JP6591754B2 - センサ素子及び角速度センサ - Google Patents

Description

本発明は、センサ素子及び角速度センサに関する。

角速度センサとして、いわゆる圧電振動式のものが知られている（例えば特許文献１）。このセンサにおいては、圧電体に交流電圧を印加して圧電体を励振する。この励振されている圧電体が回転されると、回転速度（角速度）に応じた大きさで、励振方向と直交する方向にコリオリの力が生じ、このコリオリの力によっても圧電体は振動する。そして、このコリオリの力に起因する圧電体の変形に応じて生じる電気信号を検出することにより、圧電体の角速度を検出することができる。

圧電体は、具体的には、例えば、基部と、基部から延び、交流電圧が印加されて励振される駆動腕と、駆動腕の振動が伝達され、コリオリの力に起因する電気信号が検出される検出腕と、を有している。このような圧電体の腕（駆動腕又は検出腕）の形状として、いわゆるハンマ形状が知られている（例えば特許文献１）。ハンマ形状の腕は、基部から一定の断面積で延びる長尺状の本体部と、本体部の先端に位置し、本体部よりも幅広に形成された幅広部とを有している。腕をハンマ形状にすることにより、腕を小型化しつつも腕の質量を確保して検出感度を向上させることができる。

上記のような圧電体は、例えば、圧電基板（例えば水晶基板）をエッチングすることによって形成される。この際、エッチング方向に見て（圧電基板の平面視において）圧電体の縁部が成す凹状の角部において、エッチングされずに残ってしまう部分（残渣）が生じることがある。なお、特許文献１では、基部を支持する梁の根元の残渣を低減するために、梁を検出腕に対して斜めに設けることを提案している。

特開２００６−２０１０５３号公報

ハンマ形状の腕においては、本体部の側方の縁部と、幅広部の基部側（本体部の根元側）に面する縁部とが成す凹状の角部においても残渣が生じる。この残渣は、圧電体の異方性に起因して、腕の側方一方側と腕の側方他方側とで大きさ乃至は形状が異なる。従って、例えば、後に実施形態の説明において詳述するように、互いに同一の質量とされるべき２本の腕において、質量が互いに異なってしまうおそれがある。また、例えば、腕の中心線に対して線対称の形状にされるべき腕において、その質量分布が中心線に対して非対称になってしまうおそれがある。そして、上記のような残渣による非対称性によって、検出精度が低下するおそれがある。

従って、ハンマ形状の腕の残渣が振動に及ぼす影響を調整できるセンサ素子及び角速度センサが提供されることが望ましい。

本発明の一態様に係るセンサ素子は、基部と、平面視において前記基部から延びる１以上の駆動腕及び１以上の検出腕を含む複数の腕とを有する圧電体と、前記駆動腕の表面に設けられた励振電極と、前記検出腕の表面に設けられた検出電極と、を有し、前記複数の腕の少なくとも一つは、平面視において、前記基部から延びる本体部と、前記本体部の先端に位置し、前記本体部よりも幅広に形成された幅広部と、前記幅広部の側方端から前記基部側へ突出する突部と、を有している。

好適には、前記幅広部は、平面視において前記本体部に対して側方両側のうち一方側にのみ広がっており、前記突部は、前記幅広部が広がる側にのみ設けられている。

好適には、前記複数の腕は、平面視において互いに隣り合って並列に延び、それぞれ、前記本体部、前記幅広部及び前記突部を有する２本の腕を含み、前記２本の腕それぞれにおいて、前記幅広部は、当該２本の腕の内側及び外側のうち外側にのみ、前記本体部に対して広がっている。

好適には、前記２本の腕は、２本の前記駆動腕であり、前記励振電極として、前記２本の駆動腕間で互いに同一の位置に設けられるとともに互いに接続された複数の第１励振電極と、前記２本の駆動腕間で互いに同一の位置に設けられるとともに互いに接続され、前記複数の第１励振電極との間に電圧が印加されることにより、前記２本の駆動腕を励振可能な複数の第２励振電極と、が設けられている。

好適には、前記複数の腕は、前記２本の駆動腕をこれらに平行な所定の対称軸に対して線対称に２組含み、一方の組の前記２本の駆動腕の前記複数の第１励振電極と、他方の組の前記２本の駆動腕の前記複数の第２励振電極とが接続され、前記一方の組の前記２本の駆動腕の前記複数の第２励振電極と、前記他方の組の前記２本の駆動腕の前記複数の第１励振電極とが接続されている。

好適には、前記複数の腕は、平面視において所定の対称軸に対して平行に延びるとともに前記対称軸に対して互いに線対称の位置に配置され、それぞれ、前記本体部、前記幅広部及び前記突部を有する２本の駆動腕を含み、前記励振電極として、前記２本の駆動腕間で互いに同一の位置に設けられた複数の第１励振電極と、前記２本の駆動腕間で互いに同一の位置に設けられ、前記複数の第１励振電極との間に電圧が印加されることにより、前記２本の駆動腕を励振可能な複数の第２励振電極と、が設けられ、前記２本の駆動腕の一方の腕の前記第１励振電極と、前記２本の駆動腕の他方の腕の第２励振電極とが接続され、前記一方の腕の前記第２励振電極と、前記他方の腕の前記第１励振電極とが接続されている。

好適には、前記幅広部は、平面視において前記本体部に対して側方両側に広がっており、前記突部は、前記幅広部の側方両側それぞれに設けられている。

本発明の一態様に係る角速度センサは、上記のセンサ素子と、前記励振電極に電圧を印加する励振回路と、前記検出電極からの電気信号を検出する検出回路と、を有している。

上記の構成によれば、ハンマ形状の腕の残渣が振動に及ぼす影響を調整できる。

本発明の実施形態に係るセンサ素子の圧電体を示す斜視図。 図１の圧電体上の電極配置を説明するための図１よりも模式的な斜視図。 図３（ａ）は図１の圧電体の駆動腕の先端側部分の拡大平面図、図３（ａ）は図１の圧電体の検出腕の先端側部分の拡大平面図。 図４（ａ）は図１のIVａ−IVａ線における断面図、図４（ｂ）は図１のIVｂ−IVｂ線における断面図。 図５（ａ）及び図５（ｂ）は駆動腕及び検出腕における電位等を説明するための模式的な断面図。 図６（ａ）は全駆動腕のｘ軸方向における励振を説明するための模式図、図６（ｂ）は全駆動腕及び全検出腕のｚ軸方向における振動を説明するための模式図。 図１のセンサ素子の配線の一例を示すための図２よりも模式的な斜視図。 図８（ａ）は第１変形例に係る駆動腕の先端を示す平面図、図８（ｂ）は第２変形例に係る駆動腕を示す平面図。 第３変形例に係る駆動腕の先端を示す平面図。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。なお、以下の図面は、模式的なものである。従って、細部は省略されることがあり、また、寸法比率等は現実のものと必ずしも一致しない。

また、各図には、説明の便宜のために、直交座標系ｘｙｚを付している。なお、直交座標系ｘｙｚは、センサ素子（圧電体）の形状に基づいて定義されている。すなわち、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸は、結晶の電気軸、機械軸及び光軸を示すとは限らない。

同一又は類似する構成については、「第１駆動腕１１Ａ」、「第２駆動腕１１Ｂ」のように、同一名称に対して互いに異なる番号及びアルファベットを付して呼称することがあり、また、この場合において、単に「駆動腕１１」といい、これらを区別しないことがある。

図１は、本発明の実施形態に係るセンサ素子１の圧電体３を示す斜視図である。図２は、圧電体３上の電極配置を説明するためのセンサ素子１の斜視図である。図２において、圧電体３は、一部が省略されることなどにより、図１よりも模式的に示されている。

センサ素子１は、例えば、ｙ軸回りの角速度を検出する角速度センサ１０１を構成するものである。角速度センサ１０１は、圧電振動式のものであり、センサ素子１は、ｘ軸方向に励振され、ｚ軸方向にコリオリの力が生じるように構成されている。具体的には、以下のとおりである。

センサ素子１は、圧電体３と、圧電体３に電圧を印加するための第１励振電極５Ａ及び第２励振電極５Ｂ（図２）と、圧電体３に生じた電気信号を取り出すための第１検出電極７Ａ及び第２検出電極７Ｂ（図２）とを有している。

圧電体３は、その全体が一体的に形成されている。圧電体３は、単結晶であってもよいし、多結晶であってもよい。ただし、後述の効果の説明から理解されるように、本実施形態の効果は、圧電体３が多結晶である場合よりも、圧電体３が単結晶又はこれに準ずるものである場合において有効である。また、圧電体３の材料は適宜に選択されてよく、例えば、水晶（ＳｉＯ_２）、ＬｉＴａＯ_３、ＬｉＮｂＯ_３、ＰＺＴである。

圧電体３において、電気軸乃至は分極軸（以下、両者を代表して分極軸のみに言及することがある。）は、ｘ軸に一致するように設定されている。なお、分極軸は、所定の範囲（例えば１５°以内）でｘ軸に対して傾斜していてもよい。また、圧電体３が単結晶である場合において、機械軸及び光軸は、適宜な方向とされてよいが、例えば、機械軸はｙ軸方向、光軸はｚ軸方向とされている。

圧電体３は、ｘ軸方向に延びる基部９と、基部９からｙ軸方向の正側又は負側に延びる各種の腕（１０Ａ〜１０Ｄ（図１）、１１Ａ〜１１Ｄ、１３Ａ及び１３Ｂ）とを有している。各種の腕は、同一平面（ｘｙ平面）内において延びている。以下において、単に平面視という場合、この平面を見ることを指すものとする。

