JP6618758B2 - 圧電振動片の製造方法、及び圧電振動片 - Google Patents
圧電振動片の製造方法、及び圧電振動片 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6618758B2 JP6618758B2 JP2015204109A JP2015204109A JP6618758B2 JP 6618758 B2 JP6618758 B2 JP 6618758B2 JP 2015204109 A JP2015204109 A JP 2015204109A JP 2015204109 A JP2015204109 A JP 2015204109A JP 6618758 B2 JP6618758 B2 JP 6618758B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal film
- opening
- mask
- weight metal
- weight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
本発明によれば、マスクの開口部の第1方向における開口寸法が重り金属膜の第1方向における寸法よりも小さいので、マスクの開口部を通して重り金属膜のみが露出し易くなる。すなわち、マスクセット工程において振動腕部に対するマスクの位置が所望の位置から第1方向にずれた場合であっても、重り金属膜以外の領域が開口部を通して露出することを抑制できる。このため、マスクの開口部を通して露出する重り金属膜の面積の変動を抑えることができ、トリミング工程において除去される重り金属膜の量(以下、単に「トリミング量」という)を安定させることができる。これにより、圧電振動片の周波数を目標値に対してより高精度に調整することが可能となる。したがって、振動特性に優れた高品質な圧電振動片を製造できる。
本発明によれば、重り金属膜のうち振動腕部の先端寄りの端縁をマスクにより覆うことができるので、重り金属膜のうちトリミングにより形成された凹部よりも先端側に位置する部分(以下、「残存部」という)の第1方向における寸法を確保できる。したがって、残存部の意図しない欠け等による脱落を防止できる。これにより、トリミング工程でのトリミング量を安定させることができ、振動特性に優れた高品質な圧電振動片を製造できる。
本発明によれば、重り金属膜のうち振動腕部の基端寄りの端縁をマスクにより覆うことができるので、振動腕部上における重り金属膜の形成領域外の部分がトリミング工程において加工されることを抑制できる。これにより、圧電振動片の振動特性が悪化することを防止できる。
ところで、マスクの位置が第1方向においてずれ、開口部における振動腕部の基端寄りの開口縁が錘部の基端寄りの端縁よりも振動腕部の基端寄りに位置していると、開口部を通して振動腕部の基端部及び錘部の両方が露出する。このため、重り金属膜が錘部から振動腕部の基端部に亘って形成されている場合、マスクの開口部の位置が第1方向においてずれることで、開口部を通して露出する重り金属膜の面積が変動する。
本発明によれば、マスクの開口部における振動腕部の基端寄りの開口縁が錘部の基端寄りの端縁よりも先端寄りに位置するので、重り金属膜のうち振動腕部の基端部上に位置する部分が開口部を通して露出することを防止できる。このため、マスクの位置が所望の位置から第1方向にずれた場合であっても、開口部を通して露出する重り金属膜の面積の変動を抑えることができる。これにより、振動腕部の周波数を目標値に対してより高精度に調整することが可能となる。したがって、振動特性に優れた高品質な圧電振動片を製造できる。
また、重り金属膜が錘部のみに形成されている場合であっても、振動腕部の励振に寄与する振動腕部の基端部がトリミングされることを防止できるので、圧電振動片の振動特性が悪化することを防止できる。
<圧電振動子>
図1は本発明の実施形態に係る圧電振動子1の外観斜視図である。図2は封口板6を取り外した状態を示す圧電振動子1の平面図である。図3は図2のIII−III線に相当する断面図である。図4は実施形態に係る圧電振動子1の分解斜視図である。
図1〜図4に示すように、圧電振動子1は、いわゆるセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子であって、内部に気密封止されたキャビティCを有するパッケージ2と、キャビティC内に収容された圧電振動片3と、を備えている。なお、圧電振動子1は、直方体状を呈している。したがって、本実施形態では平面視において圧電振動子1の長手方向を長手方向Lといい、短手方向を幅方向Wといい、これら長手方向L及び幅方向Wに対して直交する方向を厚さ方向Tという。
パッケージ本体5は、互いに重ね合わされた状態で接合された第1ベース基板10及び第2ベース基板11と、第2ベース基板11上に接合されたシールリング12と、を備えている。
第2ベース基板11は、平面視外形が第1ベース基板10と同形状を呈するセラミックス製の基板であって、第1ベース基板10上に重ねられた状態で焼結等によって一体的に接合されている。なお、各ベース基板10,11に用いられるセラミックス材料としては、例えばアルミナ製のHTCC(High Temperature Co−Fired Ceramic)や、ガラスセラミックス製のLTCC(Low Temperature Co−Fired Ceramic)等を用いることが可能である。
