JP4714770B2 - 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 - Google Patents
音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4714770B2 JP4714770B2 JP2008259376A JP2008259376A JP4714770B2 JP 4714770 B2 JP4714770 B2 JP 4714770B2 JP 2008259376 A JP2008259376 A JP 2008259376A JP 2008259376 A JP2008259376 A JP 2008259376A JP 4714770 B2 JP4714770 B2 JP 4714770B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating piece
- fork type
- tuning fork
- base
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 87
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 32
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 17
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 11
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 31
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 13
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 11
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 11
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 7
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P ceric ammonium nitrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[Ce+4].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 3
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DKNPRRRKHAEUMW-UHFFFAOYSA-N Iodine aqueous Chemical compound [K+].I[I-]I DKNPRRRKHAEUMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H2003/026—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks the resonators or networks being of the tuning fork type
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
Description
このように、45度方向から切削するので、エネルギーを効率的に使用して、テーパー面を形成することができる。
<音叉型水晶振動片20の構成>
図1(a)は音叉型水晶振動片20の構成を示した平面図であり、(b)は音叉型水晶振動片20のB−B断面図である。(c)は音叉型水晶振動片20の一対の振動腕21のC−C断面図である。音叉型水晶振動片20の母材は、Zカットの水晶ウエハ10で形成されている。
以下、図面に基づいて音叉型圧電水晶振動片20の製造方法を詳しく説明する。
先ず、図3は、Zカット水晶ウエハを用いて、音叉型水晶振動片20の外形形成の工程のフローチャートである。フローチャートの右側に、音叉型水晶振動片20の断面図又は平面図を示す。
ステップS116:音叉型水晶振動片20を純水で洗浄し、音叉型水晶振動片20の全面に溝部27を形成するための金属膜30を形成する。図4(n)は、この状態の音叉型水晶振動片20の振動腕21を示した断面図である。
ステップS130:音叉型水晶振動片20を純水で洗浄し、音叉型水晶振動片20の全面に駆動電極としての励振電極などを形成するための金属膜を蒸着またはスパッタリング等の手法により形成する。
ステップS134:電極パターンと対応した不図示のフォトマスクを用意して、電極パターンをフォトレジスト膜が塗布された水晶ウエハ10を露光する。この電極パターンは音叉型水晶振動片20の両面に形成する必要があるため、音叉型水晶振動片20の両面を露光する。
次いで、電極となる金属膜のエッチングを行う。すなわち、電極パターンと対応したフォトレジスト膜から露出した金層をたとえば、ヨウ素とヨウ化カリウムの水溶液でエッチングし、次にニッケル層をたとえば硝酸第2セリウムアンモニウムと酢酸との水溶液でエッチングする。
ステップS140:音叉型水晶振動片20の連結部28を折り、水晶ウエハ10から音叉型水晶振動片20を切り取る。
L2 … 基部の長さ
10 … 水晶ウエハ
12 … 開口領域
20 … 音叉型水晶振動片
21 … 振動腕
23 … 第1電極パターン
25 … 第2電極パターン
26 … 根元部
27 … 溝部
28 … 連結部
29 … 基部
30 … 金属膜
36、36” … フォトレジスト膜
42、42” … 感光したフォトレジスト膜
Claims (5)
- 基部と、
前記基部の一端側から所定方向に伸びる少なくとも一対の振動腕と、
前記振動腕の両外側に前記基部の一端側から前記所定方向に伸びる一対の支持腕と、を有する音叉型圧電振動片であって、
前記一対の振動腕の根元部及び前記一対の振動腕の一方と前記一対の支持腕の一方との間に形成される支持腕根元部は、前記基部の厚み方向にテーパー面を備え、
前記一対の振動腕の根元部と前記支持腕根元部とは同じ形状であることを特徴とする音叉型圧電振動片。 - 前記テーパー面は、長手方向の前記基部に対して20度から85度の範囲で傾斜することを特徴とする請求項1に記載の音叉型圧電振動片。
- 音叉型圧電振動片の製造方法であって、
基部と、その基部から所定方向に伸びる少なくとも一対の振動腕と、前記振動腕の両外側に前記基部の一端側から前記所定方向に伸びる一対の支持腕とをウェットエッチングで形成する外形形成工程と、
前記一対の振動腕の根元部及び前記一対の振動腕の一方と前記一対の支持腕の一方との間に形成される支持腕根元部を、前記基部の厚み方向に従って、同じ形状になるように切削加工することによりテーパー面を形成するテーパー面形成工程と、
前記テーパー面形成工程後、金属電極パターンを形成する電極形成工程と、を備えることを特徴とする音叉型圧電振動片の製造方法。 - 前記テーパー面形成工程において、厚み方向に対して45度方向から切削することを特徴とする請求項3に記載の音叉型圧電振動片の製造方法。
- Zカット水晶をエッチングすることにより、前記圧電振動片を製造することを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の音叉型圧電振動片の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008259376A JP4714770B2 (ja) | 2008-10-06 | 2008-10-06 | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 |
US12/574,649 US8093787B2 (en) | 2008-10-06 | 2009-10-06 | Tuning-fork-type piezoelectric vibrating piece with root portions having tapered surfaces in the thickness direction |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008259376A JP4714770B2 (ja) | 2008-10-06 | 2008-10-06 | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010093408A JP2010093408A (ja) | 2010-04-22 |
