JP6774311B2 - 圧電振動片及び圧電振動子 - Google Patents
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近年、電子機器の小型化に伴い、圧電振動子および圧電振動片の小型化への要求が益々高まりつつある。例えば、小型の圧電振動片を得る方法としては、水晶等の圧電材料からなるウエハの両面に圧電振動片の外形形状に対応する形状のマスクを形成し、ウエハをウェットエッチング加工する方法が知られている。
ところで、水晶等の圧電材料からなるウエハをウェットエッチング加工すると、前記断面視で突出部と反対側の部分に、エッチング残りとして、圧電材料の自然結晶面からなる異形部が形成される場合がある。異形部の表面は、ウエハの主面に対して傾斜した面となる。したがって、この構成によれば、圧電材料の性質(エッチング異方性)を利用して第1傾斜部及び第2傾斜部(すなわち、段部の傾斜)を形成することができるため、製造効率を向上する上で好適である。
ところで、水晶等の圧電材料からなるウエハをウェットエッチング加工すると、前記断面視で突出部と反対側の部分に、エッチング残りとして、圧電材料の自然結晶面からなる異形部が形成される場合がある。異形部の表面は、ウエハの主面に対して傾斜した面となる。したがって、この構成によれば、圧電材料の性質(エッチング異方性)を利用して第1傾斜部及び第2傾斜部(すなわち、段部の傾斜)を形成することができるため、製造効率を向上する上で好適である。
図1に示すように、圧電振動子1は、内部に気密封止されたキャビティC(図2参照)を有するパッケージ2と、キャビティC内に収容された圧電振動片3(図2参照)と、を備えている。
図3に示すように、パッケージ2は、パッケージ本体5と、パッケージ本体5に接合されるとともに、パッケージ本体5との間にキャビティCを形成する封口板6と、を備えている。
パッケージ本体5は、プレート状の第1ベース基板10と、第1ベース基板10に接合された枠状の第2ベース基板11と、第2ベース基板11に接合された枠状の第3ベース基板12と、第3ベース基板12に接合された枠状のシールリング13と、を備えている。
図5に示すように、圧電振動片3は、圧電板30と、圧電板30に形成された不図示の電極と、を備えている。
振動腕部31,32は、Y軸方向に長手を有する。振動腕部31,32は、基部35から+Y軸方向に向けて延出している。振動腕部31,32は、X軸方向に並んで平行に配置されている。振動腕部31,32は、基部35を固定端とし、先端を自由端として振動する。振動腕部31,32は、基部35の側に位置する本体部31A,32Aと、振動腕部31,32の先端側に位置する錘部31B,32Bと、を備えている。
Z軸方向から見て、支持腕部33,34は、L字状をなしている。支持腕部33,34は、基部35及び振動腕部31,32(本体部31A,32A)の幅方向の外方に配置されている。具体的に、支持腕部33,34は、基部35における幅方向の両側面から幅方向の外方に向けて突出した後、+Y軸方向に向けて突出し、Y軸方向に沿って振動腕部31,32と平行に延在している。
圧電振動片3の外周面には、水晶のエッチング異方性により、エッチング残りが形成されている。図5(図2)では便宜上、一対の振動腕部31,32の叉部40(第1叉部)に形成されたエッチング残り40E、及び支持腕部33,34と基部35との叉部41,42(第2叉部)に形成されたエッチング残り41E,42Eを誇張して図示している。Z軸方向から見て、エッチング残り40E,41E,42Eの外形は、−X軸方向側ほど+Y軸方向側に位置するように傾斜している。
図6は、第2叉部41の断面視を示す図である。
図6に示すように、第2叉部41の断面視で、突出部45(第2突出部)は、+Y軸方向側に頂角を有する三角形状をなしている。突出部45は、第2叉部41の厚み方向(基部35の厚み方向)の内側ほど+Y軸方向側に位置するように第2叉部41の厚み方向の一面に対して傾斜する傾斜面45aを有している。突出部45は、斜辺として実質的に同じ長さの傾斜面45aを有する二等辺三角形状をなしている。
第2叉部41の断面視で、突出部45と反対側の部分(すなわち、第2叉部41の−Y軸方向側の部分)には、段部46(第2段部)が形成されている。第2叉部41の断面視において、段部46の側の傾斜に段差をつけることで、突出部45と反対側の部分のバランスを取ることができるため、断面全体のバランスを取ることができる。第2叉部41の断面視で、段部46は、第2叉部41の厚み方向の内側ほど突出部45の側に位置するように第2叉部41の一面41aに対して傾斜する第1傾斜部46aと、第2叉部41の厚み方向の内側ほど突出部45と反対側に位置するように第2叉部41の他面41bに対して傾斜する第2傾斜部46bと、第1傾斜部46aと第2傾斜部46bとを連結する連結部46cと、を備えている。
