JP2007163200A - 振動片、角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】駆動モードにおける励振効率を低下させることなく、角速度の検出感度を高めることができる振動片を提供する。
【解決手段】振動片10は、圧電材料からなり、Z軸方向に厚みを有し、直交するX軸及びY軸面内に展開される振動片であって、X軸方向に延在される梁部50と、梁部50からY軸方向に垂直に延在され駆動電極を有する一対の駆動腕20,30と、一対の駆動腕20,30の中央に、梁部50からY軸方向に垂直に延在され検出電極を有する検出腕40と、梁部50に連続し、主面60aに駆動電極及び検出電極それぞれが接続される電極端子が設けられる基部60と、を備え、静止時において、駆動腕20,30がX軸方向に屈曲振動し、角速度が加えられた際に、検出腕40がコリオリ力によりねじれ振動が誘発され、このねじれ振動により発生する電荷を検出する。
【選択図】図5
【解決手段】振動片10は、圧電材料からなり、Z軸方向に厚みを有し、直交するX軸及びY軸面内に展開される振動片であって、X軸方向に延在される梁部50と、梁部50からY軸方向に垂直に延在され駆動電極を有する一対の駆動腕20,30と、一対の駆動腕20,30の中央に、梁部50からY軸方向に垂直に延在され検出電極を有する検出腕40と、梁部50に連続し、主面60aに駆動電極及び検出電極それぞれが接続される電極端子が設けられる基部60と、を備え、静止時において、駆動腕20,30がX軸方向に屈曲振動し、角速度が加えられた際に、検出腕40がコリオリ力によりねじれ振動が誘発され、このねじれ振動により発生する電荷を検出する。
【選択図】図5
Description
本発明は、振動片と、この振動片を備える角速度センサに関し、詳しくは、一対の駆動腕の間に設けられる検出腕のねじれ振動を検出する振動片の構造に関する。
従来、一対の駆動腕を有する音叉型の振動片において、一方の振動腕に駆動電極を設け、他方の振動腕に検出電極を設ける。前記一方の振動腕を励振腕とし、前記他方の駆動腕を検出腕として、コリオリ力によって検出腕に発生する信号を検出する角速度センサというものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
このような特許文献1では、駆動電極が励振腕のみに形成されているために、励振効率が悪いという課題を有している。
また、検出腕は、コリオリ力が付勢されていないときにも常時振動しているため、検出電極に漏れ電荷が発生し易い。さらに、検出腕と励振腕とを常時共用しているので検出感度が低いというような課題がある。
また、検出腕は、コリオリ力が付勢されていないときにも常時振動しているため、検出電極に漏れ電荷が発生し易い。さらに、検出腕と励振腕とを常時共用しているので検出感度が低いというような課題がある。
本発明の目的は、前述した課題を解決することを要旨とし、駆動モードにおける励振効率を低下させることなく、角速度の検出感度を高めることができる振動片と、この振動片を備える角速度センサを提供することである。
本発明の振動片は、圧電材料からなり、Z軸方向に厚みを有し、直交するX軸及びY軸を含む平面と平行な主面内に展開される振動片であって、X軸方向に延在される梁部と、前記梁部からY軸方向に垂直に延在され駆動電極を有する一対の駆動腕と、前記一対の駆動腕の一方の駆動腕ともう一方の駆動腕の間に、前記梁部からY軸方向に垂直に延在され検出電極を有する検出腕と、前記梁部に連続し、前記主面に前記駆動電極及び前記検出電極それぞれが接続される電極端子が設けられる基部と、を備え、静止時において、前記駆動腕がX軸方向に屈曲振動し、角速度が加えられた際に、前記検出腕がコリオリ力によりねじれ振動し、このねじれ振動により発生する電荷を前記検出電極で検出することを特徴とする。
ここで、圧電材料としては、例えば、水晶や燐酸ガリウム(GaPO4)等を採用できる。
ここで、圧電材料としては、例えば、水晶や燐酸ガリウム(GaPO4)等を採用できる。
この発明の振動片によれば、一対の駆動腕とこれら駆動腕の間に設けられる検出腕を備え、駆動腕には励振用の駆動電極のみが設けられており、通常の音叉型の屈曲振動のみをさせ、検出腕は静止しているために、駆動モードにおいて効率よく励振させることができる。
また、一対の駆動腕が通常の音叉型の屈曲振動をしている状態で角速度を加えることにより検出腕が振動を開始する。つまり、検出腕は角速度検出のためにだけ設けられているため、駆動腕の屈曲振動の漏れが少なく、角速度の検出感度を高めることができるという効果がある。
さらに、上述した構成の振動片は、一般に三脚音叉と呼ばれる振動片に類似の形状、構成としているため、形状を簡素化でき、生産性を高めることができる。
また、上述の振動片は、前記検出腕の先端部にXY平面に展開する錘部が設けられていることが好ましい。
このように、検出腕の先端部に錘部を設けているので、検出腕のねじれ振動の振動周波数(共振周波数)を駆動腕の振動周波数に対応して縮退させることができ、安定した検出出力を得ることができる。
