JP5341647B2 - 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 - Google Patents
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Description
22 基部
23,24 振動腕部
23a,24a 第1腕部
23b,24b 第2腕部
23c,24c 裾部
25,26 溝部
29,30 励振電極
31 圧電振動片
32 基部
33,34 振動腕部
33a,34a 第1腕部
33b,34b 第2腕部
35,36 溝部
37,47 連結部
41 圧電振動片
42 基部
43,44 振動腕部
43a,44a 第1腕部
43b,44b 第2腕部
45,46 溝部
50 圧電振動子
52 ケース
53 支持腕部
54 電極端子
55 導電性接着剤
60 圧電発振器
61 発振回路
Claims (8)
- 基部と、この基部から所定の腕幅、腕長及び腕厚を有して平行に延び、表面に励振電極が形成される一対の振動腕部とを備え、基本波の振動を得るための音叉型の圧電振動片において、
前記一対の振動腕部は、それぞれが前記基部から延びる第1腕部と、この第1腕部の先方に延び、該第1腕部の腕幅よりも広い腕幅を有する第2腕部とによって形成されると共に、前記第1腕部の基部側から第2腕部の先端部に向けて連続して延びる溝部を設け、この溝部の溝幅を第1腕部から第2腕部に向けて広がるように形成することによって、第2高調波の振動を阻止することを特徴とする圧電振動片。 - 基部と、この基部から所定の腕幅、腕長及び腕厚を有して平行に延び、表面に励振電極が形成される一対の振動腕部とを備え、基本波の振動を得るための音叉型の圧電振動片において、
前記一対の振動腕部は、それぞれが前記基部から延びる第1腕部と、この第1腕部の先方に延び、該第1腕部の腕幅よりも広い腕幅を有する第2腕部と、
前記第1腕部の基部側から第2腕部の先端部に向けて連続して延び、溝幅が第1腕部から第2腕部に向けて広がるように形成された溝部とを備え、
第2高調波の振動節点を第1腕部の基部側にシフトさせることによって、前記第2高調波によって発生する周波数帯を基本波より高い周波数帯にシフトさせることを特徴とする圧電振動片。 - 前記第2腕部は、前記第1腕部からテーパ状あるいは階段状に腕幅が次第に広がる連結部を有して形成される請求項1又は2記載の圧電振動片。
- 前記第2腕部は、先端部が最大腕幅となるように形成される請求項1乃至3のいずれかに記載の圧電振動片。
- 前記第2高調波は、前記基本波の8倍以上の高い周波数帯にシフトされる請求項1又は2記載の圧電振動片。
- 前記第2高調波は、32〜33kHzの基本波に対して300kHz以上の周波数帯にシフトされる請求項1又は2記載の圧電振動片。
- 凹陥状の収容部を有するケースと、
前記収容部内に設けられる一対の電極端子と、
該電極端子に電気的に支持される音叉型の圧電振動片と、
前記ケースの上面を封止する蓋体とを備え、基本波の振動を得るための圧電振動子であって、
前記圧電振動片は、基部と、
この基部から所定の腕幅、腕長及び腕厚を有して平行に延び、表面に励振電極が形成される一対の振動腕部と、
前記基部から前記一対の振動腕部に沿って延び、先端部が前記電極端子に支持される一対の支持腕部とを備え、
前記一対の振動腕部は、それぞれが前記基部から延びる第1腕部と、この第1腕部の先方に延び、該第1腕部の腕幅よりも広い腕幅を有する第2腕部とによって形成されると共に、
前記第1腕部の基部側から第2腕部の先端部に向けて連続して延びる溝部を設け、この溝部の溝幅を第1腕部から第2腕部に向けて広がるように形成することによって、第2高調波の振動を阻止することを特徴とする圧電振動子。 - 請求項7記載の圧電振動子と、この圧電振動子を32〜33kHzで発振させるための発振回路とを備えて構成され、前記発振回路の負性抵抗の絶対値が基本波の等価抵抗以上であり、第2高調波近傍における発振周波数の負性抵抗の絶対値が該第2高調波の等価抵抗以下であることを特徴とする圧電発振器。
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JP5855221B1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-02-09 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動子 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5437488A (en) * | 1977-07-20 | 1979-03-19 | Seiko Epson Corp | Tuning fork type crystal oscillator |
JP4356366B2 (ja) * | 2003-06-10 | 2009-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 |
JP2007116563A (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Hitachi Ltd | 水晶発振器 |
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2009
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20160218694A1 (en) * | 2015-01-26 | 2016-07-28 | Sii Crystal Technology Inc. | Piezoelectric vibrating reed and piezoelectric vibrator |
US9584094B2 (en) * | 2015-01-26 | 2017-02-28 | Sii Crystal Technology Inc. | Piezoelectric vibrating reed and piezoelectric vibrator |
US20160268996A1 (en) * | 2015-03-12 | 2016-09-15 | Sii Crystal Technology Inc. | Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric vibrator |
US9590588B2 (en) * | 2015-03-12 | 2017-03-07 | Sii Crystal Technology Inc. | Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric vibrator |
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