JP2016171450A - 圧電振動片及び圧電振動子 - Google Patents
圧電振動片及び圧電振動子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016171450A JP2016171450A JP2015049779A JP2015049779A JP2016171450A JP 2016171450 A JP2016171450 A JP 2016171450A JP 2015049779 A JP2015049779 A JP 2015049779A JP 2015049779 A JP2015049779 A JP 2015049779A JP 2016171450 A JP2016171450 A JP 2016171450A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- end side
- base
- pair
- piezoelectric vibrating
- vibrating piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 57
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 13
- 238000005056 compaction Methods 0.000 abstract 1
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 16
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 14
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 11
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 10
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 6
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 244000273256 Phragmites communis Species 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000942 Elinvar Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
- H03H9/215—Crystal tuning forks consisting of quartz
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04C—ELECTROMECHANICAL CLOCKS OR WATCHES
- G04C3/00—Electromechanical clocks or watches independent of other time-pieces and in which the movement is maintained by electric means
- G04C3/08—Electromechanical clocks or watches independent of other time-pieces and in which the movement is maintained by electric means wherein movement is regulated by a mechanical oscillator other than a pendulum or balance, e.g. by a tuning fork, e.g. electrostatically
- G04C3/12—Electromechanical clocks or watches independent of other time-pieces and in which the movement is maintained by electric means wherein movement is regulated by a mechanical oscillator other than a pendulum or balance, e.g. by a tuning fork, e.g. electrostatically driven by piezoelectric means; driven by magneto-strictive means
Abstract
Description
例えば特許文献1や特許文献2に開示されているように、一対の振動腕部が接続される基部から、振動腕部の両側に延びるようにして一対の支持腕部を設け、それらの支持腕部の先端付近で圧電振動片を実装するタイプの圧電振動子が知られている。この圧電振動片は、振動腕部の基端側に、一対の傾斜面を備えた拡幅部が設けられている。
図1は、圧電振動片1の表面側の平面図である。本実施形態では、圧電振動片1として、溝部付きタイプの音叉型の圧電振動片を例に挙げて説明する。
図1に示すように、圧電振動片1は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された音叉型の圧電板2を備えている。
このように、ハンマー部43a、43bが設けられることで、振動腕部3a、3bの先端部をより重くすることができ、振動時における慣性モーメントを増大できる。そのため、振動腕部3a、3bを振動しやすくすることができ、その分、振動腕部3a、3bの長さを短くすることができて小型化が図り易くなる。
一対の支持腕部9a、9bは、支持基部8から第1方向へそれぞれ延びている。一対の支持腕部9a、9bは、第2方向において、振動部3の両側に配置されている。本実施形態の圧電振動片1は、振動部3が第2方向において一対の支持腕部9a、9bの間に配置される、いわゆるサイドアームタイプの圧電振動片である。
図1及び図2に示すように、上記の一対の振動腕部3a、3bの主面(表裏面)上には、振動腕部3a、3bの基端部から先端部に向かって、一定幅の溝部5が形成されている。この溝部5は、振動腕部3a、3bの基端部側から中間部を越える範囲に亘って形成されている。これにより、一対の振動腕部3a、3bは、それぞれ図2に示すように断面H型となっている。なお、溝部5の基端側における形成領域の詳細については後述する。
このように設定することで、CI値80kΩ以下を実現し、発振周波数40kΩ以下を実現できる。その点についての詳細は後述する。
一対の傾斜面20のうち第2方向の内側に配置された内側傾斜面22の、基端側の基端側端部22aは、基部4の先端側の端面23に連結される。また、一対の傾斜面20のうち第2方向の外側に配置された外側傾斜面24の、基端側の基端側端部24aは、基部の第2方向の端面25に連結される。
また、外側傾斜面24と内側傾斜面22とは、図3に示す平面視において、傾斜角が徐々に変化する複数の直線を連続させた折線とすることができる。さらに、外側傾斜面24と内側傾斜面22とは、図3に示す平面視において、基部4に向かって曲率が徐々に小さくなる曲線とすることができる。また、外側傾斜面24と内側傾斜面22とは、図3に示す平面視において、上記の直線や折線と、曲線とを連続させた線とすることができる。
したがって、基部4の第2方向の幅が狭くなる分、溝部5の内壁面と基部4の端面25との幅W1は、従来技術における溝部の内壁面と基部の端面との幅W2と比べて狭くなる。これにより、溝部5を備えた圧電振動片1は、外側傾斜面24の近傍における電界効率が向上する。
