JP6055294B2 - 圧電素子の製造方法 - Google Patents
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圧電効果を有する基板上に耐食膜を成膜しパターン化する第一の耐食膜パターン形成工程と、
前記耐食膜上にフォトレジスト膜のパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
前記耐食膜で覆われていない前記基板の露出部分をエッチングで除去することにより基部の外形及びこの基部から延設される振動部の外形を形成する第一の基板エッチング工程と、
この第一の基板エッチング工程の後に、前記フォトレジスト膜で覆われていない前記耐食膜を除去する第二の耐食膜パターン形成工程と、
この第二の耐食膜パターン形成工程の後に、前記耐食膜で覆われていない前記基板の露出部分をエッチングで一定の深さまで除去することにより前記振動部に溝部を形成する第二の基板エッチング工程と、
この第二の基板エッチング工程の後に、前記基板の露出部分上及び前記フォトレジスト膜上に電極膜を形成する電極膜形成工程と、
前記フォトレジスト膜上に形成された前記電極膜を前記フォトレジスト膜とともに除去するリフトオフ工程と、
前記フォトレジスト膜が除去されたことにより露出した前記耐食膜を除去する耐食膜除去工程と、
を含む圧電素子の製造方法において、
前記フォトレジスト膜はポジ型のフォトレジストからなり、
前記レジストパターン形成工程の後から前記電極膜形成工程の前までのいずれかの時に、前記フォトレジスト膜のパッド電極となる領域を露光することにより、露光済み部分を有する前記フォトレジスト膜を形成する工程と、
前記露光済み部分を有する前記フォトレジスト膜を形成する工程の後又は前記第二の耐食膜パターン形成工程の後のいずれか遅い方から前記電極膜形成工程の前までのいずれかの時に、前記露光済み部分を現像する工程と、
を更に含むことを特徴とする。
11 基部
12a,12b 振動腕部
13a,13b 溝部
15 水晶振動片
21a,21b パッド電極
22a,22b 励振電極
23a,23b 周波数調整用金属膜
24a,24b 配線パターン
31 導電性接着剤
32 素子搭載部材
33 パッド電極
41 基板
42 振動部拡大領域
43 第一のマスク
44 振動腕部となる領域
45 第二のマスク
46 溝部となる領域
47 基部拡大領域
48 基部となる領域
49 パッド電極となる領域
51 耐食膜
53 フォトレジスト膜
54 フォトレジスト膜
55 露光済み部分
56 電極膜
111 基部
112a,112b 振動腕部
113a,113b 溝部
115 水晶振動片
121a,121b パッド電極
122a,122b 励振電極
123a,123b 周波数調整用金属膜
124a,124b 配線パターン
101 基板
102 耐食膜
103a フォトレジスト膜
103b フォトレジスト膜
104 振動腕部となる領域
105 溝部となる領域
106 基部となる領域
107 パッド電極となる領域
108 電極膜
Claims (6)
- 圧電効果を有する基板上に耐食膜を成膜しパターン化する第一の耐食膜パターン形成工程と、
前記耐食膜上にフォトレジスト膜のパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
前記耐食膜で覆われていない前記基板の露出部分をエッチングで除去することにより基部の外形及びこの基部から延設される振動部の外形を形成する第一の基板エッチング工程と、
この第一の基板エッチング工程の後に、前記フォトレジスト膜で覆われていない前記耐食膜を除去する第二の耐食膜パターン形成工程と、
この第二の耐食膜パターン形成工程の後に、前記耐食膜で覆われていない前記基板の露出部分をエッチングで一定の深さまで除去することにより前記振動部に溝部を形成する第二の基板エッチング工程と、
この第二の基板エッチング工程の後に、前記基板の露出部分上及び前記フォトレジスト膜上に電極膜を形成する電極膜形成工程と、
前記フォトレジスト膜上に形成された前記電極膜を前記フォトレジスト膜とともに除去するリフトオフ工程と、
前記フォトレジスト膜が除去されたことにより露出した前記耐食膜を除去する耐食膜除去工程と、
を含む圧電素子の製造方法において、
前記フォトレジスト膜はポジ型のフォトレジストからなり、
前記レジストパターン形成工程の後から前記電極膜形成工程の前までのいずれかの時に、前記フォトレジスト膜のパッド電極となる領域を露光することにより、露光済み部分を有する前記フォトレジスト膜を形成する工程と、
前記露光済み部分を有する前記フォトレジスト膜を形成する工程の後又は前記第二の耐食膜パターン形成工程の後のいずれか遅い方から前記電極膜形成工程の前までのいずれかの時に、前記露光済み部分を現像する工程と、
を更に含むことを特徴とする圧電素子の製造方法。 - 前記レジストパターン形成工程の後から前記第一の基板エッチング工程の前までのいずれかの時に、前記露光済み部分を有する前記フォトレジスト膜を形成する、
請求項1記載の圧電素子の製造方法。 - 前記露光済み部分を有する前記フォトレジスト膜を形成する工程の後又は前記第二の耐食膜パターン形成工程の後のいずれか遅い方から前記第二の基板エッチング工程の前までのいずれかの時に、前記露光済み部分を現像する、
請求項1又は2記載の圧電素子の製造方法。 - 前記第一の耐食膜パターン形成工程では、前記耐食膜をパターン化する際にポジ型のフォトレジストからなるフォトレジスト膜を使用し、
前記レジストパターン形成工程では、前記第一の耐食膜パターン形成工程で使用した前記フォトレジスト膜をそのまま使用する、
請求項1乃至3のいずれか一つに記載の圧電素子の製造方法。 - 前記第一の基板エッチング工程では、前記基部の外形及び前記振動部の外形を最終的な寸法よりも大きく形成し、
前記第二の基板エッチング工程では、前記振動部に前記溝部を形成すると同時に、前記基部の外形及び前記振動部の外形を最終的な寸法に形成する、
請求項1乃至4のいずれか一つに記載の圧電素子の製造方法。 - 前記基板は水晶からなり、
前記第一及び第二の基板エッチング工程ではウェットエッチングが用いられる、
請求項1乃至5のいずれか一つに記載の圧電素子の製造方法。
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JP2014107716A JP2014107716A (ja) | 2014-06-09 |
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