JP2010093408A5 JP2010093408A5 (ja) | 2010-11-18 |
JP4714770B2 true JP4714770B2 (ja) | 2011-06-29 |
Family
ID=42075241
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008259376A Expired - Fee Related JP4714770B2 (ja) | 2008-10-06 | 2008-10-06 | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8093787B2 (ja) |
JP (1) | JP4714770B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101001742B1 (ko) * | 2003-10-24 | 2010-12-15 | 삼성전자주식회사 | 자기 램 및 그 제조방법 |
CN101878590B (zh) * | 2008-09-26 | 2014-07-02 | 株式会社大真空 | 音叉型压电振动片以及音叉型压电振动装置 |
JP2011160174A (ja) * | 2010-02-01 | 2011-08-18 | Seiko Epson Corp | 振動片基板及び音叉型振動片 |
JP5384406B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2014-01-08 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型水晶振動片の製造方法、水晶デバイス |
JP2012039509A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-23 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 |
JP2012156978A (ja) * | 2011-01-05 | 2012-08-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Atカットの水晶振動片、水晶デバイス及び水晶振動片の製造方法 |
JP5936438B2 (ja) * | 2012-05-18 | 2016-06-22 | シチズンファインデバイス株式会社 | 圧電振動デバイスの製造方法 |
JP6340774B2 (ja) * | 2013-11-16 | 2018-06-13 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
JP2015097366A (ja) * | 2013-11-16 | 2015-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
JP6281254B2 (ja) * | 2013-11-16 | 2018-02-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
TWI634742B (zh) | 2013-11-16 | 2018-09-01 | 精工愛普生股份有限公司 | 振動片、振動子、振盪器、電子機器及移動體 |
JP6322400B2 (ja) * | 2013-12-03 | 2018-05-09 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法及び圧電振動子 |
JP6571339B2 (ja) * | 2015-01-26 | 2019-09-04 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
JP6552225B2 (ja) * | 2015-03-12 | 2019-07-31 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
JP2019165348A (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型水晶振動子 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5726723A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-12 | Seiko Epson Corp | Crystal thermometer |
JP2003133895A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
JP2004072609A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Seiko Epson Corp | 水晶デバイスと水晶デバイスの製造方法、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置ならびに水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2005012767A (ja) * | 2003-05-27 | 2005-01-13 | Citizen Watch Co Ltd | 水晶振動子の製造方法 |
JP2007251762A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Citizen Holdings Co Ltd | 水晶振動子の製造方法 |
JP2007282192A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-10-25 | Ngk Insulators Ltd | 圧電薄膜デバイス |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55125714A (en) * | 1979-03-22 | 1980-09-27 | Citizen Watch Co Ltd | Construction of tuning fork type crystal oscillator |
JPS55130218A (en) * | 1979-03-30 | 1980-10-08 | Citizen Watch Co Ltd | Tuning fork type crystal oscillator |
JPS5668012A (en) * | 1979-11-07 | 1981-06-08 | Citizen Watch Co Ltd | Quartz oscillator |
JPS5668020A (en) * | 1979-11-09 | 1981-06-08 | Citizen Watch Co Ltd | Tuning fork type quartz oscillator |
JP2001336936A (ja) * | 2000-05-29 | 2001-12-07 | Alps Electric Co Ltd | ジャイロスコープおよび入力装置 |
US7523537B1 (en) * | 2000-07-13 | 2009-04-28 | Custom Sensors & Technologies, Inc. | Method of manufacturing a tuning fork with reduced quadrature errror and symmetrical mass balancing |
JP3951058B2 (ja) * | 2003-08-19 | 2007-08-01 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型圧電振動片 |
KR100712758B1 (ko) * | 2004-09-24 | 2007-04-30 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 압전 진동편 및 압전 디바이스 |
JP4301200B2 (ja) * | 2004-10-20 | 2009-07-22 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP2007013910A (ja) * | 2005-05-31 | 2007-01-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 圧電振動子 |
