JP2014179797A - 圧電振動片、圧電振動片の実装方法、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計 - Google Patents

圧電振動片、圧電振動片の実装方法、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計 Download PDF

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Abstract

【課題】所望の姿勢でパッケージに実装することが容易な圧電振動片および圧電振動片の実装方法を提供することを目的とする。また、本発明はその圧電振動片を備える圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供することを目的とする。
【解決手段】一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部が接続された基部と、一面の所定位置に設けられたマウント部と、を備え、前記マウント部には、前記一面側に開口する貫通部が形成されている圧電振動片。
【選択図】図1

Description

本発明は、圧電振動片、圧電振動片の実装方法、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計に関する。
近年、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等として水晶等を利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが知られており、たとえば、その1つとして、一対の振動腕部の端部を連結する基部から、振動腕部の外側に振動腕部と同じ方向に延びる一対の支持腕部を備えた圧電振動片を有するものがある(たとえば、特許文献1参照)。
特開2008−72705号公報
しかし、上記従来の圧電振動子には次の課題がある。
上記のような圧電振動片は支持腕部の端部近傍を、導電性接着剤によってベース基板上に接着することによって実装される。接着手順としては、ベース基板上に未硬化の導電性接着剤を塗布し、その後、該導電性接着剤上に圧電振動片の支持腕部の端部を当接させる。そして、未硬化の導電性接着剤を硬化させることによって、圧電振動片とベース基板とを接着する。
このとき、圧電振動片を設置する作業は目視で行われ、圧電振動片とベース基板とは、導電性接着剤を介して接着される。未硬化の導電性接着剤は柔らかいため、圧電振動片を、目視によってベース基板に対して所望の姿勢(たとえば、ベース基板に対して圧電振動片が平行となる姿勢)となるようにしてベース基板に接着することは困難である。したがって、実装された圧電振動片のベース基板に対する姿勢が所望する姿勢と異なるような場合には、実装後に外部衝撃を受けると圧電振動片がパッケージ内面(たとえば、ベース基板)と衝突し、その結果、圧電振動片が破損してしまうおそれがあった。
本発明は上記課題を解決すべくなされた発明であり、所望の姿勢でパッケージに実装することが容易な圧電振動片および圧電振動片の実装方法を提供することを目的とする。また、本発明はその圧電振動片を備える圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供することを目的とする。
本発明の圧電振動片は、一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部が接続された基部と、一面の所定位置に設けられたマウント部と、を備え、前記マウント部には、前記一面側に開口する貫通部が形成されている。
この構成によれば、圧電振動片のマウント部に貫通部が設けられているため、パッケージの実装面に圧電振動片のマウント部を当接させた後に、貫通部に導電性接着剤を注入することによって、貫通部の内面(接着面)と実装面とが接着される。これにより、圧電振動片のマウント部とパッケージの実装面との間に導電性接着剤が介在しないため、容易に圧電振動片の姿勢を所望の姿勢とでき、その姿勢を保持した状態で圧電振動片をパッケージに実装できる。
前記貫通部は、前記一面と略垂直な側面側に開口する切欠形状を有していてもよい。
この構成によれば、導電性接着剤を圧電振動片の側面側から貫通部に注入することができるため、簡便である。
前記マウント部には凸部が設けられ、前記貫通部は前記凸部を貫通していてもよい。
この構成によれば、凸部をパッケージの実装面に当接させた後に、貫通部に導電性接着剤を注入することによって、圧電振動片とパッケージとを接着することができる。これにより、圧電振動片の一面がパッケージの実装面と凸部の高さの分だけ離間した状態で、圧電振動片を実装できる。
本発明の圧電振動片の実装方法は、ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージに、一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部が接続された基部と、一面の所定位置に設けられたマウント部と、を備える圧電振動片を実装する圧電電振動片の実装方法であって、前記マウント部を前記ベース部材の実装面に当接させる工程と、前記実装面と、前記一面とは異なり、前記実装面と交差する前記圧電振動片の接着面と、にまたがるようにして、導電性接着剤を塗布する工程と、を有する。
この方法によれば、圧電振動片のマウント部をパッケージの実装面に当接した後に、パッケージの実装面と、一面とは異なり、実装面と交差する圧電振動片の接着面(たとえば、側面)と、にまたがるようにして導電性接着剤を塗布する。これにより、圧電振動片のマウント部とパッケージの実装面との間に導電性接着剤が介在しないため、容易に圧電振動片の姿勢を所望の姿勢とでき、その姿勢を保持した状態で圧電振動片をパッケージに実装できる。
本発明の圧電振動子は、ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージと、前記ベース部材における実装面にマウントされ、前記キャビティ内に収容された圧電振動片と、を備える圧電振動子であって、前記圧電振動片は、一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部が接続された基部と、一面の所定位置に設けられたマウント部と、を備え、前記実装面と、前記マウント部と、は当接し、前記実装面における前記マウント部との非接触面と、前記圧電振動片における前記一面と異なり、前記非接触面と交差する接着面と、にまたがって導電性接着剤が設けられている。
この構成によれば、前述した圧電振動片のマウント部をパッケージの実装面に当接した後に、パッケージの実装面と、一面とは異なり、実装面と交差する圧電振動片の接着面(たとえば、側面)と、にまたがるようにして導電性接着剤を塗布する圧電振動片の実装方法を採用できる。これにより、圧電振動片が所望の姿勢で精度よく実装された、信頼性に優れた圧電振動子が得られる。
前記実装面と、前記マウント部を除いた前記一面と、の間に隙間を形成する隙間形成部を備えていてもよい。
この構成によれば、圧電振動片は、マウント部のみが実装面に当接されている状態となるため、圧電振動片の振動がパッケージに漏れることを抑制できる。
前記隙間形成部は、前記圧電振動片の前記一面と、前記ベース部材の前記実装面と、のうち少なくとも一方の面上に設けられた凸部であってもよい。