図5は圧電振動片3の平面図である。
図5に示すように、圧電振動片3は、水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。なお、圧電振動子1の長手方向L、幅方向W及び厚さ方向Tは、圧電振動片3の長手方向、幅方向及び厚さ方向それぞれと一致している。
各振動腕部31,32は、基部30から片持ち状に延設されるとともに、幅方向Wに並んで配置されている。各振動腕部31,32は、基端部を固定端とし、先端部を自由端として互いに接近・離間する方向(幅方向W)に振動する。各振動腕部31,32は、基端部に位置する本体部31A,32Aと、先端部に位置する錘部31B,32Bと、を有している。
図5、図6に示すように、錘部31B,32Bは、それぞれ本体部31A,32Aの先端部から長手方向Lに延設されている。錘部31B,32Bは、一定の幅で延設され、本体部31A,32Aよりも幅方向Wにおける幅が広くなっている。これにより、各振動腕部31,32の先端部の質量及び振動時の慣性モーメントを増大させることができ、錘部31B,32Bを有しない圧電振動片と比較して各振動腕部31,32の長さを短縮できる。
次に、本実施形態の圧電振動子1の製造方法について説明する。なお、以下の説明における各構成部品の符号については、図1から図6を参照されたい。
まず、圧電振動片3を作成する。具体的には、フォトリソグラフィ技術によってウエハ50(図7参照)の両面に、圧電振動片3の図示しない外形パターンを形成する。このとき、ウエハ50上に複数の外形パターンを形成する(外形形成工程)。次いで、外形パターンをマスクとして、ウエハ50の両面をそれぞれエッチング加工する。これにより、外形パターンでマスクされていない領域を選択的に除去して、圧電振動片3の外形形状が形成される。なお、この状態で各圧電振動片3は、ウエハ50の連結部51(図7参照)を介して連結された状態となっている。
続いて、複数の圧電振動片3の外面上に電極膜をパターニングして、励振電極、引き回し電極及びマウント電極をそれぞれ形成する(電極形成工程)。具体的には、複数の圧電振動片3の外面に、蒸着やスパッタリング等により電極膜を成膜し、その後電極膜にエッチング加工を施すことにより形成する。
そして、振動腕部31,32における錘部31B,32Bの表面に周波数調整用の重り金属膜40を形成する(重り金属膜形成工程)。なお、電極形成工程と重り金属膜形成工程とを一括で行っても構わない。
次に、図7、図8に示すように、ウエハ50に形成された各圧電振動片3に対して共振周波数を粗調整する第1周波数調整工程を行う。本実施形態の第1周波数調整工程は、イオンミリングによって重り金属膜40を部分的に除去(トリミング)する。具体的には、まず図示しないチャンバ内の治具にウエハ50をセットする。続いて、ウエハ50上にマスク62をセットする(マスクセット工程)。マスク62は、ウエハ50の表面全体を覆う。マスク62には、重り金属膜40のうちトリミングすべき領域(以下、トリミング領域Rという)に開口部61が形成されている。開口部61は、ウエハ50上で幅方向Wに並んだ各圧電振動片3のうち両重り金属膜40のトリミング領域Rに対応する部分をまとめて露出させている。
これにより、本実施形態の圧電振動子1が完成する。
この方法によれば、重り金属膜40のうち振動腕部31,32の先端寄りの端縁をマスク62により覆うことができるので、重り金属膜40のうちトリミングにより形成された凹部41よりも先端側に位置する部分(以下、「残存部」という)の長手方向Lにおける寸法を確保できる。したがって、残存部の意図しない欠け等による脱落を防止できる。これにより、トリミング工程でのトリミング量を安定させることができ、振動特性に優れた高品質な圧電振動片3を製造できる。
この方法によれば、重り金属膜40のうち振動腕部31,32の基端寄りの端縁をマスク62により覆うことができるので、振動腕部31,32上における重り金属膜40の形成領域外の部分がトリミング工程において加工されることを抑制できる。したがって、例えば励振電極等がトリミングされて断線する等により、圧電振動片3の振動特性が悪化することを防止できる。
さらに、本実施形態では、第2周波数調整工程のエッチングレートを第1周波数調整工程よりも小さく設定しているため、振動腕部31,32の周波数を目標周波数により近付くように微調整できる。これにより、更なる高品質化を図ることができる。
この方法によれば、マスク62の開口部61における振動腕部31,32の基端寄りの開口縁が錘部31B,32Bの基端寄りの端縁よりも先端寄りに位置するので、重り金属膜40のうち振動腕部31,32の本体部31A,32A上に位置する部分が開口部61を通して露出することを防止できる。このため、マスク62の位置が所望の位置から長手方向Lにずれた場合であっても、開口部61を通して露出する重り金属膜40の面積の変動を抑えることができる。これにより、振動腕部31,32の周波数を目標値に対してより高精度に調整することが可能となる。したがって、振動特性に優れた高品質な圧電振動片3を製造できる。
例えば、上述した実施形態では、第1周波数調整工程をパッケージ本体5への実装前に行い、第2周波数調整工程をパッケージ本体5への実装後に行う構成について説明したが、これに限らず、各周波数調整工程を行うタイミングは適宜変更が可能である。また、上述した実施形態では、圧電振動片3がウエハ50に連結された状態で第1周波数調整工程を行う構成について説明したが、個片化後、実装前の圧電振動片3に対して第1周波数調整工程を行っても構わない。