JP4442521B2 (ja) * | 2005-06-29 | 2010-03-31 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP4678730B2 (ja) | 2005-10-06 | 2011-04-27 | 三菱鉛筆株式会社 | ノック式シャープペンシル |
JP2009165006A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電デバイス及び音叉型圧電振動子の周波数調整方法 |
JP2009284073A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Daishinku Corp | 音叉型圧電振動デバイス |
JP4709260B2 (ja) * | 2008-10-16 | 2011-06-22 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP4879963B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2012-02-22 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
US8299863B2 (en) * | 2009-12-25 | 2012-10-30 | Seiko Epson Corporation | Flexural mode resonator element, resonating device, and electronic apparatus |
-
2008
- 2008-10-06 JP JP2008259376A patent/JP4714770B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-10-06 US US12/574,649 patent/US8093787B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5726723A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-12 | Seiko Epson Corp | Crystal thermometer |
JP2003133895A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
JP2004072609A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Seiko Epson Corp | 水晶デバイスと水晶デバイスの製造方法、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置ならびに水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2005012767A (ja) * | 2003-05-27 | 2005-01-13 | Citizen Watch Co Ltd | 水晶振動子の製造方法 |
JP2007251762A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Citizen Holdings Co Ltd | 水晶振動子の製造方法 |
JP2007282192A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-10-25 | Ngk Insulators Ltd | 圧電薄膜デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8093787B2 (en) | 2012-01-10 |
US20100084949A1 (en) | 2010-04-08 |
JP2010093408A (ja) | 2010-04-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4714770B2 (ja) | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 | |
JP5123962B2 (ja) | 音叉型圧電振動片、圧電フレーム、圧電デバイス及び音叉型圧電振動片並びに圧電フレームの製造方法 | |
JP4885206B2 (ja) | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス | |
JP5175128B2 (ja) | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス | |
JP5059399B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片および圧電デバイス | |
US8766514B2 (en) | Piezoelectric resonator element and piezoelectric resonator | |
JP5912557B2 (ja) | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス | |
US8347719B2 (en) | Piezoelectric frame and piezoelectric device incorporating same | |
JP2008060952A (ja) | 音叉型水晶振動板とその製造方法 | |
JP2010109527A (ja) | 水晶振動片およびその製造方法 | |
JP2009060478A (ja) | 圧電振動片の製造方法及び音叉型圧電振動片 | |
JP2009081521A (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電デバイスの製造方法 | |
JP2008035016A (ja) | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子及び電子部品 | |
JP5059387B2 (ja) | 音叉型圧電振動片、圧電デバイスおよび音叉型圧電振動片の製造方法 | |
JP5384406B2 (ja) | 音叉型水晶振動片の製造方法、水晶デバイス | |
JP2009152988A (ja) | 圧電振動片、圧電デバイス及びそれらの製造方法 | |
JP4102839B2 (ja) | 音叉型水晶振動片の製造方法および水晶振動デバイスの製造方法、並びに音叉型水晶振動片および水晶振動デバイス | |
JP2008131486A (ja) | 音叉型水晶振動片の製造方法および水晶振動デバイスの製造方法、並びに音叉型水晶振動片および水晶振動デバイス | |
JP5584728B2 (ja) | 音叉型圧電振動片および振動デバイス | |
JP2010283805A (ja) | 音叉型圧電振動片を製造する製造方法。音叉型圧電振動片及び圧電振動デバイス | |
JP2008113380A (ja) | 水晶振動子の製造方法、水晶振動子及び電子部品 | |
JP2009152989A (ja) | 圧電振動片及び圧電デバイス | |
JP5042597B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片および圧電デバイス | |
JP2010088054A (ja) | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス | |
JP4864581B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101004 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101004 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110111 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110303 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110328 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140401 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |