JP5541377B2 - 水晶振動子用素子、水晶振動子及び電子部品 - Google Patents
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その水晶片の中央部の一面及び他面に各々設けられた当該中央部を励振させるための励振電極と、
各励振電極から前記水晶片の一面側の周縁部に引き出されるように形成された、導電性接着材を介して水晶片支持部材の電極に固着される引き出し電極と、
を備え、
前記引き出し電極及び励振電極はスパッタまたは蒸着により形成され、その引き出し電極の表面を荒らすために、前記一面側の周縁部における表面が当該一面側の前記中央部の表面よりも荒れていて、
前記周縁部にて水晶片の一面側に設けられた励振電極と、前記水晶片の他面側の励振電極から前記一面側に引き出された引き出し電極との間に設けられ、前記引き出し電極に塗布された導電性接着材が前記励振電極に流れることを防ぐための前記水晶片と一体的に形成された短絡防止用凸部と、
前記水晶片の一面側及び他面側の少なくとも一方において、前記短絡防止用凸部から水晶片の面方向に離れた位置に、水晶片の面内の重量分布を調整するために、当該水晶片と一体的に形成された重量調整用の凸部と、
を備えたことを特徴とする。
先ず後述の製造方法により製造される第1の実施の形態に係る水晶振動子用素子2の構成について説明する。図1(a)、(b)は後述の製造方法により製造される水晶振動子用素子2の表面、裏面を夫々示しており、これらの図に示すように水晶振動子用素子2の表面、裏面は互いに同様のレイアウトを備えるように構成されている。水晶振動子用素子2は例えばATカットされた矩形状の水晶片21により構成されており、水晶片21の一辺の長さは例えば0.3mm〜3.0mmである。
第2の実施形態の水晶振動子用素子8について説明する。図14(a)、(b)は水晶振動子用素子8の表面、裏面を夫々示しており、図14(c)は水晶振動子用素子8のE−E’矢視断面を示している。水晶振動子用素子8において水晶振動子用素子2に対応する各部には、水晶振動子用素子2に用いた符号と同じ符号を付して示している。水晶振動子用素子8における水晶振動子用素子2との差異点を説明すると、その周縁部2Bに凸部26〜29が設けられておらず、また図14(c)に示すように励振部2Aの表面に比べて周縁部2Bの表面及び水晶片21の側壁の表面の荒れが大きくなっている。そして、この周縁部2B及び側壁の各表面の荒れに対応して、励振部2Aに形成された励振電極22,23の表面に比べて引き出し電極24,25の表面の荒れが大きくなっている。励振部2Aの表面の荒さは例えばRa0.1μm〜20μmであり、周縁部2Bの表面の荒さはそれよりも大きく、例えばRa20μm以上である。
2A 励振部
2B 周縁部
2,8 水晶振動子用素子
21 水晶片
22,23 励振電極
24,25 引き出し電極
26〜29 凸部
31〜34 水晶振動子用素子形成領域
7 パッケージ
70 導電性接着材
71 ベース
74〜77 電極
Claims (4)
- 中央部の厚さが周縁部の厚さよりも大きくなるように、その一面及び他面にその周方向に段差が形成された水晶片と、
その水晶片の中央部の一面及び他面に各々設けられた当該中央部を励振させるための励振電極と、
各励振電極から前記水晶片の一面側の周縁部に引き出されるように形成された、導電性接着材を介して水晶片支持部材の電極に固着される引き出し電極と、
を備え、
前記引き出し電極及び励振電極はスパッタまたは蒸着により形成され、その引き出し電極の表面を荒らすために、前記一面側の周縁部における表面が当該一面側の前記中央部の表面よりも荒れていて、
前記周縁部にて水晶片の一面側に設けられた励振電極と、前記水晶片の他面側の励振電極から前記一面側に引き出された引き出し電極との間に設けられ、前記引き出し電極に塗布された導電性接着材が前記励振電極に流れることを防ぐための前記水晶片と一体的に形成された短絡防止用凸部と、
前記水晶片の一面側及び他面側の少なくとも一方において、前記短絡防止用凸部から水晶片の面方向に離れた位置に、水晶片の面内の重量分布を調整するために、当該水晶片と一体的に形成された重量調整用の凸部と、
を備えたことを特徴とする水晶振動子素子。 - 前記引き出し電極は水晶片の側壁を介して引き出され、その側壁に掛かる引き出し電極の表面を荒らすために、当該側壁の表面が一面側の励振電極の表面よりも荒れていることを特徴とする請求項1記載の水晶振動子素子。
- 請求項1または2に記載の水晶振動子素子を含んだことを特徴とする水晶振動子。
- 請求項3記載の水晶振動子を含んだことを特徴とする電子部品。
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