JP6322400B2 - 圧電振動片、圧電振動片の製造方法及び圧電振動子 - Google Patents

Description

本発明は、圧電振動片、圧電振動片の製造方法及び圧電振動子に関する。

従来、一対の振動腕部と、一対の振動腕部の端部同士を接続する基部と、基部に連結され且つ一対の振動腕部の両側に配置された一対の支持腕部と、を含む圧電振動片が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００６−２３８００１号公報

特許文献１の圧電振動片では、基部と一対の支持腕部と隙間にエッチング残りが形成される。そして、振動腕部で生じた振動が、このエッチング残りを介して、基部から支持腕部に漏れることで「振動漏れ」が生じてしまう。「振動漏れ」とは、振動腕部で生じた振動が支持腕部から実装基板側へ漏れてしまう現象であり、圧電振動片の振動特性を良好に保つためには、この「振動漏れ」を低減させることが好ましい。また、それぞれのエッチング残りの形状が非対称である場合、基部の側縁の実質的な長さ（エッチング残りを除いた部分の長さ）が基部の両側で異なってしまうので、振動特性に影響を与えてしまう。一対の振動腕部の屈曲振動によって所望の周波数を得る圧電振動片において、形状の対称性は極めて重要であり、対称性が崩れる場合は、所望の周波数を安定して得られない。
即ち、従来技術では、基部と支持腕部との隙間に生じるエッチング残りの「残り量」及び「非対称形状」に起因して、所望の振動特性を得られないという課題がある。

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、好適な振動特性を有する圧電振動片、圧電振動片の製造方法及び圧電振動子を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明は以下の手段を採用した。

（１）すなわち、本発明に係る一態様の圧電振動片は、第一の方向に並んで配置された一対の振動腕部を有する振動部と、前記一対の振動腕部の端部同士を接続する基部と、前記第一の方向において前記一対の振動部の両側に配置された一対の支持腕部と、前記基部と前記支持腕部とを連結する連結部と、を含む圧電振動片であって、前記基部と前記支持腕部との間には隙間が形成されており、該隙間において、前記連結部には、前記圧電振動片の主面の面内で前記第一の方向と直交する第二の方向の幅が前記基部から遠ざかるに従って小さくなるテーパー部が形成されている。

一般的にエッチング残りは、幅が狭い隙間部分、特に鋭角な角部で顕著に発生しやすい。従って、この構成によれば、連結部には、圧電振動片の主面の面内で第一の方向と直交する第二の方向の幅が基部から遠ざかるに従って小さくなるテーパー部が形成されていることにより、基部と連結部との接続部分で生じるエッチング残りの量を低減することができ、即ち、エッチング残りを介して漏れる振動量を低減することができる。つまり、振動漏れを低減することが可能になる。また、エッチング残り量を低減できるのみならず、連結部の幅が支持腕部に向かうに従って徐々に幅狭になるので、連結部においても振動を効果的に減衰することができる。
また、エッチング残りの量を低減できるので、従来技術と比較すると、基部の側縁の自室的な長さ（エッチング残りを除いた部分の長さ）を左右の側縁でほぼ同じとするこが可能になり、圧電振動片の形状の対称性を実現することができる。

（２）上記（１）に記載の圧電振動片において、前記圧電振動片の主面に垂直な方向から見て、前記基部の側縁に沿う第一の直線と、前記テーパー部において前記基部の側から傾斜した側面に沿う第二の直線と、のなす角度を前記テーパー部のテーパー角度としたとき、前記テーパー角度が３０°以上６０°以下であってもよい。

テーパー角度が小さい場合は、基部の側壁において高さ方向（第一の方向）にエッチング残りが残りやすく、エッチング残りを介した振動漏れの量を低減することが難しくなる。本発明者らの鋭意検討の結果、テーパー角度が３０°以上であれば、振動漏れ量を効果的に低減できることがわかった。また、一方でテーパー角度が大きすぎると、大きくなった分、基部と連結部とで形成される隙間の形状が鋭角形状に近づくので、より大きなエッチング残りが生じやすくなり、振動漏れを低減するのが難しくなる。さらに基部の側縁の実効長さ（エッチング残りを除いた部分の長さ）の非対称性が顕著になる。そこで、本発明者らの鋭意検討の結果、テーパー角度が６０°以下であれば、振動漏れを効果的に低減でき、さらに対称性を実現できることがわかった。なお、ここで挙げた数値は厳密な範囲を示すものではなく、例えば２°、３°程度上述の範囲から外れた場合であっても、充分な効果は期待できる。

（３）本発明に係る一態様の圧電振動片の製造方法は、第一の方向に並んで配置された一対の振動腕部を有する振動部と、前記一対の振動腕部の端部同士を接続する基部と、前記第一の方向において前記振動部の両側に配置された一対の支持腕部を有する支持部と、前記基部と前記支持部とを連結する連結部と、を含む圧電振動片の製造方法であって、ウエハの両主面に、前記圧電振動片を形成するためのマスクを形成するマスク形成工程と、前記マスクが形成された前記ウエハに対しウエットエッチングを行うエッチング工程と、前記マスクを除去するマスク除去工程と、を含み、前記マスクは、前記基部に対応する第一の部分と、前記支持部に対応する第二の部分と、前記連結部に対応する第三の部分と、を有し、前記第一の部分と前記第二の部分との間に隙間が形成され、前記第三の部分には、前記マスクの主面の面内で前記第一の方向と直交する第二の方向の幅が前記第一の部分から遠ざかるに従って小さくなるテーパー部が形成されている。

この方法によれば、この方法によれば、連結部には、圧電振動片の主面の面内で第一の方向と直交する第二の方向の幅が基部から遠ざかるに従って小さくなるテーパー部が形成されることにより、基部と連結部との接続部分で生じるエッチング残りの量を低減することができ、即ち、エッチング残りを介して漏れる振動量を低減することができる。つまり、振動漏れを低減することが可能になる。また、エッチング残り量を低減できるのみならず、連結部の幅が支持腕部に向かうに従って徐々に幅狭になるので、連結部においても振動を効果的に減衰することができる。

（４）本発明に係る一態様の圧電振動子は、上記（１）又は（２）に記載の圧電振動片を備える。

この構成によれば、振動漏れを低減可能な圧電振動片、圧電振動片の製造方法及び圧電振動子を提供することが可能になる。

本発明によれば、振動漏れを低減可能な圧電振動片、圧電振動片の製造方法及び圧電振動子を提供することが可能になる。

第一実施形態の圧電振動片を示す外観斜視図である。 第一実施形態の圧電振動片を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。 圧電振動子の一実施形態を示す外観斜視図である。 圧電振動子の一実施形態の内部構造を示す平面図である。 圧電振動子の一実施形態を示す図であって、図４におけるＡ−Ａ断面図である。 本実施形態の圧電振動子を示す図であって、各部を分解した分解斜視図である。 （Ａ）〜（Ｃ）圧電振動片の実装方法を示す図である。 比較例に係る圧電振動片における基部と一対の支持腕部との折り返し部分に形成されたエッチング残りを説明するための平面図である。 本実施形態に係る圧電振動片における連結部に形成されたテーパー部を説明するための平面図である。 本実施形態に係るテーパー部を示す平面図である。 圧電振動片の製造方法を示すフローチャートである。 （Ａ）〜（Ｅ）圧電振動片の製造方法の各工程を説明する圧電振動片に対応するウエハの部位の断面図および圧電振動片に対応するウエハの平面図である。 本実施形態に係る圧電振動片を形成するためのマスクを示す平面図である。 本実施形態に係るマスクにおける第三の部分に形成されたテーパー部を示す平面図である。 第一変形例に係る圧電振動片における連結部に形成されたテーパー部を説明するための平面図である。 第一変形例に係るテーパー部を示す平面図である。 第一変形例に係る圧電振動片を形成するためのマスクを示す平面図である。 第一変形例に係るマスクにおける第三の部分に形成されたテーパー部を示す平面図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る圧電振動片及び圧電振動子について説明する。
尚、本発明の範囲は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせる場合がある。
尚、図１から図１０までの説明においてはＸＹＺ座標系を設定し、このＸＹＺ座標系を参照しつつ各部材の位置関係を説明する。この際、圧電振動片の主面と垂直な方向をＺ軸方向、振動腕部の長手方向をＹ軸方向、Ｙ軸方向とＺ軸方向の両方と直交する方向をＸ軸方向とする。また、基部から振動腕部の先端に向かう方向を＋Ｙ方向とする。

［第一実施形態］
（圧電振動片）
まず、本実施形態の圧電振動片１について説明する。
図１，２は、本実施形態の圧電振動片を示す図である。図１は、外観斜視図、図２（Ａ）は平面図、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の側面図である。
尚、図１，２においては、後述する圧電振動子に実装する際にパッケージの実装面と対向する対向面（一面）１８ａが上側（＋Ｚ方向側）となるようにして表している。

本実施形態の圧電振動片１は、図１，２に示すように、平板状である。図２（Ａ）に示すように、圧電振動片１は、第一の方向（Ｘ軸方向）に並んで配置された一対の振動腕部１１，１２を有する振動部２０と、ハンマー部１３，１４と、一対の振動腕部１１，１２の端部同士を接続する基部１０と、第一の方向において振動部２０の両側に配置された一対の支持腕部１５，１６を有する支持部２１と、基部１０と支持部２１とを連結する連結部２２と、を備えている。尚、連結部２２に形成されたテーパー部の詳細については後述する。

圧電振動片１は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成されたサイドアーム型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。
圧電振動片１の面に垂直な方向の厚さ（Ｚ軸方向長さ）としては、例えば、３０μｍとすることができる。

一対の振動腕部１１，１２は、基部１０からそれぞれ同一の方向（＋Ｙ方向）に向かって延出している。振動腕部１１，１２は、長手方向（Ｙ軸方向）と垂直で圧電振動片１の面と平行な方向（第一の方向）、すなわちＸ軸方向に並んで設けられている。一対の振動腕部１１，１２の外表面上には、これら一対の振動腕部１１，１２を振動させる不図示の励振電極が形成されている。

ハンマー部１３，１４は、それぞれ振動腕部１１，１２の先端から、振動腕部１１，１２の長手方向（Ｙ軸方向）に沿うように延出形成されている。ハンマー部１３，１４の幅（Ｘ軸方向長さ）は、振動腕部１１，１２の幅（Ｘ軸方向長さ）よりも大きく形成されている。ハンマー部１３，１４は、基部１０を固定端として、幅方向（Ｘ軸方向）に振動する自由端に設定されている。なお、本実施形態ではハンマー部１３、１４を有した形状を採用しているが、本発明に係る圧電振動片の形状はこれに限られるものではなく、ハンマー部を有さない形状であってもよい。

一対の支持腕部１５，１６は、基部１０から、振動腕部１１，１２の幅方向（Ｘ軸方向）両側に延出した後、振動腕部１１，１２の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って、振動腕部１１，１２の先端側（＋Ｙ方向側）に向かって屈曲延出して形成されている。

支持腕部１５，１６は、それぞれマウント部１５ａ，１６ａを備えている。マウント部１５ａ，１６ａは、圧電振動片１の対向面１８ａ上における、支持腕部１５，１６の延出方向側（＋Ｙ方向側）の先端部近傍に設けられている。マウント部１５ａ，１６ａが設けられている位置は、支持腕部１５，１６が振動する際に、振動の節となる位置である。これにより、振動腕部１１、１２から漏れた振動がマウント部１５ａ、１６ａにおいて実装基板（不図示）側に漏れることを低減できる。

支持腕部１５，１６のマウント部１５ａ，１６ａには、不図示のマウント電極が形成され、不図示の引き出し電極により、振動腕部１１，１２の外表面上に形成された励振電極と接続されている。そして、これらの各電極に所定の電圧が印加されると、一対の振動腕部１１，１２の双方の励振電極同士の相互作用により、一対の振動腕部１１，１２が互いに接近または離間する方向（Ｘ軸方向）に所定の共振周波数で振動する。

（圧電振動子）
次に、圧電振動片１を用いた圧電振動子の一実施形態として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明する。
図３から６は、本実施形態の圧電振動子５００を示す図であり、図３は外観斜視図、図４は圧電振動子の内部構成を示す、封口板を取り外した状態の平面図、図５は図４におけるＡ−Ａ断面図、図６は圧電振動子５００の分解斜視図である。

本実施形態の圧電振動子５００は、図３から図６に示すように、内部に気密封止されたキャビティＣを有するパッケージ５１０と、キャビティＣ内に収容された前述した圧電振動片１と、を備える。

