KR101682035B1 - 음차형 압전 진동편, 및 음차형 압전 진동 디바이스 - Google Patents

음차형 압전 진동편, 및 음차형 압전 진동 디바이스 Download PDF

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마사토 이토
요시나리 모리모토
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Abstract

음차형 압전 진동편은 적어도 진동부인 복수개의 다리부와, 외부와 접합하는 접합부와, 이들 상기 다리부 및 상기 접합부를 돌출시켜 형성한 기부로 구성되어 있다. 상기 복수개의 다리부는 상기 기부의 일단면으로부터 돌출되고, 또한 상기 일단면에 병설되어 있다. 상기 접합부는 상기 기부의 일단면과 대향하는 타단면의 상기 기부의 일단면의 폭방향에 있어서의 상기 복수개의 다리부의 중간 위치에 대향하는 위치로부터 돌출된다. 그리고 적어도 상기 접합부의 기단부는 외부와 접합하는 접합 영역으로 된다.

Description

음차형 압전 진동편, 및 음차형 압전 진동 디바이스{TUNING-FORK-TYPE PIEZOELECTRIC VIBRATING PIECE AND TUNING-FORK-TYPE PIEZOELECTRIC VIBRATING DEVICE}
본 발명은 음차형 압전 진동편, 및 음차형 압전 진동 디바이스에 관한 것이다.
압전 진동 디바이스의 하나로서, 기부와 이 기부로부터 돌출된 2개의 다리부를 갖는 진동부로 이루어지는 음차형 수정 진동편을 이용한 음차형 수정 진동자가 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조.).
상기한 바와 같은 음차형 수정 진동편에서는 또한, 외부와 접합하는 접합부가 기부의 2개의 다리부를 형성한 일단면과 대향하는 타단면으로부터 돌출 형성되어 있다. 이들 기부의 타단면으로부터 돌출 형성된 접합부는 기부의 타단면으로부터 양측면을 따라 T자 형상으로 두 갈래로 나누어져 연장되어 성형되고, 각각 선단부는 2개의 다리부의 선단과 동일한 방향으로 향하고 있다.
이 음차형 수정 진동자에서는 그 본체 케이싱이 베이스와 덮개로 구성되고, 본체 케이싱의 내부에는 베이스 상에 도전성 재료에 의해 음차형 수정 진동편의 접합부의 선단부가 전기기계적으로 접합되고, 이 접합된 음차형 수정 진동편이 본체 케이싱의 내부에 기밀하게 밀봉되어 있다. 이 음차형 수정 진동자에 의하면 진동 누설(음향 누설)을 방지할 수 있게 된다.
일본 특허 공개 제 2004-357178 호 공보
상기한 바와 같이, 특허문헌1에 기재된 음차형 압전 진동자에 의하면, 베이스 상에 도전성 재료에 의해 음차형 수정 진동편의 접합부의 선단부가 전기기계적으로 접합되어 있으므로, 진동부인 다리부로부터 베이스의 접합 위치까지의 라우팅 전극(routing electrode)이 길어져 다리부에서 발생되는 진동이 전달되기 어려워진다.
그러나, 그 반면, 베이스로의 접합 위치가 접합부의 선단부이고, 진동부가 다리부이며, 그 기부를 통한 실질 거리가 길어지므로, 진동의 응력이나, 상기 음차형 수정 진동자를 외부로부터 충격을 가했을 때의 외력에 대해서 견디기 어렵고, 기부나 접합부에서 응력이나 외력을 받아 수정 진동편이 깨지기 쉬워진다. 또한, 접합부의 평면으로 볼 때의 전체 길이가 길어지므로, 평면으로 볼 때의 전체 길이가 긴 접합부를 탑재하기 위한 베이스의 탑재 영역을 확보할 필요가 있고, 그 결과 수정 진동자의 본체 케이싱의 소형화에 방해가 된다.
그래서, 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 음향 누설을 방지함과 아울러 응력이나 외력에 강한 소형화에 적합한 음차형 압전 진동편, 및 음차형 압전 진동 디바이스를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 음차형 압전 진동편은 적어도 진동부인 복수개의 다리부와, 외부와 접합하는 접합부와, 이들 상기 다리부 및 상기 접합부를 돌출시켜 형성한 기부로 구성되고, 상기 복수개의 다리부는 상기 기부의 일단면으로부터 돌출되고, 또한 상기 일단면에 병설되며, 상기 접합부는 상기 기부의 일단면과 대향하는 타단면의 상기 기부의 일단면의 폭방향에 있어서의 상기 복수개의 다리부의 중간 위치에 대향하는 위치로부터 돌출되고, 적어도 상기 접합부의 기단부는 외부와 접합하는 접합 영역이 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 음향 누설을 방지함과 아울러 응력이나 외력에 강하고, 음차형 압전 진동편이 깨지는 등의 문제점이 발생되는 것을 방지할 수 있게 되고, 또한 소형화에 적합하다.
구체적으로, 본 발명에 의하면, 적어도 상기 복수개의 다리부와 상기 접합부와 상기 기부로 구성되고, 상기 복수개의 다리부는 상기 기부의 일단면으로부터 돌출되고, 또한 상기 일단면에 병설되며, 상기 접합부는 상기 기부의 일단면과 대향하는 타단면의 상기 기부의 일단면의 폭방향에 있어서의 상기 복수개의 다리부의 중간 위치에 대향하는 위치로부터 돌출되고, 적어도 상기 접합부의 기단부는 외부와 접합하는 접합 영역이 되므로, 상기 기부 부근의 상기 접합부의 기단부를 외부와의 상기 접합 영역으로서 응력이나 외력에 강한 구성으로 하는 것을 가능하게 한다. 또한, 상기 기부의 일단면의 폭방향에 있어서의 상기 복수개의 다리부의 중간 위치에 대향하는 위치로부터 상기 접합부를 돌출시키므로 음향 누설을 방지할 수 있게 된다. 예컨대, 상기 음차형 압전 진동편을 외부에 탑재하는 등 상기 음차형 압전 진동편을 다른 부재에 접합하거나 상기 음차형 압전 진동편에 외력이 가해짐으로써 발진 주파수의 어긋남 등이 발생되는 경우가 있지만 본 발명에 의하면 이러한 것은 발생되지 않는다.
또한, 본 발명에 의하면, 음향 누설에 대한 악영향을 저감시킬 뿐만 아니라 상기 접합부의 폭을 굵게 설정하는 것도 가능하고, 이 경우, 외력(예컨대, 상기 음차형 압전 진동편의 낙하에 의해 발생되는 상기 음차형 압전 진동편으로의 외력)이 상기 음차형 압전 진동편에 가해졌더라도 상기 접합부에 있어서 물리적 및 전기적인 파단이 발생되는 것을 억제할 수 있게 된다. 그 결과, 본 발명에 의하면, 예컨대 내충격성 등의 내구성을 향상시킬 수 있게 된다.
상기 구성에 있어서, 상기 다리부에 1쌍의 여진 전극이 형성되고, 상기 접합부와 상기 기부에 상기 1쌍의 여진 전극으로부터 인출된 인출 전극이 각각 형성되며, 상기 접합부의 기단부에 상기 1쌍의 여진 전극 중 하나의 여진 전극으로부터 인출된 상기 인출 전극이 형성되고, 상기 접합부의 선단부에 상기 1쌍의 여진 전극 중 다른 하나의 여진 전극으로부터 인출된 상기 인출 전극이 형성되며, 상기 접합부의 선단부는 외부와 접합하는 접합 영역이 되어도 좋다.
이 경우, 특히, 상기 접합부의 기단부 및 선단부는 상기 접합 영역으로 되고, 상기 접합부의 상기 기단부에 상기 하나의 여진 전극이 형성되고, 상기 접합부의 상기 선단부에 상기 다른 하나의 여진 전극이 형성되므로, 외부와 접합하는 상기 접합 영역에 있어서의 단락을 방지하는 것이 가능하고, 또한, 상기 접합부의 기단부 및 선단부에 있어서 상기 접합 영역을 설정함으로써 음향 누설을 방지함과 아울러 응력이나 외력에 강한 구성으로 할 수 있게 된다.
상기 구성에 있어서, 상기 접합부는 평면으로 볼 때 L자 형상으로 형성되어도 좋다. 예컨대, 상기 접합부가 상기 타단면에 대해서 평면으로 볼 때 수직 방향으로 돌출된 단변부와, 상기 단변부의 선단부와 연이어져 상기 선단부에 있어서 평면으로 볼 때 직각으로 절곡되어 상기 기부의 폭방향으로 연장되는 장변부로 구성된 평면으로 볼 때 L자 형상으로 형성되어도 좋다.
