JP6678428B2 - 圧電振動片の製造方法、圧電振動片及び圧電振動子 - Google Patents
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Description
この構成によれば、圧電振動片を個片化させる際に、連結部が切り込みに沿って分断されるため、個片化時に発生するウエハの破片を低減できるとされている。
特に、本態様では、弱化部が圧電板の第1端縁よりも内側に位置する部分に形成されているため、圧電板の第1端縁よりも外側に弱化部の残存部が突出するのを抑制できる。そのため、圧電振動片のパッケージへの実装後、残存部がパッケージの内面に接触するのを抑制できる。その結果、圧電振動片とパッケージの内面との接触によって圧電振動片の振動特性に影響が及ぶのを抑制できる。
この構成によれば、弱化部が圧電板の両面に対して窪む凹部を有しているため、圧電板がより個片化し易くなる。その結果、歩留まりの更なる向上を図ることができる。
この構成によれば、第2パターニング工程において、振動腕部の溝部とともに弱化部が形成されるため、第2パターニング工程と別工程で弱化部を形成する場合に比べて製造効率の向上を図ることができる。
この構成によれば、例えば一枚のウエハから複数の圧電振動片を一括して製造する場合において、薄肉部を介して各圧電振動片をウエハの連結部に連結することで、各圧電振動片の個片化時に圧電振動片が弱化部に沿って破断され易くなる。これにより、圧電振動片を所望の形状に個片化でき、歩留まりを向上させることができる。また、個片化時における破片やバリ等の発生を抑制できる。
この構成によれば、小型化を図った上で、振動特性に優れた圧電振動子を提供できる。
[圧電振動子]
図1は本発明の実施形態に係る圧電振動子1の外観斜視図である。図2は封口板12を取り外した状態を示す圧電振動子1の平面図である。図3は図2のIII−III線に相当する断面図である。図4は実施形態に係る圧電振動子1の分解斜視図である。
図1〜図4に示すように、圧電振動子1は、いわゆるセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。圧電振動子1は、内部に気密封止されたキャビティCを有するパッケージ2と、キャビティC内に収容された圧電振動片3と、を備えている。なお、圧電振動子1は、直方体状を呈している。したがって、本実施形態では平面視において圧電振動子1の長手方向を長手方向Lといい、短手方向を幅方向Wといい、これら長手方向L及び幅方向Wに対して直交する方向を厚さ方向Tという。また、以下の説明では、長手方向L、幅方向W及び厚さ方向Tにおいて、図中矢印方向を+側といい、矢印とは反対の方向を−側という場合がある。
パッケージ2は、パッケージ本体11と、パッケージ本体11に接合され、パッケージ本体11との間にキャビティCを形成する封口板12と、を有している。
第2ベース基板22のうち、キャビティC内における長手方向Lの−側には、一対の電極パッド31,32が形成されている。各電極パッド31,32は、幅方向Wに間隔をあけて配置されている。各電極パッド31,32は、各ベース基板21,22を厚さ方向Tで貫通する図示しない貫通配線を介して対応する外部電極25,26にそれぞれ導通している。なお、各電極パッド31,32は、上述した外部電極25,26と同様に、例えば蒸着やスパッタリング等で形成された単一金属による単層膜、又は異なる金属が積層された積層膜等により構成されている。
図5は、圧電振動片3の平面図である。
図5に示すように、圧電振動片3は、圧電板35と、圧電板35上に形成された図示しない電極膜と、を有している。なお、圧電振動片3の長手方向、幅方向及び厚さ方向は、上述した圧電振動子1の長手方向L、幅方向W及び厚さ方向Tにそれぞれ一致している。
各振動腕部42,43は、基部41における長手方向Lの+側端縁(第2端縁)から長手方向Lに沿って片持ち状に延設されている。各振動腕部42,43は、幅方向Wに並んで配置されている。各振動腕部42,43は、基端部(長手方向Lの−側端部)を固定端とし、先端部(長手方向Lの+側端部)を自由端として互いに接近離間する方向(幅方向W)に振動する。また、振動腕部42,43の上下面には、厚さ方向Tに窪むとともに、長手方向Lに延びる溝部44がそれぞれ形成されている。
