JP6110112B2 - 圧電デバイス - Google Patents
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 168
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 168
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 62
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 35
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 26
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 24
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 18
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 5
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 25
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 23
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 23
- MOWMLACGTDMJRV-UHFFFAOYSA-N nickel tungsten Chemical compound [Ni].[W] MOWMLACGTDMJRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 18
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 16
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 16
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WIGAYVXYNSVZAV-UHFFFAOYSA-N ac1lavbc Chemical compound [W].[W] WIGAYVXYNSVZAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- -1 for example Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
- H03H9/131—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials consisting of a multilayered structure
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
本実施形態に係る圧電デバイス100について説明する。
図1及び図2に示すように、圧電デバイス100は、リッド部110と、圧電振動片130と、ベース部120とにより構成されている。なお、以下の説明では、圧電振動片130の軸方向を基準とし、圧電デバイス100の長辺方向をX軸方向、圧電デバイス100の高さ方向をY軸方向、X、Y軸方向に垂直な方向、すなわち圧電デバイス100の短辺方向をZ軸方向として説明する。
次に、上記のように構成された圧電デバイス100の製造方法を説明する。
圧電振動片130は、例えば人工水晶をATカットして作成された圧電ウエハから個々の圧電振動片130を切り出す多面取りが行われる。同様に、リッド部110及びベース部120は、ATカットして作成されたリッドウエハ及びベースウエハから個々を切り出す多面取りが行われる。なお、圧電ウエハ、リッドウエハ、ベースウエハに対するそれぞれの加工は、例えば並行して行われる。
本評価で用いられる評価用試料230は、図4に示すように、水晶材によって矩形の板状に形成されたPLウエハ231を用い、その表面に金属膜をパターニングしている。この金属膜は、PLウエハ231の中央領域に形成される中央部電極232と、中央部電極232から引き出されて中央領域の周辺に形成される周辺部電極233と、矩形状電極234と、を有する。なお、これら電極は、図1に示す圧電振動片130の裏面側(−Y側の面)をモデル化したものであり、中央部電極232は励振電極136に、周辺部電極233は引出電極138に、矩形状電極234は引出電極137bに、それぞれ相当する。
100…圧電デバイス
110…リッド部
120…ベース部
123…キャスタレーション(切り欠き部)
124…外部電極
125…キャスタレーション電極
126…接続電極
130…圧電振動片
131…振動部
132…枠部
133…連結部
134…貫通穴
135、136…励振電極
137、137a、137b、137c、138…引出電極
141、142…接合剤
201…下地膜
202…第1金属膜
203…第2金属膜
Claims (5)
- 振動部を囲んだ枠部を有し、前記振動部に設けられた励振電極と電気的に接続された引出電極を前記枠部の表面に備える圧電振動片と、
前記圧電振動片の表面に前記枠部の領域で接合材を介して接合されるリッド部と、
前記圧電振動片の裏面に前記枠部の領域で接合材を介して接合され、前記引出電極と電気的に接続される外部電極を備えるベース部と、を備え、
前記引出電極を前記外部電極に接続するために、前記引出電極の前記枠部に設けた部分の一部が、前記接合材から外部に露出している構造の圧電デバイスにおいて、
前記励振電極及び前記引出電極は、不動態を形成可能な金属で形成された下地膜と、前記下地膜上にこの順に積層された第1金属膜及び第2金属膜とを有し、
前記下地膜はクロム膜でありその膜厚が1.0nm〜8.0nmに設定され、
前記第1金属膜はNiW膜又はNi膜である圧電デバイス。 - 前記下地膜は、その膜厚が3.0nm〜7.5nmに設定される請求項1記載の圧電デバイス。
- 前記励振電極及び前記引出電極は、前記下地膜、前記第1金属膜、前記第2金属膜の順で積層され、
前記第1金属膜は、前記下地膜の金属原子が前記第2金属膜へ拡散するのを抑制するバリア膜であり、その膜厚が0.5nm〜12.5nmに設定される請求項1または請求項2記載の圧電デバイス。 - 前記第1金属膜は、その膜厚が2.5nm〜10.0nmに設定される請求項3記載の圧電デバイス。
- 前記引出電極は、前記枠部の外周縁から離間して形成される請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の圧電デバイス。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012253341A JP6110112B2 (ja) | 2012-11-19 | 2012-11-19 | 圧電デバイス |
US14/069,378 US9362885B2 (en) | 2012-11-19 | 2013-11-01 | Piezoelectric device |
CN201310542595.9A CN103825572A (zh) | 2012-11-19 | 2013-11-05 | 压电装置 |
TW102141929A TW201421757A (zh) | 2012-11-19 | 2013-11-18 | 壓電裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012253341A JP6110112B2 (ja) | 2012-11-19 | 2012-11-19 | 圧電デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014103505A JP2014103505A (ja) | 2014-06-05 |
JP6110112B2 true JP6110112B2 (ja) | 2017-04-05 |
Family
ID=50727276
