JP2015019240A - 圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態に係る圧電振動片130について図1及び図2を用いて説明する。なお、図2においては、圧電振動片130の連結部133を中心として拡大した平面図であり、金属膜(引出電極等)を省略している。圧電振動片130は、図1(a)に示すように、所定の振動数で振動する振動部131と、振動部131を囲んだ枠部132と、振動部131と枠部132とを連結する連結部133とにより構成されている。振動部131と枠部132との間には、連結部133を除いて、Y軸方向に貫通する貫通穴134が形成されている。
次に、圧電振動片130の製造方法について、図3及び図4を用いて説明する。この圧電振動片130の製造に際しては、圧電ウェハ(基板)AWから個々を切り出す多面取りが行われる。なお、図3及び図4は、圧電ウェハAWに形成される圧電振動片130の一つについて、時系列に並べて示しており、図3(a)〜(c)、図4(d)、(f)の各図は、図1のA−A線に沿った断面に相当する図である。
次に、圧電デバイスの実施形態について説明する。図6に示すように、圧電デバイス100は、圧電振動片130を挟むように、圧電振動片130の+Y側にリッド110が接合され、また、−Y側にベース120が接合されて構成されている。圧電振動片130としては、図1に示す圧電振動片130が用いられている。リッド110及びベース120は、圧電振動片130と同様に、例えばATカットの水晶材が用いられている。リッド110及びベース120が圧電振動片130と同一の材料で形成されることにより、熱膨張率に差が生じるのを回避している。
次に、圧電デバイス100の製造方法について図7〜図10を用いて説明する。図7は、圧電デバイス100の製造工程を示すフローチャートである。圧電ウェハAWに対する各種工程(圧電振動片130の製造方法)については、上記と同様である。
AWa…表面
AWc…凹部
AWd…傾斜面
R2…レジストパターン
R2a、R2b、R2c…直線部分
R2d、R2e…曲線部分
AWf…境界部
LW…リッドウェハ
BW…ベースウェハ
100…圧電デバイス
110…リッド
120…ベース
130…圧電振動片
131…振動部
132…枠部
133…連結部
133a…平面
133b…傾斜面
133c…境界部
133d…振動部側角部
133e…枠部側角部
133s…表面
133t…裏面
134…貫通穴
136a、136b…接続領域
136c…中間領域
Claims (7)
- 振動部と、前記振動部を囲む枠部と、前記振動部と前記枠部とを連結する連結部とを備える圧電振動片において、
前記連結部は、その表面及び裏面の少なくとも一方に傾斜面が形成され、
前記傾斜面と平面との境界部は、前記連結部と前記振動部との接続領域、及び前記連結部と前記枠部との接続領域から外れた中間領域に設定される圧電振動片。 - 前記境界部は、前記連結部のほぼ中央に配置される請求項1記載の圧電振動片。
- 基板に貫通穴を形成することにより、振動部と、前記振動部を囲む枠部と、前記振動部と前記枠部とを連結する連結部とを備える圧電振動片を製造する方法であって、
前記貫通穴を形成するためのマスクパターンは、直線部分と前記直線部分どうしを接続する曲線部分とを有し、
前記マスクパターンは、前記基板に形成された傾斜面と平面との境界部に前記直線部分を配置して形成される圧電振動片の製造方法。 - 前記境界部は、前記連結部の表面及び裏面の少なくとも一方に配置される請求項3記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記傾斜面は、前記基板のうちの前記振動部を前記枠部に対して薄肉化することにより形成される請求項3または請求項4記載の圧電振動片の製造方法。
- 請求項1または請求項2記載の圧電振動片を含む圧電デバイス。
- 請求項1または請求項2記載の圧電振動片の前記枠部の表面及び裏面に、リッド及びベースがそれぞれ接合される圧電デバイスの製造方法。
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US14/324,046 US20150015119A1 (en) | 2013-07-11 | 2014-07-03 | Piezoelectric vibrating piece, method for fabricating piezoelectric vibrating piece, piezoelectric device, and method for fabricating piezoelectric device |
TW103123240A TW201503433A (zh) | 2013-07-11 | 2014-07-07 | 壓電振動片、壓電振動片的製造方法、壓電元件、以及壓電元件的製造方法 |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017528012A (ja) * | 2015-07-22 | 2017-09-21 | 成都泰美克晶体技術有限公司Chengdu Timemaker Crystal Technology Co., Ltd | 片面凸構造を有する圧電石英チップ |
WO2018042994A1 (ja) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 株式会社大真空 | 水晶振動板、及び水晶振動デバイス |
WO2018212150A1 (ja) * | 2017-05-15 | 2018-11-22 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動素子及び水晶振動子並びにそれらの製造方法 |
WO2022044949A1 (ja) * | 2020-08-26 | 2022-03-03 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
WO2024024614A1 (ja) * | 2022-07-28 | 2024-02-01 | 株式会社大真空 | 水晶振動板および水晶振動デバイス |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6110112B2 (ja) * | 2012-11-19 | 2017-04-05 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