第１駆動腕１１Ａ〜第４駆動腕１１Ｄは、電圧（電界）が印加されることによってｘ軸方向（以下、「励振方向」ということがある。）に励振される部分である。第１検出腕１３Ａ及び第２検出腕１３Ｂは、コリオリの力によってｚ軸方向（以下、「検出方向」ということがある。）に振動され、角速度に応じた電気信号を生成する部分である。基部９は、これら駆動腕１１及び検出腕１３を支持する部分である。第１実装腕１０Ａ〜第４実装腕１０Ｄは、基部９を支持する部分である。これらの位置及び形状等は、例えば、以下のように設定されている。

圧電体３は、例えば、概略、全体として厚さ（ｚ軸方向）が一定にされており、また、例えば、ｙ軸方向に延びる中心線ＣＬ０（図１）に対して線対称の形状に形成されている。

基部９は、例えば、概ね直方体状とされている。基部９の３軸方向の寸法比率は適宜に設定されてよい。例えば、基部９は、ｘ軸方向の大きさ＞ｙ軸方向の大きさ＞ｚ軸方向の大きさに設定されている。すなわち、基部９は、ｘ軸方向を長手方向とし、ｚ軸方向を厚み方向とする概ね長方形の板状とされている。なお、例えば、ｘ軸方向の大きさ＞ｚ軸方向の大きさ≧ｙ軸方向の大きさとされてもよい。

４本の実装腕１０は、基部９の両端部９ａからｙ軸方向の両側に延びている。換言すれば、４本の実装腕１０は、他の全ての腕のｘ軸方向の外側にて他の腕に並列に延びている。４本の実装腕１０は、例えば、ｘ軸方向及びｙ軸方向のいずれにおいても線対称の配置及び形状となるように設けられている。実装腕１０の具体的形状は適宜に設定されてよい。例えば、実装腕１０は、概略矩形の板状に形成されている。

実装腕１０の先端部のｚ軸方向の正側又は負側（本実施形態では正側）の面には、第１パッド１５Ａ〜第４パッド１５Ｄ（模式図である図２において基部９の４隅に示す。なお、本実施形態とは異なり、実装腕１０を設けずに、図２のようにパッド１５を設けてもよい。）が設けられている。パッド１５は、不図示の実装基体（例えばプリント配線基板）に設けられたパッドに対向し、当該パッドに対して半田乃至は導電性接着剤からなるバンプにより接着される。これにより、センサ素子１と実装基体との電気的な接続がなされ、また、センサ素子１（圧電体３）は、駆動腕１１及び検出腕１３が振動可能な状態で支持される。

なお、基部９及び実装腕１０は、駆動腕１１及び検出腕１３等を揺動可能に支持する支持部８を構成している。

複数の駆動腕１１は、互いに同一方向（ｙ軸方向の正側）に互いに並列に（平行に）延びており、その先端は自由端とされている。駆動腕１１の数は、偶数（本実施形態では４）である。偶数本の駆動腕１１は、中心線ＣＬ０に対して互いに線対称に配置されている。また、偶数本の駆動腕１１は、その形状も、中心線ＣＬ０に対して線対称とされている。すなわち、第１駆動腕１１Ａと第４駆動腕１１Ｄとは、中心線ＣＬ０に対して互いに線対称の配置及び形状とされ、第２駆動腕１１Ｂと第３駆動腕１１Ｃとは、中心線ＣＬ０に対して互いに線対称の配置及び形状とされている。また、互いに隣り合う駆動腕１１同士（例えば１１Ａ及び１１Ｂ）は、例えば、互いに同一、又は、不図示の対称軸に対して互いに線対称の形状とされている（本実施形態では線対称）。

後述するように、中心線ＣＬ０の一方側の複数の駆動腕１１（１１Ａ及び１１Ｂ）は、共に同一側へ湾曲するように振動するから、全体として一つの仮想駆動腕を構成する。同様に、中心線ＣＬ０の他方側の複数の駆動腕１１（１１Ｃ及び１１Ｄ）は、全体として一つの仮想駆動腕を構成する。上述のような線対称の形状及び配置の結果、２本の仮想駆動腕は、振動に係る特性が互いに線対称である。換言すれば、中心線ＣＬ０に対して互いに対称に横方向の正負を定義すれば、両者の振動に係る特性は互いに同一であり、固有振動数等も互いに同一である。

駆動腕１１の形状は、例えば、いわゆるハンマ形状とされている。すなわち、駆動腕１１は、基部９から延びる本体部１１ｃと、その先端に位置し、本体部１１ｃよりも幅（ｘ軸方向）が広い幅広部１１ｄとを有している。駆動腕１１がハンマ形状とされることにより、駆動腕１１は小型化されつつも質量が確保され、これによってセンサ素子１の検出感度が向上する。

また、本実施形態では、駆動腕１１は、更に、幅広部１１ｄの側方端から基部９側へ突出する突部１１ｅを有している。突部１１ｅは、エッチングによって圧電体３を形成する際に生じる残渣が駆動腕１１の振動に及ぼす影響を低減するためのものである。

本体部１１ｃは、例えば、ｙ軸方向を長手方向とする直方体において、ｚ軸方向の正側及び負側の面にｙ軸方向に延びる凹溝１１ａ（図４（ａ）も参照）が形成された形状とされている。凹溝１１ａの断面形状は例えば概略矩形である。駆動腕１１のｘｚ断面の形状及び寸法は、例えば、駆動腕１１の長手方向（ｙ軸方向）の全体に亘って概略一定である。なお、凹溝１１ａは、１又は複数列で複数の凹部が駆動腕１１に沿って配列されることによって構成されていてもよい。

幅広部１１ｄは、例えば、幅方向（ｘ軸方向）の一方のみに広がっており、また、その広がる方向は、隣り合う駆動腕１１同士において互いに逆側である。これにより、中心線ＣＬ０の一方側及び他方側のそれぞれにおいては、互いに隣り合う２本の駆動腕１１（１１Ａ及び１１Ｂ、又は、１１Ｃ及び１１Ｄ）の本体部１１ｃを互いに近付けることができる。幅広部１１ｄの形状は、例えば、直方体状である。

突部１１ｅは、幅広部１１ｄが本体部１１ｃに対して幅方向の一方側にのみ広がっていることに対応して、当該一方側にのみ設けられている。突部１１ｅは、平面視において幅広部１１ｄの基部９側に面する縁部のうち本体部１１ｃとは反対側の端部に位置している。従って、突部１１ｅの本体部１１ｃ側の側面は、本体部１１ｃの側面と空間を挟んで対向している。また、突部１１ｅの本体部１１ｃとは反対側の側面は、幅広部１１ｄの側面に連続している。

突部１１ｅは、例えば、本体部１１ｃの延びる方向に平行に突出している。突部１１ｅの形状は、例えば、直方体状とされている。従って、突部１１ｅの本体部１１ｃ側の側面は、本体部１１ｃの側面と平行である。また、突部１１ｅの本体部１１ｃとは反対側の側面は、幅広部１１ｄの側面と面一である（これら２つの側面で一平面を構成する）。

突部１１ｅにおいては、例えば、幅（ｘ軸方向）が長さ（ｙ軸方向）及び厚さ（ｚ軸方向）よりも小さい。すなわち、突部１１ｅは、本体部１１ｃの側面に平行な板状とされている。ただし、突部１１ｅは、幅が長さ及び／又は厚さよりも大きくてもよい。長さ及び厚さは、いずれが他方よりも大きくてもよい。

突部１１ｅは、本体部１１ｃ及び幅広部１１ｄに比較して、長さ（ｙ軸方向）及び幅（ｘ軸方向）が小さくされている。

例えば、本体部１１ｃ及び幅広部１１ｄ全体の長さ（駆動腕１１の長さ、ｙ軸方向）が５００μｍ以上３０００μｍ以下であるのに対して、突部１１ｅの長さは５μｍ以上１００μｍ以下（５０μｍ程度が好ましい）である。また、例えば、突部１１ｅの長さは、本体部１１ｃの長さの１／５未満又は１／１０未満である。

また、例えば、本体部１１ｃの幅が４０μｍ以上４００μｍ以下であるのに対して、突部１１ｅの幅は２μｍ以上１０μｍ以下（５μｍ程度が好ましい）である。また、例えば、突部１１ｅの幅は、本体部１１ｃの幅の１／５未満又は１／１０未満である。

なお、突部１１ｅの厚さは、例えば、本体部１１ｃ（凹溝１１ａは無視）及び幅広部１１ｄと同等である。例えば、これらの厚さは、４０μｍ以上４００μｍ以下である。上記では、残渣の影響が相対的に大きくなる比較的小型のセンサ素子１の寸法を例示したが、センサ素子１は、例えば、腕の長さが１０ｍｍ以上１００ｍｍ以下となるような比較的大きなものであってもよい。

本体部１１ｃの幅（ｘ軸方向）が大きくなると、駆動腕１１の励振方向（ｘ軸方向）における固有振動数は高くなり、本体部１１ｃの長さ（質量）及び／又は幅広部１１ｄの質量が大きくなると、駆動腕１１の励振方向における固有振動数は低くなる。従って、駆動腕１１の各種の寸法は、励振させたい周波数に応じて設定される。突部１１ｅ及び残渣（後述）の質量も駆動腕１１の固有振動数に影響する。この質量は、突部１１ｅ等の大きさにもよるが、設計段階又はその初期において無視されてもよいし、考慮されてもよい。なお、駆動腕１１のｘ軸方向の固有振動数とｚ軸方向の固有振動数とは等しくされることが好ましい。

複数の検出腕１３は、複数の駆動腕１１の延びる方向とは反対方向（ｙ軸方向の負側）に互いに並列に（平行に）延びており、その先端は自由端とされている。検出腕１３の数は、偶数（本実施形態では２）であり、また、例えば、駆動腕１１の数よりも少ない。偶数本の検出腕１３は、中心線ＣＬ０に対して互いに線対称に配置されている。また、偶数本の検出腕１３は、その形状も、中心線ＣＬ０に対して互いに線対称とされている。

従って、駆動腕１１と同様に、中心線ＣＬ０の一方側と他方側とで、検出腕１３の振動特性は、互いに対称である。換言すれば、中心線ＣＬ０に対して互いに対称に横方向の正負を定義すれば、両者の振動に係る特性は互いに同一であり、固有振動数等も互いに同一である。

検出腕１３の形状は、例えば、駆動腕１１と同様に、いわゆるハンマ形状とされている。すなわち、検出腕１３は、基部９から延びる本体部１３ｃと、その先端に位置し、本体部１３ｃよりも幅（ｘ軸方向）が広い幅広部１３ｄとを有している。

また、本実施形態では、検出腕１３は、更に、駆動腕１１と同様に、幅広部１３ｄの側方端から基部９側へ突出する突部１３ｅを有している。突部１３ｅは、検出腕１３に生じる残渣が検出腕１３の振動に及ぼす影響を低減するためのものである。

本体部１３ｃの概略形状は、直方体とされている。この直方体においては、例えば、ｙ軸方向の大きさ＞ｘ軸方向の大きさ＞ｚ軸方向の大きさである。すなわち、本体部１３ｃは、ｙ軸方向を長手方向とし、ｚ軸方向を厚み方向とする概ね長方形の板状とされている。従って、検出腕１３は、相対的に、励振方向（ｘ軸方向）には振動しにくく、検出方向（ｚ軸方向）に振動しやすくなっている。

また、例えば、検出腕１３の本体部１３ｃは、当該本体部１３ｃをｚ軸方向に貫通し、ｙ軸方向に延びる１又は複数（本実施形態では複数）の貫通溝１３ａ（図４（ｂ）も参照）が形成された形状とされている。別の観点では、本体部１３ｃは、基部９からｙ軸方向に延び、ｘ軸方向に並べられ、先端が互いに固定された複数の分割腕１３ｂを有している。分割腕１３ｂ（貫通溝１３ａ）のｘｚ断面の形状は例えば概略矩形である。

検出腕１３の幅広部１３ｄは、例えば、本体部１３ｃに対して幅方向（ｘ軸方向）の両側に広がっている。幅広部１３ｄの形状は、例えば、検出腕１３の中心線に対して線対称の形状であり、また、例えば、直方体状である。

突部１３ｅは、幅広部１３ｄの幅方向の両側に広がっていることに対応して、幅広部１３ｄの両側に設けられている。

突部１３ｅは、例えば、幅広部１３ｄの両側に設けられていることを除いて、駆動腕１１の突部１１ｅと同様である。従って、既述の突部１１ｅの形状及び大きさ等についての説明は、駆動腕１１、本体部１１ｃ、幅広部１１ｄ及び突部１１ｅを、検出腕１３、本体部１３ｃ、幅広部１３ｄ及び突部１３ｅに読み替えて、突部１３ｅの説明とされてよい。

なお、本実施形態では、検出腕１３の本体部１３ｃは、駆動腕１１の本体部１１ｃに比較して幅が大きくされているが、これはあくまで一例である。従って、突部１１ｅの幅の説明も突部１３ｅの説明に読み替えられてよい。すなわち、本体部１３ｃの幅が４０μｍ以上４００μｍ以下であるのに対して、突部１３ｅの幅は２μｍ以上１０μｍ以下（５μｍ程度が好ましい）である。また、例えば、突部１３ｅの幅は、本体部１３ｃの幅の１／５未満又は１／１０未満である。

駆動腕１１と同様に、検出腕１３の各種の寸法は、固有振動数を規定することから、コリオリの力による振動の方向であるｚ軸方向の固有振動数が適宜なものとなるように設定される。この際、駆動腕１１と同様に、突部１３ｅ及び残渣の質量は、設計段階又はその初期において考慮されてもよいし、無視されてもよい。また、検出腕１３のｚ軸方向の固有振動数は、駆動腕１１のｘ軸方向の固有振動数と等しくされる（離調周波数が小さくされる）ことが好ましい。

駆動腕１１のｘ軸方向の位置と検出腕１３のｘ軸方向の位置との相対関係は、第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂの振動によって第１検出腕１３Ａを振動させ、第３駆動腕１１Ｃ及び第４駆動腕１１Ｄの振動によって第２検出腕１３Ｂを振動させることが可能に適宜に設定されている。

例えば、第１駆動腕１１Ａと第２駆動腕１１Ｂとの中間位置を通るこれらの腕に平行な線（不図示）と、第１検出腕１３Ａの中心線（不図示）とは一致している。同様に、第３駆動腕１１Ｃと第４駆動腕１１Ｄとの中間位置を通るこれらの腕に平行な線（不図示）と、第２検出腕１３Ｂの中心線（不図示）とは一致している。ただし、これらはずれていてもよい。

なお、各腕の中心線は、例えば、本体部のｘｚ断面の重心をｙ軸方向に連ねた線である。また、中心線ＣＬ０の一方側又は他方側の複数の腕全体（仮想腕）としての中心線を定義することもできる。例えば、第１駆動腕１１Ａの本体部１１ｃ及び第２駆動腕１１Ｂの本体部１１ｃの全体のｘｚ断面の重心をｙ軸方向に連ねた線を、中心線ＣＬ０の一方側の駆動腕１１全体（仮想駆動腕）の中心線と定義できる。

上記のように複数の腕全体としての中心線を定義すると、本実施形態では、中心線ＣＬ０の一方側及び他方側のそれぞれにおいて、複数の駆動腕１１の全体としての中心線（不図示）と、１以上の検出腕１３の中心線（不図示）とが一致していると捉えることができる。この概念は、駆動腕及び検出腕の本数が本実施形態とは異なる場合にも適用できる。例えば、１本の検出腕１３に対応する駆動腕１１の数が３本の場合に、３本の駆動腕全体の中心線を考え、この中心線を検出腕１３の中心線と一致させてよい。また、例えば、３本の駆動腕１１と２本の検出腕１３とが対応している場合に、３本の駆動腕１１全体の中心線と、２本の検出腕全体の中心線とを一致させてよい。

中心線ＣＬ０に対するｘ軸方向の一方側及び他方側のそれぞれにおいて、２本の駆動腕１１間の距離（例えば、中心間距離：各駆動腕１１の中心線同士の距離）は適宜に設定される。

本実施形態では、第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂは、その全体としてのｘ軸方向の外側面（第１駆動腕１１Ａのｘ軸方向の負側の面及び第２駆動腕１１Ｂのｘ軸方向の正側の面）が、第１検出腕１３Ａのｘ軸方向の外側面に一致するように配置されている。第３駆動腕１１Ｃ及び第４駆動腕１１Ｄも同様である。これにより、検出腕１３の幅方向（ｘ軸方向）全体に振動を伝達させやすくなる。また、駆動腕１１の配置範囲は検出腕１３の配置範囲に収まり、圧電体３が小型化される。ただし、駆動腕１１間の距離は、本実施形態よりも短くされたり、長くされたりしてもよい。

また、中心線ＣＬ０に対するｘ軸方向の一方側及び他方側のそれぞれにおいて、互いに隣り合う駆動腕１１同士の中心間距離は、例えば、中心線ＣＬ０を挟んで互いに隣り合う駆動腕１１同士の中心間距離よりも短くされている。これにより、中心線ＣＬ０に対するｘ軸方向の一方側又は他方側のそれぞれにおいて互いに隣り合う駆動腕１１間の相互影響は、中心線ＣＬ０を挟んで互いに隣り合う駆動腕１１間の相互影響よりも大きい。ただし、中心線ＣＬ０に対するｘ軸方向の一方側及び他方側のそれぞれにおける駆動腕１１同士の中心間距離が中心線ＣＬ０を挟んで互いに隣り合う駆動腕１１同士の中心間距離よりも長くてもよい。

また、中心線ＣＬ０に対するｘ軸方向の一方側及び他方側のそれぞれにおいて、複数本（本実施形態では２本）の駆動腕１１の中心間距離は、検出腕１３同士の中心間距離よりも短くされている。これにより、中心線ＣＬ０の一方側及び他方側のそれぞれにおける、２本の駆動腕１１間の相互影響は、中心線ＣＬ０を挟んで互いに隣り合う２本の検出腕１３間の相互影響よりも大きい。ただし、中心線ＣＬ０に対するｘ軸方向の一方側及び他方側のそれぞれにおける駆動腕１１間の中心間距離は、検出腕１３間の中心間距離よりも長くてもよい。

図３（ａ）は、第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂの先端側部分を示す拡大平面図である。

ここで、以下に説明する駆動腕１１の先端側部分の残渣は、第１駆動腕１１Ａと第３駆動腕１１Ｃとで同様であり、第２駆動腕１１Ｂと第４駆動腕１１Ｄとで同様である。すなわち、先端側部分の残渣は、線対称の駆動腕１１同士ではなく、幅広部１１ｄが広がる方向が同一の駆動腕１１同士で同様である。