この構成によれば、圧電振動片の一面上と、ベース部材の実装面上との、少なくともどちらか一方に凸部が設けられていることにより、圧電振動片の一面と、ベース部材の実装面との間に、凸部の高さと同一の高さを有する隙間を形成できる。
前記マウント部に、前記一面側に開口する貫通部が形成されていてもよい。
この構成によれば、マウント部に貫通部が形成されていることにより、貫通部の内面が接着面となり、導電性接着剤によって接着される部分が増加する。そのため、圧電振動片とパッケージとの接着が強固な、圧電振動子が得られる。
また、導電性接着剤を貫通部に注入することによって、圧電振動片をパッケージに接着する圧電振動片の実装方法を採用できる。
前記貫通部は、前記一面と略垂直な側面側に開口する切欠形状を有していてもよい。
この構成によれば、導電性接着材を圧電振動片の側面側から貫通部に注入することによって、圧電振動片をパッケージに接着する圧電振動片の実装方法を採用できる。
本発明の発振器は、本発明の圧電振動子を備え、該圧電振動子は発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする。
この構成によれば、本発明の圧電振動子を備えているため、同様に信頼性に優れた発振器が得られる。
本発明の電子機器は、本発明の圧電振動子を備え、該圧電振動子は計時部に電気的に接続されていることを特徴とする。
この構成によれば、本発明の圧電振動子を備えているため、同様に信頼性に優れた電子機器が得られる。
本発明の電波時計は、本発明の圧電振動子を備え、該圧電振動子はフィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする。
この構成によれば、本発明の圧電振動子を備えているため、同様に信頼性に優れた電波時計が得られる。
本発明によれば、容易に圧電振動片を所望の姿勢に保持した状態で圧電振動子のパッケージに実装できる。そのため、圧電振動片を実装した圧電振動子が外部衝撃等を受けた場合においても、実装された圧電振動片がパッケージ内部に接触し、破損することを抑制できる。
第1実施形態の圧電振動片を示す外観斜視図である。 第1実施形態の圧電振動片を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)におけるA−A断面図である。 圧電振動子の一実施形態を示す外観斜視図である。 圧電振動子の一実施形態の内部構造を示す平面図である。 圧電振動子の一実施形態を示す図であって、図4におけるB−B断面図である。 本実施形態の圧電振動子を示す図であって、各部を分解した分解斜視図である。 第1実施形態の圧電振動片の実装方法を示す図である。 第2実施形態の圧電振動片を示す外観斜視図である。 第2実施形態の圧電振動片を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)におけるC−C断面図である。 第3実施形態の圧電振動片を示す外観斜視図である。 第3実施形態の圧電振動片を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)におけるD−D断面図である。 第4実施形態の圧電振動片を示す外観斜視図である。 第4実施形態の圧電振動片を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)におけるE−E断面図である。 第5実施形態の圧電振動片を示す外観斜視図である。 第5実施形態の圧電振動片を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)におけるF−F断面図である。 発振器の一実施形態を示す構成図である。 電子機器の一実施形態を示す構成図である。 電波時計の一実施形態を示す構成図である。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る圧電振動片および圧電振動子について説明する。
なお、本発明の範囲は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせる場合がある。
なお、図1から図15までの説明においてはXYZ座標系を設定し、このXYZ座標系を参照しつつ各部材の位置関係を説明する。この際、圧電振動片の面と垂直な方向をZ軸方向、振動腕部の長手方向をY軸方向、Y軸方向とZ軸方向の両方と直交する方向をX軸方向とする。また、基部から振動腕部の先端に向かう方向を+Y方向とする。
[第1実施形態]
(圧電振動片)
まず、本実施形態の圧電振動片1について説明する。
図1,2は、本実施形態の圧電振動片を示す図である。図1は、外観斜視図、図2(a)は平面図、図2(b)は、図2(a)におけるA−A断面図である。
なお、図1,2においては、後述する圧電振動子に実装する際にパッケージの実装面と対向する対向面(一面)18aが上側(+Z方向側)となるようにして表している。
本実施形態の圧電振動片1は、図1,2に示すように、平板状である。圧電振動片1は、基部10と、振動腕部11,12と、ハンマー部13,14と、支持腕部15,16と、を備えている。
圧電振動片1は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成されたサイドアーム型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。
圧電振動片1の面に垂直な方向の厚さ(Z軸方向長さ)としては、たとえば、30μmとすることができる。
一対の振動腕部11,12は、基部10からそれぞれ同一の方向(+Y方向)に向かって延出している。振動腕部11,12は、長手方向(Y軸方向)と垂直で圧電振動片1の面と平行な方向(一の方向)、すなわちX軸方向に並んで設けられている。一対の振動腕部11,12の外表面上には、これら一対の振動腕部11,12を振動させる不図示の励振電極が形成されている。
ハンマー部13,14は、それぞれ振動腕部11,12の先端から、振動腕部11,12の長手方向(Y軸方向)に沿うように延出形成されている。ハンマー部13,14の幅(X軸方向長さ)は、振動腕部11,12の幅(X軸方向長さ)よりも大きく形成されている。ハンマー部13,14は、基部10を固定端として、幅方向(X軸方向)に振動する自由端に設定されている。
一対の支持腕部15,16は、基部10から、振動腕部11,12の幅方向(X軸方向)両側に延出した後、振動腕部11,12の長手方向(Y軸方向)に沿って、振動腕部11,12の先端側(+Y方向側)に向かって屈曲延出して形成されている。
支持腕部15,16は、それぞれマウント部15a,16aを備えている。マウント部15a,16aは、圧電振動片1の対向面18a上における、支持腕部15,16の延出方向側(+Y方向側)の先端部近傍に設けられている。マウント部15a,16aが設けられている位置は、支持腕部15,16が振動する際に、振動の節となる位置である。
マウント部15a,16aには、対向面18aに垂直な方向に貫通する貫通穴(貫通部)17がそれぞれ形成されている。貫通穴17の平面視形状は、特に限定されず、矩形状であっても、他の形状(たとえば、円形状)であってもよい(図では矩形状)。貫通穴17の内面(接着面)には、不図示のマウント電極が形成されている。貫通穴17の大きさは、特に限定されず、たとえば、支持腕部15,16の幅方向(X軸方向)長さを、50μm、支持腕部15,16の長手方向(Y軸方向)長さを、100μmとできる。