図2に示すように、圧電振動片3は、気密封止されたパッケージ2のキャビティC内に収容されている。支持腕部33,34は、実装部14A,14Bに設けられた2つの電極パッド20A,20Bにそれぞれ導電性接着剤を介して電気的及び機械的に接合されている。振動腕部31,32は、基部35を介して支持されている。図示はしないが、2系統のマウント電極は、それぞれ電極パッド20A,20Bに電気的に接続されている。
次に、本実施形態の圧電振動片3の製造方法の一例について説明する。
先ず、ウエハを準備する。例えば、水晶のランバート原石をスライスして一定の厚みのウエハとする。
次に、フォトリソグラフィ技術によってウエハの厚み方向の両面に、圧電板30(図5参照)及びフレーム部(不図示)の外形形状に対応する形状のマスク(以下「外形マスク」という。)を形成する。次に、ウエハをウェットエッチング加工する。これにより、外形マスクにマスクされていない領域を選択的に除去して、圧電板30(図5参照)及びフレーム部(不図示)の外形形状を形成する(外形形成工程)。
0<L<2×t×tanK
を満たしている。
ところで、水晶等の圧電材料からなるウエハ50をウェットエッチング加工すると、前記断面視で突出部45と反対側の部分に、エッチング残りとして、圧電材料の自然結晶面からなる異形部が形成される場合がある。異形部の表面は、ウエハ50の主面50a,5bに対して傾斜した面となる。したがって、本実施形態によれば、圧電材料の性質(エッチング異方性)を利用して第1傾斜部46a及び第2傾斜部46b(すなわち、段部46の傾斜)を形成することができるため、製造効率を向上する上で好適である。
例えば、上記実施形態において、圧電振動片3は、支持腕部33,34が振動腕部31,32の外側に配置された、いわゆるサイドアーム型の振動片であった。しかしながらこれに限定されず、圧電振動片は、例えば1つの支持腕部が一対の振動腕部の間に配置された、いわゆるセンターアーム型の振動片であってもよいし、支持腕部を備えていない振動片であってもよい。また、振動腕部には、溝部が形成されていなくてもよい。
また、上記実施形態において、第2叉部41の断面視で、連結部46cは、−Z軸方向側ほど−Y軸方向側に位置するように傾斜する直線状をなしていた(図6参照)。しかしながらこれに限定されず、第2叉部の断面視で、連結部は、中心軸J1に沿う直線状をなしていてもよい。
以下の変形例において、上記実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。なお、図8〜図12において、符号145,245,345,445,545は突出部、146c,246c,346c,446c,546cは連結部をそれぞれ示す。
例えば、図8に示すように、第2叉部141の断面視で、Y軸方向において、第2叉部141の他面141bの−Y軸方向端は、第2叉部141の一面141aの−Y軸方向端よりも−Y軸方向側に位置していてもよい。本変形例では、仮想線J2は、−Z軸方向側ほど−Y軸方向側に位置するように傾斜している。例えば、本変形例では、外形形成工程において、第1マスク51の−Y軸方向端と第2マスク52の−Y軸方向端とのY軸方向のずれL(図7参照)を、上記実施形態の寸法よりも大きくすることにより、段部146の外形とすることができる。
例えば、図9に示すように、第2叉部241の断面視で、Y軸方向において、第2叉部241の他面241bの−Y軸方向端は、第2叉部241の一面241aの−Y軸方向端よりも+Y軸方向側に位置していてもよい。本変形例では、仮想線J2は、−Z軸方向側ほど+Y軸方向側に位置するように傾斜している。例えば、本変形例では、外形形成工程において、第1マスク51の−Y軸方向端と第2マスク52の−Y軸方向端とのY軸方向のずれL(図7参照)を、上記実施形態の寸法よりも小さくすることにより、段部246の外形とすることができる。
例えば、図10に示すように、第2叉部341の断面視で、連結部346cは、中心軸J1と重なる直線状をなしていてもよい。例えば、本変形例では、外形形成工程において、ウェットエッチング加工を、+Z軸方向側のエッチングと−Z軸方向側のエッチングとが貫通した時点で終了することにより、段部346の外形とすることができる。