第１駆動腕１１Ａ（１１Ｃ）において、本体部１１ｃと幅広部１１ｄとが成す凹状の角部には、第１本体部側残渣２１Ａが生じている。同様に、第２駆動腕１１Ｂ（１１Ｄ）において、本体部１１ｃと幅広部１１ｄとが成す凹状の角部には、第２本体部側残渣２１Ｂが生じている。

第１本体部側残渣２１Ａが生じている角部と第２本体部側残渣２１Ｂが生じている角部とは、形状は同一（線対称）であるが、ｘ軸方向に対する向きが互いに逆である。従って、エッチングに対する圧電体の異方性に起因して、第１本体部側残渣２１Ａと第２本体部側残渣２１Ｂとは形状及び大きさが互いに異なり、ひいては、質量が互いに異なる。

上記のことから、駆動腕１１が本体部１１ｃ及び幅広部１１ｄのみからなる（突部１１ｅが設けられていない）と仮定すると、互いに線対称の形状の駆動腕１１同士は、質量が互いに異なる。例えば、中心線ＣＬ０に対して互いに線対称の形状及び配置である、第１駆動腕１１Ａと第４駆動腕１１Ｄとは、質量が互いに異なる。その結果、例えば、振動に関する特性が線対称でなくなるおそれがある。また、例えば、互いに隣り合い、不図示の対称軸に対して互いに線対称の形状である、第１駆動腕１１Ａと第２駆動腕１１Ｂとは、質量が互いに異なる。その結果、例えば、この２本の駆動腕１１からなる仮想駆動腕は、その中心線に対する振動の非対称性が大きくなるおそれがある。このように、残渣によって所望の振動が得られないおそれが生じる。

ここで、第１駆動腕１１Ａ（１１Ｃ）において、幅広部１１ｄと突部１１ｅが成す凹状の角部には、第１突部側残渣２３Ａが生じている。同様に、第２駆動腕１１Ｂ（１１Ｄ）において、幅広部１１ｄと突部１１ｅとが成す凹状の角部には、第２突部側残渣２３Ｂが生じている。

第１突部側残渣２３Ａが生じている角部と第２突部側残渣２３Ｂが生じている角部とは、形状は同一（線対称）であるが、ｘ軸方向に対する向きが互いに逆である。従って、本体部側残渣２１と同様に、エッチングに対する圧電体の異方性に起因して、第１突部側残渣２３Ａと第２突部側残渣２３Ｂとは、形状及び大きさが異なり、ひいては、質量が互い異なる。

一方、第１本体部側残渣２１Ａが生じている角部と第２突部側残渣２３Ｂが生じている角部とは、形状が同一であるとともに、その向きも同一である。従って、第１本体部側残渣２１Ａと第２突部側残渣２３Ｂとは、形状及び大きさが同じであり、ひいては、質量が同等である。同様に、第２本体部側残渣２１Ｂと第１突部側残渣２３Ａとは、形状及び大きさが同じであり、ひいては、質量が同等である。

上記のことから、互いに線対称の形状の駆動腕１１同士（１１Ａ及び１１Ｄ、１１Ｂ及び１１Ｃ、１１Ａ及び１１Ｂ、又は、１１Ｃ及び１１Ｄ）は、残渣を考慮しても、質量が互いに同等になる。その結果、例えば、所望の振動が得られやすくなる。

図３（ｂ）は、検出腕１３（第１検出腕１３Ａ及び第２検出腕１３Ｂのいずれでも同様である）の先端側部分を示す拡大平面図である。

検出腕１３において、本体部１３ｃと幅広部１３ｄとが成す、２つの凹状の角部には、第１本体部側残渣２５Ａ及び第２本体部側残渣２５Ｂが生じている。この２つの角部は、形状は同一（線対称）であるが、ｘ軸方向に対する向きが互いに逆である。従って、エッチングに対する圧電体の異方性に起因して、第１本体部側残渣２５Ａと第２本体部側残渣２５Ｂとは形状及び大きさが互いに異なり、ひいては、質量が互いに異なる。

上記のことから、例えば、検出腕１３が本体部１３ｃ及び幅広部１３ｄのみからなる（突部１３ｅが設けられていない）と仮定すると、検出腕１３は、その中心線（不図示）に対して質量分布が非対称となる。その結果、例えば、中心線に対する振動の非対称性が大きくなるおそれがある。すなわち、残渣によって所望の振動が得られないおそれが生じる。

ここで、検出腕１３において、幅広部１３ｄと突部１３ｅが成す、２つの凹状の角部には、第１突部側残渣２７Ａ及び第２突部側残渣２７Ｂが生じている。この２つの角部は、形状は同一（線対称）であるが、ｘ軸方向に対する向きが互いに逆である。従って、本体部側残渣２５と同様に、エッチングに対する圧電体の異方性に起因して、第１突部側残渣２７Ａと第２突部側残渣２７Ｂとは、形状及び大きさが異なり、ひいては、質量が互い異なる。

一方、第１本体部側残渣２５Ａが生じている角部と第２突部側残渣２７Ｂが生じている角部とは、形状が同一であるとともに、その向きも同一である。従って、第１本体部側残渣２５Ａと第２突部側残渣２７Ｂとは、形状及び大きさが同じであり、ひいては、質量が同等である。同様に、第２本体部側残渣２５Ｂと第１突部側残渣２７Ａとは、形状及び大きさが同じであり、ひいては、質量が同等である。

上記のことから、例えば、検出腕１３の質量分布は、突部１３ｅが設けられない場合に比較して、検出腕１３の中心線（不図示）に対して線対称に近づく。その結果、例えば、所望の振動が得られやすくなる。

図４（ａ）は、図１のIVａ−IVａ線における断面図である。図４（ａ）においては、第４駆動腕１１Ｄの断面を示しているが、他の駆動腕１１の断面も同様である。

図２及び図４（ａ）に示すように、励振電極５は、駆動腕１１の表面に形成された層状電極である。励振電極５は、例えば、Ｃｕ，Ａｌ等の適宜な金属によって形成されている。

図４（ａ）に示すように、第１励振電極５Ａは、各駆動腕１１において、ｚ軸方向の正側の面及びｚ軸方向の負側の面にそれぞれ設けられている。これらの面には、上述のように凹溝１１ａが形成されており、各面において、第１励振電極５Ａは、凹溝１１ａの底面及び２つの内壁面を覆っている。また、第２励振電極５Ｂは、各駆動腕１１において、ｘ軸方向の正側の面及びｘ軸方向の負側の面にそれぞれ設けられている。

２つの第１励振電極５Ａ及び２つの第２励振電極５Ｂは、例えば、駆動腕１１の各面を概ね覆うように設けられている。ただし、第１励振電極５Ａ及び第２励振電極５Ｂは、互いに短絡しないように、少なくとも一方（本実施形態では第１励振電極５Ａ）が各面よりも幅方向において小さく形成されている。

各駆動腕１１において、２つの第１励振電極５Ａは、例えば互いに同電位とされる。例えば、２つの第１励振電極５Ａは、圧電体３上の配線等により互いに接続されている。また、各駆動腕１１において、２つの第２励振電極５Ｂは、例えば互いに同電位とされる。例えば、２つの第２励振電極５Ｂは、圧電体３上の配線等により互いに接続されている。

なお、励振電極５の付加符号Ａ、Ｂは、直交座標系ｘｙｚに基づいて付されている。従って、例えば、後述するように、一の駆動腕１１の第１励振電極５Ａと、他の駆動腕１１の第１励振電極５Ａとは同電位とは限らない。

図４（ｂ）は、図１のIVｂ−IVｂ線における断面図である。図４（ｂ）においては、第２検出腕１３Ｂの一部の分割腕１３ｂの断面を示しているが、第２検出腕１３Ｂの他の分割腕１３ｂ、及び、第１検出腕１３Ａの分割腕１３ｂの断面も同様である。

図２及び図４（ｂ）に示すように、検出電極７は、検出腕１３（分割腕１３ｂ）の表面に形成された層状電極である。検出電極７は、例えば、Ｃｕ，Ａｌ等の適宜な金属によって形成されている。検出電極７は、各分割腕１３ｂに設けられている。すなわち、検出電極７は、検出腕１３のｘ軸方向の外側面だけでなく、複数の貫通溝１３ａの内壁面にも設けられている。

より具体的には、第１検出電極７Ａは、各分割腕１３ｂにおいて、ｘ軸方向の負側の面のうちのｚ軸方向の正側の領域、及び、ｘ軸方向の正側の面のうちのｚ軸方向の負側の領域にそれぞれ設けられている。第２検出電極７Ｂは、各分割腕１３ｂにおいて、ｘ軸方向の負側の面のうちのｚ軸方向の負側の領域、及び、ｘ軸方向の正側の面のうちのｚ軸方向の正側の領域にそれぞれ設けられている。第１検出電極７Ａ及び第２検出電極７Ｂは、互いに短絡しないように適宜な間隔を空けて、分割腕１３ｂに沿って延びている。

各検出腕１３において、複数の第１検出電極７Ａは、例えば、圧電体３上の配線等により接続されている。各検出腕１３において、複数の第２検出電極７Ｂは、例えば、圧電体３上の配線等により接続されている。

なお、励振電極５と同様に、検出電極７の付加符号Ａ、Ｂは、直交座標系ｘｙｚに基づいて付されている。従って、例えば、後述するように、第１検出腕１３Ａの第１検出電極７Ａと、第２検出腕１３Ｂの第１検出電極７Ａとは、（本実施形態では）接続されない。