また、上述した振動片は、前記梁部と前記基部との間に、振動の伝播を遮断する部位が形成されていることが好ましい。
梁部には、コリオリ力によってねじれの力が発生し、このねじれ力により検出腕がねじれ振動を誘発される。従って、特に、梁部に発生するねじれ力、検出腕に発生するねじれ振動が基部に漏れ振動として伝播しないように、振動の伝播を遮断する部位を設けることにより、振動の漏れを抑制することができる。
また、前記振動の伝播を遮断する部位が、前記梁部と前記基部との間のX軸方向両端面に穿設されるくびれ部であることが望ましい。
このようにくびれ部を設けることにより、単純な形状で駆動腕または検出腕からの振動が基部にまで漏れることを抑制することができ、角速度の検出感度を高めることができる。
前記振動の伝播を遮断する部位が、前記梁部と前記基部との間に開設される孔であることが望ましい。
このようにすれば、梁部が棒状の単純梁状の形状となり、同一振動条件内において、ねじれ力の発生の形態が単純化されることから、検出腕のねじれ振動の効率を高めることができる。さらに、振動の伝播を遮断する部位が、梁部と基部との間に開設される孔であることから、駆動腕または検出腕相互の振動漏れを、より一層、抑制することができるという効果がある。
また、本発明の角速度センサは、前述した振動片が、筐体内に格納されていることを特徴とする。
このように、角速度センサは、前述した構成の振動片を備えているため、検出感度が高く、生産性が優れる角速度センサを提供することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1〜図3は、本発明の実施形態1に係る振動片の構成を示し、図4は駆動腕を励振させた状態、図5はコリオリ力による検出腕のねじれ振動の状態を示し、図6,7は実施形態2に係る振動片の形状、図8は角速度センサの構造を示している。
(実施形態1)
図1〜図3は、本発明の実施形態1に係る振動片の構成を示し、図4は駆動腕を励振させた状態、図5はコリオリ力による検出腕のねじれ振動の状態を示し、図6,7は実施形態2に係る振動片の形状、図8は角速度センサの構造を示している。
(実施形態1)
図1は、実施形態1に係る振動片の形状を示す斜視図である。図1において、本実施形態の振動片10は、Z軸方向に厚みを有し、直交するX軸及びY軸面内に展開される水晶基板からなる大略Z基板で形成される。
この振動片10の基本構成としては、X軸方向に延在される梁部50と、梁部50からY軸方向に垂直に延在され駆動電極を有する一対の駆動腕20,30と、これら駆動腕20,30のX軸方向の中央に、梁部50からY軸方向に垂直に延在される1本の検出腕40と、梁部50に連続する基部60とから構成されている。このような3本の振動腕を有する振動片の形状は、三脚音叉と呼称されることがある。
駆動腕20,30及び検出腕40のそれぞれには、Z方向両面(主面と表すことがある)に溝21,22,31,32,41、42が穿設されている(図2,3も参照する)。従って、図中、A−A破断線によって切断された断面形状はH字状をなしている。これら溝21,31,41は、駆動腕20,30及び検出腕40の根元部、つまり梁部50との接合部近傍から、同じ長さ、幅、深さを有して形成されている。この溝を設けることにより、同一周波数帯域において小型化を可能にしている。
また、検出腕40は、腕部が駆動腕20,30よりも長く、その先端部には、XY平面に展開される錘部43が形成されている。この錘部43の形状は、図1では略五角形としているが、略三角形や略円形等、特に限定されるものではない。
これら、駆動腕20,30と検出腕40の寸法、溝21,22,31,32,41,42の寸法、錘部43の大きさは、所望の共振周波数、検出出力に応じて設定される。
また、梁部50と基部60の間には、+X方向及び−X方向の側面に、駆動腕20,30と検出腕40から基部60(後述するケース101も含む)への振動の伝播を遮断するための部位としてのくびれ部70が穿設されている。このくびれ部70によって振動漏れを抑制している。
上述した形状を有する振動片10には、駆動電極、検出電極及び電極端子が形成されている。
上述した形状を有する振動片10には、駆動電極、検出電極及び電極端子が形成されている。
図2、図3は、振動片10の電極構成を示す説明図である。図2は、駆動腕20,30の電極構成、図3は、検出腕40の電極構成を表している。なお、図2、図3は、図1のA−A切断面を視認した断面を表している。
図2において、駆動腕20には、+Z方向の主面及び溝22の内面に連続する駆動電極24と、−Z方向の主面及び溝21の内面に連続する駆動電極23、+X方向の側面の駆動電極25と−X方向の側面の駆動電極26とが形成されている。
図2において、駆動腕20には、+Z方向の主面及び溝22の内面に連続する駆動電極24と、−Z方向の主面及び溝21の内面に連続する駆動電極23、+X方向の側面の駆動電極25と−X方向の側面の駆動電極26とが形成されている。
また、駆動腕30には、+Z方向の主面及び溝32の内面に連続する駆動電極34と、−Z方向の主面及び溝31の内面に連続する駆動電極33、+X方向の側面の駆動電極35と−X方向の側面の駆動電極36とが形成されている。