例えば、図11に示すように、第2叉部441の断面視で、連結部446cの長さを、第3変形例に係る連結部346cの長さよりも長くしてもよい。例えば、本変形例では、外形形成工程において、第1マスク51の−Y軸方向端と第2マスク52の−Y軸方向端とのY軸方向のずれL(図7参照)を、上記実施形態の寸法よりも大きくするとともに、ウェットエッチング加工を、+Z軸方向側のエッチングと−Z軸方向側のエッチングとが貫通した時点で終了することにより、段部446の外形とすることができる。
例えば、図12に示すように、第2叉部541の断面視で、連結部546cの長さを、第3変形例に係る連結部346cの長さよりも短くしてもよい。例えば、本変形例では、外形形成工程において、第1マスク51の−Y軸方向端と第2マスク52の−Y軸方向端とのY軸方向のずれL(図7参照)を、第2変形例の寸法と同じとする。例えば、本変形例では、外形形成工程において、第1マスク51の−Y軸方向端と第2マスク52の−Y軸方向端とのY軸方向のずれL(図7参照)を、上記実施形態の寸法よりも小さくするとともに、ウェットエッチング加工を、+Z軸方向側のエッチングと−Z軸方向側のエッチングとが貫通した時点で終了することにより、段部546の外形とすることができる。
Claims (4)
- 一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部の基端同士を接続する基部と、を備えた圧電振動片であって、
前記振動腕部の長手方向と平行かつ前記一対の振動腕部の幅方向と直交する断面視で、前記一対の振動腕部の叉部には、前記振動腕部の先端側に突出する突出部が形成され、
前記断面視で、前記突出部と反対側の部分には、段部が形成され、
前記断面視で、前記段部は、
前記基部の厚み方向の内側ほど前記突出部の側に位置するように前記基部の一面に対して傾斜する第1傾斜部と、
前記基部の厚み方向の内側ほど前記突出部と反対側に位置するように前記基部の他面に対して傾斜する第2傾斜部と、
前記第1傾斜部と前記第2傾斜部とを連結する連結部と、
を備え、
前記断面視で、前記第1傾斜部と前記連結部との交点を第1変曲点とし、前記第2傾斜部と前記連結部との交点を第2変曲点としたとき、
前記第1変曲点及び前記第2変曲点は、前記基部の厚み方向で前記突出部と重なることを特徴とする圧電振動片。 - 前記基部に連結され且つ前記一対の振動腕部の幅方向の外方に配置された一対の支持腕部を更に備え、
前記断面視で、前記支持腕部と前記基部との第2叉部には、前記振動腕部の先端側に突出する第2突出部が形成され、
前記断面視で、前記第2突出部と反対側の部分には、第2段部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片。 - 一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部の基端同士を接続する基部と、前記基部に連結され且つ前記一対の振動腕部の幅方向の外方に配置された一対の支持腕部と、を備えた圧電振動片であって、
前記振動腕部の長手方向と平行かつ前記一対の振動腕部の幅方向と直交する断面視で、前記一対の振動腕部の第1叉部と、前記支持腕部と前記基部との第2叉部との少なくとも一方には、前記振動腕部の先端側に突出する突出部が形成され、
前記断面視で、前記突出部と反対側の部分には、段部が形成され、
前記断面視で、前記段部は、
前記基部の厚み方向の内側ほど前記突出部の側に位置するように前記基部の一面に対して傾斜する第1傾斜部と、
前記基部の厚み方向の内側ほど前記突出部と反対側に位置するように前記基部の他面に対して傾斜する第2傾斜部と、
前記第1傾斜部と前記第2傾斜部とを連結する連結部と、
を備え、
前記断面視で、前記第1傾斜部と前記連結部との交点を第1変曲点とし、前記第2傾斜部と前記連結部との交点を第2変曲点としたとき、
前記第1変曲点及び前記第2変曲点は、前記基部の厚み方向で前記突出部と重なることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1から3の何れか一項に記載された圧電振動片と、
前記圧電振動片を収容するパッケージと、
を備えることを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP6774311B2 (ja) |
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