JP2020137021A - 圧電振動片、及び圧電振動子 - Google Patents
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- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 title abstract 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 58
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 17
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 17
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 6
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000942 Elinvar Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
このような圧電振動片や圧電振動子は、搭載される電子機器の小型化に伴って小型化が求められ、その対策として振動腕部の先端に幅の広い錘部を設けることで、全体の長さを短くした圧電振動片も広く使用されている(特許文献1、2)。
特許文献1では、振動腕部と錘部との結合部にテーパ部を設けることで、結合部に応力が集中することを回避している。
特許文献2では、振動腕部を中間錘部と先端錘部の2段階で拡幅している。
特許文献2では、錘部を2段階で拡幅することで、振動腕部に対する錘部の振動追従性は向上しているが、中間錘部の幅を先端錘部よりも狭くすることで、錘部全体の重量が減少してしまうため充分に小型化することができなかった。
(2)請求項2に記載の発明では、前記拡幅部は、幅方向の側面が互いに平行する平行部と、前記振動腕部側から前記平行部に行くほど幅が広がって形成された側面テーパ部とを備える、ことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片を提供する。
(3)請求項3に記載の発明では、前記側面テーパ部は、軸方向に対する角度が30度以上60度以下の角度に形成されている、ことを特徴とする請求項2に記載の圧電振動片を提供する。
(4)請求項4に記載の発明では、前記溝部は、前記拡幅部の前記平行部まで形成されている、ことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の圧電振動片を提供する。
(5)請求項5に記載の発明では、前記溝部は、前記拡幅部の前記側面テーパ部まで形成されている、ことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の圧電振動片を提供する。
(6)請求項6に記載の発明では、前記傾斜底面部は、前記側面テーパ部から開始し、前記溝部における前記拡幅部側の先端まで形成されている、ことを特徴とする請求項2から請求項5のうちのいずれか1の請求項に記載の圧電振動片を提供する。
(7)請求項7に記載の発明では、前記傾斜底面部は、前記側面テーパ部よりも前記基部側から開始し、前記溝部における前記拡幅部側の先端まで形成されている、ことを特徴とする請求項2から請求項5のうちのいずれか1の請求項に記載の圧電振動片を提供する。
(8)請求項8に記載の発明では、前記2系統の励振電極は、前記基部側から、少なくとも前記側面テーパ部の開始位置まで形成されている、ことを特徴とする請求項2から請求項7のうちのいずれか1の請求項に記載の圧電振動片を提供する。
(9)請求項9に記載の発明では、内側に実装部を備えたパッケージと、前記実装部に接合材を介して実装された前記請求項1から請求項8のうちのいずれか1の請求項に記載された圧電振動片と、前記実装部から前記パッケージの外部まで形成された外部電極と、を有することを特徴とする圧電振動子を提供する。
(1)実施形態の概要
本実施形態の圧電振動片6は、音叉型の圧電振動片であり、基部8の一端側から1対の振動腕部7が長手方向に延設(接続)されると共に、基部8の他端側から、接続部81を介して振動腕部7の外側に一対の支持腕部9が形成されている。
振動腕部7の先端には、振動腕部7よりも幅が広い拡幅部71が延設されている。拡幅部71は、幅方向の側面が互いに並行する平行部710と、振動腕部7から平行部710に向って幅が広がる側面テーパ部711で構成されている。
1対の振動腕部7の長手方向には、その主面(表裏面)に、平行部710まで伸びる溝部72が形成され、この溝部72の平行部710側端部の底面は主面に向けて傾斜する傾斜底面部721が形成されている。側面テーパ部711と傾斜底面部721は、長さ方向の位置が、少なくとも一部が重複するように形成される。
本実施形態の圧電振動片6によれば、拡幅部71の側面テーパ部711(幅方向のテーパ)に加えて、溝部72の傾斜底面部721(厚さ方向のテーパ)を形成しているので、振動腕部7と拡幅部71の長手方向と直交する断面積が大きく変化することが抑制され、これにより振動腕部7と拡幅部71(錘部)間の振動の追従をスムーズにし、振動を安定化することができる。