貫通穴17の内面に形成されているマウント電極は、不図示の引き出し電極により、振動腕部11,12の外表面上に形成された励振電極と接続されている。そして、これらの各電極に所定の電圧が印加されると、一対の振動腕部11,12の双方の励振電極どうしの相互作用により、一対の振動腕部11,12が互いに接近または離間する方向(X軸方向)に所定の共振周波数で振動する。
(圧電振動子)
次に、圧電振動片1を用いた圧電振動子の一実施形態として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明する。
図3から6は、本実施形態の圧電振動子500を示す図であり、図3は外観斜視図、図4は圧電振動子の内部構成を示す、封口板を取り外した状態の平面図、図5は図4におけるB−B断面図、図6は圧電振動子500の分解斜視図である。
本実施形態の圧電振動子500は、図3から図6に示すように、内部に気密封止されたキャビティCを有するパッケージ510と、キャビティC内に収容された前述した圧電振動片1と、を備える。
この圧電振動子500は、略直方体状に形成されており、本実施形態では平面視において圧電振動子500の長手方向を長さ方向(Y軸方向)といい、短手方向を幅方向(X軸方向)といい、これら長さ方向および幅方向に対して直交する方向を厚さ方向(Z軸方向)という。
パッケージ510は、パッケージ本体(ベース部材)530と、このパッケージ本体530に対して接合されるとともに、パッケージ本体530との間にキャビティCを形成する封口板(リッド部材)540と、を備えている。
パッケージ本体530は、互いに重ね合わされた状態で接合された第1ベース基板550および第2ベース基板560と、第2ベース基板560上に接合されたシールリング570と、を備えている。
第1ベース基板550は、平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされている。第2ベース基板560は、第1ベース基板550と同じ外形形状である平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされており、第1ベース基板550上に重ねられた状態で焼結等によって一体的に接合されている。
第1ベース基板550および第2ベース基板560の四隅には、平面視1/4円弧状の切欠部580が、両基板550,560の厚さ方向の全体に亘って形成されている。これら第1ベース基板550および第2ベース基板560は、たとえば、ウエハ状のセラミック基板を2枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが4分割されることで、前述した切欠部580となる。
また、第2ベース基板560の上面は、圧電振動片1がマウントされる実装面560aとされている。
なお、第1ベース基板550および第2ベース基板560はセラミックス製としたが、その具体的なセラミックス材料としては、たとえばアルミナ製のHTCC(High Temperature Co−Fired Ceramic)や、ガラスセラミックス製のLTCC(Low Temperature Co−Fired Ceramic)等が挙げられる。
シールリング570は、第1ベース基板550および第2ベース基板560の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材であり、第2ベース基板560の実装面560aに接合されている。
具体的には、シールリング570は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって実装面560a上に接合、あるいは、実装面560a上に形成(たとえば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタ等により)された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。
なお、シールリング570の材料としては、たとえばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバール、エリンバー、インバー、42−アロイ等から選択すればよい。特に、シールリング570の材料としては、セラミック製とされている第1ベース基板550および第2ベース基板560に対して熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。たとえば、第1ベース基板550および第2ベース基板560として、熱膨張係数6.8×10-6/℃のアルミナを用いる場合には、シールリング570としては、熱膨張係数5.2×10-6/℃のコバールや、熱膨張係数4.5×10-6/℃以上、6.5×10-6/℃以下の42−アロイを用いることが好ましい。
封口板540は、シールリング570上に重ねられた導電性基板であり、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付け等によって、シールリング570と気密に接合されている。シールリング570に対する接合は、そして、この封口板540とシールリング570と第2ベース基板560の実装面560aとで画成された空間が、気密に封止された前述したキャビティCとして機能する。
なお、封口板540の溶接方法としては、たとえばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板540とシールリング570との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板540の下面と、シールリング570の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。
第2ベース基板560の実装面560a上には、凸部(隙間形成部)81が設けられている。凸部81は、圧電振動片1が実装されている側に突出して形成されており、平面視形状は特に限定されず、矩形状であっても、他の形状であってもよい(図では矩形状)。凸部81の上面は、実装面560aと平行である。凸部81は、実装面560aにおける、後述する凹部660の−Y方向側に、実装面560aの幅方向(X軸方向)の中心を挟んで2つ、対称の位置に設けられている。凸部81の上面には、圧電振動片1との接続電極である一対の電極パッド610A,610Bがそれぞれ形成されている。
第1ベース基板550の下面には、一対の外部電極620A,620Bが長さ方向(Y軸方向)に間隔をあけて形成されている。
これら電極パッド610A,610Bおよび外部電極620A,620Bは、たとえば、蒸着やスパッタ等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜であり、互いにそれぞれ導通している。
この点詳細に説明する。
図5に示すように、第1ベース基板550には一方の外部電極620Aに導通し、第1ベース基板550を厚さ方向に貫通する一方の第1貫通電極630Aが形成されているとともに、第2ベース基板560には一方の電極パッド610Aに導通し、第2ベース基板560を厚さ方向に貫通する一方の第2貫通電極640Aが形成されている。そして、第1ベース基板550と第2ベース基板560との間には、一方の第1貫通電極630Aと一方の第2貫通電極640Aとを接続する一方の接続電極650Aが形成されている。これにより、一方の電極パッド610Aと一方の外部電極620Aとは、互いに導通している。
また、第1ベース基板550には他方の外部電極620Bに導通し、第1ベース基板550を厚さ方向に貫通する他方の第1貫通電極630Bが形成されているとともに、第2ベース基板560には他方の電極パッド610Bに導通し、第2ベース基板560を厚さ方向に貫通する他方の第2貫通電極640Bが形成されている。そして、第1ベース基板550と第2ベース基板560との間には、他方の第1貫通電極630Bと他方の第2貫通電極640Bとを接続する他方の接続電極650Bが形成されている。これにより、他方の電極パッド610Bと他方の外部電極620Bとは、互いに導通している。
なお、他方の接続電極650Bは、後述する凹部660を回避するように、たとえばシールリング570の下方をシールリング570に沿って延在するようにパターニングされている。
第2ベース基板560の実装面560aには、図4および図5に示すように、振動腕部11,12の先端部に対向する部分に、落下等による衝撃の影響によって振動腕部11,12が厚さ方向(Z軸方向)に変位(撓み変形)した際に、振動腕部11,12との接触を回避する凹部660が形成されている。この凹部660は、第2ベース基板560を貫通する貫通孔とされているとともに、シールリング570の内側において四隅が丸みを帯びた平面視正方形状に形成されている。
そして、圧電振動片1は、図5に示すように、マウント部15a,16aと、電極パッド610A,610Bの表面(実装面)610Aa,610Baと、が当接するようにしてマウントされている。表面610Aa,610Baは、貫通穴17の対向面18a側の開口部をそれぞれ塞いでいる。貫通穴17には、導電性接着剤80が注入されており、表面610Aa,610Baのうち、マウント部15a,16aと当接していない非接触面83と、貫通穴17の内面と、が接着されている。貫通穴17の内面に形成されている図示しないマウント電極は、導電性接着剤80を介して、電極パッド610A,610Bと電気的に接触している。
これにより、圧電振動片1は、第2ベース基板560の実装面560aに対して、対向面18aが平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド610A,610Bにそれぞれ電気的に接続された状態とされている。
このように構成された圧電振動子500を作動させる場合には、外部電極620A,620Bに対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片1の励振電極に電流を流すことができ、一方の振動腕部11と他方の振動腕部12とを圧電振動片1の面に沿って所定の周波数で振動させることができる。そして、この振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として圧電振動子500を利用することができる。
次に、本実施形態の圧電振動片の実装方法について、図7を参照して説明する。
図7は、本実施形態の圧電振動片1を圧電振動子500に実装する手順を示す断面図であり、図4におけるB−B断面と同様の断面を示している。なお、図7においては、圧電振動子500の構成要素を適宜省略して図示している。
本実施形態の圧電振動片の実装方法は、図7に示すように、圧電振動片当接工程S11と、接着剤注入工程S12と、加熱工程S13と、を有する。
圧電振動片当接工程S11は、図7(a)に示すように、圧電振動片1を第2ベース基板560に当接させる工程である。
圧電振動片1における支持腕部15,16のマウント部15a,16aを、第2ベース基板560の凸部81上に設けられた電極パッド610A,610Bの表面610Aa,610Baに、貫通穴17の対向面18a側の開口部が閉塞されるようにして当接させる。
この工程により、圧電振動片1が、圧電振動片1の対向面18aと、実装面560aと、が平行な姿勢で、第2ベース基板560上に設置される。
次に、接着剤注入工程S12は、図7(b)に示すように、貫通穴17に未硬化の導電性接着剤64を注入する工程である。
未硬化の導電性接着剤64を吐出するディスペンサー63は、貫通穴17に、未硬化の導電性接着剤64を注入できる範囲内において、特に限定されない。
未硬化の導電性接着剤64は、圧電振動片1を第2ベース基板560上に接着できる範囲内において、特に限定されない。本実施形態においては、熱硬化性を有する接着剤である。
ディスペンサー63によって、未硬化の導電性接着剤64を、貫通穴17に注入し、表面610Aa,610Baのうちマウント部15a,16aと当接していない非接触面83と、貫通穴17の内面と、を接着させる。このとき、貫通穴17の内面に形成されているマウント電極と、未硬化の導電性接着剤64と、が接触するようにする。
この工程により、貫通穴17の内面と、非接触面83と、がそれぞれ接着され、マウント電極と、電極パッド610A,610Bと、が電気的に接触する。
次に、加熱工程S13は、図7(c)に示すように、未硬化の導電性接着剤64を加熱する工程である。
未硬化の導電性接着剤64を、加熱することにより、硬化させる。
この工程により、硬化した導電性接着材80によって、貫通穴17の内面と、非接触面83と、がそれぞれ固着される。
以上の工程により、圧電振動片1は、図7(d)に示すように、第2ベース基板560の実装面560aに対して、対向面18aが平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド610A,610Bにそれぞれ電気的に接続された状態で実装される(S14)。
本実施形態によれば、圧電振動片1は支持腕部15,16におけるマウント部15a,16aに貫通穴17を有しているため、マウント部15a,16aを、電極パッド610A,610Bの表面610Aa,610Baに当接させた後に、貫通穴17に未硬化の導電性接着剤64を注入できる。そのため、マウント部15a,16aと、表面610Aa,610Baとの間に、未硬化の導電性接着剤64を介在させずに、圧電振動片1と第2ベース基板560とを接着できる。したがって、圧電振動片1の姿勢を所望の姿勢(本実施形態においては、対向面18aと実装面560aとが平行な姿勢)に保持した状態で、圧電振動片1を圧電振動子のパッケージに実装することが容易である。
したがって、圧電振動片1を所望の姿勢で精度よく実装できるため、外部から衝撃が加えられたような場合であっても、実装された圧電振動片1がパッケージ510内部と接触して破損することを抑制でき、信頼性に優れた圧電振動子が得られる。
また、圧電振動片1のマウント部15a,16aは、支持腕部15,16における振動の節となる位置に設けられており、圧電振動子500のパッケージ510とは、凸部81上に設けられた電極パッド610A,610Bとのみで接している。そのため、圧電振動片1の振動が、パッケージ510に漏れることを抑制できる。
また、貫通穴17が形成されていることにより、マウント部15a,16aを電極パッド610A,610Bの表面610Aa,610Baに当接した際に、貫通穴17の内面が表面610Aa,610Baと交差する接着面となる。そのため、接着面が増加し、圧電振動片1と第2ベース基板560とを強固に接着できる。
なお、本実施形態においては、下記の構成を採用することもできる。
マウント電極は、マウント部15a,16aの位置における、圧電振動片1の側周面(Z軸に平行な面)、対向面18a、または対向面18aと逆側の面、のいずれかに形成されていてもよい。この場合には、接着剤注入工程S12において、マウント電極が形成されている箇所と電極パッド610A,610Bとにまたがるようにして、未硬化の導電性接着剤64を塗布する。