この圧電振動子５００は、略直方体状に形成されており、本実施形態では平面視において圧電振動子５００の長手方向を長さ方向（Ｙ軸方向）といい、短手方向を幅方向（Ｘ軸方向）といい、これら長さ方向及び幅方向に対して直交する方向を厚さ方向（Ｚ軸方向）という。

パッケージ５１０は、パッケージ本体（ベース部材）５３０と、このパッケージ本体５３０に対して接合されるとともに、パッケージ本体５３０との間にキャビティＣを形成する封口板（リッド部材）５４０と、を備えている。

パッケージ本体５３０は、互いに重ね合わされた状態で接合された第一ベース基板５５０及び第二ベース基板５６０と、第二ベース基板５６０上に接合されたシールリング５７０と、を備えている。
第一ベース基板５５０は、平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされている。第二ベース基板５６０は、第一ベース基板５５０と同じ外形形状である平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされており、第一ベース基板５５０上に重ねられた状態で焼結等によって一体的に接合されている。

第一ベース基板５５０及び第二ベース基板５６０の四隅には、平面視１／４円弧状の切欠部５８０が、両基板５５０，５６０の厚さ方向の全体に亘って形成されている。これら第一ベース基板５５０及び第二ベース基板５６０は、例えば、ウエハ状のセラミック基板を２枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが４分割されることで、前述した切欠部５８０となる。
また、第二ベース基板５６０の上面は、圧電振動片１がマウントされる実装面５６０ａとされている。

尚、第一ベース基板５５０及び第二ベース基板５６０はセラミックス製としたが、その具体的なセラミックス材料としては、例えばアルミナ製のＨＴＣＣ（Ｈｉｇｈ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）や、ガラスセラミックス製のＬＴＣＣ（Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）等が挙げられる。

シールリング５７０は、第一ベース基板５５０及び第二ベース基板５６０の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材であり、第二ベース基板５６０の実装面５６０ａに接合されている。
具体的には、シールリング５７０は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって実装面５６０ａ上に接合、あるいは、実装面５６０ａ上に形成（例えば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタリング法等により）された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。

尚、シールリング５７０の材料としては、例えばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバール、エリンバー、インバー、４２−アロイ等から選択すればよい。特に、シールリング５７０の材料としては、セラミック製とされている第一ベース基板５５０及び第二ベース基板５６０に対して熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。例えば、第一ベース基板５５０及び第二ベース基板５６０として、熱膨張係数６．８×１０^-6／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング５７０としては、熱膨張係数５．２×１０^-6／℃のコバールや、熱膨張係数４．５×１０^-6／℃以上、６．５×１０^-6／℃以下の４２−アロイを用いることが好ましい。

封口板５４０は、シールリング５７０上に重ねられた導電性基板であり、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付け等によって、シールリング５７０と気密に接合されている。
シールリング５７０に対する接合は、そして、この封口板５４０とシールリング５７０と第二ベース基板５６０の実装面５６０ａとで画成された空間が、気密に封止された前述したキャビティＣとして機能する。

尚、封口板５４０の溶接方法としては、例えばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板５４０とシールリング５７０との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板５４０の下面と、シールリング５７０の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。

第二ベース基板５６０の実装面５６０ａ上には、凸部（隙間形成部）８１が設けられている。凸部８１は、圧電振動片１が実装されている側に突出して形成されており、平面視形状は特に限定されず、矩形状であっても、他の形状であってもよい（図では矩形状）。
凸部８１の上面は、実装面５６０ａと平行である。凸部８１は、実装面５６０ａにおける、後述する凹部６６０の−Ｙ方向側に、実装面５６０ａの幅方向（Ｘ軸方向）の中心を挟んで２つ、対称の位置に設けられている。凸部８１の上面には、圧電振動片１との接続電極である一対の電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂがそれぞれ形成されている。

第一ベース基板５５０の下面には、一対の外部電極６２０Ａ，６２０Ｂが長さ方向（Ｙ軸方向）に間隔をあけて形成されている。
これら電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂ及び外部電極６２０Ａ，６２０Ｂは、例えば、蒸着やスパッタリング法等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜であり、互いにそれぞれ導通している。

この点詳細に説明する。
図５に示すように、第一ベース基板５５０には一方の外部電極６２０Ａに導通し、第一ベース基板５５０を厚さ方向に貫通する一方の第一貫通電極６３０Ａが形成されているとともに、第二ベース基板５６０には一方の電極パッド６１０Ａに導通し、第二ベース基板５６０を厚さ方向に貫通する一方の第二貫通電極６４０Ａが形成されている。そして、第一ベース基板５５０と第二ベース基板５６０との間には、一方の第一貫通電極６３０Ａと一方の第二貫通電極６４０Ａとを接続する一方の接続電極６５０Ａが形成されている。これにより、一方の電極パッド６１０Ａと一方の外部電極６２０Ａとは、互いに導通している。

また、第一ベース基板５５０には他方の外部電極６２０Ｂに導通し、第一ベース基板５５０を厚さ方向に貫通する他方の第一貫通電極６３０Ｂが形成されているとともに、第二ベース基板５６０には他方の電極パッド６１０Ｂに導通し、第二ベース基板５６０を厚さ方向に貫通する他方の第二貫通電極６４０Ｂが形成されている。そして、第一ベース基板５５０と第二ベース基板５６０との間には、他方の第一貫通電極６３０Ｂと他方の第二貫通電極６４０Ｂとを接続する他方の接続電極６５０Ｂが形成されている。これにより、他方の電極パッド６１０Ｂと他方の外部電極６２０Ｂとは、互いに導通している。
尚、他方の接続電極６５０Ｂは、後述する凹部６６０を回避するように、例えばシールリング５７０の下方をシールリング５７０に沿って延在するようにパターニングされている。

第二ベース基板５６０の実装面５６０ａには、図４及び図５に示すように、振動腕部１１，１２の先端部に対向する部分に、落下等による衝撃の影響によって振動腕部１１，１２が厚さ方向（Ｚ軸方向）に変位（撓み変形）した際に、振動腕部１１，１２との接触を回避する凹部６６０が形成されている。この凹部６６０は、第二ベース基板５６０を貫通する貫通孔とされているとともに、シールリング５７０の内側において四隅が丸みを帯びた平面視正方形状に形成されている。

そして、圧電振動片１は、図５に示すように、導電性接着剤８０を介して、マウント部１５ａ，１６ａに形成されている図示しないマウント電極が、電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂに接触するようにマウントされている。なお、導電性接着剤８０ではなく、金属バンプを用いてマウントしてもよい。