なお、拡幅部71の重さを充分に確保するためには、長手方向に対する側面テーパ部の角度が30度以上60度以下の角度、好ましくは45度に形成される。
図1は、実施形態に係る圧電振動片6の構成と断面を表した模式図である。
圧電振動片6は、水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された、いわゆる音叉型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。本実施形態では、圧電材料として水晶を使用して形成した圧電振動片を例に説明する。
以下、振動腕部7a、7bの長さ方向(図1(a)の左右方向)を長手方向、振動腕部7a、7bが対向する方向(図1(a)の上下方向)を幅方向、圧電振動片6の厚さの方向(図1(b)の上下方向)を厚さ方向という。
一方、基部8の他端側には、幅方向に基部8の外側まで延びる接続部81a、81bが接続されている。
接続部81a、81bにおける基部8の反対側端部には、長手方向に延びる一対の支持腕部9a、9bが接続されている。一対の支持腕部9a、9bは、幅方向において、振動腕部7a、7bの両外側に配置されている。
拡幅部71a、71bは、振動腕部7a、7bにおける長手方向のほぼ中央部分の幅を基準幅とした場合、この基準幅よりも両側(幅方向)に広くなるように形成されている。
この拡幅部71a、71bは、振動腕部7a、7bと合わせた総重量及び振動時の慣性モーメントを増大する機能を有している。これにより、振動腕部7a、7bは振動し易くなり、振動部分(振動腕部7a、7bと拡幅部71a、71b)の長さを短くすることができ、小型化が図られている。
側面テーパ部711a、711bは、後述する傾斜底面部721a、721bと共に、長手方向と直交する方向の断面積が、振動腕部7a、7bの先端と拡幅部71a、71bとの境界面で急変することを抑制するために形成されている。
側面テーパ部711a、711bの長手方向に対する角度は、拡幅部71a、71bの重さを充分に確保するために、45度に形成されているが、40度以上60度以下であればよい。
図1(c)は、図1(a)に示すQ−Q線に沿った断面を矢印の方向に見た振動腕部7a、7bの断面図である。
図1(b)、(c)に示すように、一対の振動腕部7a、7bと拡幅部71a、71bには、一定幅の溝部72a、72bが長手方向に形成されている。
溝部72a、72bは、一対の振動腕部7a、7bと拡幅部71a、71bの両主面(表裏面)上において、厚さ方向に凹むとともに、基部8側から長手方向に沿って延在している。
本実施形態の溝部72a、72bは、振動腕部7a、7bの基端(基部8の先端側の端部)から、振動腕部7a、7bの全体と、拡幅部71a、71bの平行部710a、710b(側面テーパ部711a、711bを通り拡幅部71a、71bの先端側)まで形成されている。
溝部72a、72bにより、一対の振動腕部7a、7bは、それぞれ図1(c)に示すように断面H型となっている。この断面略H形の形状により、溝部72a、72bが形成されない場合に比べて、振動腕部7a、7bの電界効率を大きくすることができる。従って、同じ振動周波数を得る場合、圧電振動片6を小型化しても振動損失が少なくCI値(クリスタルインピーダンスまたは等価直列抵抗)も低く抑えることができる。
詳細は後述するが、長さ方向に見た場合、本実施形態の傾斜底面部721a、721bの開始位置は側面テーパ部711a、711bの開始位置よりも先端側に位置し、傾斜底面部721a、721bの終了位置は側面テーパ部711a、711bの終了位置よりも先端側に位置している。
具体的には、一方の励振電極91が、主に一方の振動腕部7aの溝部72a内と、他方の振動腕部7bの側面上とに互いに電気的に接続された状態で形成されている。
また、他方の励振電極92が、主に他方の振動腕部7bの溝部72b内と、一方の振動腕部7aの側面上とに互いに電気的に接続された状態で形成されている。
両マウント電極99a、99bと電気的に接続した2系統の引回し電極(図示しない)が接続部81と基部8に形成されている。
そして、支持腕部9aに形成された第1系統のマウント電極99aが引回し電極を介して励振電極92(図1(c)参照)と接続され、支持腕部9bに形成された第2系統のマウント電極99bが引回し電極を介して励振電極91と接続されている。
2系統の励振電極91、92は、一対のマウント電極99a、99bを介して電圧が印加されるようになっている。
そして、励振電極91、92、マウント電極99a、99b、引回し電極を形成する部分を残し、それ以外の部分をフォトリソグラフにより取り除くことで、2系統の電極ラインが形成される。
図2は、振動腕部7a、7bと拡幅部71a、71bの長手方向における、幅方向の断面積の変化について、傾斜底面部の有無による比較をした説明図である。図2(a)〜(c)は、溝部72a、72bに傾斜底面部が無い場合、図2(d)〜(f)は溝部72a、72bに傾斜底面部721a、721bが形成された本実施形態の場合を表している。また、図2において、(a)と(d)は図1(a)に対応し、(b)と(e)は図1(b)に対応した拡大図である。また図2(c)、(f)は、それぞれ長さ方向の各位置における断面積の変化を表したものである。
図2に示すように、長手方向における、側面テーパ部711a、711bの開始位置を位置A、終了位置を位置B、傾斜底面部721a、721bの開始位置(主面と平行な溝部72a、72bの底面との境界部)を位置C、傾斜底面部721a、721bの終了位置(拡幅部側端部)又は傾斜底面部を形成しない場合の溝部72a、72bの端部を位置Dとして、各々の位置関係を表すものとする。
図2(c)に示すように、傾斜底面部が無い溝部72が拡幅部71の平行部710まで形成されている場合、側面テーパ部711と平行部710との境界部である位置Bと、溝部72の先端部729の位置Dにおいて、断面積が急変している。このため、振動腕部7と拡幅部71(錘部)間の振動の追従がスムーズに行われず、振動が安定化しない。
しかし、平行部710の基部8側端部の角を(図2(a)参照)、側面テーパ部711の延長線上でカットすることになり、拡幅部71の重さを充分に確保するという観点から避けることが好ましい。
また、傾斜底面部721の平行部710側の先端位置(テーパの終了位置)が主面と一致しているため、位置Dにおいても断面積の急変が抑制されている。
但し、傾斜底面部721の先端位置が主面よりも低い位置で終了していてもよい。この場合には、溝部72の先端部、すなわち位置Dでの断面積が変化するが、溝部72の幅が平行部710の幅よりも狭いため、傾斜底面部が無い場合の位置Bや位置D(図2(c)参照)に比べて僅かである。
また、傾斜底面部721の開始位置Cが、側面テーパ部711の開始位置Aよりも位置B側に位置している。すなわち、傾斜底面部721による傾斜が開始する位置C(以下、開始位置Cという。他も同様。)が、振動腕部7よりも拡幅部71側に位置している。これにより、振動腕部7の全長にわたって、図1(c)に示す溝部72の深さを確保することができる。その結果、振動腕部7の振動に寄与する、溝部72の内側側面の励振電極91、92の面積を減すことがない。なお、傾斜底面部721の開始位置Cを、側面テーパ部711の開始位置Aと一致させても、同様の効果を得ることができる。
図3は、圧電振動片6における、側面テーパ部711に対する傾斜底面部721の他の位置関係を表した断面拡大図による説明図である。この図3では、図2で説明したと同様に、側面テーパ部711の開始位置を位置A、終了位置を位置B、傾斜底面部721の開始位置を位置C、終了位置を位置Dとして表示している。
図3(a)は第1変形例について表したものである。図2で説明した実施形態では、傾斜底面部721の開始位置Cが、側面テーパ部711の領域A〜B内に位置するのに対し、第1変形例では、開始位置Cを、側面テーパ部711の開始位置Aよりも基部8側としたものである。すなわち、第1変形例では、振動腕部7から、溝部72の側面テーパ部711が開始するようにしたものである。
傾斜底面部721の終了位置Dは実施形態と同じ位置である。
この第1変形例によれば、実施形態に比べて傾斜底面部721の間隔(位置C〜位置Dの距離)を長くし、その傾斜を緩やかにすることができる。また、側面テーパ部711の開始位置A前後における断面積の変化を緩やかにすることができる。
但し、第1変形例における、位置Cが位置Aから大きく離れると、振動腕部7先端(拡幅部71側端部)における溝部72の深さが浅くなるので、位置Cから位置Aまでの距離は、側面テーパ部711の長さ(位置Aと位置B間の距離)の5割以下、好ましくは1割以下の範囲で選択される。
この第2変形例では、傾斜底面部721の開始位置Cが位置Aよりも手前(基部8側)に位置し、終了位置Dが位置Bよりも手前側に位置する場合である。すなわち、傾斜底面部721による傾斜が、側面テーパ部711の開始位置Aよりも手前(基部8側)で開始し、側面テーパ部711の終了位置Bよりも手前で終了するようにしている場合である。
図3(c)は第3変形例について表したものである。
この第3変形例では、傾斜底面部721の開始位置C、終了位置Dと、側面テーパ部711の開始位置A、終了位置Bとが一致するように傾斜底面部721を形成した場合である。
図3(d)は、第4変形例について表したものである。
この第4変形例では、傾斜底面部721の開始位置Cが実施形態と同様に位置Aよりも先端側(拡幅部71側)に位置し、終了位置Dが側面テーパ部711の終了位置Bよりも基部8側に位置する場合である。
図4は、上述した実施形態又は変形例に係るサイドアーム型の圧電振動片6を備えた圧電振動子1の分解斜視図である。
図4に示すように、本実施形態の圧電振動子1は、内部に気密封止されたキャビティCを有するパッケージ2と、キャビティC内に収容された圧電振動片6と、を備えたセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。
パッケージ2は、概略直方体状に形成され、パッケージ本体3と封口板4とを備えている。封口板4は、パッケージ本体3に接合されることで、パッケージ本体3との間にキャビティCを形成する。
パッケージ本体3は、互いに重ね合わされた状態で接合された第1ベース基板10および第2ベース基板11と、第2ベース基板11上に接合されたシールリング12と、を備えている。
第2ベース基板11は、第1ベース基板10に重ねられており、第1ベース基板10に対して焼結などにより結合されている。すなわち、第2ベース基板11は、第1ベース基板10と一体化されている。
なお、後述するように第1ベース基板10と第2ベース基板11の間には、両ベース基板10、11に挟まれた状態で接続電極(図示せず)が形成されている。
電極パッド20A、20Bと外部電極21A、21Bとは、第2ベース基板11の実装部14A、14Bに形成された第2貫通電極22A、22B、第1ベース基板10と第2ベース基板11の間に形成された接続電極(図示せず)、及び、第1ベース基板10に形成された第1貫通電極(図示せず)を介して互いにそれぞれ導通している。
すなわち、図4に示すように、圧電振動片6は、支持腕部9a、9bに設けられた各マウント電極99a、99b(図1(a)参照)が、実装部14A、14B上の電極パッド20A、20B(上面にメタライズ層が形成されている場合は該メタライズ層)にそれぞれ接合材51a、51bを介して電気的および機械的に接合されている。
このように、本実施形態の圧電振動片6は、支持腕部9a、9bのそれぞれが、その長さ方向(長手方向)の2箇所で実装部14A、14B上に接合保持(2点支持)される。
接合材51a、51bが導電性接着剤により構成されている場合、塗布装置の移動ヘッドに支持されたディスペンサノズルにより塗布される。
本実施形態では、各接合材のサイズは圧電振動子1のサイズによるが、例えば、幅1.0mm×長さ1.2mmの小型の圧電振動子1の場合、半径0.1mm程度に塗布される。
第2ベース基板11の実装部14A、14Bの実装面(封口板4に対向する側の面)には、ほぼ全面にわたって電極パッド20A、20Bが形成されている。
一方、第1ベース基板10の外側底面には、長手方向(Y方向)の両端側に、短手方向(X方向)に延びる外部電極21A、21Bが形成されている。
これら電極パッド20A、20B、及び外部電極21A、21Bは、例えば蒸着やスパッタ等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜であり、電極パッド20Aと外部電極21Aが互いに導通し、電極パッド20Bと外部電極21Bが互いに導通している。
このように、電極パッド20Bと外部電極21Bとは、第2貫通電極22B、接続電極24B、及び第1貫通電極23Bを介して互いに導通している。
このように、電極パッド20Aと外部電極21Aとは、第2貫通電極22A、接続電極24A、及び第1貫通電極23Aを介して互いに導通している。
すなわち、図5、図1(a)に示すように、圧電振動片6は、支持腕部9a、9bに形成された各マウント電極99a、99bが、実装部14A、14B上の電極パッド20A、20B(上面にメタライズ層が形成されている場合は該メタライズ層)にそれぞれ接合材51a、51b、52a、52bによって、電気的および機械的に接合されている。
このように、本実施形態の圧電振動片6は、支持腕部9a、9bのそれぞれが、その長さ方向の2箇所で実装部14A、14B上に接合保持(2点支持)される。但し、支持腕部9a、9bは、それぞれ2箇所で実装部14A、14B上に接合される必要がなく、中央の1箇所でもよい。この場合の接合材は、図4、図5と同一サイズとして中央に形成する場合、中央に楕円形で形成する場合、接合材51aと52a、51bと52bを繋げた長円形に形成する場合等、各種方法が考えられる。また、3箇所以上に塗布接着してもよい。
接合材51a、51b、52a、52bは、シリコーン系の導電性接着剤が使用され、塗布装置の移動ヘッドに支持されたディスペンサノズルにより電極パッド20A、20B上に塗布される。
例えば、上記実施形態においては、圧電振動片6を用いた圧電振動子1として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明したが、圧電振動片6を、ガラス材によって形成されるベース基板およびリッド基板が陽極接合によって接合されるガラスパッケージタイプの圧電振動子1に適用することも可能である。
また、説明した実施形態の電極パッド20は、実装部14のほぼ全面に形成されているが、接合材(導電性接着剤)に対応する領域に形成されていればよい。
また説明した実施形態では、いわゆるサイドアーム型の圧電振動片6を例に説明したが、基部8に直接接続される1本の支持腕部を、振動腕部7aと振動腕部7bの間に形成した、いわゆるセンターアーム型の圧電振動片に適用することも可能である。すなわち、センターアーム型の圧電振動片においても、実施形態及び各変形例で説明したように、振動腕部7a、7b先端の拡幅部71a、71bに側面テーパ部711を形成すると共に、溝部72a、72bに傾斜底面部721a、721bを形成する。
