JP2010088054A - 音叉型圧電振動片および圧電デバイス - Google Patents
音叉型圧電振動片および圧電デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010088054A JP2010088054A JP2008257731A JP2008257731A JP2010088054A JP 2010088054 A JP2010088054 A JP 2010088054A JP 2008257731 A JP2008257731 A JP 2008257731A JP 2008257731 A JP2008257731 A JP 2008257731A JP 2010088054 A JP2010088054 A JP 2010088054A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fork type
- vibrating piece
- tuning fork
- base
- tuning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【課題】 音叉型圧電振動片(20)をさらに小型化するために、一対の振動腕の根元部にスリット部(切り込み部)を設け低い周波数を得ることができる音叉型圧電振動片を提供する。
【解決手段】 第1の観点の音叉型圧電振動片は、基部(29)の一端側から所定方向に伸びる少なくとも一対の振動腕(21)と、この一対の振動腕の根元(26)において振動腕の幅より1/3以下の幅で所定方向に伸びるように切削加工又はドライエッチング加工で形成されたスリット部(40)と、一対の振動腕に形成された励振電極(23,25)と、を備える。
【選択図】図1A
【解決手段】 第1の観点の音叉型圧電振動片は、基部(29)の一端側から所定方向に伸びる少なくとも一対の振動腕(21)と、この一対の振動腕の根元(26)において振動腕の幅より1/3以下の幅で所定方向に伸びるように切削加工又はドライエッチング加工で形成されたスリット部(40)と、一対の振動腕に形成された励振電極(23,25)と、を備える。
【選択図】図1A
Description
本発明は、圧電材料よりなる音叉型の圧電振動片及びこの圧電振動片を有する圧電デバイスを製造する技術に関する。
従来、時計や家電製品、各種情報・通信機器やOA機器等の民生・産業用電子機器には、その電子回路のクロック源として圧電振動子、圧電振動片とICチップとを同一パッケージ内に封止した発振器やリアルタイムクロックモジュール等の圧電デバイスが広く使用されている。また、船舶・航空機・自動車等の姿勢制御や航行制御、ビデオカメラ等の手振れ防止・検出等における回転角速度センサとして、圧電振動ジャイロが広く利用され、3次元立体マウス等の回転方向センサにも応用されている。特に最近、これら圧電デバイスは、それを搭載する電子機器の小型化・薄型化に伴い、より一層の小型化・薄型化が要求されている。
たとえば、特許文献1に開示されるような溝部付の音叉型圧電振動片が提案されている。溝部付の音叉型圧電振動片は、振動片の大きさを小型化しても、振動腕の振動損失が低くCI値(クリスタルインピーダンスまたは等価直列抵抗)も低く抑えることができるという特性を有する。このため、溝部付の音叉型圧電振動片は、たとえば特に小型でも高精度な性能が求められる振動子に適用されている。溝部付の音叉型圧電振動片の大きさとしては、振動腕の長さが1.644mm、振動腕の幅が0.1mmとなっており、この振動腕に幅0.07mmの幅で溝が形成されている。さらに、基部は縦方向の長さが0.56mmとなり、全体として小型化された音叉型圧電振動片である。
特開2001−261575号公報
特開平01−236808号公報
しかしながら、さらに小型化する需要に対して、基部の長さをさらに短くしようとすると、従来の形状だけでは十分に振動漏れを吸収することができずにCI値が劣化する。また、音叉型圧電振動片の外形を形成する際のエッチングにおいて、水晶の異方性により音叉型圧電振動片は異形部が発生する。このエッチングによる異形部は小型化するに従い、音叉型圧電振動片の特性に与える影響が大きくなる。エッチングの異形部は音叉型圧電振動片に歪みを発生させ、わずかな寸法の違いで左右の振動腕のバランスが不均一になり振動漏れが起きる。
また、特許文献2に開示されるように、特に一対の振動腕の根元部などは小型になるにつれてエッチング液が流れにくくなり、さらに水晶の異方性により加工が難しくなっている。腐食残部が残った状態で電極を形成すると、電極パターンがショート(短絡)してしまい不良品となることも多い。
本発明の目的は、音叉型圧電振動片をさらに小型化するために、一対の振動腕の根元部にスリット部(切り込み部)を設け低い周波数を得ることができる音叉型圧電振動片を提供する。また腐食残部の一部にスリット部を形成することで電極パターンのショートを防ぐ音叉型圧電振動片の製造方法を提供することである。
第1の観点の音叉型圧電振動片は、基部の一端側から所定方向に伸びる少なくとも一対の振動腕と、この一対の振動腕の根元において振動腕の幅より1/3以下の幅で所定方向に伸びるように切削加工又はドライエッチング加工で形成されたスリット部と、一対の振動腕に形成された励振電極と、を備える。
この構成により、小型化された音叉型圧電振動片で周波数が高くなりがちであっても、所定の周波数まで下げることができる。
この構成により、小型化された音叉型圧電振動片で周波数が高くなりがちであっても、所定の周波数まで下げることができる。
第2の観点の音叉型圧電振動片は、基部電極に設けられ励振電極と接続する基部電極を備え、スリット部は基部電極が形成される領域までは伸びない。
音叉型圧電振動片はパッケージなどに固定されるため、基部電極付近までスリット部を形成しない。
音叉型圧電振動片はパッケージなどに固定されるため、基部電極付近までスリット部を形成しない。