また、上述した実施形態では、重り金属膜40のトリミングをイオンミリングで行っているが、これに限定されず、レーザビームによってトリミングしてもよい。
Claims (4)
- 開口部を有するマスクを第1方向に延びる一対の振動腕部上にセットするマスクセット工程と、
前記一対の振動腕部上に形成された周波数調整用の重り金属膜のうち、前記開口部を通して露出する部分を除去するトリミング工程と、
を備え、
前記マスクにおいて前記開口部の前記第1方向における開口寸法は、前記重り金属膜の前記第1方向における寸法よりも小さく、
前記開口部は、前記第1方向と直交する方向に並んだ圧電振動片のうち、前記重り金属膜に対応する部分をまとめて露出させ、
前記マスクセット工程では、前記開口部の開口縁のうち、前記第1方向における前記振動腕部の先端寄りに位置する部分が、前記重り金属膜のうち、前記第1方向における前記振動腕部の先端寄りの端縁よりも基端寄りに位置するように、前記マスクをセットし、さらに、前記開口部の開口縁のうち、前記第1方向における前記振動腕部の基端寄りに位置する部分が、前記重り金属膜のうち、前記第1方向における前記振動腕部の基端寄りの端縁よりも先端寄りに位置するように、前記マスクをセットする、
ことを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 前記振動腕部の先端部には、基端部に比べて幅広に形成された錘部が形成され、
前記重り金属膜は、少なくとも前記錘部に形成され、
前記マスクセット工程では、前記開口部の開口縁のうち、前記第1方向における前記振動腕部の基端寄りに位置する部分が、前記第1方向における前記錘部の基端寄りの端縁よりも先端寄りに位置するように、前記マスクをセットする、
ことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片の製造方法。 - 基部と
前記基部から第1方向に片持ち状に延設され、前記基部とは反対の先端部に金属膜が形成された一対の振動腕部を備え、
前記金属膜は、前記第1方向中央部に厚さ方向に窪む凹部が形成され、基端側及び先端側が厚く、
前記凹部の中央部は前記第1方向沿って延びる直線状であり、前記凹部の基端部及び先端部が前記中央部から前記第1方向で離間するに従い深さが浅くなる曲線状であり、
前記凹部の前記第1方向に直行する前記振動腕の幅方向は、深さが浅くなる箇所がない、
ことを特徴とする圧電振動片。 - さらに、前記基部における前記幅方向の両端面から前記幅方向の外側に向けて突設され、前記第1に沿って延在する支持腕を備え、
前記支持腕は、前記第1方向において前記金属膜の位置までは至らない、
ことを特徴とする請求項3に記載の圧電振動片。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015204109A JP6618758B2 (ja) | 2015-10-15 | 2015-10-15 | 圧電振動片の製造方法、及び圧電振動片 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015204109A JP6618758B2 (ja) | 2015-10-15 | 2015-10-15 | 圧電振動片の製造方法、及び圧電振動片 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017076911A JP2017076911A (ja) | 2017-04-20 |
JP6618758B2 true JP6618758B2 (ja) | 2019-12-11 |
Family
ID=58551591
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015204109A Active JP6618758B2 (ja) | 2015-10-15 | 2015-10-15 | 圧電振動片の製造方法、及び圧電振動片 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6618758B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112703672A (zh) | 2018-10-05 | 2021-04-23 | 株式会社村田制作所 | 谐振子以及谐振装置 |
JP2021013047A (ja) * | 2019-07-03 | 2021-02-04 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、圧電振動片の製造方法、及び圧電振動子の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002299982A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Kyocera Corp | 水晶発振器の製造方法 |
JP4812014B2 (ja) * | 2006-07-12 | 2011-11-09 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動片の製造方法、圧電振動子、並びに、圧電振動子を備える発振器、電子機器、及び電波時計 |