図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、角速度センサ１０１は、励振電極５に電圧を印加する励振回路１０３と、検出電極７からの電気信号を検出する検出回路１０５とを有している。

励振回路１０３は、例えば、発振回路や増幅器を含んで構成されており、所定の周波数の交流電圧を第１励振電極５Ａと第２励振電極５Ｂとの間に印加する。なお、周波数は、角速度センサ１０１内にて予め定められていてもよいし、外部の機器等から指定されてもよい。

検出回路１０５は、例えば、増幅器や検波回路を含んで構成されており、第１検出電極７Ａと第２検出電極７Ｂとの電位差を検出し、その検出結果に応じた電気信号を外部の機器等に出力する。より具体的には、例えば、上記の電位差は、交流電圧として検出され、検出回路１０５は、検出した交流電圧の振幅に応じた信号を出力する。この振幅に基づいてｙ軸回りの角速度が特定される。また、検出回路１０５は、励振回路１０３の印加電圧と検出した電気信号との位相差に応じた信号を出力する。この位相差に基づいてｙ軸回りの回転の向きが特定される。

なお、励振回路１０３及び検出回路１０５は、全体として制御回路１０７を構成している。制御回路１０７は、例えば、チップＩＣによって構成されており、センサ素子１が実装される回路基板又は適宜な形状の実装基体に実装されている。

（動作説明）
図５（ａ）は、駆動腕１１における電位等を説明する図であり、図４（ａ）に対応する模式図である。図５（ｂ）は、検出腕１３における電位等を説明する図であり、図４（ｂ）に対応する模式図である。

第１励振電極５Ａに正の電位が付与され、第２励振電極５Ｂに負の電位（又は基準電位）が付与されると、同図において矢印で示すような電界が生じる。一方、分極軸は、ｘ軸方向に一致している。従って、電界のｘ軸方向の成分に着目すると、駆動腕１１のうちｘ軸方向の一方側部分においては電界の向きと分極軸の向きは一致し、他方側部分においては電界の向きと分極軸の向きは逆になる。

その結果、駆動腕１１のうちｘ軸方向の一方側部分はｙ軸方向において収縮し、他方側部分はｙ軸方向において伸長する。そして、駆動腕１１は、バイメタルのようにｘ軸方向の一方側へ湾曲する。第１励振電極５Ａ及び第２励振電極５Ｂに印加される電圧が逆にされると、駆動腕１１は逆方向に湾曲する。このような原理により、交流電圧が第１励振電極５Ａ及び第２励振電極５Ｂに印加されると、駆動腕１１はｘ軸方向において振動する。

ここで、上述のように、第１励振電極５Ａが設けられる駆動腕１１のｚ軸方向の正側及び負側の面には、凹溝１１ａが形成されている。従って、第１励振電極５Ａは、ｘ軸方向において第２励振電極５Ｂと対向する部分（凹溝１１ａの内壁に位置する部分）を有することになり、また、全体として面積が大きくなる。その結果、駆動腕１１内におけるｘ軸方向の電界の強さを大きくし、効率的に駆動腕１１を振動させることができる。

センサ素子１がｙ軸回りに回転されると、ｘ軸方向において振動している駆動腕１１には、慣性力の一つである、その角速度に応じた大きさのコリオリの力が加わる。その結果、駆動腕１１はｚ軸方向において振動する。駆動腕１１及び検出腕１３は基部９によって連結され、互いに力の相互作用を及ぼすから、検出腕１３は、ｚ軸方向において、駆動腕１１とは逆位相で振動する（駆動腕１１の湾曲方向とは逆方向に湾曲する。）。

検出腕１３がｚ軸方向に湾曲すると、図５（ｂ）において矢印で示すように、ｚ軸方向に平行な電界が生じる。電界の向きは、ｘ軸（分極軸）方向の正側部分と負側部分とで互いに逆である。また、電界の向きは、分極軸の向きと、湾曲の向き（ｚ軸方向の正側又は負側）とで決定される。この電圧（電界）が第１検出電極７Ａ及び第２検出電極７Ｂに出力される。検出腕１３がｚ軸方向に振動すると、電圧は交流電圧として検出される。

ここで、上述のように、検出腕１３には複数の貫通溝１３ａが形成されており、検出電極７は、検出腕１３のｘ軸方向の正側及び負側の面だけでなく、その貫通溝１３ａの内壁面にも設けられている。従って、検出電極７は、検出腕１３のｘ軸方向の外側面だけに設けられている場合に比較して、全体としての面積が大きくなっている。その結果、検出腕１３において生じる電荷を効率的に電気信号として取り出すことができる。

図６（ａ）は、４本の駆動腕１１のｘ軸方向における励振を説明するための模式的な平面図である。

第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂは、励振方向（ｘ軸方向）において同一側へ共に変形するように互いに同一の位相で励振される。例えば、第１駆動腕１１Ａの第１励振電極５Ａと第２駆動腕１１Ｂの第１励振電極５Ａとは接続され、第１駆動腕１１Ａの第２励振電極５Ｂと第２駆動腕１１Ｂの第２励振電極５Ｂとは接続され、これらの第１励振電極５Ａと、第２励振電極５Ｂとの間に交流電圧が印加される。

同様に、第３駆動腕１１Ｃ及び第４駆動腕１１Ｄは、励振方向において同一側へ共に変形するように互いに同一の位相で励振される。この励振も、上記と同様に、２本の駆動腕１１間において、第１励振電極５Ａ同士が接続され、第２励振電極５Ｂ同士が接続されることなどにより実現されてよい。

第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂのグループと、第３駆動腕１１Ｃ及び第４駆動腕１１Ｄのグループとは、励振方向において互いに逆側へ変形するように互いに逆の位相（１８０°ずれた位相）で励振される。例えば、第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂの第１励振電極５Ａと、第３駆動腕１１Ｃ及び第４駆動腕１１Ｄの第２励振電極５Ｂとが接続され（第１の電極群）、第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂの第２励振電極５Ｂと、第３駆動腕１１Ｃ及び第４駆動腕１１Ｄの第１励振電極５Ａとが接続され（第２の電極群）、第１の電極群と第２の電極群との間に交流電圧が印加される。

なお、第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂのグループと、第３駆動腕１１Ｃ及び第４駆動腕１１Ｄのグループとは、ｘ軸方向において逆位相で振動していることから、圧電体３全体としては、これらグループのｘ軸方向の力は互いに打ち消し合う。

図６（ｂ）は、４本の駆動腕１１及び２本の検出腕１３のｚ軸方向における振動を説明するための模式的な斜視図である。より具体的には、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示したように駆動腕１１が湾曲している圧電体３が、中心線ＣＬ０回り（ｙ軸回り）に矢印ｙ５で示す方向へ回転した場合における、駆動腕１１及び検出腕１３の湾曲状態を示す斜視図である。

第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂは、回転中心（中心線ＣＬ０）に対して、その半径方向（ｘ軸方向）の同一側に配置されている。また、両駆動腕１１は、図６（ａ）に示したように、その半径方向（励振方向、ｘ軸方向）において共に外側又は内側へ湾曲するように励振される。従って、両駆動腕１１においてコリオリの力の向きは互いに同一である。その結果、図６（ｂ）に示すように、両駆動腕１１はｚ軸方向において同一側へ共に湾曲するように振動する。同様に、第３駆動腕１１Ｃ及び第４駆動腕１１Ｄは、コリオリの力によって、ｚ軸方向において同一側へ共に湾曲するように振動する。

第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂのグループと、第３駆動腕１１Ｃ及び第４駆動腕１１Ｄのグループとは、回転中心（中心線ＣＬ０）に対して、その半径方向（ｘ軸方向）において互いに逆側に配置されており、ひいては、回転によるｚ軸方向の移動の向きは互いに逆である。また、図６（ａ）に示したように、一方のグループが半径方向において外側（又は内側）へ湾曲するとき、他方のグループも半径方向において外側（又は内側）へ湾曲するように、両グループは励振される。従って、両グループにおいてコリオリの力の向きは互いに逆となる。その結果、図６（ｂ）に示すように、両グループはｚ軸方向において互いに逆側へ湾曲するように振動する。

駆動腕１１及び検出腕１３は、基部９によって連結されている。従って、駆動腕１１の振動は、基部９を介して検出腕１３に伝達され、検出腕１３も振動する。具体的には、第１検出腕１３Ａは、ｚ軸方向において第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂとは逆側へ湾曲するように振動する。また、第２検出腕１３Ｂは、ｚ軸方向において第３駆動腕１１Ｃ及び第４駆動腕１１Ｄとは逆側へ湾曲するように振動する。

第１検出腕１３Ａ及び第２検出腕１３Ｂは、ｚ軸方向において互いに逆側に湾曲するように振動する。従って、両者は、ｘ軸方向の一方側部分（又は他方側部分）において生じる電圧がｚ軸方向において互いに逆向きである。従って、例えば、第１検出腕１３Ａの第１検出電極７Ａと第２検出腕１３Ｂの第２検出電極７Ｂとが接続され、第１検出腕１３Ａの第２検出電極７Ｂと第２検出腕１３Ｂの第１検出電極７Ａとが接続されることにより、両検出腕１３において生じた電気信号は加算される。

（配線の一例）
上記の動作説明においては、複数の励振電極５及び複数の検出電極７の接続関係について言及した。この接続関係を実現する配線の一例を図７に示す。

図７は、センサ素子１の斜視図である。ただし、この図は、配線を視認しやすいようにセンサ素子１を図２よりも更に模式的に示している。例えば、圧電体３の形状は単純化されて示され、また、各種の電極は小さく示されている。

