JP2006191466A - 圧電振動子、発振器、及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 下地金属のAuと重り部のAgの間にCrの薄膜を介在させる。Crの薄膜がAuとAgの金属間拡散を防止する。更に、Agの表面にCrの被膜を形成し、酸化やガス吸着などを防止する。このように、AgとAuの境界と、Agの表面にCrの薄膜を形成することにより、AgとAuの金属間拡散を防止し、更にAgの酸化やガス吸着を防止することができ、これによって、長期間にわたる周波数の安定性を図ることができる。また、重り部を形成する工程内でCrの層とAgの層を交互に連続して蒸着することができるため、容易に製造することができる。
【選択図】 図1
Description
下地金属のAuと重り部のAgの間にCrの薄膜を介在させ、このCrの薄膜によりAuとAgの金属間拡散を防止する。
(2)実施の形態の詳細
図1(a)は、本実施の形態の水晶振動片の外形を示した斜視図である。
AgとAuのCrに対する拡散は、AuのAgに対する拡散よりも小さいため、Cr薄膜8は、Au層7とAg層9の金属間拡散を抑制する防護壁としての機能を果たすことができる。
(1)Ag層9とAu層7の間にCr薄膜8を形成することにより、Ag層9とAu層7の金属間拡散を防止することができる。
(2)Ag層9とAu層7の金属間拡散を防止することにより、周波数の長期安定を実現することができる。
(3)AgとCrは何れも安価な金属であるので、重り部3を安価に製造することができる。
(4)AgとCrを交互に蒸着することにより重り部3を形成することができるため、新たな設備などが必要なく、製造コストを低くすることができる。
(5)Ag層9の表面にCr薄膜10を形成することにより、Ag層9の酸化やガスの吸着を防止することができる。
(6)Ag層9とAu層7の金属間拡散を防ぐことにより、長期に渡る周波数安定性を確保することができる。
(7)Cr薄膜10の有無による周波数安定性の差は小さいため、水晶振動片1を製造してからキャッピングまでの間で大気中に置かれる時間が短い場合は、変形例を採用することにより、より安価な水晶振動子を提供することができる。
図8において、電源部101は後述する各機能部に対して電力を供給する電源部であり、具体的にはリチウムイオン二次電池によって実現される。
本実施の形態として、通信部の機能に係る部分の電源を選択的に遮断可能な電源遮断部106を設ける事で、より完全な形で通信部の機能を停止させる事が出来る。
1a マウント部
3 重り部
4 下地金属
5 水晶
6 Cr層
7 Au層
8 Cr薄膜
9 Ag層
10 Cr薄膜
20 振動腕部
30 基部
50 気密端子(プラグ)
52 リード
52a 外部電極
54 ケース
65 ベース
66 接合部
67 導電性接着剤
68 リッド
69 外部電極
71 音叉型水晶振動子
72 基板
73 集積回路
74 電子部品
101 電源部
102 制御部
103 計時部
104 通信部
104a 無線部
104b 音声処理部
104c 増幅部
104d 音声入力部
104e 着信音発生部
104f 切替部
104g 呼制御メモリ部
104h 電話番号入力部
105 電圧検出部
106 電源遮断部
107 表示部
Claims (8)
- 励振電極が形成された一対の振動部分を有する音叉型の圧電振動片と、
前記振動部分の表面に形成され、表面が金で構成された下地金属と、
前記下地金属の表面に形成され、金と銀の金属間拡散を防止する拡散防止膜と、
前記拡散防止膜の表面に銀で形成された周波数調整重り部と、
前記圧電振動片を封入する密閉容器と、
前記励振電極と接続し、前記密閉容器の外部に形成された外部電極と、
を具備したことを特徴とする圧電振動子。 - 前記周波数調整重り部を構成する銀の表面に、銀の酸化を防止する酸化防止膜が形成されたことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記拡散防止膜と前記酸化防止膜は、同一金属により構成されていることを特徴とする請求項2に記載の圧電振動子。
- 前記酸化防止膜は、クロム、又はニッケルで構成されていることを特徴とする請求項2、又は請求項3に記載の圧電振動子。
- 請求項1から請求項4までのうちの何れか1の請求項に記載の圧電振動子を発振子として集積回路に接続して用いることを特徴とする発振器。
- 圧電振動子を発振子として集積回路に接続した発振器であって、
前記圧電振動子は、
励振電極が形成された一対の振動部分を有する音叉型の圧電振動片と、
前記振動部分の表面に形成され、表面が金で構成された下地金属と、
前記下地金属の表面に形成され、金と銀の金属間拡散を防止する拡散防止膜と、
前記拡散防止膜の表面に銀で形成された周波数調整重り部と、
前記圧電振動片を封入する密閉容器と、
前記励振電極と接続し、前記密閉容器の外部に形成された外部電極と、
を具備したことを特徴とする発振器。 - 請求項1から請求項4までのうちの何れか1の請求項に記載の圧電振動子を計時部に接続して用いることを特徴とする電子機器。
- 圧電振動子を計時部に接続した電子機器であって、
前記圧電振動子は、
励振電極が形成された一対の振動部分を有する音叉型の圧電振動片と、
前記振動部分の表面に形成され、表面が金で構成された下地金属と、
前記下地金属の表面に形成され、金と銀の金属間拡散を防止する拡散防止膜と、
前記拡散防止膜の表面に銀で形成された周波数調整重り部と、
前記圧電振動片を封入する密閉容器と、
前記励振電極と接続し、前記密閉容器の外部に形成された外部電極と、
を具備したことを特徴とする電子機器。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008167166A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Daishinku Corp | 水晶振動子 |
JP2009182873A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイスの製造方法および圧電振動デバイス |
JP2015076745A (ja) * | 2013-10-09 | 2015-04-20 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電振動片の製造方法 |
JP2016054363A (ja) * | 2014-09-03 | 2016-04-14 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電素子及び圧電デバイスの製造方法 |