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012253341A Active JP6110112B2 (ja) | 2012-11-19 | 2012-11-19 | 圧電デバイス |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9362885B2 (ja) |
JP (1) | JP6110112B2 (ja) |
CN (1) | CN103825572A (ja) |
TW (1) | TW201421757A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015233218A (ja) * | 2014-06-10 | 2015-12-24 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片及び圧電デバイス |
CN106052666B (zh) | 2015-04-03 | 2021-07-02 | 精工爱普生株式会社 | 电子器件、电子器件的制造方法、电子设备以及移动体 |
JP2017022473A (ja) * | 2015-07-08 | 2017-01-26 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子及びその製造方法、発振器、電子機器、並びに、移動体 |
TWI809455B (zh) * | 2021-07-20 | 2023-07-21 | 大陸商茂丞(鄭州)超聲科技有限公司 | 懸浮式壓電超音波感測器及其製作方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54132187A (en) * | 1978-04-06 | 1979-10-13 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal oscillator |
JPH09102727A (ja) * | 1995-10-05 | 1997-04-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動子とその製造方法 |
JP3521864B2 (ja) * | 2000-10-26 | 2004-04-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波素子 |
JP2006101244A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子、及びその製造方法 |
JP4992420B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2012-08-08 | 株式会社大真空 | 水晶振動子 |
US8222798B2 (en) * | 2008-09-26 | 2012-07-17 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Piezoelectric resonator and electrode structure thereof |
JP5100849B2 (ja) * | 2008-11-28 | 2012-12-19 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス、およびその製造方法 |
JP5285467B2 (ja) | 2009-02-26 | 2013-09-11 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電振動子の製造方法 |
JP2011160350A (ja) * | 2010-02-03 | 2011-08-18 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器および電波時計 |
JP5026574B2 (ja) * | 2010-04-27 | 2012-09-12 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
JP2012060628A (ja) * | 2010-08-07 | 2012-03-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス及びその製造方法 |
JP5714375B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2015-05-07 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 |
JP2013046120A (ja) * | 2011-08-23 | 2013-03-04 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装型圧電デバイス |
JP2013192027A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
JP2014175899A (ja) * | 2013-03-11 | 2014-09-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
JP2014176071A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP6133697B2 (ja) * | 2013-06-12 | 2017-05-24 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
JP2015019142A (ja) * | 2013-07-09 | 2015-01-29 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 |
JP2015019240A (ja) * | 2013-07-11 | 2015-01-29 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
JP2015033035A (ja) * | 2013-08-05 | 2015-02-16 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
JP2015130641A (ja) * | 2013-12-02 | 2015-07-16 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
-
2012
- 2012-11-19 JP JP2012253341A patent/JP6110112B2/ja active Active
-
2013
- 2013-11-01 US US14/069,378 patent/US9362885B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2013-11-05 CN CN201310542595.9A patent/CN103825572A/zh active Pending
- 2013-11-18 TW TW102141929A patent/TW201421757A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201421757A (zh) | 2014-06-01 |
JP2014103505A (ja) | 2014-06-05 |
CN103825572A (zh) | 2014-05-28 |
US9362885B2 (en) | 2016-06-07 |
US20140139073A1 (en) | 2014-05-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150806 |
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