JP5216288B2 - 圧電振動片の製造方法、圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
この構成により、第1圧電エッチング工程で圧電ウエハの表裏が貫通しない外枠のエッチングを行い、第2圧電エッチング工程で外枠を貫通させるとともに第1溝部をエッチングする。このため、寸法の均一な音叉型の圧電振動片を提供でき、さらに工程の短縮及び圧電振動片の水晶ウエハからの剥離の防止を図ることが可能となる。
この構成により、第1圧電エッチング工程で圧電ウエハの表裏が貫通しない外枠のエッチングを行い、第2圧電エッチング工程で外枠を貫通させるとともに第1溝部をエッチングする。第1の観点の製造方法に比べて、残ったフォトレジスト層をすべて剥離し、新たにフォトレジスト層を形成する工程が増えるが、第1金属膜エッチング工程と第1圧電エッチング工程とによりフォトレジストが傷んでしまった場合には有効である。すなわち、本製造方法は、寸法の均一な音叉型の圧電振動片を提供できるとともに、圧電振動片の水晶ウエハからの剥離の防止を図ることを可能にする。
この構成により、圧電振動片に電極を形成することできる。
この構成では、圧電振動片の基部に振動腕の振動漏れを防ぐような第2溝部を有している場合であっても、第2圧電エッチング工程で第1溝部を形成すると同時には第2溝部を形成することができる。
この構成では、圧電振動片が第3溝部を持つ支持腕を有している。振動腕の振動漏れを防ぐような第3溝部を有している場合であっても、第2圧電エッチング工程で第1溝部を形成すると同時には第3溝部を形成することができる。
この構成により、第2圧電エッチング工程で第1溝部は適切な深さにエッチングできるとともに、貫通させる部分もエッチングで貫通させることができる。
この第1溝部が振動腕の各々の表面及び裏面に形成されているため、CI(クリスタルインピーダンス)値を下げることができる。
この構成により、寸法の均一な音叉型の圧電振動片を使って圧電デバイスを製造することができる。
図1(a)は、背景技術でも示した音叉型水晶振動片20の全体構成を示した平面図であり、図1(b)は、音叉型水晶振動片20の一本の振動腕21のB−B断面図である。音叉型水晶振動片20の母材は、Z板に加工された水晶単結晶ウエハ10で形成されている。小型で必要な性能を得るために、図1(a)に示すように、音叉型水晶振動片20は、基部29と、この基部29の一端部から図1において上方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕21を備えている。一対の振動腕21の根元26は、テーパー部を設けることによって、周囲温度の変化に起因する共振周波数の変動やバラツキを抑えている。根元26のテーパー部の形状はU字形状でもV字形状などでもよい。以下、本実施形態では一対の振動腕21を備えた音叉型水晶振動片20で説明するが、3本または4本の振動腕21を備えた音叉型水晶振動片20であってもよい。
図2は、図3のステップS115のウェットエッチングを終えて、音叉型水晶振動片の外形を形成した水晶単結晶ウエハを示す平面図である。
≪実施形態1≫
本実施形態では外形と第一溝部27のエッチングの工程を同時に行うことでエッチングにかかる時間を短縮し、単結晶水晶ウエハ10内での形状の誤差を少なくする効果がある。
図3および図4は、音叉型水晶振動片20の外形および第一溝部27を形成するためのフローチャートである。各図の右側は、図1の一つの音叉型水晶振動片20の振動腕21部分であるA−A断面の単結晶水晶ウエハ10の各ステップの断面図を示す。
本実施形態では、実施形態1よりさらに工程を減らすことで、さらに短時間で音叉型水晶振動片20を形成することができる。
図5はそのフローチャートを示す。また実施形態1と同様に各図の右側に、図1に示す音叉型水晶振動片20のA−A断面を示す。
音叉型水晶振動片はさらに小型化することが求められている。音叉型水晶振動片は小さく、また複雑な形状になるにつれ形成の工程中で破損する恐れと、形状の精密さが増す。このような音叉型水晶振動片には実施形態1と実施形態2との形成の工程を採る事でより安全に、また精度よく音叉型水晶振動片を形成することができる。
実施形態1、実施形態2及び実施形態3で作成した音叉型水晶振動片20及び複雑な音叉型水晶振動片120は次に電極を形成し、周波数調整行いパッケージングする。図7はその工程のフローチャートを示す。ただし水晶振動片は代表して音叉型水晶振動片20を用いて説明する。
ステップS142では、スプレーを使って全面にフォトレジストを塗布する。音叉型水晶振動片20には第一溝部27などが形成されているため、第一溝部27にも均一にフォトレジストを塗布する。
続いて、ステップS145で、残ったフォトレジストを除去する。これらの工程を経て、音叉型水晶振動片20には励振電極などが正確な位置および電極幅で形成される。
そこで、ステップS146では、図8(b)で示すセラミック製のパッケージ51に音叉型水晶振動片20を導電性接着剤31で接着する。具体的には、音叉型水晶振動片20の基部29を、配線層81に塗布した導電性接着剤31の上に載置して、導電性接着剤31を仮硬化させる。次に、硬化炉で導電性接着剤31を本硬化することにより音叉型水晶振動片20を端子電極82に対して接合する。
次に、ステップS148で、真空チャンバ内などに図8(b)で示す音叉型水晶振動片20を収容したパッケージ51を移し、蓋体71を封止材57により接合する。
続いてステップS149で、最後に圧電振動デバイス50の駆動特性などの検査を行い、圧電振動デバイス50を完成させる。
上記の圧電振動デバイス50について、図面を参照して説明する。図8は、本発明の実施形態にかかる圧電振動デバイス50の概略図を示している。図8(a)は全体斜視図であり、図8(b)は断面図であり、図8(c)は金属蓋体71を取り外した上面図である。
15 … 矩形の水晶単結晶ウエハ
18 … 窓部
20 … 音叉型水晶振動片
21 … 振動腕
23 … 第一電極
25 … 第二電極
26 … テーパー部
27 … 第一溝部
28 … 連結部
29 … 基部
30−1 …第二溝部、30−2 …第三溝部
32 … 金属膜
36 … フォトレジスト層
42 … 露光されたフォトレジスト
50 … 圧電振動デバイス
51 … セラミックパッケージ
71 … 蓋体
57 … 封止材
58 … キャビティ
81 … 配線層
82 … 端子電極
83 … 内部配線
120 … 複雑な音叉型水晶振動片
Claims (6)
- 基部とこの基部から突出して形成され第1溝部を有する少なくとも一対の振動腕とを有する圧電振動片の製造方法であって、
圧電ウエハの表裏面に金属膜を形成する工程と、
この金属膜にフォトレジスト層を形成する工程と、
露光により前記圧電振動片の外枠の前記フォトレジスト層を除去し、前記金属膜をエッチングする第1金属膜エッチング工程と、
前記金属膜が除去された前記圧電振動片の外枠を、前記圧電ウエハの表裏が貫通しない範囲でエッチングを行う第1圧電エッチング工程と、
露光により前記第1溝部の前記フォトレジスト層を除去し、前記金属膜をエッチングする第2金属膜エッチング工程と、
前記第1圧電エッチング工程で貫通していない外枠を貫通するようにエッチングするとともに前記第1溝部をエッチングする第2圧電エッチング工程と、
前記第2圧電エッチング工程の後に、残ったレジスト層及び金属膜を除去し、新たな金属膜を形成する工程と、
この金属膜にフォトレジスト層を形成する工程と、
露光により電極パターンの形状が残るようにフォトレジスト層が除去され、前記金属膜をエッチングする第3金属膜エッチング工程と、
を備えることを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 前記基部は第2溝部を有し、
前記第2金属膜エッチング工程はさらに前記第2溝部のフォトレジスト層を除去し、
前記第2圧電エッチング工程は前記第2溝部をエッチングすることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片の製造方法。 - 前記圧電振動片は、前記基部を支持するため前記基部からから突出して形成された支持腕を有するとともに、この支持腕に形成された第3溝部を有し、
前記第2金属膜エッチング工程はさらに前記第3溝部のフォトレジスト層を除去し、
前記第2圧電エッチング工程は前記第3溝部をエッチングすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧電振動片の製造方法。 - 前記第2圧電エッチング工程で前記第1溝部の深さは、前記第1圧電エッチング工程で前記圧電ウエハをエッチングして貫通していない深さよりも大きいことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記第1溝部が、前記振動腕の各々の表面及び裏面に形成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の圧電振動片の製造方法。
- 請求項1ないし請求項5のいずれか一項で形成された圧電振動片を、パッケージ内に固定する工程と、
前記パッケージを封止する工程と、
を備えた圧電デバイスの製造方法。
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