이 경우, 상기 접합부는 평면으로 볼 때 L자 형상으로 형성되므로 상기 음차형 압전 진동편의 전체 길이나 평면으로 볼 때의 폭의 치수를 작게 해서 상기 음차형 압전 진동편의 본체 케이싱의 소형화에 기여한다. 또한, 상기 음차형 압전 진동편을 1장의 웨이퍼로 다수개 형성할 경우, 1장의 웨이퍼로부터의 상기 음차형 압전 진동편의 생산 개수를 늘릴 수 있게 된다. 또한, 외부로부터의 충격 등의 외력이 가해졌을 때에 두께 방향으로의 휨을 억제해서 상기 음차형 압전 진동편을 외부 부재(이하에 기재하는 제 1 밀봉 부재나 제 2 밀봉 부재로 구성되는 압전 진동 디바이스)에 탑재했을 때에 상기 외부 부재에 접촉하는 것을 방지할 수 있게 된다. 그 결과, 상기 진동부가 상기 외부 부재에 접촉되어 깎여지거나 하는 것을 방지하고, 발진 주파수가 변화되는 것을 방지할 수 있게 된다. 또한, 상기 진동부의 진동에 의해 발생된 누설 진동을 평면으로 볼 때 L자 형상으로 형성된 절곡 부위(이하에 기재하는 절곡부)에 있어서 머물게 해서 상기 접합부의 선단부에 전달되기 어렵게 하고, 음향 누설을 더욱 저감되는 것이 가능하게 된다.
상기 구성에 있어서, 상기 접합부에 있어서의 외부와 접합하는 접합 영역은 평면으로 볼 때 L자 형상으로 성형된 절곡 개소인 절곡부와 상기 접합부의 선단부에 형성되어도 좋다.
이 경우, 상기 접합부에 있어서의 외부와 접합하는 접합 영역은 상기 절곡부와 상기 선단부에 형성되므로, 상기 진동부의 진동에 의해 발생된 누설 진동을 상기 절곡부에서 머무르게 해서 상기 선단부에 전달되는 것을 억제할 수 있게 되고, 그 결과, 음향 누설을 보다 한층 저감시킬 수 있게 된다.
상기 구성에 있어서 상기 절곡부에 있어서의 절곡 내측의 측면은 곡면으로 형성되어도 좋다.
이 경우, 상기 절곡부에 있어서의 절곡 내측의 측면이 곡면으로 형성되므로, 상기 절곡 내측의 측면에 있어서 상기 절곡부가 기점이 되어 크랙이 발생되는 것을 억제할 수 있게 되고, 그 결과, 상기 인출 전극의 단락을 방지할 수 있게 된다. 또한, 이 경우, 절곡부의 강도를 높이는 것이 가능하게 되고, 그 결과, 주파수 변동이나 주파수의 시프트를 억제할 수 있게 된다.
상기 구성에 있어서 상기 절곡부에 있어서의 절곡 내측의 측면은 다각의 절곡면으로 형성되어도 좋다.
이 경우, 상기 절곡부에 있어서의 절곡 내측의 측면이 다각의 절곡면으로 형성되므로, 상기 절곡 내측의 측면에 있어서 상기 절곡부가 기점이 되어 크랙이 발생되는 것을 억제할 수 있게 되고, 그 결과, 상기 인출 전극의 단락을 방지할 수 있게 된다. 또한, 이 경우, 절곡부의 강도를 높이는 것이 가능하게 되고, 그 결과, 주파수 변동이나 주파수의 시프트를 억제할 수 있게 된다.
상기 구성에 있어서 상기 접합부의 기단부의 양 주면은 외부와 접합하는 접합 영역으로 되어도 좋다.
이 경우, 상기 접합부의 기단부의 양 주면이 외부와 접합하는 접합 영역으로 되므로, 음향 누설을 저감시키면서 상기 음차형 압전 진동편의 전체 길이나 평면으로 볼 때의 폭의 치수가 커지는 것을 방지할 수 있게 되고, 상기 음차형 압전 진동편의 본체 케이싱의 소형화에 기여한다. 그 결과, 상기 음차형 압전 진동편을 1장의 웨이퍼로부터 다수개 형성할 경우, 1장의 웨이퍼로부터의 상기 음차형 압전 진동편의 생산 개수를 늘릴 수 있게 된다.
상기 구성에 있어서 상기 다리부에 1쌍의 여진 전극이 형성되고, 상기 접합부와 상기 기부에 상기 1쌍의 여진 전극으로부터 인출된 인출 전극이 각각 형성되며, 상기 접합부의 기단부에 상기 1쌍의 여진 전극 중 하나의 여진 전극으로부터 인출된 상기 인출 전극이 형성되고, 상기 접합부의 선단부에 상기 1쌍의 여진 전극 중 다른 하나의 여진 전극으로부터 인출된 상기 인출 전극이 형성되며, 상기 접합부의 기단부와 선단부는 외부와 접합하는 접합 영역이 되고, 상기 접합 영역에는 각각 외부와 접합하는 범프가 형성되고, 상기 접합부의 기단부의 접합 영역에 형성된 상기 범프는 상기 접합부의 선단부의 접합 영역에 형성된 상기 범프보다 작아도 좋다.
이 경우, 상기 접합부의 기단부의 접합 영역에 형성된 상기 범프는 상기 접합부의 선단부의 접합 영역에 형성된 상기 범프보다 작으므로, 상기 진동부와의 거리가 먼 상기 접합부의 선단부의 접합 영역에 있어서 상기 압전 진동편의 외부로의 접합 강도를 높이면서, 상기 진동부와의 거리가 가까운 상기 접합부의 기단부의 접합 영역에서는 상기 진동부로부터의 진동이 전달되는 것을 저감시킬 수 있게 된다. 그 결과, 상기 진동부로부터의 진동의 영향을 억제하면서 상기 압전 진동편의 외부로의 접합 강도를 높일 수 있게 된다.
상기 구성에 있어서 상기 기부는 평면으로 볼 때 좌우 대칭 형상이 되고, 상기 기부의 타단부는 상기 일단면측으로부터 상기 타단면측에 걸쳐서 폭이 좁아지도록 형성되어도 좋다.
이 경우, 상기 기부는 평면으로 볼 때 좌우 대칭 형상이 되고, 상기 기부의 타단부는 상기 일단면측으로부터 상기 타단면측에 걸쳐서 폭이 좁아지도록 형성되므로, 상기 진동부의 진동에 의해 발생된 누설 진동을 상기 타단부에 의해 감쇠시킬 수 있게 되고, 상기 접합부로 누설 진동이 전달되는 것을 억제할 수 있게 되고, 음향 누설(진동 누설)을 더욱 저감하는데에 바람직하다.
상기 구성에 있어서 상기 접합 영역에 도금 범프가 형성되어도 좋다.
이 경우, 상기 접합 영역에 상기 도금 범프가 형성되므로, 상기 도금 범프를 상기 음차형 압전 진동편에 형성할 때의 위치 결정 정밀도를 높여서 상기 음차형 압전 진동편의 접합부가 작아진 경우이여도 상기 음차형 압전 진동편의 적절한 위치로 접합 부재로서 상기 도금 범프를 형성할 수 있게 된다. 또한, 상기 도금 범프의 형성을 상기 음차형 압전 진동편의 다른 금속 재료(예컨대 여진 전극 등)의 형성과 일괄해서 행할 수 있게 된다.
상기 구성에 있어서 상기 진동부의 적어도 한쪽의 주면에 홈이 형성되어도 좋다.
이 경우, 상기 진동부의 적어도 한쪽의 주면에 홈이 형성되므로, 상기 음차형 압전 진동편의 소형화에 의해 열화되는 직렬 공진 저항값을 개선할 수 있게 된다.
상기의 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 음차형 압전 진동 디바이스는 상기한 본 발명에 따른 음차형 압전 진동편과, 상기 음차형 압전 진동편을 탑재하는 제 1 밀봉 부재와, 상기 제 1 밀봉 부재에 탑재한 상기 음차형 압전 진동편을 본체 케이싱 내에 기밀하게 밀봉하기 위한 제 2 밀봉 부재가 설치된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 음향 누설을 방지함과 아울러 응력이나 외력에 강하고, 음차형 압전 진동편이 깨지는 등의 문제점이 발생되는 것을 방지할 수 있게 되고, 또한 소형화에 적합하다. 구체적으로, 본 발명에 의하면, 상기 본 발명에 의한 음차형 압전 진동편이 설치되므로, 상기 본 발명에 의한 음차형 압전 진동편과 같은 작용 효과를 갖는다.
상기 구성에 있어서 상기 제 1 밀봉 부재에는 상기 음차형 압전 진동편을 탑재하는 단차부가 형성되고, 상기 단차부의 끝 가장자리와 상기 접합부의 기단부는 평면으로 볼 때 겹쳐도 좋다.
이 경우, 상기 단차부의 끝 가장자리와 상기 접합부의 기단부는 평면으로 볼 때 겹치므로, 외력(예컨대, 상기 음차형 압전 진동 디바이스의 낙하에 의해 발생되는 상기 음차형 압전 진동 디바이스로의 외력)이 상기 음차형 압전 진동 디바이스에 가해졌더라도 상기 음차형 압전 진동편(특히, 상기 진동부와 상기 기부)이 상기 제 1 밀봉 부재에 접촉되는 것을 억제할 수 있게 된다. 그 때문에, 외력이 상기 음차형 압전 진동편에 가해졌더라도 주파수 변동이나 주파수의 시프트를 억제할 수 있게 되고, 내충격성 등의 내구성을 향상시킬 수 있게 된다.