第3の観点の音叉型圧電振動片のスリット部の長さは、基部の長さの30パーセントから75パーセントである。
特にスリット部の長さが基部の長さの30パーセント以上であると、周波数を特に下げ易くなる。逆に75パーセント以上であると基部の強度が弱くなってしまい耐衝撃性がわるくなる。
特にスリット部の長さが基部の長さの30パーセント以上であると、周波数を特に下げ易くなる。逆に75パーセント以上であると基部の強度が弱くなってしまい耐衝撃性がわるくなる。
第4の観点の圧電デバイスは、第1ないし第4のいずれかの観点の音叉型圧電振動片と、この音叉型圧電振動片を覆う蓋部と、音叉型圧電振動片を支えるとベースと、を備え、スリット部に接着剤が入らないようにしてベースに音叉型圧電振動片が固定される。
この構成により、小型化された圧電デバイスであっても、安定した所定の周波数を確保するができる。
この構成により、小型化された圧電デバイスであっても、安定した所定の周波数を確保するができる。
第5の観点の音叉型圧電振動方法は、圧電ウエハから音叉型圧電振動片を製造する製造方法において、基部と、その基部から所定方向に伸びる少なくとも一対の振動腕とをウェットエッチングで形成する外形形成工程と、この外形形成工程後に、一対の振動腕の根元において基部に対して振動腕の幅より1/3以下の幅で所定方向にスリット部を切削又はドライエッチングで加工する加工工程と、加工工程の後に、圧電ウエハに金属膜を形成する金属膜形成工程と、金属膜から電極パターンを形成する電極パターン形成工程と、を備える。
基部に対して振動腕の幅より1/3以下の幅で所定方向にスリット部を加工することで、ウェットエッッチングの際に一対の振動腕の間に形成される腐食残部の一部を削り取ることができるため、その後電極パターンを正確に形成することができる。
基部に対して振動腕の幅より1/3以下の幅で所定方向にスリット部を加工することで、ウェットエッッチングの際に一対の振動腕の間に形成される腐食残部の一部を削り取ることができるため、その後電極パターンを正確に形成することができる。
第6の観点の音叉型圧電振動方法の切削加工は、レーザー加工、ダイシングソー加工、又はブラスト加工を含む。
これらの加工方法は、例えば0.04mmのスリットを形成することができる。
これらの加工方法は、例えば0.04mmのスリットを形成することができる。
第7の観点の音叉型圧電振動方法の外形形成工程は、所定方向に伸びる溝部を一対の振動腕の表裏面に形成する。
この構成により、CI値を下げることができる。
この構成により、CI値を下げることができる。
本発明の音叉型圧電振動片は、周波数を低く抑えて優れた振動特性を備えることができ、また。この圧電振動片を使った圧電デバイスは、小型化の要望に応えることができる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
<音叉型水晶振動片20の構成>
図1A(a)は音叉型水晶振動片20の全体構成を示した平面図であり、(b)はその側面図である。(c)は音叉型水晶振動片20の一対の振動腕21のC−C断面図である。音叉型水晶振動片20の母材は、ATカットに加工された水晶単結晶ウエハ10で形成されている。図1A(a)に示すように、音叉型水晶振動片20は、第1基部29−1と第2基部29−2とから構成される基部29と、この第1基部29−1から図1Aにおいて上方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕21を備えている。以下、本実施形態では一対の振動腕21を備えた音叉型水晶振動片で説明するが、3本または4本の振動腕21を備えた水晶振動片であってもよい。
図1A(a)は音叉型水晶振動片20の全体構成を示した平面図であり、(b)はその側面図である。(c)は音叉型水晶振動片20の一対の振動腕21のC−C断面図である。音叉型水晶振動片20の母材は、ATカットに加工された水晶単結晶ウエハ10で形成されている。図1A(a)に示すように、音叉型水晶振動片20は、第1基部29−1と第2基部29−2とから構成される基部29と、この第1基部29−1から図1Aにおいて上方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕21を備えている。以下、本実施形態では一対の振動腕21を備えた音叉型水晶振動片で説明するが、3本または4本の振動腕21を備えた水晶振動片であってもよい。
音叉型水晶振動片20は、たとえば32.768kHzで発振する振動片で、極めて小型の振動片となっている。図1A(a)において、振動腕21の長さL1は、1.20mmから1.50mmであり、基部29の長さL2は0.30mmから0.50mm程度であり、第1の音叉型水晶振動片20の全体の長さが1.50mmから2.00mm程度である。第1基部29−1の幅W1は0.34mmから0.50mm、第2基部29−2の幅W2は0.40mmから0.60mm程度である。振動腕21の幅W3は0.08mmから0.12mm程度である。一対の振動腕21の間隔W5は0.08mmから0.12mm程度である。
図1A(b)に示すように、振動腕21の厚さD1は、0.08mmから0.12mmであり、基部29の厚さD2は0.085mmから0.50mm程度である。基部29の厚さD2の方が少なくとも振動腕21の厚さD1より5μm以上厚い。つまり約5パーセント程度厚くなっており、振動腕21が振動する際に垂直方向成分を有した振動が生じても、振動腕21の振動が基部へ漏れる振動を緩和することができる。また基部29の厚さD2は、0.5mmよりも薄く、振動腕21の厚さD1の5倍以内としている。振動腕21との厚さの違いが大きくなるとウェットエッチングなどの工程で時間がかかり、また無駄になる水晶の量が多くなる。このため、製造コストを考えて0.5mmよりも小さくしている。
振動腕21の厚さD1から基部29の厚さD2へ厚くなるため、振動腕21が振動する際に垂直方向成分を有した振動が生じても、振動腕21の振動が第2基部29−2へ漏れる振動を緩和することができる。さらに、基部の厚さD2が厚いため、製造途中において破損することが少なくなり、また、衝撃や振動にも強くなる。
音叉型水晶振動片20の振動腕21の表裏面には、溝部27が形成されている。一本の振動腕21の表面に2つの溝部27が形成されており、振動腕21の裏面側にも同様に2つの溝部27が形成されている。つまり、一対の振動腕21には4箇所の溝部27が形成される。溝部27の深さは、振動腕21の厚さの約35〜45%である。溝部27の幅W4は、振動腕21の幅W3の約65〜85%である。表裏面に溝部27があるため、図1A(c)に示すように、溝部27の断面は、H型に形成されている。溝部27は、小型化が進むとCI値が上昇するので、CI値を下げるために設けられている。
音叉型水晶振動片20の基部29は、その全体が板状に形成されている。第1基部29−1の幅W1と第2基部29−2の幅W2との差異があるため、振動腕21が振動する際に垂直方向成分を有した振動が生じても、振動腕21の振動が第2基部29−2へ漏れる振動を緩和することができる。音叉型水晶振動片20の基部29には、連結部28が2箇所設けられている。連結部28は、水晶単結晶ウエハ10から、図1Aに示す音叉形状をフォトリソグラフィおよびウェットエッチングで形成する際に、水晶単結晶ウエハ10と音叉型水晶振動片20とを連結する部分である。
音叉型水晶振動片20の振動腕21および基部29には、第1電極パターン23と第2電極パターン25とが形成されている。第1電極パターン23と第2電極パターン25とはともに、150オングストローム〜700オングストロームのニッケル(Ni)層の上に400オングストローム〜2000オングストロームの金(Au)層が形成された構成である。ニッケル(Ni)層の代わりに、チタン(Ti)層を使用してもよく、また金(Au)層の代わりに、銀(Ag)層を使用してもよい。
音叉型水晶振動片20の基部29には、図1A(a)に示すように、第1基部電極23aと第2基部電極25aとが形成され、振動腕部21の溝部27には、第1溝電極23d,第2溝電極25dがそれぞれ形成される。また、図1A(c)に示すように、(a)の左側の腕部21の両側面には、第2側面電極25cが形成されている。右側の腕部21の両側面には、第1側面電極23cが形成されている。
一対の振動腕21の根元部26の基部29にスリット部40が形成されている。スリット部40の長さSLは、基部29の長さL2の30%から75%である。スリット部40の幅は、振動腕21の幅W3の1/3以下、例えば0.04mmである。スリット部40を設けることにより、小型化により目標周波数より高い周波数になりがちな音叉型水晶振動片20の周波数を下げることができる。
振動腕21の幅W3の1/3より幅広いと、ドライブレベル特性の劣化(剛性が弱くなる)という問題がある。
図1Bは、音叉型水晶振動片20の根元部26の拡大図であり、(a)はY方向から根元部26を観察した図であり、(b)はその平面図である。
図1Bに示すように、一対の振動腕21の根元部は小型になるにつれてエッチング液が流れにくくなり、さらに水晶のエッチング異方性により腐食残部261が残っている。この状態で第1電極パターン23と第2電極パターン25を形成するためにフォトレジストを塗布すると、腐食残部261にフォトレジストが残ってしまい、電極パターンがうまく形成できず第1電極パターン23と第2電極パターン25とがショートしてしまうことがある。
図1Bに示すように、一対の振動腕21の根元部は小型になるにつれてエッチング液が流れにくくなり、さらに水晶のエッチング異方性により腐食残部261が残っている。この状態で第1電極パターン23と第2電極パターン25を形成するためにフォトレジストを塗布すると、腐食残部261にフォトレジストが残ってしまい、電極パターンがうまく形成できず第1電極パターン23と第2電極パターン25とがショートしてしまうことがある。
しかし、音叉型水晶振動片20の外形を形成した後に、レーザーなどでスリット部40を形成すると、腐食残部261の一部が削除される。腐食残部261が削除されることにより電極パターンのショートの問題も解決することができる。
図2は、音叉型水晶振動片20において、基部29の長さL2に対するスリット部40の長さSLの比率%と周波数の変化率との関係を示す図である。基部29の長さL2に対するスリット部40の長さSLの比率が55%で周波数は900Hz以上下がることを示している。一対の振動腕21の根元部26の基部29にスリット部40を形成することにより、周波数の上昇を抑えることができる。特に基部29の長さL2に対するスリット部40の長さSLの比率が30%以上であると、スリット部40の長さSLに対して、周波数を2次曲線的に大きく下げることができる。
但し、基部29の長さL2に対するスリット部40の長さSLの比率が75%以下にすることが望ましい。スリット部40が長くなりすぎると耐衝撃性が弱くなってしまうからであり、また第1基部電極23aと第2基部電極25aの領域が小さくなってしまうからである。
<セラミックパッケージ音叉型振動子の構成>
図3は、本実施形態に係るセラミックパッケージ音叉型振動子50の構成を示す概略断面図である。
このセラミックパケージ音叉型振動子50は、上述の音叉型水晶振動片20を使用している。セラミックパケージ音叉型振動子50は、その内側に空間を有する箱状のパッケージ52を有している。このパッケージ52には、その底部にベース部54を備えている。このベース部54を備えたパッケージ52は、酸化アルミニウム質の混練物からなるセラミックグリーンシートを成形して形成される複数の基板を積層し、焼結して形成されている。
図3は、本実施形態に係るセラミックパッケージ音叉型振動子50の構成を示す概略断面図である。
このセラミックパケージ音叉型振動子50は、上述の音叉型水晶振動片20を使用している。セラミックパケージ音叉型振動子50は、その内側に空間を有する箱状のパッケージ52を有している。このパッケージ52には、その底部にベース部54を備えている。このベース部54を備えたパッケージ52は、酸化アルミニウム質の混練物からなるセラミックグリーンシートを成形して形成される複数の基板を積層し、焼結して形成されている。
パッケージ52の上端には、封止材58が設けられており、この封止材58は、蓋体56と同様の材料から形成されている。蓋体56は、ホウ珪酸ガラス及びソーダガラスなどから成る。また、この封止材58の上には蓋体56が載置され、これらパッケージ52、封止材58および蓋体56で、中空の箱体を形成することになる。蓋体56がコバール合金等の金属材料で形成される場合には、蓋体56はシーム溶接等の手法により、パッケージ52に対して固定される。
このように形成されているパッケージ52のベース部54上にはパッケージ側電極が設けられている。このパッケージ側電極の上には導電性接着剤59を介して音叉型水晶振動片20の基部電極23a、25a(図1Aを参照)が電気的に接続される。基部電極23a、25aが導電性接着剤59で固定される領域までスリット部40は伸びていない。スリット部40に導電性接着剤59が入ってしまうと、音叉型水晶振動片20の周波数が大きく変化してしまうからである。パッケージ側電極は、パーケージの外側に形成されたタングステンメタライズ上にニッケルメッキおよび金メッキが施された電極部に接続される。
この音叉型水晶振動片20は、電極部から通電されると振動するようになっている。このとき、基部29が振動腕よりも厚いため、音叉型水晶振動片が衝撃や振動に対して強くなる。
<セラミックパケージ音叉型振動子50の製造工程>
図4ないし図7は、図1Aで示した音叉型水晶振動片20を使って図3に示したセラミックパケージ音叉型振動子50を製造する工程を示したフローチャートである。各図フローチャートの右側に、音叉型水晶振動片20の断面図又は平面図を示す。
<<水晶振動片の外形形成の工程>>
図4は、音叉型水晶振動片の外形形成の工程のフローチャートである。
ステップS102では、水晶単結晶ウエハ10の全面に、耐蝕膜をスパッタリングもしくは蒸着などの手法により形成する。すなわち、圧電材料としての水晶単結晶ウエハ10を使用する場合に、金(Au)や銀(Ag)等を直接成膜することは困難なため、下地としてニッケル(Ni)やチタン(Ti)等を使用する。つまり、この実施形態では、耐蝕膜としてニッケル層の上に金層を重ねた金属膜30を使用する。図4(a)は、この状態の水晶単結晶ウエハ10を示した断面図である。
図4ないし図7は、図1Aで示した音叉型水晶振動片20を使って図3に示したセラミックパケージ音叉型振動子50を製造する工程を示したフローチャートである。各図フローチャートの右側に、音叉型水晶振動片20の断面図又は平面図を示す。
<<水晶振動片の外形形成の工程>>
図4は、音叉型水晶振動片の外形形成の工程のフローチャートである。
ステップS102では、水晶単結晶ウエハ10の全面に、耐蝕膜をスパッタリングもしくは蒸着などの手法により形成する。すなわち、圧電材料としての水晶単結晶ウエハ10を使用する場合に、金(Au)や銀(Ag)等を直接成膜することは困難なため、下地としてニッケル(Ni)やチタン(Ti)等を使用する。つまり、この実施形態では、耐蝕膜としてニッケル層の上に金層を重ねた金属膜30を使用する。図4(a)は、この状態の水晶単結晶ウエハ10を示した断面図である。
ステップS104では、ニッケル層および金層が形成された水晶単結晶ウエハ10に、フォトレジスト膜36を全面にスピンコートなどの手法で均一に塗布する。フォトレジスト膜36としては、たとえば、ノボラック樹脂によるポジフォトレジストを使用できる。図4(b)は、この状態の水晶単結晶ウエハ10を示した断面図である。
次に、ステップS106では、不図示の露光装置を用いて、外形フォトマスクのパターンをフォトレジスト膜36が塗布された水晶単結晶ウエハ10に露光する。水晶単結晶ウエハ10の両面からウェットエッチングができるように水晶単結晶ウエハ10の両面に露光する。図4(c)は、露光されたフォトレジスト膜42を有する水晶単結晶ウエハ10を示した断面図である。
ステップS108では、水晶単結晶ウエハ10のフォトレジスト膜36を現像して、感光したフォトレジスト膜42を除去する。さらに、フォトレジスト膜36から露出した金層をたとえば、ヨウ素とヨウ化カリウムの水溶液を用いて、金層をエッチングする。次いで、金層が除去されて露出したニッケル層を、たとえば硝酸第2セリウムアンモニウムと酢酸との水溶液でエッチングする。水溶液の濃度、温度および水溶液に浸している時間を調整して余分な箇所が侵食されないようにする。これで金属膜30を除去することができる。図4(d)に示すように、音叉型水晶振動片20の外形パターンの水晶単結晶ウエハ10が現れる。
ステップS110では、フッ酸溶液をエッチング液として、フォトレジスト膜36および金属膜30から露出した水晶単結晶ウエハ10を、音叉型水晶振動片20の外形になるようにウェットエッチングを行う。このウェットエッチングは、フッ酸溶液の濃度や種類、温度等により時間が変化するが、約6時間ないし約15時間かかる。図4(e)は、エッチングされた水晶単結晶ウエハ10で、金属膜30及びフォトレジスト膜36に覆われた音叉型水晶振動片20の振動腕21の断面図を示す。図4(g)に示すように開口領域12が形成された状態である。
ステップS112では、不要となったフォトレジスト膜36と金属膜30を除去することによりに、図4(g)に示した音叉型水晶振動片20が形成される。ただし、水晶単結晶ウエハ10と音叉型水晶振動片20とは、連結部28で連結された状態であり、音叉型水晶振動片20は個々に切り取られていない。図4(f)に、形成された音叉型水晶振動片20の振動腕21の断面図を示す。
図4(g)は、水晶単結晶ウエハ10に形成された音叉型水晶振動片20の一部を拡大した概略平面図である。音叉型水晶振動片20は、水晶単結晶ウエハ10から開口領域12がエッチングされることにより所定の大きさに形成されている。音叉型水晶振動片20の基部29には連結部28が形成されている。連結部28は、水晶単結晶ウエハ10と音叉型水晶振動片20とを連結して、複数の音叉型水晶振動片20を水晶単結晶ウエハ10単位で同時に扱うことができるようにしている。
<<振動腕の厚さを薄くする工程>>
図5は、振動腕21の厚さを薄くする工程のフローチャートである。各図フローチャートの右側に、音叉型水晶振動片20の断面図を示す。
ステップS114では、音叉型水晶振動片20を純水で洗浄し、水晶単結晶ウエハ10の全面に、ニッケル層の上に金層を重ねた金属膜30をスパッタリングもしくは蒸着などの手法により形成する。図5(h)は、この状態の音叉型水晶振動片20を示した断面図である。
図5は、振動腕21の厚さを薄くする工程のフローチャートである。各図フローチャートの右側に、音叉型水晶振動片20の断面図を示す。
ステップS114では、音叉型水晶振動片20を純水で洗浄し、水晶単結晶ウエハ10の全面に、ニッケル層の上に金層を重ねた金属膜30をスパッタリングもしくは蒸着などの手法により形成する。図5(h)は、この状態の音叉型水晶振動片20を示した断面図である。
ステップS116では、ニッケル層および金層が形成された水晶単結晶ウエハ10に、フォトレジストをスピンコートまたはスプレーなどの手法で均一に塗布する。図5(i)は、この状態の音叉型水晶振動片20を示した断面図である。
ステップS118では、不図示の露光装置を用いて、段差用フォトマスクのパターンをフォトレジスト膜36’が塗布された音叉型水晶振動片20に合わせて露光する。水晶単結晶ウエハ10の両面からウェットエッチングができるように水晶単結晶ウエハ10の両面に露光する。図5(j)は、露光されたフォトレジスト膜42’を有する音叉型水晶振動片20を示した断面図である。
ステップS120では、水晶単結晶ウエハ10のフォトレジスト膜36’を現像して、感光したフォトレジスト膜42’を除去する。さらに、フォトレジスト膜36’から露出した金層をエッチングする。次いで、金層が除去されて露出したニッケル層をエッチングする。水溶液の濃度、温度および水溶液に浸している時間を調整して余分な箇所が侵食されないようにする。これで金属膜30を除去することができる。図5(k)に示すように、音叉型水晶振動片20の振動腕21の外形パターンが現れる。
ステップS122では、フッ酸溶液をエッチング液として、フォトレジスト膜36’および金属膜30から露出した振動腕21を、所定の厚さになるようにウェットエッチングを行う。このウェットエッチングは、振動腕21の厚さを薄くするためのものであるので、途中までエッチングを行ういわゆるハーフエッチングを行う。フッ酸溶液の濃度や種類、温度等により、エッチング時間は変化する。図5(l)に、薄く形成された音叉型水晶振動片20の振動腕21の断面図を示す。
ステップS124では、不要となったフォトレジスト膜36’と金属膜30とを除去する。図5(m)に、振動腕21の厚みが薄くなった音叉型水晶振動片20の側面図を示す。
<<溝部及びスリット形成の工程>>
図6は、振動腕21に溝部27を形成する工程のフローチャートである。各図フローチャートの右側に、音叉型水晶振動片20の振動腕21の断面図及び平面図の一部を示す。
ステップS126では、音叉型水晶振動片20を純水で洗浄し、音叉型水晶振動片20の全面に溝部27を形成するための金属膜30を形成する。図6(n)は、この状態の音叉型水晶振動片20の振動腕21を示した断面図である。
図6は、振動腕21に溝部27を形成する工程のフローチャートである。各図フローチャートの右側に、音叉型水晶振動片20の振動腕21の断面図及び平面図の一部を示す。
ステップS126では、音叉型水晶振動片20を純水で洗浄し、音叉型水晶振動片20の全面に溝部27を形成するための金属膜30を形成する。図6(n)は、この状態の音叉型水晶振動片20の振動腕21を示した断面図である。
ステップS128では、スプレーを使って全面にフォトレジスト膜36”を塗布する。音叉型水晶振動片20の形状が形成されているため、スプレーを使って側面にもフォトレジスト膜36”を塗布する。図6(o)は、この状態の音叉型水晶振動片20の振動腕21を示した断面図である。
ステップS130では、溝部27に対応した溝部フォトマスクを用意して、溝部パターンをフォトレジスト膜36”が塗布された水晶単結晶ウエハ10を露光する。溝部27は振動腕21の両面に形成する必要があるため、ステップS130では、365nmのi線の露光光を用いて音叉型水晶振動片20の両面を露光する。図6(p)は、露光されたフォトレジスト膜42”を有する音叉型水晶振動片20の振動腕21を示した断面図である。
ステップS132では、フォトレジスト膜36”を現像後、感光したフォトレジスト膜42”を除去する。さらに、フォトレジスト膜36”から露出した金層をエッチングする。次いで、金層が除去されて露出したニッケル層をエッチングする。水溶液の濃度、温度および水溶液に浸している時間を調整して余分な箇所が侵食されないようにする。これで金属膜30を除去することができる。図6(q)に示すように、音叉型水晶振動片20の振動腕21が現れる。
ステップS134では、溝部27のエッチングを行う。すなわち、溝部27と対応したフォトレジスト膜36”から露出した水晶材料を、溝部27の外形になるようにウェットエッチングを行う。溝部27が貫通孔にならないように途中でエッチングを終了するハーフエッチングを行う。図6(r)に、溝部27が形成された音叉型水晶振動片20の振動腕21の断面図を示す。
ステップS136では、不要となったフォトレジスト膜36”と金属膜30とを除去する。図6(s)に、音叉型水晶振動片20に溝部27が正確な位置に形成された状態を示す。これまでのステップを経て得られた音叉型水晶振動片20は、その根元部26全体に図1Bで示したような腐食残部261が残っている。またこの音叉型水晶振動片20は周波数が目標周波数より高めである。
ステップS138では、音叉型水晶振動片20の根元部26にスリット部40を形成する。スリット部40を形成することで腐食残部261の一部を削除することができるとともに、音叉型水晶振動片20は目標周波数、例えば32.768kHzまで下げることができる。
スリット部40の形成には、レーザースクライブ・カッティングによる方法、ダイシング加工またはドライエッチングによる加工などが用いられる。ドライエッチングによる加工には、例えば、水晶ウエハ上に、音叉型水晶振動片20の基部29に相当する領域を、その都度メタルマスクを配置して覆う。この状態で、例えば、図示しないチャンバ内に収容し、所定の真空度でエッチングガスを供給して、エッチングプラズマを生成しドライエッチングすることができる。つまり、不図示の真空チャンバには、例えば、フレオンガスボンベと酸素ガスボンベとが接続され、さらに、真空チャンバには、排気管が設けられ、所定の真空度に真空引きされるようになっている。
真空チャンバ内が、所定の真空度に真空排気され、フレオンガスと、酸素ガスが送られ、その混合ガスが所定の気圧になるまで充填された状態にて、直流電圧が印加されると、プラズマが発生する。そして、イオン化された粒子を含む混合ガスは、メタルマスクから露出した圧電材料に当たる。この衝撃により、物理的に削り取られて飛散し、エッチングが進行する。図6(t)は、音叉型水晶振動片20の基部29にスリット部40が形成された水晶単結晶ウエハ10の一部を拡大した概略平面図である。
<<電極の形成の工程>>
図7は、電極パターンおよびパッケージングの工程のフローチャートである。
ステップS140では、音叉型水晶振動片20を純水で洗浄し、音叉型水晶振動片20の全面に駆動電極としての励振電極などを形成するための金属膜を蒸着またはスパッタリング等の手法により形成する。
図7は、電極パターンおよびパッケージングの工程のフローチャートである。
ステップS140では、音叉型水晶振動片20を純水で洗浄し、音叉型水晶振動片20の全面に駆動電極としての励振電極などを形成するための金属膜を蒸着またはスパッタリング等の手法により形成する。
ステップS142では、全面にフォトレジストをスプレーにより塗布する。
ステップS144では、電極パターンと対応した不図示のフォトマスクを用意して、電極パターンをフォトレジスト膜が塗布された水晶単結晶ウエハ10を露光する。この電極パターンは音叉型水晶振動片20の両面に形成する必要があるため、音叉型水晶振動片20の両面を露光する。
ステップS144では、電極パターンと対応した不図示のフォトマスクを用意して、電極パターンをフォトレジスト膜が塗布された水晶単結晶ウエハ10を露光する。この電極パターンは音叉型水晶振動片20の両面に形成する必要があるため、音叉型水晶振動片20の両面を露光する。
ステップS146では、フォトレジスト膜を現像後、感光したフォトレジスト膜を除去する。残るフォトレジスト膜は電極パターンと対応したフォトレジスト膜になる。
次いで、電極となる金属膜のエッチングを行う。すなわち、電極パターンと対応したフォトレジスト膜から露出した金層をたとえば、ヨウ素とヨウ化カリウムの水溶液でエッチングし、次にニッケル層をたとえば硝酸第2セリウムアンモニウムと酢酸との水溶液でエッチングする。
次いで、電極となる金属膜のエッチングを行う。すなわち、電極パターンと対応したフォトレジスト膜から露出した金層をたとえば、ヨウ素とヨウ化カリウムの水溶液でエッチングし、次にニッケル層をたとえば硝酸第2セリウムアンモニウムと酢酸との水溶液でエッチングする。
続いて、ステップS148でフォトレジスト膜を除去する。これらの工程を経て、音叉型水晶振動片20に電極23、25などが正確な位置および電極幅で形成される。
ステップS150では、音叉型水晶振動片20の連結部28を折り、水晶単結晶ウエハ10から音叉型水晶振動片20を切り取る。
ステップS150では、音叉型水晶振動片20の連結部28を折り、水晶単結晶ウエハ10から音叉型水晶振動片20を切り取る。
<<周波数調整およびパッケージングの工程>>
これまでの工程により、電極が形成された音叉型水晶振動片20が得られたため、ステップS152では、図3に示したセラミック製のパッケージ52に音叉型水晶振動片20を導電接着剤59で接着する。具体的には、音叉型水晶振動片20の基部29の電極部23a、25aを塗布した導電性接着剤59の上に載置して、導電性接着剤59を仮硬化させる。この際に、スリット部40に導電性接着剤59が入らないようにして、パッケージ52に音叉型水晶振動片20を固定する。
これまでの工程により、電極が形成された音叉型水晶振動片20が得られたため、ステップS152では、図3に示したセラミック製のパッケージ52に音叉型水晶振動片20を導電接着剤59で接着する。具体的には、音叉型水晶振動片20の基部29の電極部23a、25aを塗布した導電性接着剤59の上に載置して、導電性接着剤59を仮硬化させる。この際に、スリット部40に導電性接着剤59が入らないようにして、パッケージ52に音叉型水晶振動片20を固定する。
ステップS154では、硬化炉で導電性接着剤59を本硬化する。さらに、音叉型水晶振動片20の振動腕21にレーザー光を照射して、振動腕21の錘金属を蒸散・昇華させ、質量削減方式による周波数調整を行う。
次に、ステップS156で、真空チャンバ内などに水晶振動片20を収容したパッケージ52を移し、封止材58により蓋体56を封止する。
続いてステップS158で、最後に音叉型振動子50の駆動特性などの検査を行い、音叉型振動子50を完成させる。
続いてステップS158で、最後に音叉型振動子50の駆動特性などの検査を行い、音叉型振動子50を完成させる。
上記実施形態では、音叉型水晶振動片で説明してきたがこれに限定されることはなく、水晶以外にニオブ酸リチウム等の様々な圧電単結晶材料を用いることができる。
本実施形態では、振動腕の厚さを薄くする工程の後に、溝部を形成する工程を行った。しかし、溝部を形成する工程の後に振動腕の厚さを薄くする工程にしてもよい。また、溝部を形成する工程の後に振動腕の厚さを薄くする工程の際には、図4のステップS110で、音叉型水晶振動片20の外形になるように水晶材料のウェットエッチングをしなくてもよい。残ったフォトレジスト層を除去し新たなフォトレジストを塗布した後、溝部のパターンを露光する。それから、音叉型水晶振動片20の外形のウェットエッチングをしてもよい。
本実施形態では、振動腕の厚さを薄くする工程の後に、溝部を形成する工程を行った。しかし、溝部を形成する工程の後に振動腕の厚さを薄くする工程にしてもよい。また、溝部を形成する工程の後に振動腕の厚さを薄くする工程の際には、図4のステップS110で、音叉型水晶振動片20の外形になるように水晶材料のウェットエッチングをしなくてもよい。残ったフォトレジスト層を除去し新たなフォトレジストを塗布した後、溝部のパターンを露光する。それから、音叉型水晶振動片20の外形のウェットエッチングをしてもよい。
D1 … 振動腕の厚さ
D2 … 基部の厚さ
L1 … 振動腕の長さ
L2 … 基部の長さ
SL … スリットの長さ
10 … 水晶単結晶ウエハ
12 … 開口領域
20 … 音叉型水晶振動片
21 … 振動腕
23 … 第1電極パターン
25 … 第2電極パターン
26 … 根元部、 261 … 腐食残部
27 … 溝部
28 … 連結部
29 … 基部
30 … 金属膜
36,36’、36” … フォトレジスト膜
40 … スリット部
42,42’,42” … 感光したフォトレジスト膜
50 … セラミックパケージ音叉型振動子
52 … パッケージ
54 … ベース部
56 … 蓋体
58 … 封止材
59 … 導電性接着剤
D2 … 基部の厚さ
L1 … 振動腕の長さ
L2 … 基部の長さ
SL … スリットの長さ
10 … 水晶単結晶ウエハ
12 … 開口領域
20 … 音叉型水晶振動片
21 … 振動腕
23 … 第1電極パターン
25 … 第2電極パターン
26 … 根元部、 261 … 腐食残部
27 … 溝部
28 … 連結部
29 … 基部
30 … 金属膜
36,36’、36” … フォトレジスト膜
40 … スリット部
42,42’,42” … 感光したフォトレジスト膜
50 … セラミックパケージ音叉型振動子
52 … パッケージ
54 … ベース部
56 … 蓋体
58 … 封止材
59 … 導電性接着剤
Claims (7)
- 基部の一端側から所定方向に伸びる少なくとも一対の振動腕と、
この一対の振動腕の根元において、前記振動腕の幅より1/3以下の幅で前記所定方向に伸びるように切削加工又はドライエッチング加工で形成されたスリット部と、
前記一対の振動腕に形成された励振電極と、
を備えることを特徴とする音叉型圧電振動片。 - 前記基部電極に設けられ、前記励振電極と接続する基部電極を備え、
前記スリット部は、前記基部電極が形成される領域までは伸びないことを特徴とする請求項1に記載の音叉型圧電振動片。 - 前記スリット部の長さは、前記基部の長さの30パーセントから75パーセントであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の音叉型圧電振動片。
- 請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の音叉型圧電振動片と、
この音叉型圧電振動片を覆う蓋部と、
前記音叉型圧電振動片を支えるとベースと、を備え、
前記スリット部に接着剤が入らないようにして前記ベースに前記音叉型圧電振動片が固定されることを特徴とする圧電デバイス。 - 圧電ウエハから音叉型圧電振動片を製造する製造方法において、
基部と、その基部から所定方向に伸びる少なくとも一対の振動腕とをウェットエッチングで形成する外形形成工程と、
この外形形成工程後に、前記一対の振動腕の根元において前記基部に対して前記振動腕の幅より1/3以下の幅で前記所定方向にスリット部を切削又はドライエッチングで加工する加工工程と、
前記加工工程の後に、前記圧電ウエハに金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記金属膜から電極パターンを形成する電極パターン形成工程と、
を備えることを特徴とする音叉型圧電振動片を製造する製造方法。 - 前記切削加工は、レーザー加工、ダイシングソー加工、又はブラスト加工を含むことを特徴とする請求項5に記載の音叉型圧電振動片を製造する製造方法。
- 前記外形形成工程は、前記所定方向に伸びる溝部を前記一対の振動腕の表裏面に形成することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の音叉型圧電振動片を製造する製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008257731A JP2010088054A (ja) | 2008-10-02 | 2008-10-02 | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008257731A JP2010088054A (ja) | 2008-10-02 | 2008-10-02 | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010088054A true JP2010088054A (ja) | 2010-04-15 |
Family
ID=42251511
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008257731A Pending JP2010088054A (ja) | 2008-10-02 | 2008-10-02 | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010088054A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011199333A (ja) * | 2010-03-17 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電デバイス |
CN116192087A (zh) * | 2023-02-21 | 2023-05-30 | 泰晶科技股份有限公司 | 一种音叉晶片及音叉晶体谐振器 |
-
2008
- 2008-10-02 JP JP2008257731A patent/JP2010088054A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011199333A (ja) * | 2010-03-17 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電デバイス |
CN116192087A (zh) * | 2023-02-21 | 2023-05-30 | 泰晶科技股份有限公司 | 一种音叉晶片及音叉晶体谐振器 |
CN116192087B (zh) * | 2023-02-21 | 2024-03-19 | 泰晶科技股份有限公司 | 一种音叉晶片及音叉晶体谐振器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5175128B2 (ja) | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス | |
JP4885206B2 (ja) | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス | |
JP5059399B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片および圧電デバイス | |
JP4714770B2 (ja) | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 | |
JP5123962B2 (ja) | 音叉型圧電振動片、圧電フレーム、圧電デバイス及び音叉型圧電振動片並びに圧電フレームの製造方法 | |
JP4442521B2 (ja) | 圧電振動片および圧電デバイス | |
JP4415389B2 (ja) | 圧電デバイス | |
US7368861B2 (en) | Piezoelectric resonator element and piezoelectric device | |
JP4629094B2 (ja) | 圧電振動片、圧電デバイス及びそれらの製造方法 | |
JP5216288B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電デバイスの製造方法 | |
JP4778548B2 (ja) | 圧電フレーム、圧電デバイス及び圧電フレームの製造方法 | |
JP5062784B2 (ja) | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス | |
JP4301201B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP2006148857A (ja) | 圧電振動片および圧電デバイス | |
JP4763769B2 (ja) | 圧電デバイスの製造方法 | |
JP2009060478A (ja) | 圧電振動片の製造方法及び音叉型圧電振動片 | |
JP5059387B2 (ja) | 音叉型圧電振動片、圧電デバイスおよび音叉型圧電振動片の製造方法 | |
JP2008131527A (ja) | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス | |
JP3941736B2 (ja) | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 | |
JP2009152988A (ja) | 圧電振動片、圧電デバイス及びそれらの製造方法 | |
JP5584728B2 (ja) | 音叉型圧電振動片および振動デバイス | |
JP2010088054A (ja) | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス | |
JP2008098747A (ja) | 音叉型水晶振動片の製造方法および水晶振動デバイスの製造方法、並びに音叉型水晶振動片および水晶振動デバイス | |
JP2009152989A (ja) | 圧電振動片及び圧電デバイス | |
JP5042597B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片および圧電デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110927 |
|
A072 | Dismissal of procedure [no reply to invitation to correct request for examination] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A073 Effective date: 20130204 |