JP2014176071A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
CN104993797A (zh) * | 2015-07-22 | 2015-10-21 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 一种新型具有双凸结构的压电石英晶片及其加工工艺 |
CN105634436A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-06-01 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 一种具有圆形晶片结构的石英晶体谐振器及其制作方法 |
WO2019059338A1 (ja) * | 2017-09-22 | 2019-03-28 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動子及び圧電振動子の製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5282193A (en) * | 1975-12-29 | 1977-07-09 | Seiko Epson Corp | Manufacture of piezoelectric oscillator |
JP2008011278A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶片の製造方法、水晶片、水晶振動子及び電子部品 |
JP2013026809A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6295870B1 (en) * | 1991-02-08 | 2001-10-02 | Alliedsignal Inc. | Triaxial angular rate and acceleration sensor |
JP5657400B2 (ja) * | 2011-01-12 | 2015-01-21 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス |
-
2013
- 2013-07-11 JP JP2013145079A patent/JP2015019240A/ja active Pending
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2014
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- 2014-07-03 US US14/324,046 patent/US20150015119A1/en not_active Abandoned
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5282193A (en) * | 1975-12-29 | 1977-07-09 | Seiko Epson Corp | Manufacture of piezoelectric oscillator |
JP2008011278A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶片の製造方法、水晶片、水晶振動子及び電子部品 |
JP2013026809A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017528012A (ja) * | 2015-07-22 | 2017-09-21 | 成都泰美克晶体技術有限公司Chengdu Timemaker Crystal Technology Co., Ltd | 片面凸構造を有する圧電石英チップ |
WO2018042994A1 (ja) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 株式会社大真空 | 水晶振動板、及び水晶振動デバイス |
CN109643983A (zh) * | 2016-08-30 | 2019-04-16 | 株式会社大真空 | 晶振片及晶体振动器件 |
JPWO2018042994A1 (ja) * | 2016-08-30 | 2019-06-24 | 株式会社大真空 | 水晶振動板、及び水晶振動デバイス |
US11342901B2 (en) | 2016-08-30 | 2022-05-24 | Daishinku Corporation | Crystal resonator plate and crystal resonator device |
WO2018212150A1 (ja) * | 2017-05-15 | 2018-11-22 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動素子及び水晶振動子並びにそれらの製造方法 |
US11108377B2 (en) | 2017-05-15 | 2021-08-31 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Quartz crystal resonator and quartz crystal resonator unit |
US11108378B2 (en) | 2017-05-15 | 2021-08-31 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of manufacturing quartz crystal resonator and quartz crystal resonator unit |
WO2022044949A1 (ja) * | 2020-08-26 | 2022-03-03 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
WO2024024614A1 (ja) * | 2022-07-28 | 2024-02-01 | 株式会社大真空 | 水晶振動板および水晶振動デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201503433A (zh) | 2015-01-16 |
US20150015119A1 (en) | 2015-01-15 |
CN104283523A (zh) | 2015-01-14 |
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