<발명의 효과>
본 발명에 따른 음차형 압전 진동편, 및 음차형 압전 진동 디바이스에 의하면, 음향 누설을 방지함과 아울러 응력이나 외력에 강하고, 음차형 압전 진동편이 깨지는 등의 문제점이 발생되는 것을 방지할 수 있게 된다.
도 1은 본 실시예에 의한 수정 진동자의 내부를 공개한 개략 평면도이다.
도 2는 본 실시예에 의한 수정 진동편의 한쪽 주면의 개략 평면도이다.
도 3은 본 실시예에 의한 수정 진동편의 다른쪽 주면의 개략 평면도이다.
도 4는 본 실시예에 의한 수정 진동자의 낙하 테스트의 결과를 나타낸 그래프도이다.
도 5는 본 실시예의 비교예에 의한 수정 진동편의 한쪽 주면의 개략 평면도이다.
도 6은 본 실시예의 비교예에 의한 수정 진동편의 다른쪽 주면의 개략 평면도이다.
도 7은 본 실시예의 비교예에 의한 수정 진동자의 낙하 테스트의 결과를 나타낸 그래프도이다.
도 8은 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동편의 한쪽 주면의 개략 평면도이다.
도 9는 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동편의 한쪽 주면의 개략 평면도이다.
도 10은 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동편의 한쪽 주면의 개략 평면도이다.
도 11은 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동편의 한쪽 주면의 개략 평면도이다.
도 12는 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동편의 다른쪽 주면의 개략 평면도이다.
도 13은 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동자의 내부를 공개한 개략 사시도이다.
도 14는 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동자의 내부를 공개한 개략 사시도이다.
도 15는 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동편의 한쪽 주면의 개략 평면도이다.
도 16은 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동편의 접합부의 확대 개략 평면도이다.
도 17은 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동편의 접합부의 확대 개략 평면도이다.
도 18은 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동편의 접합부의 확대 개략 평면도이다.
도 19는 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동편의 접합부의 확대 개략 평면도이다.
도 20은 도 19에 나타내는 A-A선 단면도이다.
도 21은 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동편의 접합부의 확대 개략 평면도이다.
도 22는 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동편의 접합부의 확대 개략 평면도이다.
도 23은 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동자의 내부를 공개한 개략 평면도이다.
도 24는 본 실시예의 다른 예에 의한 수정 진동자의 개략 분해사시도이다.
도 25는 도 24에 나타내는 수정 진동편의 개략 평면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 실시예에서는 음차형 압전 진동 디바이스로서 음차형 수정 진동자에 본 발명을 적용했을 경우를 나타낸다. 그러나, 이것은 바람직한 예이며, 본 발명은 음차형 수정 진동자에 한정되는 것은 아니고, 압전 재료를 이용한 음차형 압전 진동편을 탑재한 음차형 압전 진동 디바이스이면 된다.
본 실시예에 의한 음차형 수정 진동자(1)(이하, 수정 진동자라고 함)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 포토리소그래피법으로 성형된 음차형 수정 진동편(2)(본 발명으로 말하는 음차형 압전 진동편이며, 이하, 수정 진동편이라고 함)과, 이 수정 진동편(2)을 탑재하는(유지하는) 제 1 밀봉 부재인 베이스(3)와, 베이스(3)에 탑재한(유지한) 수정 진동편(2)을 본체 케이싱 내에 기밀하게 밀봉하기 위한 제 2 밀봉 부재인 덮개(도시 생략)가 설치되어서 구성되어 있다.
이 수정 진동자(1)에서는 베이스(3)와 덮개가 접합되어서 본체 케이싱이 구성되어 있다. 구체적으로, 베이스(3)와 덮개가 밀봉재(도시 생략)를 통해서 접합되고, 이 접합에 의해 본체 케이싱의 내부 공간(11)이 형성되어 있다. 그리고, 이 본체 케이싱의 내부 공간(11) 내의 베이스(3) 상에 도금 범프(24)를 통해서 수정 진동편(2)이 유지 접합되어 있음과 아울러 본체 케이싱의 내부 공간(11)이 기밀하게 밀봉되어 있다. 이 때, 베이스(3)가 수정 진동편(2)이 금속 재료(예컨대 금)로 이루어지는 도금 범프(24)를 이용해서 FCB법에 의해 초음파 접합됨과 아울러 전기기계적으로 접합되어 있다. 또한, 본체 케이싱 내에 있어서 후술하는 전극 패드(341)를 전극 패드(342)에 대해서 크게 형성함으로써 평면으로 볼 때 L자 형상의 접합부(23)를 갖는 수정 진동편(2)의 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)는 내부 공간(11)의 평면으로 볼 때의 중앙 부근에 배치된다.
이어서, 이 수정 진동자(1)의 각 구성에 대해서 설명한다.
베이스(3)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 저부(31)와 이 저부(31)로부터 상방으로 연장되는 둑부(32)로 구성되는 상자 형상체로 형성되어 있다. 또한, 둑부(32)는 2층이 적층되어 이루어지고, 내부 공간(11)에 단차부(35)가 형성된다. 이 베이스(3)는 세라믹 재료로 이루어지는 평면으로 볼 때 직사각형상의 1장의 판 상에 세라믹 재료의 직육면체가 적층되어 오목 형상으로 일체적으로 소성되어 있다. 또한, 둑부(32)는 도 1에 나타내는 저부(31)의 평면으로 볼 때 외주를 따라 성형되어 있다. 이 둑부(32)의 상면에는 덮개와 접합하기 위한 메탈라이즈층(33)이 설치되어 있다. 또한, 메탈라이즈층(33)은, 예컨대, 텅스텐층, 또는 몰리브덴층 상에 니켈, 금의 순서로 도금한 구성으로 이루어진다. 또한, 세라믹 재료가 적층되어 오목 형상으로 일체적으로 소성된 베이스(3)에서는 그 내부 공간(11)에 있어서의 길이 방향의 일단부 및 길이 방향을 따른 단부의 일부에 단차부(35)가 형성되고, 이 단차부(35)에, 도 1에 나타내는 바와 같이, 평면으로 볼 때 면적이 큰 전극 패드(341)와 평면으로 볼 때 면적이 작은 전극 패드(342)가 형성되고, 이들 전극 패드(341,342) 상에 수정 진동편(2)이 탑재 유지되어 있다. 이들 전극 패드(341,342)는 각각에 대응된 터미널 전극(도시 생략)을 통해서 베이스(3)의 이면에 형성되는 단자 전극(도시 생략)에 전기적으로 접속되고, 이들 단자 전극이 외부 부품이나 외부 기기의 외부 전극에 접속된다. 또한, 이들 전극 패드(341,342), 터미널 전극, 단자 전극은 텅스텐, 몰리브덴 등의 메탈라이즈 재료를 인쇄한 후에 베이스(3)와 일체적으로 소성해서 형성된다. 그리고, 이들 전극 패드(341,342), 터미널 전극, 단자 전극 중 일부의 것에 대해서는 메탈라이즈 상부에 니켈 도금이 형성되고, 그 상부에 금 도금이 형성되어 구성된다.
덮개는 예컨대 금속 재료로 이루어지고, 평면으로 볼 때 직사각형상의 1장의 판으로 성형되어 있다. 이 덮개의 하면에는 밀봉재의 일부가 형성되어 있다. 이 덮개는 심 용접이나 빔 용접, 가열 용융 접합 등의 방법에 의해 밀봉재를 통해서 베이스(3)에 접합되어 덮개와 베이스(3)에 의한 수정 진동자(1)의 본체 케이싱이 구성된다.
이어서, 내부 공간(11)에 배치된 수정 진동편(2)의 각 구성에 대해서 설명한다.
수정 진동편(2)은 이방성 재료의 수정편인 수정 소판(도시 생략)으로부터 웨트 에칭 형성된 수정 Z판이다. 그 때문에, 이 수정 진동편(2)은 양산에 적합하다.
이 수정 진동편(2)은, 도 1~도 3에 나타내는 바와 같이, 진동부인 2개의 제 1 다리부(21)(본 발명에서 말하는 다리부) 및 제 2 다리부(22)(본 발명에서 말하는 다리부)와, 외부[본 실시예에서는 베이스(3)의 전극 패드(341,342)]와 접합하는 접합부(23)와, 이들 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)와 접합부(23)를 돌출시켜 형성한 기부(25)로 구성된 외형으로 이루어진다.
기부(25)는 평면으로 볼 때 좌우 대칭 형상이 되고, 도 1에 나타내는 바와 같이, 진동부[제 1 다리부(21), 제 2 다리부(22)]보다 폭이 넓게 형성되어 있다. 또한, 기부(25)의 타단부(254)[타단면(252) 참조] 부근이 일단면(251)으로부터 타단면(252)에 걸쳐서 폭이 좁아지도록 점차 단차 형성되어 있다.
2개의 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 기부(25)의 일단면(251)으로부터 돌출되어 간극부(253)를 통해서 병설되어 있다. 또한, 여기서 말하는 간극부(253)는 일단면(251)의 폭방향의 중앙 위치(중앙 영역)에 형성되어 있다. 이들 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 선단부(211,221)는 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 다른 부위와 비교해서 돌출 방향에 대해서 직교하는 방향으로 폭이 넓게 성형되고, 또한 각각 코너부는 곡면 형성되어 있다. 이와 같이 선단부(211,221)를 폭이 넓게 성형함으로써 선단부(211,221)(선단 영역)를 유효하게 이용할 수 있고, 수정 진동편(2)의 소형화에 유용하며, 저주파수화에도 유용하다. 또한, 각각 선단부(211,221)의 코너부를 곡면 형성함으로써 외력을 받았을 때 등에 둑부(32) 등에 접촉하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 2개의 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 양 주면(26)(표면측 주면, 이면측 주면)에는 수정 진동편(2)의 소형화에 의해 열화되는 직렬 공진 저항값(본 실시예에서는 CI 값, 이하 마찬가지임)을 개선시키기 위해서 홈부(27)가 각각 형성되어 있다. 또한, 수정 진동편(2)의 외형 중 측면(28)은 양 주면(26)에 대해서 경사지게 성형되어 있다. 이것은 수정 진동편(2)을 습식으로 에칭 성형할 때에 기판 재료의 결정 방향(X축, Y축 방향)으로의 에칭 스피드가 다른 것에 기인하고 있다.
접합부(23)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 이하에 기재하는 인출 전극(293,294)을 외부 전극[본 발명에서 말하는 외부이며, 본 실시예에서는 베이스(3)의 전극 패드(341,342)]과 전기기계적으로 접합하기 위한 것이다. 구체적으로, 접합부(23)는 2개의 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)가 돌출된 기부(25)의 일단면(251)과 대향하는 타단면(252)의 기부(25)의 일단면(251)의 폭방향에 있어서의 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 중앙 위치(중앙 영역)로부터 돌출 형성되어 있다. 즉, 2개의 제 1 다리부(21)와 제 2 다리부(22) 사이에 배치된 간극부(253)와 정대향하는 위치에 접합부(23)가 돌출 형성되어 있다. 이와 같이, 2개의 제 1 다리부(21)와 제 2 다리부(22) 사이에 배치된 간극부(253)와 정대향하는 타단면(252)의 위치로부터 접합부(23)가 돌출되므로, 접합부(23)로부터 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)로의 실질적인 거리(직선 거리)가 각각 동일한 거리가 된다.
접합부(23)는 기부(25)의 타단면(252)에 대해서 평면으로 볼 때 수직 방향으로 돌출된 단변부(231)(본 발명에서 말하는 접합부의 기단부에 대응)와, 단변부(231)의 선단부와 연이어져 단변부(231)의 선단부에 있어서 평면으로 볼 때 직각으로 절곡되어 기부(25)의 폭방향으로 연장되는 장변부(232)(본 발명에서 말하는 접합부의 선단부에 대응)로 구성되고, 접합부(23)의 선단부(233)는 기부(25)의 폭방향으로 향하고 있다. 즉, 접합부(23)는 평면으로 볼 때 L자 형상으로 성형되고, 평면으로 볼 때 L자 형상으로 성형된 절곡 개소인 절곡부(234)가 단변부(231)의 선단부에 대응한다. 또한, 본 실시형태에서는 접합부(23)의 돌출 방향인 장변부(232)의 연장 방향이 -X축 방향으로 되어 있다. 그 때문에, 수정 진동편(2)을 습식으로 에칭 성형할 때에 접합부(23)의 측면은 양 주면(26)에 대해서 경사지게 성형되어 있다. 이 접합부(23)의 측면의 경사에 의해 접합부의 강도를 높일 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 접합부(23)의 기단부에 해당되는 단변부(231)의 절곡부(234)는 외부와 접합하는 접합 영역이 되고, 접합부(23)의 선단부(233)에 해당되는 장변부(232)의 선단부는 외부와 접합하는 접합 영역이 되는다. 그리고, 접합부(23)의 기단부인 단변부(231)에는 이하에 기재하는 제 1 여진 전극(291)(본 발명에서 말하는 하나의 여진 전극)으로부터 인출된 인출 전극(293)이 형성되고, 접합부의 선단부인 장변부(232)에 이하에 기재하는 제 2 여진 전극(292)(본 발명에서 말하는 다른 하나의 여진 전극)으로부터 인출된 인출 전극(294)이 형성되어 있다.
구체적으로, 접합부의 한쪽 주면(26)(도 1에서는 이면측 주면)에는 베이스(3)와의 접합 부위가 되는 2개의 도금 범프(24)가 형성된다. 구체적으로, 첫번째의 도금 범프(24)는 접합부(23)의 절곡부(234)에 형성되고, 두번째의 도금 범프(25)는 접합부(23)의 선단부(233)에 형성되어 있다.
또한, 접합부(23)로의 도금 범프(24)의 형성에 관해서 접합부(23)에 도금 범프(24)를 전해 도금법 등의 방법에 의해 도금 형성하고, 도금 형성한 도금 범프를 포토리소그래피법에 의해 메탈 에칭해서 원하는 형상(평면으로 볼 때 원형이나 평면으로 볼 때 타원형 등의 원형이나, 평면으로 볼 때 직사각형이나 평면으로 볼 때 정사각형 등의 다각형)으로 형성해서 어닐 처리를 실시한다. 구체적으로, 접합부(23)의 절곡부(234)와 선단부(233)에 대해서 각각 1점의 도금 범프(24)를 형성하고, 그 후에 이들 도금 범프(24)에 어닐 처리를 실시한다.
이와 같이, 범프에 도금 범프(24)를 이용함으로써 안정되게 베이스(3) 상에 수정 진동편(2)을 도금 범프(24)를 통해서 전기기계적으로 접합할 수 있다. 구체적으로, 범프에 도금 범프(24)를 이용함으로써 수정 진동편(2)을 외부[베이스(3)]에 탑재하기 전에 수정 진동편(2)에 도금 범프(24)를 형성할 수 있다. 그 결과, 항상 수정 진동편(2)의 원하는 형성 위치에 도금 범프(24)를 형성하고 있으므로, 예컨대, 수정 진동편(2)의 외부[베이스(3)]로의 탑재 위치가 원하는 위치로부터 어긋난 경우이여도 수정 진동편(2)이 외부[베이스(3)]에 범프가 어긋난 상태로 탑재되는 것을 방지할 수 있고, 안정된 베이스(3)로의 수정 진동편(2)의 탑재를 행할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의한 수정 진동편(2)에는 이전위(異電位)로 구성된 2개의 제 1 여진 전극(291) 및 제 2 여진 전극(292)과, 이들 제 1 여진 전극(291) 및 제 2 여진 전극(292)을 전극 패드(341,342)에 전기적으로 접속시키기 위해서 이들 제 1 여진 전극(291) 및 제 2 여진 전극(292)으로부터 인출된 인출 전극(293,294)이 설치되어 있다. 또한, 본 실시예에서 말하는 인출 전극(293,294)은 2개의 이들 제 1 여진 전극(291) 및 제 2 여진 전극(292)으로부터 인출된 전극 패턴을 말한다.
또한, 2개의 제 1 여진 전극(291) 및 제 2 여진 전극(292)의 일부는 홈부(27)의 내부에 형성되어 있다. 이 때문에, 수정 진동편(2)을 소형화해도 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 진동 손실이 억제되고 CI 값을 낮게 억제할 수 있다.
제 1 여진 전극(291)은 제 1 다리부(21)의 양 주면(26)(표면측 주면, 이면측 주면)과 제 2 다리부(22)의 양측면(28)에 형성되어 있다. 마찬가지로, 제 2 여진 전극(292)은 제 2 다리부(22)의 양 주면(26)(표면측 주면, 이면측 주면)과 제 1 다리부(21)의 양측면(28)에 형성되어 있다.
상기 수정 진동편(2)의 제 1 여진 전극(291) 및 제 2 여진 전극(292)이나 인출 전극(293,294)은 금속 증착에 의해 각 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22) 상에 크롬층이 형성되고, 이 크롬층 상에 금속이 형성되어 구성되는 박막이다. 이 박막은 진공 증착법 등의 방법에 의해 기판 전체면에 형성된 후, 포토리소그래피법에 의해 메탈 에칭해서 원하는 형상으로 형성된다. 또한, 제 1 여진 전극(291), 제 2 여진 전극(292) 및 인출 전극(293,294)이 크롬, 금의 순서로 형성되어 있지만, 예컨대, 크롬, 은의 순서나, 크롬, 금, 크롬의 순서나, 크롬, 은, 크롬의 순서 등이여도 좋다.
또한, 각 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 선단부(211,221)에는 주파수 조정용 추로서의 금속막(295)이 각각 형성되어 있다. 구체적으로, 금속막(295)과 제 1 여진 전극(291)과 인출 전극(293)이 일체로 형성되고, 금속막(295)과 제 2 여진 전극(292)과 인출 전극(294)이 일체로 형성되어 있다.
상기한 바와 같이, 본 실시예에 의한 수정 진동자(1)에 설치한 수정 진동편(2)에 의하면, 음향 누설을 방지함과 아울러 응력이나 외력에 강하고, 수정 진동편(2)이 깨지는 등의 문제점이 발생되는 것을 방지할 수 있고, 또한 소형화에 적합하다.
구체적으로, 본 실시예에 의하면, 2개의 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)와, 접합부(23)와, 기부(25)로 구성되고, 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)는 기부(25)의 일단면(251)으로부터 돌출되고, 또한, 일단면(251)에 병설되며, 접합부(23)는 기부(25)의 일단면(251)과 대향하는 타단면(252)으로부터 돌출되고, 접합부(23)는 타단면(252)으로서, 기부(25)의 일단면(251)의 폭방향에 있어서의 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 중간 위치에 대향하는 위치로부터 돌출되고, 적어도 접합부(23)의 기단부인 단변부(231)가 외부[본 실시예에서는 전극 패드(341,342)]와 접합하는 접합 영역으로 되므로, 기부(25) 부근의 접합부(23)의 기단부를 전극 패드(341,342)와의 접합 영역으로서 응력이나 외력에 강한 구성으로 할 수 있다.
또한, 기부(25)의 일단면(251)의 폭방향에 있어서의 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 중간 위치에 대향하는 위치로부터 접합부(23)가 돌출되므로 음향 누설을 방지할 수 있다. 예컨대 상기 수정 진동편(2)을 전극 패드(341,342)에 탑재하는 등 상기 수정 진동편(2)을 다른 부재에 접합하거나 상기 수정 진동편(2)에 외력이 가해짐으로써 발진 주파수의 어긋남 등이 발생되는 경우가 있지만, 본 실시예에 의하면, 이러한 것은 생기지 않는다.
또한, 본 실시예에 의하면, 음향 누설에 대한 악영향을 저감시킬 뿐만 아니라 접합부(23)의 폭을 굵게 설정할 수도 있고, 이 경우, 외력[예컨대, 수정 진동편(2)의 낙하에 의해 발생되는 수정 진동편(2)으로의 외력]이 수정 진동편(2)에 가해졌더라도 접합부(23)에 있어서 물리적 및 전기적인 파단이 발생되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 본 실시예에 의하면, 예컨대 내충격성 등의 내구성을 향상시킬 수 있다.
또한, 특히, 접합부(23)의 기단부인 단변부(231) 및 선단부인 장변부(232)는 전극 패드(341,342)와 접합하는 접합 영역이 되고, 접합부(23)의 단변부(231)에 제 1 여진 전극(291)이 형성되고, 접합부(23)의 장변부(232)에 제 2 여진 전극(292)이 형성되므로, 전극 패드(341,342)와 접합하는 접합 영역에 있어서의 단락을 방지할 수 있고, 또한, 접합부(23)의 단변부(231) 및 장변부(232)에 있어서 접합 영역을 설정함으로써 음향 누설을 방지함과 아울러 응력이나 외력에 강한 구성으로 할 수 있다.
또한, 접합부(23)는 평면으로 볼 때 L자 형상으로 형성되므로, 수정 진동편(2)의 전체 길이나 평면으로 볼 때의 폭의 치수를 작게 해서 수정 진동편(2)의 본체 케이싱의 소형화에 기여한다. 또한, 수정 진동편(2)을 1장의 웨이퍼로 다수개 형성할 경우, 1장의 웨이퍼로부터의 수정 진동편(2)의 생산 개수를 늘릴 수 있다. 또한, 외부로부터의 충격 등의 외력이 가해졌을 때에 두께 방향으로의 휨을 억제해서 수정 진동편(2)을 외부 부재[베이스(3)와 덮개로 구성되는 수정 진동자(1)]에 탑재했을 때에 외부 부재에 접촉되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)가 외부 부재에 접촉되어 깎여지거나 하는 것을 방지하고, 발진 주파수가 변화되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 진동에 의해 발생된 누설 진동을 평면으로 볼 때 L자 형상으로 형성된 절곡 부위[본 실시예에서는 절곡부(234)]에서 머무르게 해서 접합부(23)의 선단부(233)에 전달되기 어렵게 하고, 음향 누설을 더욱 저감시킬 수 있다.
또한, 접합부(23)에 있어서의 외부와 접합하는 접합 영역은 절곡부(234)와 선단부(233)에 형성되므로, 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 진동에 의해 발생된 누설 진동을 절곡부(234)에서 머무르게 해서 선단부(233)에 전달되는 것을 억제할 수 있고, 그 결과, 음향 누설을 보다 한층 저감시킬 수 있다.
또한, 기부(25)는 평면으로 볼 때 좌우 대칭 형상이 되고, 기부(25)의 타단부(254)는 기부(25)의 전체 길이 방향을 따라 일단면(251)측으로부터 타단면(252)측에 걸쳐서 폭이 좁아지도록 형성되므로, 진동부인 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 진동에 의해 발생된 누설 진동을 타단면(252)에 의해 감쇠시킬 수 있고, 접합부(23)로 누설 진동이 전달되는 것을 억제할 수 있고, 음향 누설(진동 누설)을 더욱 저감하는데에 바람직하다.
또한, 접합 영역이 된 접합부(23)의 기단부인 단변부(231) 및 선단부인 장변부(232)에 도금 범프(24)가 형성되므로, 도금 범프(24)를 수정 진동편(2)에 형성할 때의 위치 결정 정밀도를 높여서 수정 진동편(2)의 접합부(23)가 작아진 경우이여도 수정 진동편(2)의 적절한 위치에 접합 부재로서 도금 범프(24)를 형성할 수 있다. 또한, 도금 범프(24)의 형성을 수정 진동편(2)의 다른 금속 재료[예컨대 제 1 여진 전극(291), 제 2 여진 전극(292), 인출 전극(293,294) 등]의 형성과 일괄해서 행할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 도금 범프(24)를 이용해서 수정 진동편(2)을 베이스(3)에 범프 접합하고 있으므로, 접합시에 발생되는 아웃 가스의 영향이 없고, 수정 진동자(1)의 케이싱의 내부 공간(11)에 있어서의 내압이 상승하는 것을 억제할 수 있다.
이어서, 본 실시예에 의한 수정 진동편(2)을 탑재한 수정 진동자(1)의 낙하 테스트를 행했다. 그 결과를 도 4에 나타낸다. 구체적으로, 10회의 사이클로 6개의 수정 진동자(1)에 대해서 낙하 테스트를 행했다.
또한, 본 실시예의 낙하 테스트의 비교로서, 상기 종래기술과 동일한 구성으로 이루어지는 수정 진동편을 탑재한 수정 진동자(이하, 비교예라고 함)를 이용했다. 이 비교예에 의한 수정 진동편(9)은 본 실시예의 구성과 비교해서, 도 5, 도 6에 나타내는 바와 같이, 제 1 다리부와 제 2 다리부의 선단부의 형상과 접합부의 형상이 본 실시예와 다르다. 구체적으로, 비교예에 의한 수정 진동편(9)에서는, 접합부(94)는 기부(93)의 2개의 제 1 다리부(91) 및 제 2 다리부(92)를 형성한 일단면(931)과 대향하는 타단면(932)으로부터 돌출 형성되고, 기부(93)의 타단면(932)으로부터 양측면(933)을 따라 T자 형상으로 두 갈래로 나누어져 연장되어 성형되고, 각각 선단부(941,942)가 기부(93)의 일단면(931)으로부터 돌출 형성된 2개의 제 1 다리부(91) 및 제 2 다리부(92)와 동일한 방향으로 향하도록 굴절 형성되어 있다. 또한, 도 5, 도 6의 부호 95는 도금 범프를 나타낸다.
그리고, 이 비교예에 대해서도 본 실시예와 같은 조건으로 10회의 사이클로 6개의 수정 진동자의 낙하 테스트를 행했다. 그 결과를 도 7에 나타낸다.
도 4에 나타내는 본 실시예에 의한 수정 진동자(1)의 낙하 테스트와 도 7에 나타내는 비교예에 의한 수정 진동자의 낙하 테스트를 비교하면 명확해지는 바와 같이, 본 실시예와 비교예의 외력(낙하에 의한 충격)에 의해 발진 주파수의 변동량에 차가 발생된다. 도 4에 나타내는 본 실시예에서는 대략 발진 주파수의 변동이 없다. 즉, 발진 주파수의 어긋남이 발생되지 않는다. 이것에 대해서, 도 7에 나타내는 비교예에서는 발진 주파수의 변동이 보여진다.
상기한 바와 같이, 본 실시예에 의하면, 비교예에서 나타내는 종래기술과 비교해서 음향 누설을 방지함과 아울러 응력이나 외력에 강한 구성인 것은 명확하다.
또한, 본 실시예에서는, 접합부(23)는 평면으로 볼 때 L자 형상으로 성형되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 접합부(23)의 단변부(231)에서 베이스(3)에 수정 진동편(2)이 접합되어 있으면, 도 8에 나타내는 바와 같은 대략 평면으로 볼 때 L자 형상으로 접합부(23)가 성형되어도 좋다. 또한, 도 9에 나타내는 바와 같은 평면으로 볼 때 T자 형상으로 접합부(23)가 성형되어도 좋다.