これら上述した電極の接続について説明する。
これら上述した電極の接続について説明する。
駆動電極23,24,35,36とは、駆動腕20,30の側面及び表裏の主面または基部の−Y方向の端面において接続され、基部60の一方の主面60aまで延在されて電極端子81に接続される。また、駆動電極26,25,33,34も、駆動腕20,30の側面及び表裏の主面または基部の−Y方向の端面において接続され、基部60の一方の主面60aまで延在されて電極端子82に接続される(電極パターンは図示せず)。電極端子81,82は、励振信号を入力する端子であり、屈曲振動を検出する端子でもある。
続いて、検出腕40に形成される検出電極の構成について説明する。図3において、検出腕40には、−Z方向の主面及び溝42の内面に連続する検出電極45と、+Z方向の主面及び溝41の内面に連続する検出電極44、+X方向の側面の検出電極46と−X方向の側面の検出電極47とが形成されている。
検出電極44,45は、検出腕40と駆動腕30との間の梁部側面及び表裏の主面において接続され、基部60の一方の主面60aまで延在されて電極端子92に接続される。また、検出電極46,47は、検出腕40の側面及び表裏の主面において接続され、基部60の一方の主面60aまで延在されて電極端子91に接続される。電極端子91,92は、検出信号を検出するための検出端子である。
上述した電極端子81,82,91,92は、それぞれ独立して、基部60の一方の主面60aに配列され、後述するケース101に形成される電極に接続固定される(図8、参照)。
このように構成された振動片10の駆動モード、検出モードにおける振動形態について図面を参照して説明する。
このように構成された振動片10の駆動モード、検出モードにおける振動形態について図面を参照して説明する。
図4は、本実施形態の振動片の静止時(角速度が加えられない)の駆動モードにおける振動形態を模式的に示す斜視図である。図4において、各駆動電極に接続される電極端子81,82(図2、参照)に交流電圧を印加すると、駆動腕20,30は、X軸方向(図中、矢印方向)に屈曲振動する。駆動腕20と駆動腕30とは、それぞれの外形形状及び電極構成が等しいため振動バランスがとれている。従って、駆動腕20,30の屈曲振動は検出腕40に伝播せず、検出腕40は静止しており、検出信号は出力されない。また、くびれ部70を設けることにより、基部60に振動は伝播しない。すなわち、振動漏れが抑制されている。
図5は、振動片10をY軸を回転中心として回転させた検出モードにおける振動形態を模式的に示す斜視図である。図5において、駆動腕20,30には、コリオリ力が発生し、Z軸方向の振動が加わる。つまり、駆動腕20,30はそれぞれ+Z方向と−Z方向(図中、矢印F1方向とF2方向)とに振動を繰り返す。この際、駆動腕20,30のZ方向の振動成分により、駆動腕20,30の間の梁部50にねじれ力が発生し、このねじれ力によって、検出腕40にねじれ振動が誘発される。そして、ねじれ振動による発生電荷を検出電極によって検出する。
ねじれ振動は、駆動腕20,30が矢印F1方向に振動したときには矢印T1方向に、駆動腕20,30が矢印F2方向に振動したときには矢印T2方向にねじれ振動する。ここで、検出腕40には錘部43が設けられており、ねじれ振動の共振周波数を屈曲振動の共振周波数に対応して縮退させる機能を有する。
従って、前述した実施形態1によれば、一対の駆動腕20,30とこれら駆動腕の中央に設けられる検出腕40とを備え、駆動腕20,30には励振用の駆動電極23〜26,33〜36のみが設けられており、通常の音叉型の屈曲振動のみをさせ、検出腕40は静止しているために、駆動モードにおいて効率よく励振させることができる。
また、一対の駆動腕20,30が通常の音叉型の屈曲振動をしている状態で角速度を加えることにより検出腕40が振動を誘発される。つまり検出腕40は、角速度検出のためにだけ設けられているため、駆動腕の屈曲振動の漏れが少なく、角速度の検出感度を高めることができるという効果がある。
さらに、上述した構成の振動片10は、一般に三脚音叉と呼ばれる振動片に類似の形状、構成としているため、形状及び構成を簡素化でき、生産性を高めることができる。
また、検出腕40の先端部に錘部43を設けているので、検出腕40のねじれ振動の振動周波数(共振周波数)を一対の駆動腕の振動周波数に対応して縮退させることができ、安定した検出出力を得ることができる。
また、梁部50と基部60との間にくびれ部70を設けることにより、単純な形状で駆動腕20,30または検出腕40からの振動が基部60にまで漏れることを抑制し、つまり漏れ振動を抑制することができ、角速度の検出感度を高めることができる。
(実施形態2)
(実施形態2)
続いて、本発明の実施形態2について図面を参照して説明する。実施形態2は、前述した実施形態1に対して振動の伝播を遮断する部位の形状、つまり、梁部と基部との関係形状に工夫を加えたことに特徴を有している。従って、駆動腕及び検出腕の形状は実施形態1と同じであるため説明を省略する。