この例において、第１パッド１５Ａ及び第２パッド１５Ｂは、複数の励振電極５に印加される電圧が入力されるパッドである。また、第３パッド１５Ｃ及び第４パッド１５Ｄは、複数の検出電極７からの信号を出力するためのパッドである。

第１パッド１５Ａからは、第１配線１７Ａが延びている。第１配線１７Ａは、第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂの第１励振電極５Ａ、並びに、第３駆動腕１１Ｃ及び第４駆動腕１１Ｄの第２励振電極５Ｂに接続されている。また、第２パッド１５Ｂからは、第２配線１７Ｂが延びている。第２配線１７Ｂは、第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂの第２励振電極５Ｂ、並びに、第３駆動腕１１Ｃ及び第４駆動腕１１Ｄの第１励振電極５Ａに接続されている。

第３パッド１５Ｃからは、第３配線１７Ｃが延びている。第３配線１７Ｃは、第１検出腕１３Ａの第１検出電極７Ａ及び第２検出腕１３Ｂの第２検出電極７Ｂに接続されている。また、第４パッド１５Ｄからは、第４配線１７Ｄが延びている。第４配線１７Ｄは、第１検出腕１３Ａの第２検出電極７Ｂ及び第２検出腕１３Ｂの第１検出電極７Ａに接続されている。

配線１７は、互いに交差しないように、基部９の４面及び各種の腕部の根元側部分及び先端側部分の４面等に適宜に配置され、また、適宜に分岐又は合流している。

なお、図７に示す配線は、あくまで一例であり、他の種々のパターンによって、動作説明において言及した電極の接続関係が実現されてよい。４本の実装腕１０と、その上に設けられる４種のパッド１５（図７では便宜上、基部９の２つの端部９ａ上に示している。）との組み合わせも変更されてよい。配線１７は、絶縁体を介して互いに立体交差するように設けられてもよい。

以上に説明したセンサ素子１の製造方法は、圧電体３の具体的な形状に係る部分を除いては、公知の方法と同様とされてよい。例えば、特に図示しないが、エッチングによって圧電体３を形成し、その圧電体３に対して成膜用マスクを介して導電材料を成膜して励振電極５、検出電極７、パッド１５及び配線１７を形成することによって、センサ素子１は作製される。

エッチングは、例えば、圧電体３が多数個取りされる圧電基板の主面（ｘｙ平面）にエッチングマスクを形成し、そのエッチングマスクの開口を介してエッチング液又はエッチングガスを圧電基板に接触させることによって行われる。エッチングマスクの材料及び形成方法（フォトリソグラフィーの利用等）、並びに、エッチング液等は、公知のものと同様でよい。なお、エッチングは、腕の側面等における残渣が低減されるように比較的長い時間（例えば１０時間）に亘って行われてよい。

エッチングマスクは、圧電基板のうちエッチングが禁止される領域に重なる。すなわち、エッチングマスクは、圧電基板のうち、基部９、複数の実装腕１０、複数の駆動腕１１及び複数の検出腕１３となる領域に重なる。より詳細には、エッチングマスクは、駆動腕１１となる領域に関し、本体部１１ｃ、幅広部１１ｄ及び突部１１ｅとなる領域に重なり、本体部側残渣２１及び突部側残渣２３が生じる領域には重ならない。同様に、エッチングマスクは、検出腕１３となる領域に関し、本体部１３ｃ、幅広部１３ｄ及び突部１３ｅとなる領域に重なり、本体部側残渣２５及び突部側残渣２７が生じる領域には重ならない。平面視における凹状の角部においては、例えば、エッチング液又はエッチングガスが側方から接触する面積が相対的に小さいことから、本体部側残渣２５及び突部側残渣２７等の残渣が生じる。

以上のとおり、本実施形態では、センサ素子１は、圧電体３と、圧電体３の駆動腕１１の表面に設けられた励振電極５と、圧電体３の検出腕１３の表面に設けられた検出電極７と、を有している。駆動腕１１（又は検出腕１３）は、平面視において、基部９から延びる本体部１１ｃと、本体部１１ｃの先端に位置し、本体部１１ｃよりも幅広に形成された幅広部１１ｄと、幅広部１１ｄの側方端から基部９側へ突出する突部１１ｅと、を有している。

従って、図３を参照して説明したように、残渣は、本体部１１ｃの側面が構成する凹状の角部だけでなく（本体部側残渣２１）、当該側面に対向する突部１１ｅの側面が構成する凹状の角部にも生じる（突部側残渣２３）。この２つの角部は、ｘ軸方向の向きが互いに逆向きである。その結果、例えば、互いに線対称の形状の２本の腕（例えば第１駆動腕１１Ａ及び第４駆動腕１１Ｄ、又は、第１駆動腕１１Ａ及び第２駆動腕１１Ｂ）の質量を、残渣を含めて同等にすることができる。また、例えば、中心線に対して線対称の形状の腕（例えば検出腕１３）の質量分布を中心線に対して線対称に近づけることができる。その結果、残渣が振動に及ぼす影響を低減（調整）できる。

また、本実施形態では、駆動腕１１において、幅広部１１ｄは、平面視において本体部１１ｃに対して側方両側のうち一方側にのみ広がっており、突部１１ｅは、幅広部１１ｄが広がる側にのみ設けられている。

従って、例えば、駆動腕１１に対して幅広部１１ｄが広がっていない側に他の腕（本実施形態では他の駆動腕１１）、又は、他の部材を近づけることができる。その結果、例えば、腕同士の相互影響を強くし、及び／又は、圧電体３（角速度センサ１０１）の小型化を図り、その一方で、駆動腕１１の質量を確保して検出感度を向上させることができる。また、例えば、互いに線対称の形状の２本の駆動腕１１（１１Ａ及び１１Ｄ、１１Ｂ及び１１Ｃ、１１Ａ及び１１Ｂ、又は、１１Ｃ及び１１Ｄ）が設けられた場合に、両者の質量を、残渣を含めて同等にすることができる。その結果、振動の非対称性が低減される。

また、本実施形態では、複数の駆動腕１１は、平面視において互いに隣り合って並列に延び、それぞれ、本体部１１ｃ、幅広部１１ｄ及び突部１１ｅを有する２本の駆動腕１１（１１Ａ及び１１Ｂ、又は、１１Ｃ及び１１Ｄ）を含む。この２本の駆動腕１１それぞれにおいて、幅広部１１ｄは、当該２本の駆動腕１１の内側及び外側のうち外側にのみ、本体部１１ｃに対して広がっている。

従って、例えば、駆動腕１１同士を近づけて、腕同士の相互影響を強くし、及び、圧電体３の小型化を図り、その一方で、駆動腕１１の質量を確保して検出感度を向上させることができる。また、例えば、互いに線対称の形状の２本の駆動腕１１の質量を、残渣を含めて同等にすることができる。その結果、振動の非対称性が低減される。

また、本実施形態では、上記の互いに隣り合い、外側にのみ幅広部１１ｄが広がる２本の駆動腕１１（１１Ａ及び１１Ｂ、又は、１１Ｃ及び１１Ｄ）に関し、２本の駆動腕１１間で互いに同一の位置に設けられるとともに互いに接続された複数の第１励振電極５Ａと、２本の駆動腕１１間で互いに同一の位置に設けられるとともに互いに接続され、複数の第１励振電極５Ａとの間に電圧が印加されることにより、２本の駆動腕１１を励振可能な複数の第２励振電極５Ｂと、が設けられている。すなわち、隣り合う２本の駆動腕１１は、共に同一側に湾曲するように励振されるものである（１本の仮想駆動腕を構成する。）。

従って、例えば、２本の駆動腕１１からなる１本の仮想駆動腕と同じ固有振動数を有する現に１本の駆動腕を設ける場合に比較して、仮想駆動腕を短くしつつ、仮想駆動腕全体としては質量を確保して検出感度を向上させることができる。また、例えば、幅広部１１ｄが広がる側とは反対側同士を近づけることにより、腕同士の相互影響を強くし、うなりを早期に収束させて起動時間を短くすることができる。２本の駆動腕１１の質量を、残渣を含めて同等にすることができることから、起動時間をより短縮できる。

また、本実施形態では、複数の駆動腕１１は、上記の互いに隣り合い、外側にのみ幅広部１１ｄが広がる２本の駆動腕１１を、これらに平行な所定の対称軸（中心線ＣＬ０）に対して線対称に２組（１１Ａ及び１１Ｂの組、並びに、１１Ｃ及び１１Ｄの組）含む。一方の組の２本の駆動腕１１（１１Ａ及び１１Ｂ）の複数の第１励振電極５Ａと、他方の組の２本の駆動腕１１（１１Ｃ及び１１Ｄ）の複数の第２励振電極５Ｂとが接続され、一方の組の２本の駆動腕１１（１１Ａ及び１１Ｂ）の複数の第２励振電極５Ｂと、他方の組の２本の駆動腕１１（１１Ｃ及び１１Ｄ）の複数の第１励振電極５Ａとが接続されている。すなわち、２本の組は、互いに逆側に（線対称に）湾曲するように励振される。

また、上記とは少し別の観点（仮想駆動腕に着目しない観点）では、本実施形態では、複数の駆動腕１１は、平面視において所定の対称軸（中心線ＣＬ０）に対して平行に延びるとともに中心線ＣＬ０に対して互いに線対称の位置に配置され、それぞれ、本体部１１ｃ、幅広部１１ｄ及び突部１１ｅを有する２本の駆動腕１１（１１Ａ及び１１Ｄ、又は、１１Ｂ及び１１Ｃ）を含む。２本の駆動腕１１（例えば１１Ａ及び１１Ｄ）間で互いに同一の位置に設けられた複数の第１励振電極５Ａと、２本の駆動腕１１間で互いに同一の位置に設けられ、複数の第１励振電極５Ａとの間に電圧が印加されることにより、２本の駆動腕１１を励振可能な複数の第２励振電極５Ｂと、が設けられ、２本の駆動腕１１の一方の駆動腕１１の第１励振電極５Ａと、２本の駆動腕１１の他方の駆動腕１１の第２励振電極５Ｂとが接続され、前記一方の駆動腕１１の第２励振電極５Ｂと、前記他方の駆動腕１１の第１励振電極５Ａとが接続されている。すなわち、中心線ＣＬ０に対して互いに線対称に配置された２本の駆動腕１１は、互いに逆側に（線対称に）湾曲するように励振される。

ここで、例えば、検出腕１３においては、幅広部１３ｄが両側に広がっていることから、２本の検出腕１３は、いずれも、第１本体部側残渣２５Ａ及び第２本体部側残渣２５Ｂの双方を有している。従って、突部１３ｅが設けられていないとしても、２本の検出腕１３の質量は互いに同等である。これに対して、駆動腕１１においては、幅広部１１ｄが一方側にのみ広がっていることから、線対称に配置された２本の駆動腕１１は、第１本体部側残渣２５Ａのみ又は第２本体部側残渣２５Ｂのみを有している。従って、突部１１ｅが設けられていない場合、線対称に配置された２本の駆動腕１１の質量は互いに異なる。すなわち、幅広部が一方側にのみ広がる腕は、幅広部が両側に広がる腕に比較して、残渣によって、線対称に配置された腕間における質量の非対称性が大きくなりやすい。そして、幅広部１１ｄが一方側にのみ広がる駆動腕１１において、突部１１ｅが設けられることから、図３（ａ）を参照して説明したように線対称に配置された駆動腕１１間の質量の非対称性が好適に低減される。その結果、振動の非対称性が低減され、検出精度が向上する。

また、本実施形態では、検出腕１３において、幅広部１３ｄは、平面視において本体部１３ｃに対して側方両側に広がっており、突部１３ｅは、幅広部１３ｄの側方両側それぞれに設けられている。

従って、検出腕１３は、図３を参照して説明したように、本体部１３ｃの中心線に対して線対称の質量分布とされやすく、意図しない振動の傾斜、又は、意図しない捩れ等が生じるおそれが低減され、所望の振動特性を得やすくなる。

また、本実施形態では、角速度センサ１０１は、センサ素子１と、励振電極５に電圧を印加する励振回路１０３と、検出電極７から電気信号を検出する検出回路１０５と、を有している。従って、角速度センサ１０１は、センサ素子１により、ハンマ形状の腕の残渣が振動に及ぼす影響を調整することができるので、残差の影響のために検出精度が低下することを軽減させることが可能となる。

（変形例）
図８（ａ）は、第１変形例に係る駆動腕２１１の先端部分を示す平面図である。

駆動腕２１１は、例えば、矢印及び想像線（２点鎖線）で示すように、実施形態の駆動腕１１と同様に、幅方向（ｘ軸方向）に励振されるものである。ただし、駆動腕２１１は、実施形態の検出腕１３と同様に、本体部２１１ｃに対して側方両側に広がる幅広部２１１ｄを有しており、幅広部２１１ｄの側方両側に突部２１１ｅを有している。なお、駆動腕２１１を含む圧電体の全体構成は、実施形態と同様であってもよいし、異なっていてもよい。

駆動腕２１１においては、駆動腕１１又は検出腕１３と同様に、突部１３ｅが設けられることによって、第１本体部側残渣２１Ａと同様の形状及び大きさの第２突部側残渣２３Ｂ、及び、第２本体部側残渣２１Ｂと同様の形状及び大きさの第１突部側残渣２３Ａが生じる。その結果、例えば、本体部２１１ｃの中心線に対する質量分布の対称性が向上する。

図８（ｂ）は、第２変形例に係るセンサ素子３０１の２本の駆動腕１１を示す平面図である。

実施形態では、互いに隣り合い、その外側に幅広部１１ｄが広がる２本の駆動腕１１は、共に同一側に湾曲され、１本の仮想駆動腕を構成した。これに対して、この変形例においては、矢印及び想像線（２点鎖線）で示すように、互いに隣り合い、その外側に幅広部１１ｄが広がる２本の駆動腕１１が、互いに逆側に湾曲するように励振される。例えば、特に図示しないが、一方の駆動腕１１の第１励振電極５Ａと他方の駆動腕１１の第２励振電極５Ｂとが接続され、一方の駆動腕１１の第２励振電極５Ｂと他方の駆動腕１１の第１励振電極５Ａとが接続されている。

このような動作態様のセンサ素子３０１においても、幅広部１１ｄが２本の駆動腕１１の外側にのみ広がっていることにより、例えば、駆動腕１１同士を近づけることができる。その結果、例えば、２本の駆動腕１１の相互影響を大きくしてうなりを早期に収束させて起動時間を短くしたり、圧電体を小型化したりできる。そして、図３（ａ）を参照して説明したように、突部１１ｅによって、残渣を含めた質量が２本の駆動腕１１間で同等になることにより、振動の対称性が向上する。振動の対称性の向上によって、例えば、起動時間の更なる短縮、及び／又は、検出精度の向上が図られる。

図９は、第３変形例に係る圧電体４０３の２本の駆動腕４１１を示す平面図である。

２本の駆動腕４１１は、例えば、実施形態の駆動腕１１と同様に、本体部４１１ｃに対して幅方向の一方側（例えば２本の駆動腕４１１の外側）にのみ広がる幅広部４１１ｄを有している。なお、検出腕１３及び第１変形例と同様に、幅広部は両側に広がるものであってもよい。

この変形例では、突部４１１ｅは、幅広部４１１ｄの側方端だけでなく、幅広部４１１ｄの基部側（ｙ軸方向負側）の縁部の全体に亘って複数設けられている。隣り合う突部４１１ｅ間の隙間の幅（ｘ軸方向）、及び、本体部４１１ｃと本体部４１１ｃの隣に位置する突部４１１ｅとの隙間の幅は、比較的小さくされている。例えば、この隙間の幅は、２μｍ以上１０μｍ以下（好ましくは５μｍ程度）とされている。

このような構成においては、互いに隣り合う突部４１１ｅ間に架け渡された残渣４２１が生じる。同様に、本体部４１１ｃと、本体部４１１ｃの隣の突部４１１ｅとの間には、これらに架け渡された残渣４２１が生じる。

各駆動腕１１において、複数の突部４１１ｅは、例えば、互いに同一の形状及び大きさで、一定のピッチ（本体部４１１ｃと突部４１１ｅとの間を含む）で設けられている。また、２本の駆動腕１１間においても、複数の突部４１１ｅの形状、大きさ及びピッチは互いに同一とされている。このような構成においては、複数の残渣４２１は、互いに同一の形状及び大きさである。

従って、２本の駆動腕１１間の質量は互いに同等になる。また、同一の形状及び大きさの残渣４２１が幅広部４１１ｄの基部側の縁部に亘って分布することから、実施形態に比較して、２本の駆動腕４１１間において質量分布が線対称になりやすい。さらに、特定の結晶面が大きく現れることが抑制されるから、一の残渣４２１内の偏った形状も緩和され、より線対称になりやすい。

本発明は、以上の実施形態及び変形例に限定されず、種々の態様で実施されてよい。

本発明の突部は、ハンマ形状の駆動腕及び／又は検出腕を有するあらゆる角速度センサに適用可能である。従って、角速度センサの基本構成（例えば、駆動腕及び検出腕の本数、位置及び形状、並びに、電極の位置及び接続関係）は、実施形態に例示したものに限定されない。例えば、角速度センサは、実施形態と同様に、ｙ軸方向の互いに逆側に延びる１以上の駆動腕及び１以上の検出腕を含む圧電体を有し、実施形態とは異なり、ｘ軸又はｚ軸の回転を検出するように電極及び回路が構成されたものであってもよい。また、例えば、角速度センサは、ｙ軸方向の同一側に延びる１以上の駆動腕及び１以上の検出腕を含む圧電体を有し、ｘ軸回り、ｙ軸回り又はｚ軸回りの回転を検出するように電極及び回路が構成されたものであってもよい。また、例えば、角速度センサは、複数の駆動腕及び複数の検出腕が放射状に延びるものであってもよい。駆動腕及び検出腕の本数も適宜に設定されてよい。駆動腕に実施形態の検出電極のような２側面の４領域に形成される励振電極が形成されてもよいし、検出腕に実施形態の駆動電極のような４側面に形成される検出電極が形成されてもよい。駆動腕の凹溝は形成されなくてもよいし、検出腕の貫通溝は形成されなくてもよい。駆動腕に貫通溝が形成されたり、検出腕に凹溝が形成されたりしてもよい。

実施形態等では、複数の腕に設けられた複数の突部、又は、一の腕に設けられた２つの突部は、互いに同一の形状及び大きさとされた。また、第３変形例では、複数の突部のピッチも一定とされた。ただし、複数の突部は、形状、大きさ及びピッチが互いに異なっていてもよい。例えば、これらは、線対称に配置された２本の腕の間で異なっていてもよいし、一の腕の側方両側に設けられた２つの突部間で異なっていてもよいし、駆動腕と検出腕とで異なっていてもよいし、複数の駆動腕間で異なっていてもよいし、複数の検出腕間で異なっていてもよい。このような相違を意図的に生じさせることによって、例えば、固有振動数を腕毎に微調整することができる。また、例えば、ｙ軸方向の正側と負側とで現れる結晶面が相違することに起因する残渣の形状及び大きさの相違に応じて突部の長さを異ならせ、突部を最小化できる。また、突部は、非対称性を低減するのではなく、非対称性を拡大するために利用されてもよい。

突部は、全ての駆動腕及び検出腕に対して設けられている必要はない。例えば、センサの検出感度等に照らして、残渣の影響が大きい腕についてのみ設けられてもよい。例えば、駆動腕のみについて設けられたり、検出腕のみについて設けられたり、複数の駆動腕の一部についてのみ設けられたりしてもよい。

また、例えば、図３（ａ）において、第２本体部側残渣２１Ｂが第１本体部側残渣２１Ａに対して極端に大きい場合に、その差に相当する質量の突部１１ｅ及び第１突部側残渣２３Ａが第１駆動腕１１Ａに形成されるようにし、第２駆動腕１１Ｂに突部１１ｅを設けないようにしてもよい。同様に、例えば、図３（ｂ）において、第２本体部側残渣２５Ｂが第１本体部側残渣２５Ａに対して極端に大きい場合に、その差に相当する質量の突部１３ｅ及び第１突部側残渣２７Ａが幅広部１３ｄのｘ軸方向負側に形成されるようにし、幅広部１３ｄのｘ軸方向正側に突部１３ｅを設けないようにしてもよい。ただし、線対称の形状の２本の腕の双方、又は、側方両側に広がる幅広部の両側に突部が形成されれば、簡便に対称性を確保することができるし、どのような形状又は大きさの残渣が生じるかをさほど意識せずに一律に対処することができる。

突部は、本体部に対して平行でなくてもよいし、直方体状でなくてもよい。突部の側面と、幅広部の基部側の面とが成す凹状の角部に残渣を生じさせることができればよい。突部の長さ等の各種の寸法も、残渣が生じる限り、適宜に設定されてよい。ただし、本体部の根元に生じる残渣と同等の残渣を生じさせる観点からは、突部は、本体部の根元に生じる残渣よりも突出する長さを有していることが好ましい。突部の幅は、比較的大きくされてもよく、例えば、本体部の幅よりも大きくてもよいし、本体部との間に残渣が架け渡されるほどに大きくてもよい。

幅広部の側方端に位置する突部は、厳密に側方端に位置している必要はない。すなわち、突部の、本体部とは反対側の側面は、幅広部の側面と連続している必要はない。突部の側面と幅広部の側面との間に微小な段差（例えば２μｍ未満）があったとしても、その段差によって残渣が生じない、又は、その段差によって生じた残渣が突部の本体部側に生じた残渣に比較して極めて小さければ（例えば１／１０未満）、本願発明の思想を利用しているといえる。

なお、本願明細書からは、突部を要件としない以下の別発明を抽出可能である。
（別発明）
基部と、平面視において前記基部から延びる１以上の駆動腕及び１以上の検出腕を含む複数の腕と、を有する圧電体と、
前記駆動腕の表面に設けられた励振電極と、
前記検出腕の表面に設けられた検出電極と、
を有し、
前記複数の腕の少なくとも１つは、平面視において、
前記基部から延びる本体部と、
前記本体部の先端に位置し、前記本体部よりも幅広に形成された幅広部と、を有し、
前記幅広部は、平面視において前記本体部に対して側方両側のうち一方側にのみ広がっている
センサ素子。

この別発明においては、例えば、腕の質量を確保しつつ、幅広部とは反対側に他の腕、又は、他の部材を近づけることができる。その結果、例えば、腕同士の相互影響を強くしたり、圧電体若しくは角速度センサを小型化したりできる。

１…センサ素子、３…圧電体、９…基部、１１Ａ…第１駆動腕、１１Ｂ…第２駆動腕、１１Ｃ…第３駆動腕、１１Ｄ…第４駆動腕、１１ｃ…本体部、１１ｄ…幅広部、１１ｅ…突部、１３Ａ…第１検出腕、１３Ｂ…第２検出腕、１３ｃ…本体部、１３ｄ…幅広部、１３ｅ…突部、１０１…角速度センサ、１０３…励振回路、１０５…検出回路。

Claims (8)

1. 基部と、平面視において前記基部から延びる１以上の駆動腕及び１以上の検出腕を含む複数の腕とを有する圧電体と、
   前記駆動腕の表面に設けられた励振電極と、
   前記検出腕の表面に設けられた検出電極と、
   を有し、
   前記複数の腕は、平面視において、
   残渣を除いて、所定の対称軸に対して線対称の配置で互いに並列に延びているとともに前記対称軸に対して互いに線対称の形状を有している１対の腕、及び
   残渣を除いて、所定の中心線に沿って延びているとともに前記中心線に対して線対称の形状を有している１本の腕、
   の少なくとも一方に該当する第１の腕を含み、
   前記第１の腕は、平面視において、
   前記基部から延びる本体部と、
   前記本体部の先端に位置し、前記本体部よりも幅広に形成された幅広部と、
   前記幅広部の側方端から前記基部側へ突出する突部と、を有しており、
   前記突部の幅が前記本体部と前記突部との距離よりも小さい
   センサ素子。
2. 基部と、平面視において前記基部から延びる１以上の駆動腕及び１以上の検出腕を含む複数の腕とを有する圧電体と、
   前記駆動腕の表面に設けられた励振電極と、
   前記検出腕の表面に設けられた検出電極と、
   を有し、
   前記複数の腕は、平面視において、
   残渣を除いて、所定の対称軸に対して線対称の配置で互いに並列に延びているとともに前記対称軸に対して互いに線対称の形状を有している１対の腕、及び
   残渣を除いて、所定の中心線に沿って延びているとともに前記中心線に対して線対称の形状を有している１本の腕、
   の少なくとも一方に該当する第１の腕を含み、
   前記第１の腕は、平面視において、
   前記基部から延びる本体部と、
   前記本体部の先端に位置し、前記本体部よりも幅広に形成された幅広部と、
   前記幅広部の側方端から前記基部側へ突出する突部及びこの突部と前記本体部との間にて前記幅広部から前記基部側へ突出する突部を含む複数の突部と、を有している
   センサ素子。
3. 前記複数の腕は、
   前記１対の腕に該当する１対の前記第１の腕としての１対の第２の腕と、
   前記１対の腕に該当する他の１対の前記第１の腕としての１対の第３の腕と、を含んでおり、
   平面視において、前記対称軸の側方両側それぞれでは、１本の前記第２の腕と１本の前記第３の腕とが、互いに隣り合って並列に延びる２本の腕を構成しており、前記対称軸の側方両側の合計では２組の前記２本の腕が構成されており、
   各組の前記２本の腕それぞれにおいて、前記幅広部は、当該２本の腕の内側及び外側のうち外側にのみ、前記本体部に対して広がっている
   請求項１又は２に記載のセンサ素子。
4. 各組の前記２本の腕は、２本の前記駆動腕であり、
   前記励振電極として、
   各組の前記２本の駆動腕間で互いに同一の位置に設けられるとともに互いに接続された複数の第１励振電極と、
   各組の前記２本の駆動腕間で互いに同一の位置に設けられるとともに互いに接続され、前記複数の第１励振電極との間に電圧が印加されることにより、各組の前記２本の駆動腕を励振可能な複数の第２励振電極と、が設けられている
   請求項３に記載のセンサ素子。
5. 前記対称軸の側方一方側の組の前記２本の駆動腕の前記複数の第１励振電極と、前記対称軸の側方他方側の組の前記２本の駆動腕の前記複数の第２励振電極とが接続され、
   前記一方側の組の前記２本の駆動腕の前記複数の第２励振電極と、前記他方側の組の前記２本の駆動腕の前記複数の第１励振電極とが接続されている
   請求項４に記載のセンサ素子。
6. 前記複数の腕は、前記１対の腕に該当する１対の前記第１の腕としての１対の前記駆動腕を含み、
   前記幅広部は、平面視において前記本体部に対して側方両側のうち一方側にのみ広がっており、
   前記突部は、前記幅広部が広がる側にのみ設けられており、
   前記励振電極として、
   前記１対の駆動腕間で互いに同一の位置に設けられた複数の第１励振電極と、
   前記１対の駆動腕間で互いに同一の位置に設けられ、前記複数の第１励振電極との間に電圧が印加されることにより、前記１対の駆動腕を励振可能な複数の第２励振電極と、が設けられ、
   前記１対の駆動腕の一方の腕の前記第１励振電極と、前記１対の駆動腕の他方の腕の第２励振電極とが接続され、
   前記一方の腕の前記第２励振電極と、前記他方の腕の前記第１励振電極とが接続されている
   請求項１又は２に記載のセンサ素子。
7. 前記幅広部は、平面視において前記本体部に対して側方両側に広がっており、
   前記突部は、前記幅広部の側方両側それぞれに設けられている
   請求項１又は２に記載のセンサ素子。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載のセンサ素子と、
   前記励振電極に電圧を印加する励振回路と、
   前記検出電極からの電気信号を検出する検出回路と、
   を有した角速度センサ。

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