또한, 본 실시예에서는 접합부(23)의 기단부에 해당되는 단변부(231)의 절곡부(234)와, 접합부(23)의 선단부(233)에 해당되는 장변부(232)의 선단부는 외부와 접합하는 접합 영역이 되고, 이들 단변부(231)의 절곡부(234)와 장변부(232)의 선단부에 있어서 각각 1점의 도금 범프(24)가 각각 형성되어 있다. 그러나, 도금 범프(24)의 개수는 본 실시예에 한정되는 것은 아니고, 단변부(231)의 절곡부(234)와 장변부(232)의 선단부의 적어도 한쪽에 있어서 복수점의 도금 범프(24)가 형성되어도 좋고, 도 10에 나타내는 바와 같이, 단변부(231)의 절곡부(234)와 장변부(232)의 선단부 각각에 있어서 각 4점의 도금 범프(24)가 형성되어도 좋다.
또한, 본 실시예에서는, 접합부(23)는 평면으로 볼 때 L자 형상으로 성형되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 도 11, 도 12에 나타내는 바와 같이, 본 실시예에서 말하는 단변부(231)만으로 접합부(23)가 구성되어도 좋다. 도 11은 수정 진동편(2)의 한쪽 주면(26)의 개략 평면도이고, 도 12는 수정 진동편(2)의 다른쪽 주면(26)의 개략 평면도이다. 이 도 11, 도 12에 나타내는 실시예에서는 접합부(23)의 기단부인 단변부(231)의 양 주면(26)이 외부[본 실시예에서는 전극 패드(341,342)]와 접합하는 접합 영역으로 되어 있다. 또한, 도 11, 도 12에 나타내는 바와 같이, 수정 진동편(28)의 한쪽 주면(26)의 접합부(23)의 단변부(231)에는 제 1 여진 전극(291)으로부터 인출된 인출 전극(293)이 형성되고, 수정 진동편(28)의 다른쪽 주면(26)의 접합부(23)의 단변부(231)에는 제 2 여진 전극(292)으로부터 인출된 인출 전극(294)이 형성되어 있다.
이 도 11, 도 12에 나타내는 수정 진동편(2)은 도 13에 나타내는 바와 같이 베이스(2)에 탑재된다. 이 도 13에 나타내는 실시예에서는 도 12에 나타내는 수정 진동편(2)의 다른쪽 주면(26)이 베이스(3)와 대면하도록 배치되고, 수정 진동편(2)의 다른쪽 주면(26)의 접합부(23)에 형성된 도금 범프(24)를 이용해서 FCB법에 의해 수정 진동편(2)이 베이스(3)에 초음파 접합됨과 아울러 전기기계적으로 접합되어 있다. 또한, 도 11에 나타내는 수정 진동편(2)의 한쪽 주면(26)의 접합부(23)에 와이어(W)에 의해 수정 진동편(2)이 베이스(3)에 와이어본딩됨과 아울러 전기기계적으로 접합되어 있다.
이 도 11, 도 12에 나타내는 수정 진동편(2)에 의하면, 접합부(23)의 기단부인 단변부(231)의 양 주면(26)은 외부와 접합하는 접합 영역으로 되므로, 음향 누설을 저감시키면서 수정 진동편(2)의 전체 길이나 평면으로 볼 때의 폭의 치수가 커지는 것을 방지할 수 있어 수정 진동편(2)의 본체 케이싱의 소형화에 기여한다. 그 결과, 수정 진동편(2)을 1장의 웨이퍼로 다수개 형성할 경우, 1장의 웨이퍼로부터의 수정 진동편(2)의 생산 개수를 늘릴 수 있다.
또한, 이 도 11, 도 12에 나타내는 수정 진동편(2)에 의하면, 도 14에 나타내는 바와 같이, 판형상체의 플레이트(P)와 베이스(3) 사이에 끼워서 베이스(3) 상에 수정 진동편(2)을 접합 탑재해도 좋다. 이 경우, 도 12에 나타내는 수정 진동편(2)의 다른쪽 주면(26)이 베이스(3)와 대면하도록 배치되고, 수정 진동편(2)의 다른쪽 주면(26)의 접합부(23)에 형성된 도금 범프(24)를 이용해서 FCB법에 의해 수정 진동편(2)이 베이스(3)에 초음파 접합됨과 아울러 전기기계적으로 접합되어 있다. 또한, 도 11에 나타내는 수정 진동편(2)의 한쪽 주면(26)의 접합부(23)에 형성된 도금 범프(24)를 이용해서 FCB법에 의해 수정 진동편(2)이 플레이트(P)에 초음파 접합되고, 플레이트(P)에 형성된 도시하지 않은 도통부에 의해 접합부(23)가 베이스(3)에 전기적으로 접합되어 있다.
또한, 상기 도 11, 도 12에 나타내는 수정 진동편(2)에서는 접합부(23)의 기단부인 단변부(231)의 양 주면(26)을 외부와 접합하는 접합 영역으로 하고 있지만, 도 15에 나타내는 바와 같이, 접합부(23)의 기단부인 단변부(231)의 한쪽의 주면(26)에 있어서 2개의 도금 범프(24)를 나열해서 형성해도 좋다.
또한, 본 실시예에서는 압전 재료로서 수정을 이용하고 있지만, 이것은 바람직한 예이며 이것에 한정되는 것은 아니고, 수정 이외의 압전 재료, 예컨대, 탄탈산리튬이나 니오브산리튬 등이여도 좋다.
또한, 본 실시예에서 말하는 베이스(3)에는 세라믹 재료가 이용되고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 수정이나 유리 등이여도 좋다.
또한, 본 실시예에서 말하는 홈부(27)는 도 1에 나타내는 바와 같은 단면 오목 형상으로 되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 오목부이여도 좋다.
또한, 본 실시예에서는 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)에 홈부(27)를 형성하고 있지만, 이것은 바람직한 예이며, 이 경우, 진동부인 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)에 홈부(27)의 적어도 한쪽의 주면(26)에 홈부(27)가 형성되므로, 수정 진동편(2)의 소형화에 의해 열화되는 직렬 공진 저항값(본 실시예에서는 CI 값)을 개선할 수 있다. 그러나, CI 값의 개선을 도모할 필요가 없을 경우, 예컨대, 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)에 홈부가 형성되어 있지 않은 수정 진동편(2)에도 본 발명을 적용할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 각각 양 주면(26)에 홈부(27)를 형성하고 있지만, 이것은 바람직한 예이며, 이것에 한정되는 것은 아니고, 어느 한쪽의 주면(26)에 홈부(27)가 형성되어도 홈부(27)를 형성함으로써 발생되는 효과는 갖는다.
또한, 본 실시예에서는 범프로서 도금 범프(24)를 이용하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 스터드 범프를 이용해도 좋다.
또한, 본 실시예에서는 진동부로서 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)를 이용하고 있지만, 그 개수는 2개에 한정되는 것은 아니다.
또한, 본 실시예에서는 베이스(3)와 덮개로 본체 케이싱을 구성하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 본 발명에서 말하는 제 1 밀봉 부재와 제 2 밀봉 부재에 대응하는 부재에 의해 수정 진동편(2)의 제 1 여진 전극(291), 제 2 여진 전극(292)을 밀봉할 수 있으면 2개의 베이스(2)에 의해 본체 케이싱을 구성해도 좋고, 그 형태는 상관 없다.
또한, 본 실시예에 의한 접합부(23)에서는 기부(25)의 타단면(252)에 대해서 평면으로 볼 때 수직 방향으로 돌출된 단변부(231)와, 단변부(231)의 선단부와 연이어져 단변부(231)의 선단부에 있어서 평면으로 볼 때 직각으로 절곡되어 기부(25)의 폭방향으로 연장되는 장변부(232)로 구성되고, 절곡부(234)에 있어서의 절곡 내측의 측면(235)이 직각으로 형성되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 도 16~도 18에 나타내는 바와 같이, 절곡부(234)에 있어서의 절곡 내측의 측면(235)이 다른 형태로 형성되어도 좋다.
또한, 상기한 바와 같이 본 실시형태에서는 접합부(23)의 돌출 방향인 장변부(232)의 연장 방향이 -X축 방향으로 되어 있다. 그 때문에, 습식으로 수정 진동편(2)을 에칭 성형했을 때에 형성되는 경사면을 이들 도 16~18에 나타내는 절곡부(234)에 있어서의 절곡 내측의 측면(235), 또는 측면(235)의 일부로서 이용해도 좋다.
도 16에 나타내는 절곡부(234)에 있어서의 절곡 내측의 측면(235)은 곡면(R면)으로 형성되어 있다. 이 경우, 절곡부(234)에 있어서의 절곡 내측의 측면(235)이 곡면으로 형성되므로, 절곡 내측의 측면(235)에 있어서 절곡부(234)가 기점이 되어 크랙이 발생되는 것을 억제할 수 있고, 그 결과, 인출 전극(294)의 단락을 방지할 수 있다. 또한, 이 경우, 절곡부(234)의 강도를 높일 수 있고, 그 결과, 주파수 변동이나 주파수의 시프트를 억제할 수 있다.
또한, 도 17에 나타내는 절곡부(234)에 있어서의 절곡 내측의 측면(235)은 모따기 형성되어 다각의 절곡면으로 형성되어 있다. 이 경우, 절곡부(234)에 있어서의 절곡 내측의 측면(235)이 모따기 형성되어 다각의 절곡면으로 형성되므로, 절곡 내측의 측면(235)에 있어서 절곡부(234)가 기점이 되어 크랙이 발생되는 것을 억제할 수 있고, 그 결과, 인출 전극(294)의 단락을 방지할 수 있다. 또한, 이 경우, 절곡부(234)의 강도를 높일 수 있고, 그 결과, 주파수 변동이나 주파수의 시프트를 억제할 수 있다.