図6は、実施形態2に係る振動片10の形状を示す正面図である。図6において、梁部50と基部60との間には、振動の伝播を遮断する部位としての四角形の孔71が開設されている。
図6は、実施形態2に係る振動片10の形状を示す正面図である。図6において、梁部50と基部60との間には、振動の伝播を遮断する部位としての四角形の孔71が開設されている。
孔71は、X方向において駆動腕20,30の根元部に達する長方形を有している。この孔71を開設することにより、梁部50と基部60とは、連結部55,56によって連結されている。また、梁部50は、駆動腕20,30と検出腕40との間を梁50a,50bで連続した単純梁状に形成されている。
この振動片10の駆動電極及び検出電極は、駆動腕20,30、検出腕それぞれに実施形態1(図2、図3参照)と同様に形成されるが、基部60の主面60aに設けられる電極端子(図示せず)とは、連結部55,56または孔71の内側側面を通して接続することができる。
従って、前述した実施形態2によれば、梁部50が棒状の単純梁状の形状となり、同一振動条件内において、ねじれ力の発生の形態が単純化されることから、検出腕40のねじれ振動の効率を高めることができる。さらに、振動の伝播を遮断する部位が梁部と基部との間に開設される孔71であり、梁部50と基部60との接続は連結部55,56となることから、駆動腕20,30または検出腕40からの振動漏れが基部60に伝播することを、より一層、抑制することができるという効果がある。
なお、図6では、振動の伝播を遮断する部位としての孔71が長方形である場合を例示して説明したが、振動の伝播を遮断する機能を有すれば長方形に限らない。たとえば、X方向に長辺を備える三角形、楕円形状、台形等、適宜選択して設定することができる。
また、孔71の長辺は、駆動腕20の−X方向側面から駆動腕30の+X方向側面の範囲としているが、駆動腕20の+X方向側面から駆動腕30の−X方向側面の範囲としてもよい。
(実施形態2の変形例)
(実施形態2の変形例)
次に、実施形態2の変形例について図面を参照して説明する。この変形例は、前述した実施形態2において説明した梁部と基部との連結形状をさらに工夫したことに特徴を有しており、他は共通であるため説明を省略し、同じ符号を付して説明する。
図7は、変形例に係る振動片10を示す正面図である。図7において、振動の伝播を遮断する部位として、孔72,73が開設されている。つまり、図6で示した孔71を連結部57でX方向に2分割した形状を有している。
図7は、変形例に係る振動片10を示す正面図である。図7において、振動の伝播を遮断する部位として、孔72,73が開設されている。つまり、図6で示した孔71を連結部57でX方向に2分割した形状を有している。
連結部57は、検出腕40の腕部を基部60にまで延在している。このようにすることで、梁部50は、梁50a,50bとに連結部57によって区切られる。
孔72,73の形状も、X方向に長辺を備える三角形、楕円形状、台形等を設定することが可能である。
孔72,73の形状も、X方向に長辺を備える三角形、楕円形状、台形等を設定することが可能である。
このようにすれば、前述した実施形態2と同様な効果を得ることができることに加え、駆動腕20,30の屈曲振動の検出腕40への振動漏れを抑制することができるという効果がある。
(角速度センサの構造)
(角速度センサの構造)
続いて、前述した実施形態1、実施形態2に記載の振動片を備える角速度センサの構造について、図面を参照して説明する。
図8は、本発明に係る角速度センサ100を示す構造説明図である。図8において、振動片10は、ケース101と蓋体120とから構成される筐体の内部に密閉格納されている。
図8は、本発明に係る角速度センサ100を示す構造説明図である。図8において、振動片10は、ケース101と蓋体120とから構成される筐体の内部に密閉格納されている。
ケース101はセラミックからなり、図8に示すような段部を積層して形成されている。このケース101の底面104には、駆動制御回路としてのIC110が実装されている。また、段部102には、本発明の振動片10(ここでは、実施形態1による振動片が図示されている)が実装される。振動片10は、電極端子81,82,91,92が設けられている主面60aを下方側にして、図示しないが、段部102に形成されている電極パッドに電極端子81,82,91,92を半田または他の周知の接続手段によって接続され、ケース101に固着される。なお、接着剤等で基部60の周辺を補強してもよい。
振動片10と段部102との位置関係を説明すると、基部60と段部102のみが接合され、梁部50(くびれ部70の領域)から先端方向は浮いている。このような状態で、蓋体120の周縁部がケース101の縁部103に固着される。
蓋体120はガラスからなり、ケース101とは陽極接合、接着剤等により密着固定される。
蓋体120はガラスからなり、ケース101とは陽極接合、接着剤等により密着固定される。