基部41の上下面のうち、長手方向Lの−側端部には、厚さ方向Tに窪む凹部46,47がそれぞれ形成されている。各凹部46,47は、平面視で長手方向Lにおける−側に向けて開口するC字状に形成されている。各凹部46,47は、長手方向Lの+側及び幅方向Wの両側から切欠き部45の開口縁に連なっている。なお、本実施形態において、各凹部46,47は、同形同大に形成されるとともに、基部41において厚さ方向Tで重なる位置に形成されている。また、凹部46,47は、基部41における厚さ方向Tの一方の面に少なくとも形成されていれば構わない。
マウント電極は、少なくとも基部41の下面に互いに電気的に絶縁された状態でパターニングされている。
引き回し電極は、上述した各励振電極及びマウント電極のうち対応する励振電極及びマウント電極同士をそれぞれ接続している。引き回し電極は、圧電板35のうち振動腕部42,43から基部41に至る経路に形成されている。なお、電極膜は、例えばCr−Auの積層膜によって形成されている。
次に、上述した圧電振動片3の製造方法について説明する。なお、以下の説明では、一枚のウエハ50(図7参照)から複数の圧電振動片3を一括で製造する方法について説明する。
本実施形態の圧電振動片3の製造方法は、外形形成工程と、電極膜形成工程と、個片化工程と、を主に有している。
図7〜図9は、圧電振動片3の製造方法を説明するための工程図であって、ウエハ50の部分平面図である。
図7に示すように、外形形成工程では、ウエハ50に対してエッチングを施し、ウエハ50を複数の圧電板35の外形形状に形成する。外形形成工程では、まずフォトリソグラフィ技術によってウエハ50の上下面に、第1外形パターン61を形成する(第1外形パターン形成工程)。各第1外形パターン61は、複数の第1外形マスク62と、第1フレーム部マスク63と、これら第1外形マスク62及び第1フレーム部マスク63を接続する第1連結部マスク64と、をそれぞれ有している。
第1連結部マスク64は、各第1外形マスク62における長手方向Lの−側端縁から長手方向Lに延設されている。図示の例において、第1連結部マスク64は、第1外形マスク62から離間するに従い幅が広くなっている。
第1フレーム部マスク63は、各第1連結部マスク64における長手方向Lの−側端部同士を接続している。
溝部用開口81は、第2外形マスク76のうち振動腕部42,43と厚さ方向Tで重なる部分に形成されている。溝部用開口81は、振動腕部42,43のうち溝部44(図5参照)の形成領域を露出させている。
ここで、図10に示すように、基部41の上下面のうち、弱化部用開口82を通して露出する部分には、弱化部91が形成される。弱化部91は、基部41の上下面のうち、長手方向Lの−側端部であって、幅方向Wの中央部に形成されている。弱化部91は、基部41の上下面から厚さ方向Tに窪む凹部90を有している。すなわち、弱化部91は、連結部71や基部41の凹部90以外の部分よりも薄肉になっている。
次に、複数の圧電板35上に、電極膜(励振電極、引き出し配線及びマウント電極)を形成する。電極形成工程では、ウエハ50上に、蒸着やスパッタリング等により電極材料を成膜し、その後電極材料をパターニングすることで電極膜を形成する。
次に、各圧電板35をウエハ50から分離する個片化工程を行う。具体的には、ウエハ50に対して圧電板35を押し込む又は引き上げることで、連結部71及びフレーム部72と圧電板35とを厚さ方向Tに相対変位させる。すると、圧電板35が弱化部91における例えば長手方向Lの中心を起点に屈曲することで、弱化部91が破断される。これにより、圧電板35がウエハ50から分離する。
以上により、一枚のウエハ50から複数の圧電振動片3が形成される。なお、図5に示すように、上述した製造方法により製造された圧電振動片3において、基部41の長手方向Lの−側端部には弱化部91が破断されてなる切欠き部45及び薄肉部48が残存している。
この構成によれば、個片化工程において、圧電板35が弱化部91に沿って破断され易くなるので、圧電板35を所望の形状に個片化でき、歩留まりを向上させることができる。また、個片化時における破片やバリ等の発生を抑制できる。しかも、本実施形態では、弱化部91が連結部71よりも幅広に形成されているため、連結部71と弱化部91とが幅方向Wの全体に亘ってスムーズに分離されることになる。よって、歩留まりの更なる向上を図るとともに、連結部71における幅方向Wの両端縁と弱化部91との間でバリ等の発生を抑制できる。
例えば、上述した実施形態では、連結部71における幅方向Wの全体が凹部90に連なる構成について説明したが、これに限られない。例えば、図11に示す弱化部100のように、幅方向Wにおいて連結部71の一部(図示の例では、幅方向Wの両端部)が凹部101から離間していても構わない。但し、図11に示す構成においても、凹部101のうち幅方向Wの両端部は、連結部71よりも幅方向Wの外側に位置している。
また、上述した実施形態の弱化部91は、凹部90が幅方向Wに沿って連続的に形成された構成について説明したが、これに限られない。例えば、図12に示す弱化部110のように、凹部111が幅方向Wに沿って間欠的に形成された構成であっても構わない。なお、上述した図12に示す構成においても、各凹部111のうち幅方向Wの最外に位置する凹部111は、連結部71よりも幅方向Wの外側に位置している。すなわち、弱化部は、基部41における長手方向Lの−側端縁よりも内側であって、連結部71よりも幅広に形成されていれば、凹部の形状や寸法等は適宜変更が可能である。
上述した実施形態では、振動腕部42,43と連結部71とが、基部41のうち長手方向Lで対向する端縁にそれぞれ形成された場合について説明したが、これに限られない。例えば、連結部71は基部41における幅方向Wを向く端縁に形成されていても構わない。
上述した実施形態では、弱化部91が長手方向Lの中心で破断される構成について説明したが、これに限られない。圧電振動片3は、弱化部91を起点に連結部71から破断されれば構わない。なお、弱化部91の残存部である切欠き部45や薄肉部48の形状や寸法は、弱化部91の破断位置に応じて適宜変化する。
さらに、圧電振動片として、厚みすべり振動するAT振動片を用いても構わない。
2…パッケージ
3…圧電振動片
35…圧電板
41…基部
42…振動腕部
43…振動腕部
44…溝部
48…薄肉部
50…ウエハ
71…連結部
72…フレーム部
90,101,111,122…凹部
91,100,110,121…弱化部
Claims (5)
- 圧電振動片の外形を構成する複数の圧電板が、それぞれ連結部を介してフレーム部に連結された状態にウエハをパターニングする外形形成工程と、
複数の前記圧電板を前記ウエハから分離する個片化工程と、を有する圧電振動片の製造方法であって、
前記連結部は、前記ウエハの厚さ方向から見た平面視において、前記圧電板の第1端縁から前記第1端縁の幅方向に交差する方向に突出し、
前記外形形成工程では、前記圧電板のうち、前記第1端縁よりも内側に位置する部分に、前記連結部に連なるとともに、少なくとも前記連結部よりも薄肉で、かつ前記連結部よりも幅広の弱化部を形成し、
前記個片化工程では、前記弱化部を起点に前記圧電板を個片化し、
前記弱化部は、平面視で長手方向における連結部側に向けて開口するC字状に形成されていることを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 前記弱化部は、前記ウエハにおける前記厚さ方向の両面に対して窪む凹部を有していることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記圧電板は、
前記第1端縁を有する基部と、
前記平面視において前記基部のうち前記第1端縁と対向する第2端縁から片持ち状に延設された一対の振動腕部と、
前記振動腕部に形成された溝部と、を有し、
前記外形形成工程は、
前記基部及び前記振動腕部を形成する第1パターニング工程と、
前記溝部を形成する第2パターニング工程と、を有し、
前記第2パターニング工程では、前記溝部とともに前記弱化部を形成することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧電振動片の製造方法。 - 第1端縁を有する基部と、
前記基部を厚さ方向から見た平面視において、前記基部のうち前記第1端縁と対向する第2端縁から片持ち状に延設された一対の振動腕部と、を備え、
前記基部のうち前記第1端縁に連なる部分には、前記振動腕部よりも薄肉の薄肉部が形成され、
前記薄肉部は、平面視で前記振動腕部と反対方向に向けて開口するC字状に形成され、
前記第1端縁の前記薄肉部には前記振動腕部が延設された方向に窪む切欠き部が形成されていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項4に記載の圧電振動片と、
前記圧電振動片が封入されたパッケージと、を備えていることを特徴とする圧電振動子。
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