US10641788B2 (en) | 2016-09-30 | 2020-05-05 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, electronic device apparatus, electronic apparatus, and moving object |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS625366B2 (ja) * | 1978-12-04 | 1987-02-04 | Seikoo Epuson Kk | |
JPS63316912A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-26 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子 |
JPH0389615A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Kinseki Ltd | 圧電振動子の電極構造 |
JPH1051256A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-02-20 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片の製造方法 |
JP2001514456A (ja) * | 1997-08-22 | 2001-09-11 | シーティーエス・コーポレーション | 同調用の犠牲層を使用するピエゾ電気共振器 |
JP2003032042A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Seiko Epson Corp | リアルタイムクロックモジュール及び電子機器 |
JP2003032071A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-01-31 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波デバイス |
JP2004180177A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
JP2004364019A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子、圧電発振器、ジャイロスコープセンサ、電子機器、及び製造方法 |
-
2005
- 2005-01-07 JP JP2005002709A patent/JP2006191466A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS625366B2 (ja) * | 1978-12-04 | 1987-02-04 | Seikoo Epuson Kk | |
JPS63316912A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-26 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子 |
JPH0389615A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Kinseki Ltd | 圧電振動子の電極構造 |
JPH1051256A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-02-20 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片の製造方法 |
JP2001514456A (ja) * | 1997-08-22 | 2001-09-11 | シーティーエス・コーポレーション | 同調用の犠牲層を使用するピエゾ電気共振器 |
JP2003032042A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Seiko Epson Corp | リアルタイムクロックモジュール及び電子機器 |
JP2003032071A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-01-31 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波デバイス |
JP2004180177A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
JP2004364019A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子、圧電発振器、ジャイロスコープセンサ、電子機器、及び製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008167166A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Daishinku Corp | 水晶振動子 |
JP2009182873A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイスの製造方法および圧電振動デバイス |
JP2015076745A (ja) * | 2013-10-09 | 2015-04-20 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電振動片の製造方法 |
JP2016054363A (ja) * | 2014-09-03 | 2016-04-14 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電素子及び圧電デバイスの製造方法 |
US10641788B2 (en) | 2016-09-30 | 2020-05-05 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, electronic device apparatus, electronic apparatus, and moving object |
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