IC110と振動片10とは、図示しない電極パターンによって接続され、やはり図示しない電極パターンのうち、外部から駆動電極に駆動電力を供給する電極パターンと、検出電極からの検出信号を出力するための電極パターンが、ケース101の外部まで延在されている。
従って、上述した構成の角速度センサは、梁部50と基部60との間に振動の伝播を遮断する部位(くびれ部70や孔71または孔72,73)を備え、基部60のみをケース101に接合していることや、前述した実施形態1、実施形態2により説明した構成の振動片10を備えているため検出感度が高く、生産性が優れる角速度センサ100を提供することができる。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、且つ、説明しているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲に逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、材質、組み合わせ、その他の詳細な構成、及び製造工程間の加工方法において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、且つ、説明しているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲に逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、材質、組み合わせ、その他の詳細な構成、及び製造工程間の加工方法において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状、材質、製造工程などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものでないから、それらの形状、材質、組み合わせなどの限定の一部もしくは全部の限定をはずした部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
従って、本発明によれば、駆動モードにおける励振効率を低下させることなく、角速度の検出感度を高めることができる振動片10と、この振動片10を備える角速度センサ100を提供することができる。
10…振動片、20,30…駆動腕、40…検出腕、50…梁部、60…基部。
Claims (6)
- 圧電材料からなり、Z軸方向に厚みを有し、直交するX軸及びY軸を含む平面と平行な主面内に展開される振動片であって、
X軸方向に延在される梁部と、
前記梁部からY軸方向に垂直に延在され駆動電極を有する一対の駆動腕と、
前記一対の駆動腕の一方の駆動腕ともう一方の駆動腕の間に、前記梁部からY軸方向に垂直に延在され検出電極を有する検出腕と、
前記梁部に連続し、前記主面に前記駆動電極及び前記検出電極それぞれが接続される電極端子が設けられる基部と、を備え、
静止時において、前記駆動腕がX軸方向に屈曲振動し、
角速度が加えられた際に、前記検出腕がコリオリ力によりねじれ振動し、
このねじれ振動により発生する電荷を前記検出電極で検出することを特徴とする振動片。 - 請求項1に記載の振動片において、
前記検出腕の先端部にXY平面に展開する錘部が設けられていることを特徴とする振動片。 - 請求項1または請求項2に記載の振動片において、
前記梁部と前記基部との間に、振動の伝播を遮断する部位が形成されていることを特徴とする振動片。 - 請求項3に記載の振動片において、
前記振動の伝播を遮断する部位が、前記梁部と前記基部との間のX軸方向両端面に穿設されるくびれ部であることを特徴とする振動片。 - 請求項3に記載の振動片において、
前記振動の伝播を遮断する部位が、前記梁部と前記基部との間に開設される孔であることを特徴とする振動片。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の振動片が、筐体内に格納されていることを特徴とする角速度センサ。
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ID=38246269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005357242A Withdrawn JP2007163200A (ja) | 2005-12-12 | 2005-12-12 | 振動片、角速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007163200A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
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- 2005-12-12 JP JP2005357242A patent/JP2007163200A/ja not_active Withdrawn
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