例えば、幅0.8mm×長さ1.0mmサイズの圧電振動子1に使用する圧電振動片6の場合には、サイドアーム型であれば、例えば幅0.5mm、長さ0.7mmの圧電振動片6が使用される。
2 パッケージ
3 パッケージ本体
4 封口板
6 圧電振動片
7 振動腕部
71 拡幅部
710 平行部
711 側面テーパ部
8 基部
9 支持腕部
10 第1ベース基板
11 第2ベース基板
12 シールリング
14 実装部
20 電極パッド
21 外部電極
22 第2貫通電極
23 第1貫通電極
24 接続電極
51、52 接合材
72 溝部
721、722 傾斜底面部
81 接続部
91、92 励振電極
99 マウント電極
Claims (9)
- 基部と、
前記基部から並んで延設された1対の振動腕部と、
前記振動腕部における前記基部の反対側に、前記振動腕部から延設された、前記振動腕部の幅よりも広く形成された拡幅部と、
前記両振動腕部における両主面のうちの少なくとも一方の主面に、長さ方向に形成されるとともに、前記拡幅部側の端部が前記拡幅部まで伸びて形成された溝部と、
前記溝部の底面における、少なくとも前記拡幅部側の端部において、先端側ほど前記主面からの距離が小さくなるように厚さ方向に傾斜して形成された傾斜底面部と、
前記基部と前記1対の振動腕部の外表面に形成された、前記1対の振動腕部を励振させる2系統の励振電極と、
を具備したことを特徴とする圧電振動片。 - 前記拡幅部は、幅方向の側面が互いに平行する平行部と、前記振動腕部側から前記平行部に行くほど幅が広がって形成された側面テーパ部とを備える、
ことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片。 - 前記側面テーパ部は、軸方向に対する角度が30度以上60度以下の角度に形成されている、
ことを特徴とする請求項2に記載の圧電振動片。 - 前記溝部は、前記拡幅部の前記平行部まで形成されている、
ことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の圧電振動片。 - 前記溝部は、前記拡幅部の前記側面テーパ部まで形成されている、
ことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の圧電振動片。 - 前記傾斜底面部は、前記側面テーパ部から開始し、前記溝部における前記拡幅部側の先端まで形成されている、
ことを特徴とする請求項2から請求項5のうちのいずれか1の請求項に記載の圧電振動片。 - 前記傾斜底面部は、前記側面テーパ部よりも前記基部側から開始し、前記溝部における前記拡幅部側の先端まで形成されている、
ことを特徴とする請求項2から請求項5のうちのいずれか1の請求項に記載の圧電振動片。 - 前記2系統の励振電極は、前記基部側から、少なくとも前記側面テーパ部の開始位置まで形成されている、
ことを特徴とする請求項2から請求項7のうちのいずれか1の請求項に記載の圧電振動片。 - 内側に実装部を備えたパッケージと、
前記実装部に接合材を介して実装された前記請求項1から請求項8のうちのいずれか1の請求項に記載された圧電振動片と、
前記実装部から前記パッケージの外部まで形成された外部電極と、
を有することを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019030979A JP7319787B2 (ja) | 2019-02-22 | 2019-02-22 | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019030979A JP7319787B2 (ja) | 2019-02-22 | 2019-02-22 | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020137021A true JP2020137021A (ja) | 2020-08-31 |
JP7319787B2 JP7319787B2 (ja) | 2023-08-02 |
Family
ID=72279363
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019030979A Active JP7319787B2 (ja) | 2019-02-22 | 2019-02-22 | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7319787B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2019-02-22 JP JP2019030979A patent/JP7319787B2/ja active Active
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---|---|
JP7319787B2 (ja) | 2023-08-02 |
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