寄与するのは振動腕21だけであるので、基部29に対してはレーザー加工を行う必要は無い。これらの工程は、ウェットエッチングを行わないでレーザー加工するよりも、生産性が高く、歩留まり良く、低コストで製造することができる。
次に、レ−ザー加工について説明する。
図7(b)は、本発明の音叉型水晶振動片20の振動腕21の側面部を、レーザー光LLを用いて除去(蒸散・昇華)する装置構成を示す概略図である。
また、フェムト秒レーザー以外に、炭酸ガスレーザーまたはグリーンレ−ザーなどを使用することも可能である。
20,200 …… 音叉型の圧電振動片、
21,210 …… 振動腕
29 …… 基部
32 …… 耐蝕膜
36,36’ …… フォトレジスト層
42,42’ …… 露光されたフォトレジスト層
50 …… 圧電デバイス
71 …… 蓋体
111 …… 制御回路
120 …… レーザー駆動回路
122 …… フェムト秒レーザー照射部
130 …… XY駆動回路
131 …… X光学ミラー
133 …… Y光学ミラー
135 …… 保護マスク
LL …… レーザー光
Claims (9)
- 所定形状の圧電振動片を製造する製造方法において、
エッチング異方性を有する平板の圧電材料を準備する工程と、
この圧電材料の両面に耐蝕膜を形成する工程と、
この耐蝕膜の両面にフォトレジストを塗布する第一塗布工程と、
前記圧電材料の片面のみに前記圧電振動片のパターンを露光する第一露光工程と、
この第一露光工程後に前記フォトレジストを現像し、前記片面にのみ現れた前記耐蝕膜を除去する工程と、
前記耐蝕膜を除去して現われた圧電材料をエッチングする第一エッチング工程と
を備えることを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 前記圧電振動片のパターンは、少なくも二本の振動腕を有する音叉型の圧電振動片のパターンであり、
前記耐蝕膜を除去した後に、新たにフォトレジストを塗布する第二塗布工程と、
前記振動腕に溝部のパターンを露光する第二露光工程と、
この第二露光工程後に前記フォトレジストを現像する工程と、
前記溝部に対応する耐蝕膜を除去して現われた圧電材料をエッチングする第二エッチング工程と、を備え、
前記第一エッチング工程は、第二露光工程後に行うことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片の製造方法。 - 前記第一エッチング工程は、ウェットエッチング後にドライエッチングを行うことを特徴とする請求項1ないし請求項2のいずれか一項に記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記第一エッチング工程は、ウェットエッチングであり、このウェットエッチングの後に前記圧電振動片の側面部に対してレーザー加工を行うことを特徴とする請求項1ないし請求項2のいずれか一項に記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記レーザー加工の工程は、前記圧電振動片に保護マスクを配置してから前記レーザー光を照射することを特徴とする請求項4に記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記レーザー光は、フェムト秒レーザーを含むことを特徴とする請求項5または請求項5に記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記第二エッチング工程は、ウェットエッチングまたはドライエッチングであることを特徴とする請求項2に記載の圧電振動片の製造方法。
- 請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の圧電振動片の製造方法により製造された圧電振動片。
- 請求項8に記載の圧電振動片と、
この圧電振動片を内部に固定支持して封止するパッケージと
を備えることを特徴とする圧電デバイス。
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