この圧電振動片1によれば、振動腕部3a、3bの第2方向の両側に、第2方向の幅を基端側にかけて漸次広げる一対の傾斜面20が形成される。この傾斜面20は、振動腕部3a、3bの基部4に対する接続部分を基部4に向かって徐々に幅広とする。これにより、振動腕部3a、3bは、耐衝撃性が高められる。また、耐衝撃性が高まることにより、圧電振動片1のクリスタルインピーダンス(以下、CI値)が低下することも、発明者らの鋭意検討によって見出されている。
図4は、振動腕部の全長L1と傾斜面の長さL2の比を違えた圧電振動片1の4種のサンプル(a)〜(d)を示している。また、図5は、L1とL2の比を違えた複数種の圧電振動片を使用して得られた実験結果を示す特性図で、(a)はL2/L1と発振周波数の関係を示す図、(b)はL2/L1とCI値の関係を示している。
図4(b)のサンプルは、L2/L1=0.3の場合の例で、L1を750μmとすると、L2は225μmとされている。
図4(c)のサンプルは、L2/L1=0.4の場合の例で、L1を750μmとすると、L2は300μmとされている。
図4(d)のサンプルは、L2/L1=0.5の場合の例で、L1を750μmとすると、L2は375μmとされている。
次に、第一実施形態の第一変形例に係る圧電振動片1Bを説明する。
図6は、第一実施形態の第一変形例に係る圧電振動片1Bの表面側の構成を示す平面図である。なお、以下の説明では、上述した構成と共通する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。また、図中では励振電極10、11やマウント電極12、13等は上述した実施形態と同様の構成であるため、図示を省略する。
次に、第一実施形態の第二変形例に係る圧電振動片1Cを説明する。
図7は、第一実施形態の第二変形例に係る圧電振動片1Cの表面側の構成を示す平面図である。
第二変形例に係る圧電振動片1Cは、基部4Cが、一対の第2方向の端面25と、基部4Cの先端側の端面23と、基部4Cの後端側の端面28と、を四辺部に有する四角板状に形成されている。基部4Cには、外部に対して電気的に接続されるマウント電極(図7において不図示)が形成されている。
次に、図8及び図9に基づいて、上述した圧電振動片1、圧電振動片1B又は圧電振動片1Cを具備する圧電振動子50について説明する。また、図中では圧電振動片1の外形形状のみを示し、励振電極10、11やマウント電極12、13等は上述した実施形態と同様の構成であるため、図示を省略する。なお、以下では省略するが、圧電振動片1B、圧電振動片1Cを搭載した場合であっても、同様の説明が可能である。
図8及び図9に示すように、本実施形態の圧電振動子50は、内部に気密封止されたキャビティCを有するパッケージ51と、キャビティC内に収容された上述した圧電振動片1と、を備えたセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。
パッケージ本体53は、互いに重ね合わされた状態で接合された第1ベース基板55及び第2ベース基板56と、第2ベース基板56上に接合されたシールリング57と、を備えている。
その際、スルーホールが4分割されることで、上述した切欠部58となる。また、第2ベース基板56の上面は、圧電振動片1がマウントされる実装面56aとされている。
具体的には、シールリング57は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって実装面56a上に接合、或いは、実装面56a上に形成(例えば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタ等により形成)された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。
なお、他方の接続電極65Bは、後述する凹部66を回避するように、例えばシールリング57の下方をシールリング57に沿って延在するようにパターニングされている。
上記した圧電振動片1、1B、1Cは、それぞれの基部4、4B、4Cの第2方向の端面25に、第2方向の幅を狭くする括れ(ノッチ)が設けられても良い。括れを設けることにより、仮想外側部21が除かれることによる振動漏れの抑制作用に加え、さらに振動漏れの抑制作用を高めることができる。
Claims (8)
- 第1方向に沿って延びる一対の振動腕部と、一対の前記振動腕部を固定する基部と、を備えた圧電振動片であって、
前記一対の振動腕部は、前記第1方向に交差する第2方向に並んで配置され、前記第1方向の基端側が前記基部に固定されるとともに、前記第1方向の先端側が振動可能とされ、
前記振動腕部の前記基端側における前記第2方向の両側には、前記振動腕部の前記第2方向の幅を前記先端側から前記基端側にかけて漸次広げるように、一対の傾斜面が形成され、
前記一対の傾斜面が形成されている領域の前記第1方向における長さは、前記振動腕部の基端部から先端部までの全長に対して、0.25倍以上かつ0.5倍以下の長さに設定されていることを特徴とする圧電振動片。 - 前記一対の傾斜面のうち前記第2方向の内側に配置された内側傾斜面の、前記基端側の基端側端部は、前記基部の前記先端側の端面に連結され、
前記一対の傾斜面のうち前記第2方向の外側に配置された外側傾斜面の、前記基端側の基端側端部は、前記基部の前記第2方向の端面に連結され、
前記外側傾斜面の前記基端側端部は、前記内側傾斜面の前記基端側端部より、前記先端側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片。 - 前記振動腕部の表裏面に、前記第1方向に沿うように延びかつ前記振動腕部の基端側から先端側に亘って前記第2方向における幅が一定の溝部が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電振動片。
- 前記溝部の先端側溝端部は、前記外側傾斜面の前記先端側端部よりも前記先端側に配置され、
前記溝部の基端側溝端部は、前記外側傾斜面の前記基端側端部よりも前記基端側に配置されている請求項3に記載の圧電振動片。 - 前記振動腕部は、該振動椀部の全長が0.1mm以下、発振周波数が40kHz以下、かつCI値が80kΩ以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧電振動片。
- 前記一対の振動腕部の前記第2方向における外側において、それぞれ前記第1方向に沿うように延びる一対の支持腕部と、
前記基部と前記支持腕部とを連結する連結部と、
を有し、
前記一対の支持腕部には、外部に対して電気的に接続されるマウント電極が形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の圧電振動片。 - 前記一対の振動腕部の間において、前記第1方向に沿うように延びる支持腕部を有し、
前記支持腕部には、外部に対して電気的に接続されるマウント電極が形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の圧電振動片。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載された圧電振動片と、
互いに接合されたベース基板とリッド基板とを有し、両基板の間に形成されたキャビティに前記圧電振動片を収容するパッケージと、
を備えることを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015049779A JP6552225B2 (ja) | 2015-03-12 | 2015-03-12 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
US15/041,558 US9590588B2 (en) | 2015-03-12 | 2016-02-11 | Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric vibrator |
CN201610138308.1A CN105978526B (zh) | 2015-03-12 | 2016-03-11 | 压电振动片及压电振动器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015049779A JP6552225B2 (ja) | 2015-03-12 | 2015-03-12 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016171450A true JP2016171450A (ja) | 2016-09-23 |
JP6552225B2 JP6552225B2 (ja) | 2019-07-31 |
Family
ID=56888527
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015049779A Active JP6552225B2 (ja) | 2015-03-12 | 2015-03-12 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9590588B2 (ja) |
JP (1) | JP6552225B2 (ja) |
CN (1) | CN105978526B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018074228A (ja) * | 2016-10-25 | 2018-05-10 | 京セラ株式会社 | 音叉型水晶素子及びその音叉型水晶素子が実装された水晶デバイス。 |
JP2019129409A (ja) * | 2018-01-24 | 2019-08-01 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、圧電振動片の製造方法、及び、圧電振動子の製造方法 |
JP2020092344A (ja) * | 2018-12-06 | 2020-06-11 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7139610B2 (ja) | 2018-01-23 | 2022-09-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動素子の製造方法、物理量センサー、慣性計測装置、電子機器および移動体 |
JP2020101429A (ja) * | 2018-12-21 | 2020-07-02 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動素子の製造方法、物理量センサー、慣性計測装置、電子機器および移動体 |
JP7434724B2 (ja) * | 2019-05-23 | 2024-02-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器および移動体 |
JP7311152B2 (ja) * | 2020-03-18 | 2023-07-19 | 有限会社マクシス・ワン | 水晶振動子の電極構造、水晶振動子、水晶発振器 |
CN115664372A (zh) * | 2022-10-11 | 2023-01-31 | 泰晶科技股份有限公司 | 一种超微型音叉石英晶体及谐振器 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005039767A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-02-10 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 |
JP2011014977A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Seiko Epson Corp | 音叉型圧電振動片および圧電振動子 |
JP2011216924A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-10-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP2014165573A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
JP2014171263A (ja) * | 2009-09-11 | 2014-09-18 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
JP2014200043A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1641118B1 (en) * | 2004-09-24 | 2010-04-21 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric resonator element and piezoelectric device |
JP4301200B2 (ja) * | 2004-10-20 | 2009-07-22 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP5045890B2 (ja) | 2007-02-28 | 2012-10-10 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片 |
JP4594412B2 (ja) * | 2008-05-22 | 2010-12-08 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP4714770B2 (ja) * | 2008-10-06 | 2011-06-29 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 |
JP4709260B2 (ja) * | 2008-10-16 | 2011-06-22 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP5341647B2 (ja) * | 2009-07-10 | 2013-11-13 | リバーエレテック株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
JP5499852B2 (ja) | 2010-04-08 | 2014-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子 |
JP6094083B2 (ja) * | 2012-07-26 | 2017-03-15 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器および電子機器 |
JP6148502B2 (ja) * | 2013-03-11 | 2017-06-14 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
KR20140118792A (ko) * | 2013-03-29 | 2014-10-08 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 진동 소자, 진동자, 발진기, 전자 기기, 센서, 및 이동체 |