상기 도 17에 나타내는 형태의 수정 진동자(1), 및 외부 기판(도시 생략)에 실장한 상태의 수정 진동자(1)의 낙하 테스트를 행했다. 구체적으로, 20개의 수정 진동자(1) 단품을 자유 낙하시키는 낙하 테스트와, 외부 기판에 실장한 상태의 수정 진동자(1)에 대해서 150㎝와 180㎝의 높이로부터 6방향 낙하시키는 공정(외부 기판의 각 면(6면)에 대해서 각 면을 수직 아래로 향한 상태에서 합계 6회 낙하시키는 공정]을 1회로 한 실장 낙하 테스트를 행했다. 그 결과를 표 1에 나타낸다.
Figure 112011019931559-pct00001
또한, 본 실시예의 낙하 테스트의 비교로서, 절곡부에 있어서의 절곡 내측의 측면이 직각으로 형성된 형태의 수정 진동자 단품, 및 외부 기판에 실장한 상태의 수정 진동자의 낙하 테스트를 행했다. 구체적으로, 16개의 수정 진동자 단품을 자유 낙하시키는 낙하 테스트와, 외부 기판에 실장한 상태의 수정 진동자를 150㎝의 높이로부터 6방향 낙하시키는 공정을 1회로 한 실장 낙하 테스트를 행했다. 그 결과를 표 2에 나타낸다. 또한, 비교예에서는 상기 절곡 내측의 측면의 점에서 도 17에 나타내는 형태의 수정 진동편과 다를 뿐이고, 다른 구성은 동일 구성이다.
Figure 112011019931559-pct00002
표 1, 표 2에 나타내는 낙하 테스트의 결과로부터, 도 17에 나타내는 형태(표 1 참조)의 수정 진동자(1) 단품, 및 외부 기판에 실장한 상태의 수정 진동자(1)에서는 1개도 파손이 없고, 내충격성에 견딜 수 있는 것이며, 이것에 대해서, 비교예(표 2 참조)의 수정 진동자 단품, 및 외부 기판에 실장한 상태의 수정 진동자에서는 수정 진동자 단품의 낙하 테스트에서 수정 진동자에 2개 파손이 있고, 외부 기판에 실장한 상태의 수정 진동자의 실장 낙하 테스트에서 수정 진동자에 1개 파손이 있었다. 즉, 비교예에서는 합계 3개의 수정 진동자에 파손이 있었다.
이어서, 도 18에 나타내는 절곡부(234)에 있어서의 절곡 내측의 측면(235)은 다각의 절곡면으로 형성되어 있다. 이 경우, 절곡부(234)에 있어서의 절곡 내측의 측면(235)이 다각의 절곡면으로 형성되므로, 절곡 내측의 측면(235)에 있어서 절곡부(234)가 기점이 되어 크랙이 발생되는 것을 억제할 수 있고, 그 결과, 인출 전극(294)의 단락을 방지할 수 있다. 또한, 이 경우, 절곡부(234)의 강도를 높일 수 있고, 그 결과, 주파수 변동이나 주파수의 시프트를 억제할 수 있다.
또한, 상기 본 실시예에서는, 예컨대 도 1~도 3에 나타내는 바와 같이, 접합부(23)의 접합 영역에 형성되는 2개의 도금 범프(24)의 형상은 동일한 형상으로 되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예컨대, 도 19, 도 20에 나타내는 접합부(23)의 기단부인 단변부(231)의 접합 영역에 형성된 도금 범프(24)는 접합부(23)의 선단부인 장변부(232)의 접합 영역에 형성된 도금 범프(24)보다 작아도 좋다.
도 19, 도 20에 나타내는 다른 실시예에서는, 접합부(23)의 기단부인 단변부(231)의 접합 영역에 형성된 도금 범프(24)는 지름이 작은 원기둥 형상으로 형성되어 있다. 또한, 접합부(23)의 선단부인 장변부(233)의 접합 영역에 형성된 도금 범프(24)는 선단부의 표면이 구상체가 되고, 기단부가 지름이 큰 원기둥 형상으로 형성되어 구성된다.
이 도 19, 도 20에 나타내는 다른 실시예에 의하면, 진동부인 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 거리가 먼 접합부(23)의 선단부인 장변부(232)의 접합 영역에 있어서 수정 진동편(2)의 외부로의 접합 강도를 높이면서, 진동부인 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)의 거리가 가까운 접합부(23)의 기단부인 단변부(231)의 접합 영역에서는 진동부인 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)로부터의 진동이 전달되는 것을 저감시킬 수 있다. 그 결과, 진동부인 제 1 다리부(21) 및 제 2 다리부(22)로부터의 진동의 영향을 억제하면서 수정 진동편(2)의 외부로의 접합 강도를 높일 수 있다.
또한, 도 19, 도 20에 나타내는 바와 같은 도금 범프(24)는 상기 모든 실시예에 적용 가능하고, 예컨대, 도 9에 나타내는 수정 진동편(2)에 적용했을 경우, 도 21에 나타내는 형태가 되고, 도 15에 나타내는 수정 진동편(2)에 적용했을 경우, 도 22에 나타내는 형태가 된다.
또한, 본 실시예에서는 도 1에 나타내는 베이스(3)를 이용하고 있지만, 베이스(3)의 형태는 이것에 한정되는 것은 아니고, 도 23에 나타내는 바와 같은 형태의 베이스이여도 좋다.
도 23에 나타내는 베이스(3)는 도 1에 나타내는 베이스(3)와 비교해서 단차부(35)의 형상이 다를 뿐이고, 다른 구성은 동일하다. 구체적으로, 도 23에 나타내는 베이스(3)에서는 그 내부 공간(11)에 있어서의 길이 방향의 일단부 및 길이 방향을 따른 단부 전체에 단차부(35)가 형성되어 있다. 또한, 내부 공간(11)에 있어서의 길이 방향의 일단부에 형성된 단차부(35)의 폭은 도 1에 나타내는 베이스(3)와 비교해서 짧게 설정되어 있다. 그 때문에, 베이스(3)에 수정 진동편(2)을 탑재하면, 도 23에 나타내는 바와 같이, 단차부(35)의 끝 가장자리(36)와 접합부(23)의 기단부인 단변부(231)가 평면으로 볼 때 겹친다.
이 경우, 단차부(35)의 끝 가장자리(36)와 접합부(23)의 기단부인 단변부(231)가 평면으로 볼 때 겹치므로, 외력[예컨대, 수정 진동자(1)의 낙하에 의해 발생되는 수정 진동자(1)로의 외력]이 수정 진동자(1)에 가해졌더라도 수정 진동편(2)[특히, 제 1 다리부(21), 제 2 다리부(22), 기부(25)]이 베이스(3)의 단차부(35)의 끝 가장자리(36)에 접촉되는 것을 억제할 수 있다. 그 때문에, 외력이 수정 진동편(2)에 가해졌더라도 주파수 변동이나 주파수의 시프트를 억제할 수 있고, 내충격성 등의 내구성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 본 실시예에서는 수정 진동편(2) 자체를, 베이스(3)와 덮개에 의해 수정 진동자(1)의 본체 케이싱을 구성하고, 베이스(3)와 덮개에 의해 기밀 밀봉하고 있지만, 수정 진동편은 이것에 한정되는 것은 아니고, 수정 진동편(2)도 수정 진동자(1)의 본체 케이싱의 일부이여도 좋다. 구체적으로, 도 24, 도 25에 수정 진동편(2)을 본체 케이싱의 일부로 한 형태를 나타낸다. 또한, 도 24, 도 25에 나타내는 수정 진동자(1)에서는 덮개의 구성과 수정 진동편(2)의 구성이 다를 뿐이고, 다른 구성은 동일한 구성으로 되어 있다. 그 때문에, 도 24, 도 25에 나타내는 수정 진동자(1)에서는 도 1에 나타내는 수정 진동자(1)와는 다른 구성에 대해서만 설명한다. 또한, 동일 구성에 의한 작용 효과 및 변형예는 상기 실시예와 같은 작용 효과 및 변형예를 갖는다.
덮개(4)는, 도 24에 나타내는 바와 같이, 상부(41)와 이 상부(41)로부터 하방으로 연장된 벽부(42)로 구성되는 상자 형상체로 형성되어 있다. 벽부(42)는 도 24에 나타내는 상부(41)의 평면으로 볼 때 외주를 따라 성형되어 있다. 이 덮개(4)는 세라믹 재료로 이루어지는 평면으로 볼 때 직사각형상의 1장의 판 상에 세라믹 재료의 직육면체가 적층되어 오목 형상으로 일체적으로 소성되고, 상하 반전시켜서 이용한다. 또한, 도 24의 예에서는 덮개(4)에 세라믹 재료를 이용하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 유리, 수정, 금속 재료 등을 이용해도 좋다.
수정 진동편(2)에는 베이스(3) 상에 탑재했을 때에 베이스(3)의 둑부(32) 상에 배치하는 프레임체(236)가 형성되고, 프레임체(236)와 접합부(23)의 선단부(233)가 연결되도록 일체로 형성되어 있다.
이 도 24, 도 25에 나타내는 수정 진동자(1)에서는 베이스(3)와 덮개(4) 사이에 프레임체(236)를 개재시킨 상태에서 베이스(3) 상에 수정 진동편(2), 덮개(4)의 순서로 적층한다.
또한, 도 24, 도 25에 나타내는 수정 진동자(1)에서는, 상기 본 실시예에 의한 수정 진동자(1)와 마찬가지로, 접합부(23)에 있어서 베이스(3)에 전기기계적으로 접합하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 프레임체(236)를 접합부(23)의 일부로서 이용하고, 프레임체(236)에 있어서 수정 진동편(2)과 베이스(3)가 전기적으로 접속되고, 적어도 접합부(23)의 단변부(231)에 있어서 수정 진동편(2)이 베이스(3)에 접합되어도 좋다.
또한, 본 발명은 그 정신이나 주지 또는 주요한 특징으로부터 일탈하지 않고 다른 여러가지의 형태로 실시할 수 있다. 그 때문에, 상술한 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않고 한정적으로 해석되어서는 안된다. 본 발명의 범위는 특허청구의 범위에 의해 나타내는 것으로서, 명세서 본문에는 하등 구속되지 않는다. 또한, 특허청구의 범위의 균등 범위에 속하는 변형이나 변경은 모두 본 발명의 범위 내의 것이다.
또한, 본 출원은 2008년 9월 26일에 일본에서 출원된 특허출원 제 2008-248218 호에 의거한 우선권을 청구한다. 이것에 언급됨으로써 그 모든 내용은 본 출원에 포함되는 것이다.
<산업상 이용가능성>
본 발명은 음차형 압전 진동편, 음차형 압전 진동 디바이스에 적용할 수 있고, 특히 음차형 수정 진동자에 적합하다.
1 : 음차형 수정 진동자(음차형 압전 진동 디바이스)
2 : 음차형 수정 진동편(음차형 압전 진동편)
21 : 제 1 다리부(다리부) 211 : 제 1 다리부의 선단부(다리부의 선단부)
22 : 제 2 다리부(다리부) 221 : 제 2 다리부의 선단부(다리부의 선단부)
23 : 접합부 231 : 단변부
232 : 장변부 233 : 선단부
234 : 절곡부 235 : 측면
236 : 프레임체 24 : 도금 범프
25 : 기부 251 : 일단면
252 : 타단면 254 : 타단부
26 : 주면 27 : 홈부
28 : 측면 291 : 제 1 여진 전극
292 : 제 2 여진 전극 293,294 : 인출 전극
295 : 금속막 3 : 베이스(제 1 밀봉 부재)
31 : 저부 32 : 둑부
33 : 메탈라이즈층 34 : 전극 패드
4 : 덮개 41 : 상부
42 : 벽부

Claims (13)

  1. 진동부인 복수개의 다리부와, 외부와 접합하는 접합부와, 이들 상기 다리부 및 상기 접합부를 돌출시켜 형성한 기부로 구성되고;
    상기 복수개의 다리부는 상기 기부의 일단면으로부터 돌출되고, 또한 상기 일단면에 병설되며;
    상기 접합부는 상기 기부의 일단면과 대향하는 타단면의 상기 기부의 일단면의 폭방향에 있어서의 상기 복수개의 다리부의 중간 위치에 대향하는 위치로부터 돌출되고;
    상기 접합부의 기단부는 외부와 접합하는 접합 영역이 되며,
    상기 기부는 평면으로 볼 때 좌우 대칭 형상이 되고,
    상기 기부의 타단부는 상기 기부의 일단면측으로부터 상기 기부의 타단면측에 걸쳐서 폭이 좁아지도록 형성된 것을 특징으로 하는 음차형 압전 진동편.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 다리부에 1쌍의 여진 전극이 형성되고, 상기 접합부와 상기 기부에 상기 1쌍의 여진 전극으로부터 인출된 인출 전극이 각각 형성되며;
    상기 접합부의 기단부에 상기 1쌍의 여진 전극 중 하나의 여진 전극으로부터 인출된 상기 인출 전극이 형성되고, 상기 접합부의 선단부에 상기 1쌍의 여진 전극 중 다른 하나의 여진 전극으로부터 인출된 상기 인출 전극이 형성되며;
    상기 접합부의 선단부는 외부와 접합하는 접합 영역이 되는 것을 특징으로 하는 음차형 압전 진동편.
  3. 진동부인 복수개의 다리부와, 외부와 접합하는 접합부와, 이들 상기 다리부 및 상기 접합부를 돌출시켜 형성한 기부로 구성되고;
    상기 복수개의 다리부는 상기 기부의 일단면으로부터 돌출되고, 또한 상기 일단면에 병설되며;
    상기 접합부는 상기 기부의 일단면과 대향하는 타단면의 상기 기부의 일단면의 폭방향에 있어서의 상기 복수개의 다리부의 중간 위치에 대향하는 위치로부터 돌출되되도록 형성된 기단부를 갖고;
    상기 접합부의 기단부는 상기 기부의 상기 타단면보다 폭이 좁하지도록 형성되며, 또한, 외부와 접합하는 접합 영역이 되며,
    상기 다리부에 1쌍의 여진 전극이 형성되고, 상기 접합부와 상기 기부에 상기 1쌍의 여진 전극으로부터 인출된 인출 전극이 각각 형성되며;
    상기 접합부의 기단부에 상기 1쌍의 여진 전극 중 하나의 여진 전극으로부터 인출된 상기 인출 전극이 형성되고, 상기 접합부의 선단부에 상기 1쌍의 여진 전극 중 다른 하나의 여진 전극으로부터 인출된 상기 인출 전극이 형성되며;
    상기 접합부의 선단부는 외부와 접합하는 접합 영역이 되고,
    상기 접합부는 상기 기단부를 한 변으로 하는 평면으로 볼 때 L자 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 음차형 압전 진동편.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 접합부에 있어서의 외부와 접합하는 접합 영역은 평면으로 볼 때 L자 형상으로 성형된 절곡 개소인 절곡부와 상기 접합부의 선단부에 형성된 것을 특징으로 하는 음차형 압전 진동편.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 절곡부에 있어서의 절곡 내측의 측면은 곡면으로 형성된 것을 특징으로 하는 음차형 압전 진동편.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 절곡부에 있어서의 절곡 내측의 측면은 다각의 절곡면으로 형성된 것을 특징으로 하는 음차형 압전 진동편.
  7. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 접합부의 기단부의 양 주면은 외부와 접합하는 접합 영역이 되는 것을 특징으로 하는 음차형 압전 진동편.
  8. 진동부인 복수개의 다리부와, 외부와 접합하는 접합부와, 이들 상기 다리부 및 상기 접합부를 돌출시켜 형성한 기부로 구성되고;
    상기 복수개의 다리부는 상기 기부의 일단면으로부터 돌출되고, 또한 상기 일단면에 병설되며;
    상기 접합부는 상기 기부의 일단면과 대향하는 타단면의 상기 기부의 일단면의 폭방향에 있어서의 상기 복수개의 다리부의 중간 위치에 대향하는 위치로부터 돌출되고;
    상기 접합부의 기단부는 외부와 접합하는 접합 영역이 되며,
    상기 다리부에 1쌍의 여진 전극이 형성되고, 상기 접합부와 상기 기부에 상기 1쌍의 여진 전극으로부터 인출된 인출 전극이 각각 형성되며;
    상기 접합부의 기단부에 상기 1쌍의 여진 전극 중 하나의 여진 전극으로부터 인출된 상기 인출 전극이 형성되고, 상기 접합부의 선단부에 상기 1쌍의 여진 전극 중 다른 하나의 여진 전극으로부터 인출된 상기 인출 전극이 형성되며;
    상기 접합부의 기단부와 선단부는 외부와 접합하는 접합 영역이 되고, 상기 접합 영역에는 각각 외부와 접합하는 범프가 형성되며;
    상기 접합부의 기단부의 접합 영역에 형성된 상기 범프는 상기 접합부의 선단부의 접합 영역에 형성된 상기 범프보다 작은 것을 특징으로 하는 음차형 압전 진동편.
  9. 삭제
  10. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 접합 영역에 도금 범프가 형성된 것을 특징으로 하는 음차형 압전 진동편.
  11. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 진동부의 적어도 한쪽의 주면에 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 음차형 압전 진동편.
  12. 제 1 항 또는 제 3 항에 기재된 음차형 압전 진동편과, 상기 음차형 압전 진동편을 탑재하는 제 1 밀봉 부재와, 상기 제 1 밀봉 부재에 탑재한 상기 음차형 압전 진동편을 본체 케이싱 내에 기밀하게 밀봉하기 위한 제 2 밀봉 부재가 설치된 것을 특징으로 하는 음차형 압전 진동 디바이스.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 1 밀봉 부재에는 상기 음차형 압전 진동편을 탑재하는 단차부가 형성되고;
    상기 단차부의 끝 가장자리와 상기 접합부의 기단부는 평면으로 볼 때 겹치는 것을 특징으로 하는 음차형 압전 진동 디바이스.
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