JP4992420B2 - 水晶振動子 - Google Patents
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Description
前記パッケージの支持体に導電性接合材により水晶振動板を電気的機械的に接続し、前記導電性接合材は水晶振動板の一方の主面とパッケージの支持体側のみに形成し、
水晶振動板は、厚みすべり振動する水晶振動板の表裏面に対向して一対の励振電極が形成され、当該各励振電極は引出電極により水晶振動板の端部に引き出されてなり、前記各引出電極は水晶振動板の側面を介して反対面に引き出されてなり、
前記励振電極と引出電極を同一電極層構成とするとともに、
電極層構成を、
下地電極層と当該下地電極層の上面に形成された銀からなる第1主電極層、
前記第1電極層の上面に形成された脱ガス吸着層と当該脱ガス吸着層の上面に形成された銀、または金からなる第2主電極層からなり、
前記第1主電極層が第2主電極層より薄いことを特徴とする。
なお、前記下地電極層や脱ガス吸着層として、クロムやニッケルを用いることが好ましくい。
また、脱ガス吸着層が励振電極の最上面に形成されると、樹脂系接着剤のガス等を吸着することによって、励振電極の硬度が増加したり重みが増したりするなど、エージング特性の低下を招く原因となっていた。本発明では、前記脱ガス吸着層の上面に形成された銀、または金からなる第2主電極層から形成しているので、樹脂系接着剤のガス等が吸着しにくくなることで、周波数の低下が抑制され周波数の安定化が行える。結果として、エージング特性が向上しより電気的信頼性の高い水晶振動子が得られる。
2 パッケージ
Claims (2)
- 水晶振動板とパッケージと蓋を有する水晶振動デバイスであって、
前記パッケージの支持体に導電性接合材により水晶振動板を電気的機械的に接続し、前記導電性接合材は水晶振動板の一方の主面とパッケージの支持体側のみに形成し、
水晶振動板は、厚みすべり振動する水晶振動板の表裏面に対向して一対の励振電極が形成され、当該各励振電極は引出電極により水晶振動板の端部に引き出されてなり、前記各引出電極は水晶振動板の側面を介して反対面に引き出されてなり、
前記励振電極と引出電極を同一電極層構成とするとともに、
電極層構成を、
下地電極層と当該下地電極層の上面に形成された銀からなる第1主電極層、
前記第1電極層の上面に形成された脱ガス吸着層と当該脱ガス吸着層の上面に形成された銀、または金からなる第2主電極層からなり、
前記第1主電極層が第2主電極層より薄いことを特徴とする水晶振動デバイス。 - 前記水晶振動板の片面に形成された主電極厚みを3500オングストローム以下とし、第1主電極層の厚みを500〜1500オングストロームとしたことを特徴とする特許請求項1記載の水晶振動デバイス。
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