JP2020043484A - 音叉型水晶素子及び水晶デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
基部と前記基部から同じ長手方向に延びた一対の腕部とを有する水晶片と、
前記一対の腕部の先端側に設けられた一対の周波数調整部と、
を備えた音叉型水晶素子であって、
前記一対の周波数調整部は互いに異なる質量を有する、
ことを特徴とする。
ma≠mb
となる。この構成によれば、周波数調整部17a,17bが互いに異なる質量を有することにより、腕部11a,11b間の質量差を縮小できるので、量産時の発振周波数のバラツキが小さく、しかもCI値が低いなど、電気的特性を向上できる。なお、質量は、実測してもよいが、例えば二次元若しくは三次元的な外観や膜厚のデータ、又は、レーザビームやイオンビームのショット数の痕跡等から推測することもできる。
|Ma−Mb|<|Ma’−Mb’|
ただし、Ma=Ma’+ma、Mb=Mb’+mb
が成り立つ。この式は、腕部11a,11b間の質量差が周波数調整後に縮小することを示している。なお、Ma,Mbは上式の関係を満たせばよいが、Ma=Mbとなることがより好ましい。
|m1a−m1b|<|m2a−m2b|
ただし、ma=ma1+ma2、mb=mb1+mb2
が成り立つ。この式は、第一調整部171a,171bの削成面181a,181bは一様に形成し、第二調整部172a,172bの削成面182a,182bはそれぞれ別々に形成することを示している。つまり、第一調整部171a,171bを粗調用とし第二調整部172a,172bを微調用とすることにより、効率的かつ正確な周波数調整を実現できる
11 基部
11a,11b 腕部
12a,12b 励振部
13 突起部
130 先端
131 三角状突起
131a 底辺
131b 頂点
131c,131d 辺
132 四角状突起
14,44 スリット
15a,15b 溝部
16a,16b 錘部
17a,17b 周波数調整部
171a,171b 第一調整部
181a,181b 削成面
172a,172b 第二調整部
182a,182b 削成面
19 水晶片
21a,21b パッド電極
22a,22b 励振電極
23a,23b 金属膜
24a,24b 配線パターン
E1,E2,E3,E4,E4’ エッチング残渣
30 水晶デバイス
31 基板
32 枠体
33 蓋体
34 パッケージ
35 パッド電極
36 導電性接着剤
Claims (6)
- 基部と前記基部から同じ長手方向に延びた一対の腕部とを有する水晶片と、
前記一対の腕部の先端側に設けられた一対の周波数調整部と、
を備えた音叉型水晶素子であって、
前記一対の周波数調整部は互いに異なる質量を有する、
ことを特徴とする音叉型水晶素子。 - 前記一対の腕部間の質量差は、前記一対の周波数調整部を除去した場合の前記一対の腕部間の質量差よりも小さい、
請求項1記載の音叉型水晶素子。 - 前記一対の腕部はその先端側に設けられた一対の錘部を有し、
前記一対の錘部に前記一対の周波数調整部が設けられ、
前記一対の周波数調整部は、それぞれ第一調整部及び第二調整部を有し、
前記第一調整部には前記水晶片の一部からなる削成面が付され、
前記第二調整部には金属膜からなる削成面が付された、
請求項1又は2記載の音叉型水晶素子。 - 前記一対の周波数調整部において、前記第一調整部間の質量差が前記第二調整部間の質量差よりも小さい、
請求項3記載の音叉型水晶素子。 - 前記水晶片は、直交座標系のX軸、Y’軸及びZ’軸からなる結晶軸において前記Z’軸方向に厚みを有し、
前記長手方向は前記Y’軸方向である、
請求項1乃至4のいずれか一つに記載の音叉型水晶素子。 - 請求項1乃至5のいずれか一つに記載の音叉型水晶素子と、
前記音叉型水晶素子を実装した基板と、
前記基板上で前記音叉型水晶素子を囲む枠体と、
前記枠体を介して前記基板ととともに前記音叉型水晶素子を封止する蓋体とを備え、
前記枠体は前記基板側及び前記蓋体側の少なくとも一方に設けられた、
水晶デバイス。
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JP2018169841A JP2020043484A (ja) | 2018-09-11 | 2018-09-11 | 音叉型水晶素子及び水晶デバイス |
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Family Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022270543A1 (ja) * | 2021-06-25 | 2022-12-29 | 株式会社大真空 | 圧電振動板および圧電振動デバイス |
JP7568099B2 (ja) | 2021-06-25 | 2024-10-16 | 株式会社大真空 | 圧電振動板および圧電振動デバイス |
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JP2008022184A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片及び圧電振動片の製造方法、圧電振動子、並びに、圧電振動子を備える発振器、電子機器、及び電波時計 |
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-
2018
- 2018-09-11 JP JP2018169841A patent/JP2020043484A/ja active Pending
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