これにより、圧電振動片１は、第二ベース基板５６０の実装面５６０ａに対して、対向面１８ａが平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂにそれぞれ電気的に接続された状態とされている。

このように構成された圧電振動子５００を作動させる場合には、外部電極６２０Ａ，６２０Ｂに対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片１の励振電極に電流を流すことができ、一方の振動腕部１１と他方の振動腕部１２とを圧電振動片１の面に沿って所定の周波数で振動させることができる。そして、この振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として圧電振動子５００を利用することができる。

次に、本実施形態の圧電振動片の実装方法について、図７を参照して説明する。
図７は、本実施形態の圧電振動片１を圧電振動子５００に実装する手順を示す断面図であり、図４におけるＡ−Ａ断面と同様の断面を示している。尚、図７においては、圧電振動子５００の構成要素を適宜省略して図示している。

まず、図７（Ａ）に示すように、第二ベース基板５６０の実装面５６０ａ上に設けられた電極パッド６１０Ａ（６１０Ｂ）の上面６１０Ａａ（６１０Ｂａ）に未硬化の導電性接着剤６４を塗布する。
未硬化の導電性接着剤６４は、圧電振動片１を第二ベース基板５６０上に接着できる範囲内において、特に限定されない。本実施形態においては、熱硬化性を有する接着剤である。

次に、図７（Ｂ）に示すように、圧電振動片１を、対向面１８ａが第二ベース基板５６０の実装面５６０ａと対向するようにして、第二ベース基板５６０上に設置する。
このとき、圧電振動片１における支持腕部１５，１６のマウント部１５ａ，１６ａを、第二ベース基板５６０の凸部８１上に設けられた電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂの上面６１０Ａａ，６１０Ｂａに対向するようにして、未硬化の導電性接着剤６４に当接させる。これにより、圧電振動片１が、圧電振動片１の対向面１８ａと、実装面５６０ａと、が平行な姿勢で、第二ベース基板５６０上に設置される。

次に、未硬化の導電性接着剤６４を、加熱することにより、硬化させる。
この工程により、硬化した導電性接着剤８０によって、圧電振動片１のマウント部１５ａ，１６ａと、第二ベース基板５６０の凸部８１上に設けられた電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂと、がそれぞれ固着される。

以上の工程により、圧電振動片１は、図７（Ｃ）に示すように、第二ベース基板５６０の実装面５６０ａに対して、対向面１８ａが平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂにそれぞれ電気的に接続された状態で実装される。

以下に、図８から１０を用いて、本実施形態に係る圧電振動片１の連結部構造について、比較例に係る圧電振動片１００１の折り返し部構造と比較して説明する。

図８は比較例に係る圧電振動片１００１における基部１０１０と一対の支持腕部１０１５，１０１６との隙間に形成されたエッチング残りＥｒ１，Ｅｒ２を説明するための平面図、図９は本実施形態に係る圧電振動片１における連結部２２に形成されたテーパー部２３ｔ，２４ｔを説明するための平面図、図１０は本実施形態に係るテーパー部２３ｔを示す平面図である。

図８に示すように、比較例に係る圧電振動片１００１は、一対の振動腕部１０１１，１０１２と、一対の振動腕部１０１１，１０１２の先端にそれぞれ形成されたハンマー部１０１３，１０１４と、一対の振動腕部１０１１，１０１２の端部同士を接続する基部１０１０と、基部１０１０に連結され且つ一対の振動腕部１０１１，１０１２の両側に配置された一対の支持腕部１０１５，１０１６と、を備えている。

圧電振動片１００１における基部１０１０と一対の支持腕部１０１５，１０１６との隙間には、それぞれエッチング残りＥｒ１，Ｅｒ２が形成されている。

ところで、水晶は結晶軸毎にエッチングレートが異なっており、水晶の異方性によりエッチング残りが非対称に形成される。エッチング残りは、特に＋Ｘ方向側において顕著に形成される。そのため、圧電振動片１００１には、一方の支持腕部１０１５の隙間におけるエッチング残りＥｒ１と、他方の支持腕部１０１６の側の隙間におけるエッチング残りＥｒ２とが、上下（＋Ｘ方向側と−Ｘ方向側）で非対称に形成される。この場合、基部１０１０に対して一方の支持腕部１０１５の側のエッチング残りＥｒ１と、他方の支持腕部１０１６の側のエッチング残りＥｒ２とが、上下（＋Ｘ方向側と−Ｘ方向側）で非対称に形成される。その結果、基部１０１０の側縁の長さが上下（＋Ｘ方向側と−Ｘ方向側）で異なるようになる。具体的には、基部１０１０において一方の支持腕部１０１５の側の側縁の長さＬｘ１が、他方の支持腕部１０１６の側の側縁の長さＬｘ２よりも小さくなる（Ｌｘ１＜Ｌｘ２）。

これに対し、本実施形態に係る圧電振動片１は、図９に示すように、一対の振動腕部１１，１２を有する振動部２０と、一対の振動腕部１１，１２の先端にそれぞれ形成されたハンマー部１３，１４と、一対の振動腕部１１，１２の端部同士を接続する基部１０と、振動部２０の両側に配置された一対の支持腕部１５，１６を有する支持部２１と、基部１０と支持部２１とを連結する連結部２２と、を備えている。

圧電振動片１における基部１０と支持部２１との間には隙間２５が形成されている。隙間２５は、平面視Ｖ字状に形成されている。
連結部２２には、圧電振動片１の主面の面内（ＸＹ平面内）で第一の方向（Ｘ軸方向）と直交する第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が基部１０から遠ざかるに従って小さくなるテーパー部２３ｔ，２４ｔが形成されている。

連結部２２のうち基部１０と一方の支持腕部１５とを連結する部分を第一の連結部２３とし、基部１０と他方の支持腕部１６とを連結する部分を第二の連結部２４とする。第一の連結部２３には、第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が基部１０から遠ざかる（−Ｘ方向に向かう）に従って小さくなるテーパー部２３ｔが形成されている。第二の連結部２４には、第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が基部１０から遠ざかる（＋Ｘ方向に向かう）に従って小さくなるテーパー部２４ｔが形成されている。

図１０に示すように、テーパー部２３ｔは、目的とするテーパー角度と同じ角度を有するテーパー部２３ｔ１と、エッチング残り２３ｒと、を有する。

平面視で、基部１０の側縁に沿う第一の直線Ｌｓ１と、テーパー部２３ｔにおいて基部１０の側から傾斜した側面に沿う第二の直線Ｌｓ２と、のなす角度をテーパー部２３ｔのテーパー角度θ１としたとき、テーパー角度θ１は３０°以上６０°以下である。本実施形態のテーパー角度θ１は４５°程度である。

エッチング残りは隙間の小さい部分で顕著に発生しやすいという性質を有する。すなわち、エッチング残りは隙間２５の大きい部分（基部１０側の部分）では発生しにくい。本実施形態において、エッチング残り２３ｒは、基部１０の側面には形成されず、目的とするテーパー角度と同じ角度を有するテーパー部２３ｔ１の側面と、支持腕部１５の連結部２３の側の部分の側面とにのみ選択的に形成される。
図９に戻り、テーパー部２４ｔにおけるエッチング残り（図示略）も、基部１０の側面には形成されず、目的とするテーパー角度と同じ角度を有するテーパー部の側面と、支持腕部１６の連結部２４の側の部分の側面とにのみ選択的に形成される。

このように、本実施形態では基部１０の側面にエッチング残りが形成されないため、基部１０の側縁の長さが上下（＋Ｘ方向側と−Ｘ方向側）で同じになる。具体的には、基部１０において一方の支持腕部１５の側の側縁の長さＬ１が、他方の支持腕部１６の側の側縁の長さＬ２と等しくなる（Ｌ１＝Ｌ２）。

（圧電振動片の製造方法）
以下に、図１１から１４を用いて、本実施形態に係る圧電振動片１の製造方法について説明する。

図１１は圧電振動片１の製造方法を示すフローチャート、図１２（Ａ）〜（Ｅ）は圧電振動片１の製造方法の各工程を説明する圧電振動片１に対応するウエハＳの部位の断面図及び圧電振動片１に対応するウエハＳの平面図、図１３は本実施形態に係る圧電振動片１を形成するための外形パターン３０Ａを示す平面図、図１４は本実施形態に係る外形パターン３０Ａにおける第三の部分５２に形成されたテーパー部５３ｔを示す平面図である。
先ず、水晶のランバート原石を所定の角度でスライスして一定の厚みのウエハＳとする。
例えば、所定の角度は、Ｘ軸に対して、−５°以上＋１５°以下である。
次に、ウエハＳをラッピングして粗加工した後、加工変質層をエッチングで取り除き、この後、ポリッシュなどの鏡面研磨加工を行なって所定の厚みとする（図１１に示すステップＳ１）。
例えば、ウエハＳの厚みを８０μｍとする。

次に、図１２（Ａ）に示すように、ウエハＳの両主面にエッチング保護膜３０と外形フォトレジスト膜３３をそれぞれ成膜する（図１１に示すステップＳ２）。
エッチング保護膜３０は、例えばクロム（Ｃｒ）を数１０ｎｍ成膜したエッチング保護膜３１と、金（Ａｕ）を数１０ｎｍ成膜したエッチング保護膜３２とが、順次積層された積層膜である。

このステップＳ２においては、先ず、ウエハＳの両主面に、順次、エッチング保護膜３１とエッチング保護膜３２とを、それぞれスパッタリング法や蒸着法などにより成膜する。
次いで、エッチング保護膜３０上に、スピンコート法などによりレジスト材料を塗布して、外形フォトレジスト膜３３を形成する。
尚、本実施形態で用いるレジスト材料としては、環化ゴム（例えば、環化イソプレン）を主体にしたゴム系ネガレジストが好適に用いられている。ゴム系ネガレジストは、環化ゴムを有機溶剤に溶解し、さらにビスアジド感光剤を加えて、ろ過し、不純物を除去することで精製されたものである。

次に、エッチング保護膜３０及び外形フォトレジスト膜３３が成膜されたウエハＳの両主面を、外形パターンが描画されたフォトマスクを用いて一括で露光し、現像する。
これによって、図１２（Ｂ）に示すように、外形フォトレジスト膜３３に外形パターン３３Ａを形成する（図１１に示すステップＳ３）。

ここで、外形パターン３３Ａは、目的とする圧電振動片の外形に沿った形状を有する（図１３参照）。すなわち、外形パターン３３Ａは、連結部２２に対応する部分（後述する第三の部分）において目的とするテーパー角度と同じ角度を有するテーパー部を有する。尚、第三の部分におけるテーパー部のテーパー角度θ１ｍについては後述する（図１４参照）。

次に、外形パターン３３Ａが形成された外形フォトレジスト膜３３をマスクとしてエッチング加工を行ない、マスクされていないエッチング保護膜３０のエッチング保護膜３２のみを選択的に除去する（図１１に示すステップＳ４）。
次に、エッチング加工後に、外形パターン３３Ａが形成された外形フォトレジスト膜３３を剥離する（図１１に示すステップＳ５）。
これらによって、図１２（Ｃ）に示すように、エッチング保護膜３２に外形パターン３２Ａを形成する。

尚、エッチング加工には、エッチング保護膜３０と外形フォトレジスト膜３３が形成されたウエハＳを薬液に浸漬して行うウエットエッチング方式を用いることができる。具体的には、例えば、金（Ａｕ）が成膜されたエッチング保護膜３２は薬液としてヨウ素を用いてエッチングすることができる。
尚、このパターニングは、複数の圧電振動片１の数だけ、一括して行なう。

次に、エッチング保護膜３２をマスクとしてエッチング加工を行ない、マスクされていないエッチング保護膜３０のエッチング保護膜３１を選択的に除去する。
これによって、図１２（Ｃ）に示すように、エッチング保護膜３１に外形パターン３１Ａを形成する。

これらによって、エッチング保護膜３０に外形パターン３０Ａ（マスク）を形成する（マスク形成工程）。

尚、エッチング加工には、エッチング保護膜３１が形成されたウエハＳを薬液に浸漬して行うウエットエッチング方式を用いることができる。具体的には、例えば、クロム（Ｃｒ）が成膜されたエッチング保護膜３１は薬液としてフェリシアン化カリウムを用いてエッチングすることができる。

図１３に示すように、本実施形態に係る外形パターン３０Ａは、基部１０に対応する第一の部分４０と、支持部２１に対応する第二の部分５１と、連結部２２に対応する第三の部分５２と、を有する。尚、図１３において、符号４１は一方の振動腕部１１に対応する部分、符号４２は他方の振動腕部１２に対応する部分、符号４３は一方のハンマー部１３に対応する部分、符号４４は他方のハンマー部１４に対応する部分、符号４５は一方の支持腕部１５に対応する部分、符号４６は他方の支持腕部１６に対応する部分、符号５０は振動部２０に対応する部分である。
外形パターン３３Ａは、目的とする圧電振動片の外形に沿った形状を有し、第三の部分５２において目的とするテーパー角度と同じ角度を有するテーパー部５３ｔ，５４ｔを有する。

外形パターン３０Ａにおける第一の部分４０と第二の部分５１との間には隙間５５が形成されている。隙間５５は、平面視Ｖ字状に形成されている。
第三の部分５２には、外形パターン３０Ａの主面の面内（ＸＹ平面内）で第一の方向（Ｘ軸方向）と直交する第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が第一の部分４０から遠ざかるに従って小さくなるテーパー部５３ｔ，５４ｔが形成されている。

第三の部分５２のうち第一の部分４０と一方の支持腕部１５に対応する部分４５とを連結する部分を一方の第三の部分５３とし、第一の部分４０と他方の支持腕部１６に対応する部分４６とを連結する部分を他方の第三の部分５４とする。一方の第三の部分５３には、第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が第一の部分４０から遠ざかる（−Ｘ方向に向かう）に従って小さくなるテーパー部５３ｔが形成されている。他方の第三の部分５４には、第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が第一の部分４０から遠ざかる（＋Ｘ方向に向かう）に従って小さくなるテーパー部５４ｔが形成されている。

図１４に示すように、テーパー部５３ｔは、目的とするテーパー角度と同じ角度を有する。テーパー部５３ｔは、図１０に示すテーパー部２３ｔ１と同じ平面形状を有する。
平面視で、第一の部分４０の側縁に沿う第一の直線Ｌｍ１と、テーパー部５３ｔにおいて第一の部分４０の側から傾斜した側面に沿う第二の直線Ｌｍ２と、のなす角度をテーパー部５３ｔのテーパー角度θ１ｍとしたとき、テーパー角度θ１ｍは３０°以上６０°以下である。本実施形態のテーパー角度θ１ｍは４０°程度である。なお、ここでいうテーパー角度とは、エッチング残りを除いた部分で定義される角度である。

次に、図１２（Ｄ）に示すように、外形パターン３０Ａをマスクとしてエッチング加工を行ない、マスクされていないウエハＳを選択的に除去する（図１１に示すステップＳ６、エッチング工程）。
このエッチング加工は、外形パターン３０Ａが形成されたウエハＳを薬液に浸漬して行うウエットエッチング方式を用いることができる。例えば、水晶からなるウエハは薬液としてフッ酸を用いてエッチングすることができる。例えば、エッチング時間は１０時間程度とする。

次に、エッチング加工後に、外形パターン３０Ａが形成されたエッチング保護膜３０を剥離する（図１１に示すステップＳ７、マスク除去工程）。
これによって、図１２（Ｅ）に示すように、圧電振動片１を形成する。
これにより、１枚のウエハから、圧電振動片１を一度に複数製造する。
以上により、圧電振動片１の製造は終了する。

以上説明したように、本実施形態に係る圧電振動片１によれば、基部１０と支持部２１との間に隙間２５が形成され、連結部２２には、圧電振動片１の主面の面内で第一の方向（Ｘ軸方向）と直交する第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が基部１０から遠ざかるに従って小さくなるテーパー部２３ｔ，２４ｔが形成される。
また、本実施形態に係る圧電振動片１の製造方法によれば、第一の部分４０と第二の部分５１との間に隙間５５が形成され、第三の部分５２には、外形パターン３０Ａの主面の面内（ＸＹ平面内）で第一の方向（Ｘ軸方向）と直交する第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が第一の部分４０から遠ざかるに従って小さくなるテーパー部５３ｔ，５４ｔが形成される。
本実施形態によれば、エッチング残りは隙間の小さい部分で顕著に発生しやすいという性質を有するため、エッチング残りが発生する起点を基部１０から遠くに配置することができる。そのため、エッチング残りが発生しても、エッチング残りが基部１０に形成されることを抑制することができる。よって、基部１０に対してエッチング残りが一方の支持腕部１５の側と他方の支持腕部１６の側とで非対称に形成されることを抑制し、振動漏れの発生を抑制することができる。

特に、基部の側面においてエッチング残りが上下（＋Ｘ方向側と−Ｘ方向側）で非対称であると、周波数特性（ドライブレベル特性）が大きく低下するため、一対の振動腕部１１，１２間で振動のバラツキが大きくなり、振動漏れの発生が顕著となる。
これに対し、本実施形態によれば、エッチング残りを上下（＋Ｘ方向側と−Ｘ方向側）で対称とすることができるため、周波数特性（ドライブレベル特性）の低下を抑制し、振動漏れの発生を抑制することができる。

また、この構成によれば、テーパー角度θ１が４５°程度であるため、エッチング残りが発生する起点を基部１０から遠くに確実に配置することができる。よって、基部１０に対してエッチング残りが一方の支持腕部１５の側と他方の支持腕部１６の側とで非対称に形成されることを確実に抑制し、振動漏れの発生を確実に抑制することができる。また、エッチング残りの残り量自体を減らすことができるので、効果的に振動漏れの量を低減できる。

また、この構成によれば、圧電振動子５００が上述した圧電振動片１を備えるため、基部１０に対してエッチング残りが一方の支持腕部１５の側と他方の支持腕部１６の側とで非対称に形成されることを抑制し、振動漏れの発生を抑制することが可能な圧電振動子５００が得られる。また、連結部２２が幅狭になるので、幅狭の部分で振動を減衰させることが出来、より効果的に振動漏れの効果を得ることができる。

尚、本実施形態においては、サイドアーム型の圧電振動片を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、センターアーム型の圧電振動片においても、本発明を適用可能である。

また、本実施形態においては、未硬化の導電性接着剤６４として、熱硬化性を有するものを挙げて説明したが、これに限定されない。未硬化の導電性接着剤６４は、例えば、光硬化性を有するようなものであってもよい。この場合においては、加熱工程の代わりに、紫外線を当てる等することにより未硬化の導電性接着剤６４を硬化させる工程を行う。

また、本実施形態においては、圧電振動片１を用いた圧電振動子として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明したが、圧電振動片１を、ガラス材によって形成されるベース基板及びリッド基板が陽極接合によって接合されるガラスパッケージタイプの圧電振動子に適用することも可能である。

また、本実施形態においては、圧電振動子５００に実装する圧電振動片として、第一実施形態の圧電振動片１を用いたが、後述する第一変形例の圧電振動片を用いてもよい。

[第一変形例]
（圧電振動片）
尚、上記実施形態に係る圧電振動片１では、エッチング残りが基部１０の側面には形成されず、目的とするテーパー角度と同じ角度を有するテーパー部の側面と、支持腕部の連結部２３の側の部分の側面とにのみ選択的に形成されていたが、これに限定されない。例えば、基部１０の側縁の長さが上下（＋Ｘ方向側と−Ｙ方向側）で略同じになる範囲であれば、エッチング残りが基部１０の側面に若干形成されていてもよい。

以下に、図１５，１６を用いて、本変形例に係る圧電振動片１０１の連結部構造について説明する。
図１５は本変形例に係る圧電振動片１０１における連結部１２２に形成されたテーパー部１２３ｔ，１２４ｔを説明するための平面図、図１６は本変形例に係るテーパー部１２３ｔを示す平面図である。
尚、第一実施形態に係る圧電振動片１と同様の構成については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

本変形例に係る圧電振動片１０１は、図１５に示すように、一対の振動腕部１１，１２を有する振動部２０と、一対の振動腕部１１，１２の先端にそれぞれ形成されたハンマー部１３，１４と、一対の振動腕部１１，１２の端部同士を接続する基部１０と、振動部２０の両側に配置された一対の支持腕部１５，１６を有する支持部２１と、基部１０と支持部２１とを連結する連結部１２２と、を備えている。

圧電振動片１０１における基部１０と支持部２１との間には隙間１２５が形成されている。隙間１２５は、平面視Ｖ字状に形成されている。
連結部１２２には、圧電振動片１０１の主面の面内（ＸＹ平面内）で第一の方向（Ｘ軸方向）と直交する第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が基部１０から遠ざかるに従って小さくなるテーパー部１２３ｔ，１２４ｔが形成されている。

連結部１２２のうち基部１０と一方の支持腕部１５とを連結する部分を第一の連結部１２３とし、基部１０と他方の支持腕部１６とを連結する部分を第二の連結部１２４とする。第一の連結部１２３には、第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が基部１０から遠ざかる（−Ｘ方向に向かう）に従って小さくなるテーパー部１２３ｔが形成されている。第二の連結部１２４には、第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が基部１０から遠ざかる（＋Ｘ方向に向かう）に従って小さくなるテーパー部１２４ｔが形成されている。

図１６に示すように、テーパー部１２３ｔは、目的とするテーパー角度と同じ角度を有し且つテーパー部１２３ｔにおいて基部１０の側から傾斜した側面する第一のテーパー部１２３ｔ１と、目的とするテーパー角度と同じ角度を有し且つテーパー部１２３ｔにおいて支持腕部１５の側から傾斜した側面する第二のテーパー部１２３ｔ２と、エッチング残り１２３ｒと、を有する。

平面視で、基部１０の側縁に沿う第一の直線Ｌｓ１１と、テーパー部１２３ｔにおいて基部１０の側から傾斜した側面に沿う第二の直線Ｌｓ１２と、のなす角度をテーパー部１２３ｔのテーパー角度θ１１としたとき、テーパー角度θ１１は３０°以上６０°以下である。本実施形態のテーパー角度θ１１は４５°程度である。

本変形例において、エッチング残り１２３ｒは、基部１０の側面に若干形成されるものの、第一のテーパー部１２３ｔ１の側面と、第二のテーパー部１２３ｔ２の側面とに大部分が形成される。
図１５に戻り、テーパー部１２４ｔにおけるエッチング残り（図示略）も、基部１０の側面に若干形成されるものの、第一のテーパー部の側面と、第二のテーパー部の側面とに大部分が形成される。

そのため、基部１０の側縁の長さが上下（＋Ｘ方向側と−Ｘ方向側）で略同じになる。具体的には、基部１０において一方の支持腕部１５の側の側縁の長さＬ１１が、他方の支持腕部１６の側の側縁の長さＬ１２と概ね等しくなる（Ｌ１１≒Ｌ１２）。

（外形パターン）
本変形例に係る圧電振動片１０１の製造方法は、マスク形成工程で形成される外形パターン１３０Ａを除き、第一実施形態に係る圧電振動片１の製造方法と同様の製造工程を有するため、その詳細な説明を省略する。
以下に、図１７，１８を用いて、本変形例に係る外形パターン１３０Ａについて説明する。
図１７は本変形例に係る圧電振動片１０１を形成するための外形パターン１３０Ａを示す平面図、図１８は本変形例に係る外形パターン１３０Ａにおける第三の部分１５２に形成されたテーパー部１５３ｔを示す平面図である。
尚、第一実施形態に係る外形パターン３０Ａと同様の構成については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

図１７に示すように、本変形例に係る外形パターン１３０Ａは、基部１０に対応する第一の部分４０と、支持部２１に対応する第二の部分５１と、連結部１２２に対応する第三の部分１５２と、を有する。
外形パターン１３０Ａは、目的とする圧電振動片の外形に沿った形状を有し、第三の部分１５２において目的とするテーパー角度と同じ角度を有するテーパー部１５３ｔ，１５４ｔを有する。

外形パターン１３０Ａにおける第一の部分４０と第二の部分５１との間には隙間１５５が形成されている。隙間１５５は、平面視Ｖ字状に形成されている。
第三の部分１５２には、外形パターン１３０Ａの主面の面内（ＸＹ平面内）で第一の方向（Ｘ軸方向）と直交する第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が第一の部分４０から遠ざかるに従って小さくなるテーパー部１５３ｔ，１５４ｔが形成されている。

第三の部分１５２のうち第一の部分４０と一方の支持腕部１５に対応する部分４５とを連結する部分を一方の第三の部分１５３とし、第一の部分４０と他方の支持腕部１６に対応する部分４６とを連結する部分を他方の第三の部分１５４とする。一方の第三の部分１５３には、第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が第一の部分４０から遠ざかる（−Ｘ方向に向かう）に従って小さくなるテーパー部１５３ｔが形成されている。他方の第三の部分１５４には、第二の方向（Ｙ軸方向）の幅が第一の部分４０から遠ざかる（＋Ｘ方向に向かう）に従って小さくなるテーパー部１５４ｔが形成されている。