未硬化の導電性接着剤64は、たとえば、光硬化性を有するようなものであってもよい。この場合においては、加熱工程S13の代わりに、紫外線を当てる等することにより未硬化の導電性接着剤64を硬化させる工程を行う。
本実施形態の圧電振動子500において、実装される圧電振動片は、貫通穴17が形成されていないものであってもよい。この場合においては、未硬化の導電性接着剤64を、圧電振動片の側周面と、電極パッド610A,610Bと、にまたがるようにして塗布することで、圧電振動片を第2ベース基板560上に接着できる。
本実施形態においては、圧電振動片1を用いた圧電振動子として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明したが、圧電振動片1を、ガラス材によって形成されるベース基板およびリッド基板が陽極接合によって接合されるガラスパッケージタイプの圧電振動子に適用することも可能である。
本実施形態においては、圧電振動子500に実装する圧電振動片として、第1実施形態の圧電振動片1を用いたが、後述する第2実施形態、第3実施形態、第4実施形態または第5実施形態の圧電振動片を用いてもよい。
接着剤注入工程S12においては、貫通穴17に未硬化の導電性接着剤64を注入するとともに、圧電振動片1の側周面に未硬化の導電性接着剤64を塗布してもよい。
[第2実施形態]
次に、マウント部に切欠部が形成された、圧電振動片の第2実施形態について説明する。
なお、上記実施形態と同様の構成要素については、適宜、上記実施形態と同様の符号を付してその説明を簡略化、あるいは省略する。
図8,9は、本実施形態の圧電振動片2を示す図であって、図8は、外観斜視図、図9(a)は平面図、図9(b)は図9(a)におけるC−C断面図である。
圧電振動片2は、図8,9に示すように、対向面18b上における支持腕部21,22の先端部近傍にマウント部21a,22aが設けられている。マウント部21a,22aには、切欠部(貫通部)19が形成されている。
切欠部19は、圧電振動片2の厚さ方向(Z軸方向)に貫通し、圧電振動片2の側周面(側面)23のうち支持腕部21,22の幅方向と垂直な面(YZ面)に開口している。切欠部19は、マウント部21a,22aにおける支持腕部21,22の幅方向(X軸方向)両端に、長手方向(Y軸方向)に沿って2つずつ、それぞれ設けられている。
切欠部19平面視形状は、特に限定されず、矩形状であっても、他の形状(たとえば、円形状)であってもよい(図では矩形状)。切欠部19の内面には、不図示のマウント電極が形成されている。切欠部19の大きさは、特に限定されず、たとえば、支持腕部21,22の幅方向(X軸方向)長さを、20μm、支持腕部21,22の長手方向(Y軸方向)長さを、50μmとできる。
圧電振動片2は、前述した圧電振動片1の実装方法と同様に、マウント部21a,22aを、電極パッド610A,610Bに当接させた後、切欠部19に未硬化の導電性接着剤64を注入し、硬化させることで実装する。
これにより、圧電振動片2は、第2ベース基板560の実装面560aに対して、対向面18bが平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド610A,610Bにそれぞれ電気的に接続された状態で、実装される。
本実施形態の圧電振動片2によれば、未硬化の導電性接着剤64を、側周面23側から注入できるため、前述した接着剤注入工程S12が簡便である。
なお、本実施形態においては、下記の構成を採用することもできる。
本実施形態においては、切欠部19はマウント部21a,22aにそれぞれ4つずつ形成されているが、これに限られない。3つ以下でも、4つ以上でもよい。
また、切欠部19が複数設けられている場合には、それぞれ大きさが異なっていてもよい。
切欠部19は、マウント部21a,22aの厚さ方向(Z軸方向)に貫通していなくてもよい。この場合においては、対向面18bと、側周面23と、にのみ開口している形状とできる。
切欠部19に未硬化の導電性接着剤64を注入するとともに、切欠部19が形成されていない、マウント部21a,22aの位置における側周面23に、未硬化の導電性接着剤64を塗布してもよい。これにより、側周面23と、電極パッド610A,610Bとが接着され、より強固に圧電振動片2を第2ベース基板560上に接着できる。
マウント電極は、マウント部21a,22aが設けられている位置における、側周面23、対向面18b、または対向面18bと逆側の面、のいずれかに形成されていてもよい。この場合には、接着剤注入工程S12において、マウント電極が設けられた箇所と電極パッド610A,610Bとにまたがるようにして、未硬化の導電性接着剤64を塗布する。
[第3実施形態]
次に、支持腕部の先端に凸部が設けられた、第3実施形態について説明する。
なお、上記実施形態と同様の構成要素については、適宜、上記実施形態と同様の符号を付してその説明を簡略化、あるいは省略する。
図10,11は、本実施形態の圧電振動片3を示す図であって、図10は、外観斜視図、図11(a)は平面図、図11(b)は図11(a)におけるD−D断面図である。
圧電振動片3は、図10,11に示すように、対向面18c上における支持腕部31,32の延出方向(+Y方向)先端部近傍に凸部(隙間形成部)20がそれぞれ設けられている。凸部20が設けられている位置は、支持腕部31,32における振動の節となる位置である。
凸部20の平面視形状は、特に限定されない。たとえば、矩形状であってもよく、他の形状(たとえば、円形状)であってもよい(図では矩形状)。凸部20の当接面20a(マウント部31a,32a)には、貫通穴(貫通部)20bが形成されている。
図11(b)に示す、凸部20の対向面18cに垂直な方向(Z軸方向)の厚さh1は、圧電振動片3の振動時において、実装されるパッケージ(主に第2ベース基板560)と接触しない範囲内で、特に限定されない。たとえば、30μm以上とできる。
貫通穴20bは、厚さ方向(Z軸方向)に貫通している。貫通穴20bの平面視形状は、特に限定されず、矩形状であっても、他の形状(たとえば、円形状)であってもよい(図では矩形状)。貫通穴20bの内面(接着面)には、不図示のマウント電極が形成されている。
圧電振動片3は、前述した圧電振動片1の実装方法と同様に、凸部20の当接面20a(マウント部31a,32a)を、電極パッド610A,610Bに当接させた後、貫通穴20bに未硬化の導電性接着剤64を注入し、硬化させることで実装する。
このとき、凸部20の高さh1の分だけ、マウント部31a,32aを除く対向面18cと、実装面560aと、の間に隙間が形成される。
これにより、圧電振動片3は、第2ベース基板560の実装面560aに対して、対向面18cが平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド610A,610Bにそれぞれ電気的に接続された状態で、実装される。
本実施形態の圧電振動片3によれば、支持腕部31,32の先端部近傍に凸部20が設けられているため、対向面18cと、実装面560aとの間に隙間が形成され、凸部20の当接面20aと、電極パッド610A,610Bと、のみが当接した状態で、圧電振動片3がパッケージ510に実装される。そのため、圧電振動片3の振動がパッケージ510に漏れることを抑制できる。
また、凸部20を備えていることにより、第2ベース基板上560上に凸部81が設けられていなくても、上記のとおり、圧電振動片3の振動漏れを抑制できる。したがって、実装できるパッケージの選択の幅が広がる。
なお、マウント電極は、マウント部31a,32aが設けられている位置における、側周面、対向面18c、または対向面18cと逆側の面、のいずれかに形成されていてもよい。この場合には、接着剤注入工程S12において、マウント電極が設けられた箇所と電極パッド610A,610Bとにまたがるようにして、未硬化の導電性接着剤64を塗布する。
[第4実施形態]
次に、音叉型の圧電振動片に貫通穴が形成されている、第4実施形態について説明する。
なお、上記実施形態と同様の構成要素については、適宜、上記実施形態と同様の符号を付してその説明を簡略化、あるいは省略する。
図12,13は、本実施形態の圧電振動片4を示す図である。図12は、外観斜視図であり、図13(a)は平面図、図13(b)は図13(a)におけるE−E断面図である。
本実施形態の圧電振動片4は、図12,13に示すように、平板状である。圧電振動片4は、基部70と、振動腕部72,73と、を備えている。
基部70の対向面74上における、基部70の中央部には、マウント部70aが2つ、基部70の幅方向(X軸方向)に並んで設けられている。
各マウント部70aには、対向面74に垂直な方向(Z軸方向)に貫通する貫通穴71がそれぞれ設けられている。貫通穴71の平面視形状は、特に限定されず、矩形状であっても、他の形状(たとえば、円形状)であってもよい(図では矩形状)。貫通穴71の内面(接着面)には、不図示のマウント電極が形成されている。
一対の振動腕部72,73は、基部70からそれぞれ同一の方向(+Y方向)に向かって延出している。一対の振動腕部72,73は、長手方向と垂直で圧電振動片2の面と平行な方向(X軸方向)に、並んで設けられている。一対の振動腕部72,73の外表面上には、これら一対の振動腕部72,73を振動させる不図示の励振電極が形成されている。
マウント部70aにおける貫通穴71の内面に設けられているマウント電極は、不図示の引き出し電極により、振動腕部72,73の外表面上に形成された励振電極と接続されている。そして、これらの各電極に所定の電圧が印加されると、一対の振動腕部72,73の双方の励振電極どうしの相互作用により、一対の振動腕部72,73が互いに接近または離間する方向(X軸方向)に所定の共振周波数で振動する。
圧電振動片4は、前述した圧電振動片1の実装方法と同様に、マウント部70aを、電極パッド610A,610Bに当接させた後、貫通穴71に未硬化の導電性接着剤64を注入し、硬化させることで実装する。
これにより、圧電振動片4は、第2ベース基板560の実装面560aに対して、対向面74が平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド610A,610Bにそれぞれ電気的に接続された状態で、実装される。
本実施形態の圧電振動片4を用いることにより、音叉型の圧電振動片を実装した、信頼性に優れた圧電振動子が得られる。
なお、本実施形態においては、下記の構成を採用することもできる。
マウント部70aには、第3実施形態と同様に凸部が設けられていてもよい。
マウント電極は、マウント部70aが設けられている位置における、対向面74、または対向面74と逆側の面、のいずれかに形成されていてもよい。この場合には、接着剤注入工程S12において、マウント電極が設けられた箇所と電極パッド610A,610Bとにまたがるようにして、未硬化の導電性接着剤64を塗布する。
貫通穴71は、側周面に開口していてもよい。
[第5実施形態]
次に、センターアーム型の圧電振動片に、貫通穴が形成された第5実施形態について説明する。
なお、上記実施形態と同様の構成要素については、適宜、上記実施形態と同様の符号を付してその説明を簡略化、あるいは省略する。
図14,15は、本実施形態の圧電振動片5を示す図である。図14は、外観斜視図、図15(a)は、平面図、図15(b)は、図15(a)におけるF−F断面図である。
本実施形態の圧電振動片5は、図14,15に示すように、平板状である。圧電振動片5は、基部90と、振動腕部93,94と、ハンマー部95,96と、支持腕部91と、を備えている。
一対の振動腕部93,94は、基部90からそれぞれ同一の方向(+Y方向)に向かって延出している。振動腕部93,94は、長手方向と垂直で圧電振動片3の面と平行な方向(X軸方向)に、並んで設けられている。一対の振動腕部93,94の外表面上には、これら一対の振動腕部93,94を振動させる不図示の励振電極が形成されている。
ハンマー部95,96は、それぞれ振動腕部93,94の先端から、振動腕部93,94の長手方向(Y軸方向)に沿うように延出形成されている。ハンマー部95,96の幅(X軸方向長さ)は、振動腕部93,94の幅(X軸方向長さ)よりも大きく形成されている。ハンマー部95,96は、基部90を固定端として、幅方向(X軸方向)に振動する自由端に設定されている。
支持腕部91は、基部90における、振動腕部93と振動腕部94が延出している箇所の間から、振動腕部93,94の長手方向(Y軸方向)に沿って、振動腕部93,94の先端側(+Y方向側)に向かって延出して形成されている。
支持腕部91は、マウント部91aを備えている。マウント部91aは、圧電振動片5の対向面97上における、支持腕部91の延出方向側(+Y方向側)の先端部近傍に、延出方向(Y軸方向)に並んで2つ設けられている。マウント部91aが設けられている位置は、支持腕部91が振動する際に、振動の節となる位置を挟んだ位置である。
支持腕部91のマウント部91aには、対向面97に垂直な方向(Z軸方向)に貫通する貫通穴(貫通部)92がそれぞれ設けられている。貫通穴92の平面視形状は、特に限定されず、矩形状であっても、他の形状(たとえば、円形状)であってもよい(図では矩形状)。貫通穴92の内面(接着面)には、不図示のマウント電極が形成されている。
マウント電極は、不図示の引き出し電極により、振動腕部93,94の外表面上に形成された励振電極と接続されている。そして、これらの各電極に所定の電圧が印加されると、一対の振動腕部93,94の双方の励振電極どうしの相互作用により、一対の振動腕部93,94が互いに接近または離間する方向(X軸方向)に所定の共振周波数で振動する。
圧電振動片5は、前述した圧電振動片1の実装方法と同様に、マウント部91aを、電極パッド610A,610Bに当接させた後、貫通穴92に未硬化の導電性接着剤64を注入し、硬化させることで実装する。
これにより、圧電振動片5は、第2ベース基板560の実装面560aに対して、対向面97が平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド610A,610Bにそれぞれ電気的に接続された状態で、実装される。
本実施形態の圧電振動片5を用いることにより、センターアーム型の圧電振動片を実装した、信頼性に優れた圧電振動子が得られる。
なお、本実施形態においては、下記の構成を採用することもできる。
マウント部91aには、第3実施形態と同様に凸部が設けられていてもよい。
マウント電極は、マウント部91aが設けられている位置における、側周面、対向面97、または対向面97と逆側の面、のいずれかに形成されていてもよい。この場合には、接着剤注入工程S12において、未硬化の導電性接着剤64が、マウント電極が設けられた箇所と電極パッド610A,610Bとにまたがるようにして、未硬化の導電性接着剤64を塗布する。
貫通穴92は、側周面に開口していてもよい。
[発振器の実施形態]
次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図16を参照しながら説明する。
本実施形態の発振器100は、図16に示すように、圧電振動子500を、集積回路101に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器100は、コンデンサ等の電子部品102が実装された基板103を備えている。基板103には、発振器用の集積回路101が実装されており、この集積回路101の近傍に、圧電振動子500が実装されている。これら電子部品102、集積回路101および圧電振動子500は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。
このように構成された発振器100において、圧電振動子500に電圧を印加すると、この圧電振動子500内の圧電振動片1が振動する。この振動は、圧電振動片1が有する圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路101に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路101によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。これにより、圧電振動子500が発振子として機能する。
また、集積回路101の構成を、たとえば、RTC(リアルタイムクロック)モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。
本実施形態の発振器100によれば、前述した圧電振動子500を備えているので、同様に信頼性に優れた発振器100とすることができる。
[電子機器の実施形態]
次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図17を参照して説明する。なお電子機器として、前述した圧電振動子500を有する携帯情報機器(電子機器)110を例にして説明する。
ここで、本実施形態の携帯情報機器110は、たとえば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカおよびマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化および軽量化されている。
次に、本実施形態の携帯情報機器110の構成について説明する。この携帯情報機器110は、図17に示すように、圧電振動子500と、電力を供給するための電源部111とを備えている。電源部111は、たとえば、リチウム二次電池からなっている。この電源部111には、各種制御を行う制御部112と、時刻等のカウントを行う計時部113と、外部との通信を行う通信部114と、各種情報を表示する表示部115と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部116とが並列に接続されている。そして、電源部111によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。
制御部112は、各機能部を制御して音声データの送信および受信、現在時刻の計測や表示等、システム全体の動作制御を行う。また、制御部112は、予めプログラムが書き込まれたROMと、このROMに書き込まれたプログラムを読み出して実行するCPUと、このCPUのワークエリアとして使用されるRAM等とを備えている。
計時部113は、発振回路、レジスタ回路、カウンタ回路およびインターフェース回路等を内蔵する集積回路と、圧電振動子500とを備えている。圧電振動子500に電圧を印加すると圧電振動片1が振動し、この振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部112と信号の送受信が行われ、表示部115に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報等が表示される。
通信部114は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部117、音声処理部118、切替部119、増幅部120、音声入出力部121、電話番号入力部122、着信音発生部123および呼制御メモリ部124を備えている。
無線部117は、音声データ等の各種データを、アンテナ125を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部118は、無線部117又は増幅部120から入力された音声信号を符号化および複号化する。増幅部120は、音声処理部118又は音声入出力部121から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部121は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。
また、着信音発生部123は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部119は、着信時に限って、音声処理部118に接続されている増幅部120を着信音発生部123に切り替えることによって、着信音発生部123において生成された着信音が増幅部120を介して音声入出力部121に出力される。
なお、呼制御メモリ部124は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部122は、たとえば、0から9の番号キーおよびその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。
電圧検出部116は、電源部111によって制御部112等の各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部112に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部114を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、たとえば、3V程度となる。電圧検出部116から電圧降下の通知を受けた制御部112は、無線部117、音声処理部118、切替部119および着信音発生部123の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部117の動作停止は、必須となる。更に、表示部115に、通信部114が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。
すなわち、電圧検出部116と制御部112とによって、通信部114の動作を禁止し、その旨を表示部115に表示することができる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部115の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×(バツ)印を付けるようにしてもよい。
なお、通信部114の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部126を備えることで、通信部114の機能をより確実に停止することができる。
本実施形態の携帯情報機器110によれば、前述した圧電振動子500を備えているので、同様に信頼性に優れた携帯情報機器110とすることができる。
[電波時計の実施形態]
次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図18を参照して説明する。
本実施形態の電波時計130は、図18に示すように、フィルタ部131に電気的に接続された圧電振動子500を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県(40kHz)と佐賀県(60kHz)とに、標準の電波を送信する送信所(送信局)があり、それぞれ標準電波を送信している。40kHz若しくは60kHzのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、前述した2つの送信所で日本国内を全て網羅している。
以下、電波時計130の機能的構成について詳細に説明する。
アンテナ132は、40kHz若しくは60kHzの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、40kHz若しくは60kHzの搬送波にAM変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ133によって増幅され、複数の圧電振動子500を有するフィルタ部131によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子500は、前述した搬送周波数と同一の40kHzおよび60kHzの共振周波数を有する水晶振動子部138,139をそれぞれ備えている。
さらに、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路134により検波復調される。続いて、波形整形回路135を介してタイムコードが取り出され、CPU136でカウントされる。CPU136では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、RTC137に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、40kHz若しくは60kHzであるから、水晶振動子部138,139は、前述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。
なお、前述の説明は、日本国内の例で示したが、長波の標準電波の周波数は、海外では異なっている。たとえば、ドイツでは77.5KHzの標準電波が用いられている。したがって、海外でも対応可能な電波時計130を携帯機器に組み込む場合には、さらに日本の場合とは異なる周波数の圧電振動子500を必要とする。
本実施形態の電波時計130によれば、前述した圧電振動子500を備えているので、同様に信頼性に優れた電波時計130とすることができる。
なお、上記の実施形態における発振器、電子機器、電波時計においては、第1実施形態の圧電振動片1が実装された圧電振動子500を用いたが、前述した第2実施形態、第3実施形態、第4実施形態または第5実施形態の圧電振動片を実装した圧電振動子であってもよい。
また、上記の実施形態における圧電振動片は、振動腕部に溝が設けられていないが、溝が設けられていてもよい。
1,2,3,4,5…圧電振動片、10,70,90…基部、11,12,72,73,93,94…振動腕部、15,16,91…支持腕部、15a,16a,31a,32a,70a,91a…マウント部、17…貫通穴(貫通部)、19a,19b…切欠部(貫通部)、20,81…凸部(隙間形成部)、23…側周面(側面)、18a,18b,18c,74,97…対向面(一面)、64,80…導電性接着剤、83…非接触面、100…発振器、110…携帯情報機器(電子機器)、130…電波時計、500…圧電振動子、510…パッケージ、530…パッケージ本体(ベース部材)、540…封口板(リッド部材)、560a…実装面、610Aa,610Ba…電極パッドの表面(実装面)、C…キャビティ

Claims (12)

  1. 一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、
    前記一対の振動腕部が接続された基部と、
    一面の所定位置に設けられたマウント部と、
    を備え、
    前記マウント部には、前記一面側に開口する貫通部が形成されている圧電振動片。
  2. 前記貫通部は、前記一面と略垂直な側面側に開口する切欠形状を有する、請求項1に記載の圧電振動片。
  3. 前記マウント部には凸部が設けられ、前記貫通部は前記凸部を貫通する、請求項1または2に記載の圧電振動片。
  4. ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージに、
    一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部が接続された基部と、一面の所定位置に設けられたマウント部と、を備える圧電振動片を実装する圧電電振動片の実装方法であって、
    前記マウント部を前記ベース部材の実装面に当接させる工程と、
    前記実装面と、前記一面とは異なり、前記実装面と交差する前記圧電振動片の接着面と、にまたがるようにして、導電性接着剤を塗布する工程と、
    を有する圧電振動片の実装方法。
  5. ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージと、
    前記ベース部材における実装面にマウントされ、前記キャビティ内に収容された圧電振動片と、を備える圧電振動子であって、
    前記圧電振動片は、一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部が接続された基部と、一面の所定位置に設けられたマウント部と、を備え、
    前記実装面と、前記マウント部と、は当接し、
    前記実装面における前記マウント部との非接触面と、前記圧電振動片における前記一面と異なり、前記非接触面と交差する接着面と、にまたがって導電性接着剤が設けられている圧電振動子。
  6. 前記実装面と、前記マウント部を除いた前記一面と、の間に隙間を形成する隙間形成部を備える、請求項5に記載の圧電振動子。
  7. 前記隙間形成部は、前記圧電振動片の前記一面と、前記ベース部材の前記実装面と、のうち少なくとも一方の面上に設けられた凸部である、請求項6に記載の圧電振動子。
  8. 前記マウント部に、前記一面側に開口する貫通部が形成されている、請求項5から7のいずれか1項に記載の圧電振動子。
  9. 前記貫通部は、前記一面と略垂直な側面側に開口する切欠形状を有する、請求項8に記載の圧電振動子。
  10. 請求項5に記載の圧電振動子を備え、該圧電振動子は発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
  11. 請求項5に記載の圧電振動子を備え、該圧電振動子は計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
  12. 請求項5に記載の圧電振動子を備え、該圧電振動子はフィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。
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