JP2017085345A - 音叉型水晶振動素子 - Google Patents
音叉型水晶振動素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017085345A JP2017085345A JP2015211747A JP2015211747A JP2017085345A JP 2017085345 A JP2017085345 A JP 2017085345A JP 2015211747 A JP2015211747 A JP 2015211747A JP 2015211747 A JP2015211747 A JP 2015211747A JP 2017085345 A JP2017085345 A JP 2017085345A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fork type
- type crystal
- arm portion
- vibrating
- tuning fork
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
本発明の第一実施形態に係る音叉型水晶振動素子100は、基部110と、第一振動腕部120と、第二振動腕部130と、支持腕部140と、第一電極150と、第二電極160と、第三電極170と、導配線180とを備えている。
以下の第二実施形態についての説明では、第一実施形態の音叉型水晶振動素子100と同じ構成要素の部分に、第一実施形態の音叉型水晶振動素子100の各構成要素に付与した符号と同じ符号を付してその説明を省略する。本発明の第二実施形態に係る音叉型水晶振動素子200は、基部110と、第一振動腕部120と、第二振動腕部130と、第一錘部222と、第二錘部232と、支持腕部240と、第一電極150と、第二電極260と、第三電極170と、導配線180とを備えている。本発明の第二実施形態に係る音叉型水晶振動素子200は、第一振動腕部120及び第二振動腕部130 の先端に、それぞれ周波数調整用の第一錘部222及び第二錘部232が設けられていることで、第一実施形態と異なっている。
110・・・基部
111・・・第一辺
112・・・第二辺
113・・・第三辺
114・・・第四辺
120・・・第一振動腕部
121・・・第一溝部
130・・・第二振動腕部
131・・・第二溝部
140,240・・・支持腕部
141,241・・・細幅部
150・・・第一電極
160,260・・・第二電極
170・・・第三電極
180・・・導配線
222・・・第一錘部
232・・・第二錘部
Claims (5)
- 対向する第一辺及び第二辺並びに対向する第三辺及び第四辺からなる平面視略四角形状の平板の基部と、
前記第一辺から同じ方向に延びた一対の振動腕部と、
前記第三辺の前記第二辺側及び前記第四辺の前記第二辺側の少なくとも一方に設けられ、前記第二辺側から前記振動腕部の短手方向に延び、その先端から更に前記振動腕部の長手方向に延びた支持腕部と、
を備えた音叉型水晶振動素子であって、
前記振動腕部の短手方向に平行な寸法を幅としたとき、
前記支持腕部は、その幅が前記振動腕部の幅よりも部分的に細い細幅部を有し、
前記細幅部の厚みは、前記細幅部以外の前記支持腕部の厚みよりも厚くなって いることを特徴とする音叉型水晶振動素子。 - 前記一対の振動腕部の先端には、それぞれ前記振動腕部の幅方向に突出した凸形状を備えた錘部が設けられ、前記細幅部は、前記支持腕部先端の前記錘部に対向する位置に形成された、請求項1記載の音叉型水晶振動素子。
- 前記長手方向は結晶軸のY′軸方向であり、前記短手方向は結晶軸のX軸方向であり、前記細幅部は、前記支持腕部の+X面側のみがウェットエッチングによって除去された残りからなる、請求項1記載の音叉型水晶振動素子。
- 一枚の水晶ウエハから同一形状の多数個が製造される音叉型水晶振動素子であって、
前記支持腕部は、前記第三辺の前記第二辺側及び前記第四辺の前記第二辺側のどちらか一方に設けられ、かつ、隣接する他の音叉型水晶振動素子の前記錘部と対向するように前記水晶ウエハに配置され、
当該錘部の凸形状と前記細幅部となる前記支持腕部の凹形状とが一定間隔を介して一致する、請求項2記載の音叉型水晶振動素子。 - 前記細幅部の厚みと前記支持腕部の厚みとの差が20μm以上50μm以下である、請求項1乃至4のうちのいずれが一つに記載の音叉型水晶振動素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015211747A JP2017085345A (ja) | 2015-10-28 | 2015-10-28 | 音叉型水晶振動素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015211747A JP2017085345A (ja) | 2015-10-28 | 2015-10-28 | 音叉型水晶振動素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017085345A true JP2017085345A (ja) | 2017-05-18 |
Family
ID=58712115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015211747A Pending JP2017085345A (ja) | 2015-10-28 | 2015-10-28 | 音叉型水晶振動素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017085345A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019188078A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 株式会社村田製作所 | 振動素子 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007096900A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP2009016988A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス及び圧電振動片 |
JP2009081521A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片の製造方法、圧電デバイスの製造方法 |
JP2009164777A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電デバイス及びそれらの製造方法 |
JP2011087279A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-04-28 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
JP2011160174A (ja) * | 2010-02-01 | 2011-08-18 | Seiko Epson Corp | 振動片基板及び音叉型振動片 |
JP2014179797A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 圧電振動片、圧電振動片の実装方法、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計 |
JP2014179672A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計 |
JP2014200049A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
-
2015
- 2015-10-28 JP JP2015211747A patent/JP2017085345A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007096900A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP2009016988A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス及び圧電振動片 |
JP2009081521A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片の製造方法、圧電デバイスの製造方法 |
JP2009164777A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電デバイス及びそれらの製造方法 |
JP2011087279A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-04-28 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
JP2011160174A (ja) * | 2010-02-01 | 2011-08-18 | Seiko Epson Corp | 振動片基板及び音叉型振動片 |
JP2014179672A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計 |
JP2014179797A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 圧電振動片、圧電振動片の実装方法、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計 |
JP2014200049A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019188078A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 株式会社村田製作所 | 振動素子 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4933903B2 (ja) | 水晶振動体、水晶振動子及び水晶ウェハ | |
CN105978526B (zh) | 压电振动片及压电振动器 | |
US10211807B2 (en) | Piezoelectric wafer, piezoelectric vibration piece, and piezoelectric vibrator | |
JPWO2018008480A1 (ja) | 共振子及び共振装置 | |
JP6258051B2 (ja) | 角速度センサ、センサ素子及びセンサ素子の製造方法 | |
JP5982054B1 (ja) | 圧電振動子 | |
JP2017060130A (ja) | 音叉型水晶振動素子 | |
JP6591754B2 (ja) | センサ素子及び角速度センサ | |
CN107104652B (zh) | 压电振动片及压电振动器 | |
WO2018142790A1 (ja) | 音叉型振動子及び音叉型振動子の製造方法 | |
JP2017085345A (ja) | 音叉型水晶振動素子 | |
JP2015103927A (ja) | 音叉型圧電振動片、および圧電振動子 | |
JP6632347B2 (ja) | 音叉型水晶振動素子 | |
JP6436175B2 (ja) | 音叉型振動子 | |
CN109075766B (zh) | 谐振器和谐振装置 | |
CN105827212B (zh) | 压电振动片及压电振动器 | |
JP5494994B2 (ja) | 振動子の製造方法 | |
JP4900489B2 (ja) | 音叉型圧電振動子 | |
JP2009284073A (ja) | 音叉型圧電振動デバイス | |
JP2020043484A (ja) | 音叉型水晶素子及び水晶デバイス | |
JP2018074370A (ja) | 圧電デバイス | |
CN111133677A (zh) | 谐振器以及谐振装置 | |
JP7368304B2 (ja) | 圧電デバイス | |
WO2021106921A1 (ja) | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器並びに水晶素子の製造方法 | |
JP6987623B2 (ja) | 圧電素子、圧電デバイスおよび圧電素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20170403 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180514 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190625 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190821 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191031 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191226 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200204 |