図１８に示すように、テーパー部１５３ｔは、目的とするテーパー角度と同じ角度を有し且つテーパー部１５３ｔにおいて第一の部分４０の側から傾斜した側面を有する第一のテーパー部１５３ｔ１と、目的とするテーパー角度と同じ角度を有し且つテーパー部１５３ｔにおいて一方の支持腕部１５に対応する部分４５の側から傾斜した側面を有する第二のテーパー部１５３ｔ２と、を有する。

平面視で、第一の部分４０の側縁に沿う第一の直線Ｌｍ１１と、テーパー部１５３ｔにおいて第一の部分４０の側から傾斜した側面（第一のテーパー部１５３ｔ１の側面）に沿う第二の直線Ｌｍ１２と、のなす角度をテーパー部１５３ｔの第一のテーパー角度θ１１ｍとしたとき、第一のテーパー角度θ１１ｍは３０°以上６０°以下である。本変形例の第一のテーパー角度θ１１ｍは４５°程度である。

また、一方の支持腕部１５に対応する部分４５の側縁に沿う第三の直線Ｌｍ１３と、テーパー部１５３ｔにおいて一方の支持腕部１５に対応する部分４５の側から傾斜した側面（第二のテーパー部１５３ｔ２の側面）に沿う第四の直線Ｌｍ１４と、のなす角度をテーパー部１５３ｔの第二のテーパー角度θ１２ｍとしたとき、第二のテーパー角度θ１２ｍは３０°以上６０°以下である。本変形例の第二のテーパー角度θ１２ｍは４０°程度である。

以上説明したように、基部の側縁の実効長さ（エッチング残りを除いた部分の長さ）を左右で略対照にしつつ、さらにエッチング残り量を低減することができる。よって、良好な振動特性を得ることができる。

さらに、本変形例によれば、第二のテーパー角度θ１２ｍを調整することで、基部１０に形成されるエッチング残りを調整することができる。よって、基部１０に形成されるエッチング残りの量を上下（＋Ｘ方向側と−Ｘ方向側）でコントロールしつつ、周波数特性（ドライブレベル特性）の低下を抑制し、振動漏れの発生を抑制することができる。

また、本変形例によれば、テーパー角度θ１１が４５°程度であるため、エッチング残りが発生する起点を基部１０から遠くに確実に配置することができる。よって、基部１０に対してエッチング残りが一方の支持腕部１５の側と他方の支持腕部１６の側とで非対称に形成されることを確実に抑制し、振動漏れの発生を確実に抑制することができる。

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

１，１０１…圧電振動片、１０…基部、１１，１２…振動腕部、１５，１６…支持腕部、２０…振動部、２１…支持部、２２，１２２…連結部、２３ｒ，１２３ｒ…エッチング残り、２３ｔ，２４ｔ，１２３ｔ，１２４ｔ…テーパー部、２５，１２５…隙間、３０Ａ…外形パターン（マスク）、４０…第一の部分、５１…第二の部分、５２，１５２…第三の部分、５３ｔ，５４ｔ，１５３ｔ，１５４ｔ…テーパー部、５５，１５５…隙間、５００…圧電振動子、Ｌｓ１，Ｌｓ１１…第一の直線、Ｌｓ２，Ｌｓ１２…第二の直線、θ１，θ１１…テーパー角度、Ｓ…ウエハ

Claims (5)

1. 第一の方向に並んで配置された一対の振動腕部を有する振動部と、
   前記一対の振動腕部の端部同士を接続する基部と、
   前記第一の方向において前記一対の振動部の両側に配置された一対の支持腕部と、
   前記基部と前記支持腕部とを連結する連結部と、を含む圧電振動片であって、
   前記基部と前記支持腕部との間には隙間が形成されており、該隙間において、前記連結部には、前記圧電振動片の主面の面内で前記第一の方向と直交する第二の方向の幅が前記基部から遠ざかるに従って小さくなるテーパー部が形成され、
   前記隙間にエッチング残りが形成され、かつ前記エッチング残りは前記基部の側面には形成されず、
   前記基部において、一方の前記支持腕部側の側縁の長さが、他方の前記支持腕部側の側縁の長さと等しい、
   圧電振動片。
2. 第一の方向に並んで配置された一対の振動腕部を有する振動部と、
   前記一対の振動腕部の端部同士を接続する基部と、
   前記第一の方向において前記一対の振動部の両側に配置された一対の支持腕部と、
   前記基部と前記支持腕部とを連結する連結部と、を含む圧電振動片であって、
   前記基部と前記支持腕部との間には隙間が形成されており、該隙間において、前記連結部には、前記圧電振動片の主面の面内で前記第一の方向と直交する第二の方向の幅が前記基部から遠ざかるに従って小さくなるテーパー部が形成され、
   前記隙間にエッチング残りが形成され、かつ前記エッチング残りは前記基部の側面にまで形成され、
   前記基部において、一方の前記支持腕部側の側縁の長さが、他方の前記支持腕部の側の側縁の長さと等しい、
   圧電振動片。
3. 前記圧電振動片の主面に垂直な方向から見て、前記基部の側縁に沿う第一の直線と、前記テーパー部において前記基部の側から傾斜した側面に沿う第二の直線と、のなす角度を前記テーパー部のテーパー角度としたとき、
   前記テーパー角度が３０°以上６０°以下である請求項１または２に記載の圧電振動片。
4. 第一の方向に並んで配置された一対の振動腕部を有する振動部と、
   前記一対の振動腕部の端部同士を接続する基部と、
   前記第一の方向において前記振動部の両側に配置された一対の支持腕部を有する支持部と、
   前記基部と前記支持部とを連結する連結部と、を含む圧電振動片の製造方法であって、
   ウエハの両主面に、前記圧電振動片を形成するためのマスクを形成するマスク形成工程と、
   前記マスクが形成された前記ウエハに対しウエットエッチングを行うエッチング工程と、
   前記マスクを除去するマスク除去工程と、を含み、
   前記マスクは、前記基部に対応する第一の部分と、前記支持部に対応する第二の部分と、前記連結部に対応する第三の部分と、を有し、
   前記第一の部分と前記第二の部分との間に隙間が形成され、
   前記第三の部分には、前記マスクの主面の面内で前記第一の方向と直交する第二の方向の幅が前記第一の部分から遠ざかるに従って小さくなるテーパー部が形成されている圧電振動片の製造方法。
5. 請求項１から３のいずれか一項に記載の圧電振動片を備える圧電振動子。

Images