JP5171551B2 (ja) * | 2008-10-31 | 2013-03-27 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 音叉型水晶振動素子の周波数調整方法 |
JP2015128267A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-09 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器、センサーおよび移動体 |
-
2015
- 2015-10-15 JP JP2015204109A patent/JP6618758B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017076911A (ja) | 2017-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6719178B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法及び圧電振動子の製造方法 | |
US9590588B2 (en) | Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric vibrator | |
JP5982054B1 (ja) | 圧電振動子 | |
JP6618758B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、及び圧電振動片 | |
CN107888161B (zh) | 晶圆、压电振动片以及压电振子 | |
JP6774311B2 (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子 | |
JP6616999B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法 | |
CN105827212B (zh) | 压电振动片及压电振动器 | |
JP6168949B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
JP7319787B2 (ja) | 圧電振動片、及び圧電振動子 | |
JP6673669B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、ウエハ及び圧電振動片 | |
JP6587389B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
JP6630119B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、及びウエハ | |
JP7300256B2 (ja) | 圧電振動片、及び圧電振動子 | |
JP6330000B2 (ja) | 圧電振動子 | |
JP6678428B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片及び圧電振動子 | |
JP2014192802A (ja) | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法、及び圧電デバイス | |
JP6362315B2 (ja) | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電振動片の製造方法 | |
JP2022086056A (ja) | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、および圧電振動片の製造方法 | |
JP2021141555A (ja) | 圧電振動子容器、及び圧電振動子 | |
JP2016134802A (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
JP2017092787A (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片および圧電振動子 | |
JP2018129636A (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子 | |
JP2016116116A (ja) | 圧電振動片、圧電振動子および圧電振動片の製造方法 | |
JP2015076746A (ja) | 圧電振動子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170913 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180803 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190625 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191023 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191113 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6618758 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |