JP2019062252A - 水晶素子、水晶デバイスおよび水晶素子の製造方法 - Google Patents
水晶素子、水晶デバイスおよび水晶素子の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
第一実施形態に係る水晶デバイスの斜視図を図1に示し、図1のA−A断面における断面図を図2に示す。また、第一実施形態に係る水晶素子の平面図を図3に示し、図3のB−B断面における図面図を図4に示し、図4のC部における部分拡大図を図5に示す。また、第一実施形態に係る水晶素子のフローチャート図を図6に示す。
水晶デバイスは、例えば、略直方体形状となっている電子部品である。水晶デバイスは、例えば、長辺または短辺の長さが、0.6mm〜5.0mmであり、上下方向の厚さが、0.2mm〜1.5mmとなっている。
図3は、第一実施形態の水晶素子の上面側から下面を平面透視した平面図であり、図4は、図3のB−B断面における断面図である、
第一実施形態に係る水晶素子120の製造方法は、図6に示したように、水晶ウエハ用意工程と、塗布工程と、露光現像工程と、金属膜形成工程と、感光性レジスト剥離構成と、を備えている。
第二実施形態に係る水晶素子220の平面図を、図7に示す。図7に示したように、第二実施形態に係る水晶素子220は、水晶片221が、基部221aおよび一対の振動腕部221bから構成されているという点で第一実施形態と異なる。
110a・・・基板部
110b・・・枠部
111・・・搭載パッド
112・・・外部端子
120、220・・・水晶素子
121、221・・・水晶片
221a・・・基部
221b・・・振動腕部
122、222・・・金属パターン
123、223・・・励振電極部
124.224・・・接続配線部
124a、224a・・・接続部
124b、224b・・・配線部
130・・・蓋体
140・・・バンプ
Claims (6)
- 水晶片と、
前記水晶片の表面に設けられ、密度が20g/cm3以上となっている金属が用いられ一層構造となっている金属パターンと、
からなることを特徴とする水晶素子。 - 請求項1に記載の水晶素子であって、
前記金属パターンにイリジウムが用いられている
ことを特徴とする水晶素子。 - 請求項1または請求項2に記載の水晶素子であって、
平面視して、
前記水晶片が、水晶の結晶軸であるX軸に平行な辺を二辺有する略矩形となっている
ことを特徴とする水晶素子。 - 請求項1または請求項2に記載の水晶素子であって、
前記水晶片が、基部および前記基部から同一方向に並んで延設されている一対の振動腕部からなることを特徴とする水晶素子。 - 請求項1乃至請求項4に記載の水晶素子と、
前記水晶素子の前記金属パターンの一部と電気的に接続される搭載パッドが上面に設けられている基板部を主体とする基体と、
前記基体に接合される蓋体と、
を有していることを特徴とする水晶デバイス。 - 請求項1乃至請求項4の水晶素子で用いられる前記水晶片となる部分が形成された水晶ウエハを用意する水晶ウエハ用意工程と、
前記水晶ウエハの全面に感光性レジストを塗布する塗布工程と、
前記感光性レジストが塗布された前記水晶ウエハを用いて、前記水晶素子の前記金属パターンとなる部分が露出するように前記感光性レジストを露光・現像する露光現像工程と、
前記感光性レジストが露光・現像された前記水晶ウエハを用いて、前記金属パターンを構成する金属を用いて金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記金属膜が形成されている前記水晶ウエハを用いて、前記水晶ウエハの表面上に形成されている前記感光性レジストを剥離する感光性レジスト剥離工程と、
を有している水晶素子の製造方法。
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2017
- 2017-09-25 JP JP2017183116A patent/JP2019062252A/ja active Pending
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