JP6281254B2 (ja) * | 2013-11-16 | 2018-02-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
-
2015
- 2015-03-12 JP JP2015049779A patent/JP6552225B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-11 US US15/041,558 patent/US9590588B2/en active Active
- 2016-03-11 CN CN201610138308.1A patent/CN105978526B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005039767A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-02-10 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 |
JP2011014977A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Seiko Epson Corp | 音叉型圧電振動片および圧電振動子 |
JP2014171263A (ja) * | 2009-09-11 | 2014-09-18 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
JP2011216924A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-10-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP2014165573A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
JP2014200043A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018074228A (ja) * | 2016-10-25 | 2018-05-10 | 京セラ株式会社 | 音叉型水晶素子及びその音叉型水晶素子が実装された水晶デバイス。 |
JP2019129409A (ja) * | 2018-01-24 | 2019-08-01 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、圧電振動片の製造方法、及び、圧電振動子の製造方法 |
JP7164952B2 (ja) | 2018-01-24 | 2022-11-02 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、圧電振動片の製造方法、及び、圧電振動子の製造方法 |
JP2020092344A (ja) * | 2018-12-06 | 2020-06-11 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
JP7327930B2 (ja) | 2018-12-06 | 2023-08-16 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160268996A1 (en) | 2016-09-15 |
US9590588B2 (en) | 2017-03-07 |
JP6552225B2 (ja) | 2019-07-31 |
CN105978526A (zh) | 2016-09-28 |
CN105978526B (zh) | 2021-06-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6552225B2 (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子 | |
CN106169917B (zh) | 压电振动片的制造方法、压电振动片及压电振动器 | |
JP5982054B1 (ja) | 圧電振動子 | |
US9871469B2 (en) | Piezoelectric vibrator element, and piezoelectric vibrator | |
JP6774311B2 (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子 | |
US9871470B2 (en) | Piezoelectric vibrator element, and piezoelectric vibrator | |
JP6618758B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、及び圧電振動片 | |
JP6571339B2 (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子 | |
JP2018056807A (ja) | ウエハ、圧電振動片及び圧電振動子 | |
JP7300256B2 (ja) | 圧電振動片、及び圧電振動子 | |
JP7319787B2 (ja) | 圧電振動片、及び圧電振動子 | |
JP7327930B2 (ja) | 圧電振動片、及び圧電振動子 | |
JP6587389B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
JP2018056806A (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子 | |
JP2016134800A (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
JP6673669B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、ウエハ及び圧電振動片 | |
JP6330000B2 (ja) | 圧電振動子 | |
JP6706546B2 (ja) | 圧電振動片容器、及び圧電振動子 | |
JP2023021842A (ja) | 圧電振動片、圧電振動子および発振器 | |
JP5855221B1 (ja) | 圧電振動子 | |
JP2021068955A (ja) | 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子 | |
JP2018129636A (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子 | |
JP2016134802A (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170913 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181211 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190625 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190702 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6552225 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |