JP2011211672A - 圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電振動片は、圧電材料により形成された基部(11)と、第1厚さを有し基部から所定方向に一直線に伸びる一対の振動腕(12)と、一対の振動腕の両外側で基部から所定方向に一直線に伸び、第1厚さと異なる第2厚さの第2厚さ領域(AR1)を有する一対の支持腕(13)と、を備える。
【選択図】 図1
Description
第1実施例として、基部と支持腕との厚さが異なる音叉型の圧電振動片100について図1を参照しながら説明する。
図1(a)は、圧電振動片100の平面図である。圧電振動片100は、基部11と基部11から互いに平行に伸びている一対の振動腕12とを備えた音叉型の圧電振動片である。また圧電振動片100は、振動腕12の外側に、振動腕12と平行に伸びている一対の支持腕13を有している。以下、振動腕12が伸びている方向をY軸方向、一対の振動腕12が並んでいる方向をX軸方向、X軸方向とY軸方向とに直交する方向をZ軸方向として説明する。
圧電振動片100は圧電デバイス1000に組み込まれて用いられる。図2を参照して圧電デバイス1000について説明する。図2(a)は、圧電デバイス1000の斜視図であり、図2(b)は、+Z軸方向より−Z軸方向へ見た圧電デバイス1000の図であり、図2(c)は、図2(b)のD−D断面における圧電デバイス1000の断面図である。
圧電振動片100は、振動腕12の励振溝部16の形成のためのエッチングをする際に、支持腕13の厚さ調整のためのエッチングも同時に行う。したがって作業工数を増やすことなく支持腕13の厚みを薄くすることができる。図3から図5を参照して圧電振動片100の製造方法について説明する。
ステップS103では、フォトレジスト膜PMを現像して、露光部RBを除去する(図4(c)参照)。
支持腕13の断面形状は、圧電振動片100で示した支持腕13以外の形状を有していても良い。図6を参照して支持腕13の変形例1について説明する。
圧電振動片110は、支持腕13の厚さD4と励振溝部16における振動腕12の厚さD2とが異なるため、図5に示したフローチャートの方法とは異なる方法で作製する。図7を参照して圧電振動片110の作製方法を説明する。
ステップS301は、図4のステップS105から継続した工程である。ステップS301では、貫通孔52と励振溝部16とのパターンを有したフォトマスク(不図示)を用いてフォトレジスト膜PMを露光し、フォトレジスト膜PMに露光部RBを形成する(図7(a)参照)。図7(a)では、露光部RBがハッチングで示されている。
図6に戻って、支持腕13の他の変形例の説明を行う。
図6(b)は、圧電振動片120の概略断面図である。圧電振動片120は、支持腕13の−Z軸側の面と、振動片12もしくは基部11の−Z軸側の面とのZ軸方向の位置が一致している。圧電振動片120の製造方法は、圧電振動片120の支持腕13の厚さD5が、励振溝部16の深さD3と励振溝部16における振動腕12の厚さD2との合計に等しい場合は、図5のステップS201において、支持腕13の−Z軸側の面を露光しないことにより作製できる。その他の場合の圧電振動片120の製造方法は、図7のステップS304において、支持腕13の−Z軸側の面を露光せず、D5=D1−T2−T3となるようにT2及びT3のエッチング量を調整することにより作製することができる。支持腕13の+Z軸側の面と、振動片12もしくは基部11の+Z軸側の面とのZ軸方向の位置が一致した形状の圧電振動片も圧電振動片120と同様に作製することができる。
第1実施形態では、支持腕付きの圧電振動片100について説明したが、圧電振動片100は圧電振動片の周囲を取り囲む枠体を有していても良い。図8を参照して、枠体付きの圧電振動片200について説明する。
図8(a)は、圧電振動片200の平面図である。圧電振動片200には、図1で説明した圧電振動片100を取り囲むように枠体201が形成されている。枠体201と圧電振動片100の支持腕13の先端部とは接続腕202によって接続されている。圧電振動片200は、支持腕13と、接続腕202と、枠体201と、励振溝部16とが基部11よりも厚さが薄くなっている。また、図8(b)に示すハッチングは、図1(a)のハッチングと異なり、圧電振動片100の厚さが薄い領域を示している。
図6では、様々な形状の支持腕13を有する圧電振動片について説明したが、支持腕13の形状を工夫することにより、支持腕13のスプリアスの主振動への影響を抑えるとともに、支持腕13と接続電極SDとの接着を強化させてCI値を下げることができる。図9を参照して、支持腕13に支持腕溝部が形成された圧電振動片300について説明する。
図9(a)は、圧電振動片300の平面図である。圧電振動片300の支持腕13の先端付近には、支持腕溝部301が形成されている。支持腕溝部301が形成された領域の支持腕13の厚さは、基部11の厚さD1よりも薄い。図9(a)には、基部11の厚さD1と異なる厚さを有している領域をハッチングで示している。支持腕溝部301の大きさは、Y軸方向の長さL3が70〜300μm、X軸方向の幅W2が50〜100μmに形成される。
圧電振動片300は、圧電デバイス3000に組み込まれて使用される。図10を参照して、圧電デバイス3000について説明する。
図11には、圧電振動片300の変形例を示す。図11に示すハッチングは、圧電振動片310又は圧電振動片320の厚さD1と異なる領域を示している。
12 振動腕、 13 支持腕
14 錘領域、 15 溝領域、 16 励振溝部
17 電極下地層、 18 電極上地層
19 側壁
50 圧電材ウエハ、 51 オリエンテーションフラット
52 貫通孔、 60 圧電材ウエハ50の拡大部
100、110、120、130、140、150、200、300、310、320 圧電振動片
201 枠体、 202 接続腕、 203 電極接続部
301 支持腕溝部
1000、2000、3000 圧電デバイス
AR1、AR2 厚さ領域
BS ベース
CD 導通部
CR 圧電材
CT キャビティ
D1 振動腕12(又は基部11)の厚さ
D2 支持腕13の厚さ
D3 励振溝部16の深さ
D4 圧電振動片110の支持腕13の厚さ
D5 圧電振動片120の支持腕13の厚さ
D6 圧電振動片130の支持腕13の厚さ
D7 圧電振動片140の側壁19を除いた支持腕13の厚さ
D8 圧電振動片150の支持腕13の厚さ
D9 圧電振動片300の支持腕溝部の深さ
D10 圧電振動片320
DS 導電性接着材
FZ 封止材
GD 外部電極
HD 引出電極
LD リッド
ND 内部電極
PK パッケージ
RD 励振電極
SD 接続電極
W1 厚さ領域AR1の幅
W2 圧電振動片300の支持腕溝部301の幅
W3 圧電振動片310の支持腕13の幅
Claims (9)
- 圧電材料により形成された基部と、
第1厚さを有し前記基部から所定方向に一直線に伸びる一対の振動腕と、
前記一対の振動腕の両外側で前記基部から前記所定方向に一直線に伸び、前記第1厚さと異なる第2厚さの第2厚さ領域を有する一対の支持腕と、
を備える圧電振動片。 - 前記一対の支持腕は、前記第2厚さ領域のみで形成されている請求項1に記載の圧電振動片。
- 前記一対の支持腕は、前記第1厚さの第1厚さ領域と前記第2厚さ領域とにより形成されている請求項1に記載の圧電振動片。
- 前記振動腕は前記所定方向に一直線に伸びる励振溝部と、前記励振溝部に形成され前記振動腕を励振させる励振電極とを有しており、
前記支持腕は前記励振電極に接続され前記基部側から前記支持腕の先端側まで伸びる引出電極を有している請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電振動片。 - 前記第2厚さ領域の第2厚さは前記第1厚さ領域の第1厚さよりも薄く、前記一対の支持腕は、前記第1厚さから前記第2厚さを形成する側壁を有する支持腕溝部を有し、
前記支持腕溝部の一部には前記引出電極が形成されている請求項4に記載の圧電振動片。 - 前記一対の支持腕および前記基部を囲むようにして形成された枠体と、
前記支持腕の先端側の一部に接続し、前記一対の支持腕と前記枠体とを接続される接続腕と、を備え、
前記支持腕と前記接続腕と前記枠体とが一体に形成される請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の圧電振動片。 - プリント基板に実装される圧電デバイスにおいて、
請求項5に記載の圧電振動片を収納するキャビティを有するパッケージを備え、
前記パッケージは、前記プリント基板側に形成される外部電極と、前記キャビティ側に形成され前記外部電極と接続する接続電極とを有し、
前記支持腕溝部は、前記接続電極の形状に合わせて形成される圧電デバイス。 - 圧電材料により形成された基部と、第1厚さを有し前記基部から所定方向に一直線に伸びる一対の振動腕と、前記一対の振動腕の両外側で前記基部から前記所定方向に一直線に伸びる一対の支持腕と、を備える圧電振動片の製造方法において、
前記振動腕に前記第1厚さよりも薄い第2厚さの励振溝部を形成する第1工程と、
前記支持腕に前記第2厚さの第2厚さ領域を形成する第2工程と、
を備える圧電振動片の製造方法。 - 前記第1工程および前記第2工程とは、同時に前記圧電材料をエッチングすることで形成される請求項9に記載の圧電振動片の製造方法。
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