JP2009182873A - 圧電振動デバイスの製造方法および圧電振動デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 多数個の音叉型圧電振動片4が一体的に形成された圧電振動片集合体において、各圧電振動片4の基部51の表裏面には一対の接合部7が各々設けられており、
各圧電振動片に複数の電極を形成する電極形成工程と、一対の腕部41,42の先端領域の外周面に調整用金属膜43,44を形成する調整膜形成工程と、前記調整用金属膜にレーザービームを照射して周波数調整を行う周波数調整工程と、各圧電振動片を前記圧電振動片集合体から分割した後に、裏主面側にある接合部7c,7dを筐体内部に接合する接合工程とを有する。
【選択図】 図3
Description
以下、音叉型水晶振動子を例に挙げて、本発明による第1の実施形態について図を用いて説明する。図1は本発明の第1の実施形態を示す音叉型水晶振動子の断面図である。なお、図1において音叉型水晶振動片の腕部および基部に形成される各種電極の記載は省略している。
各振動片の腕部41,42の先端領域には、周状に金属膜45,46が前述の電極と同様の層構成で形成されている。そして、前記金属膜45,46の上層には、周波数を調整するための調整用金属膜43,44が周設されている(調整膜形成工程)。調整用金属膜43は、外側面にある外側面金属膜43aと、表主面にある表主面金属膜43b、裏主面の裏主面金属膜43c、内側面の内側面金属膜43dとで構成されている。同様に、調整用金属膜44は表面の表主面金属膜44b、裏面の裏主面金属膜44c、外側面の外側面金属膜44a、内側面の内側面金属膜44dとで構成されている。前記調整用金属膜として、本実施形態では金が用いられており、電解メッキ法によって成膜されている。なお、前記調整用金属膜は電解メッキ法以外に、真空蒸着法を用いて成膜してもよい。また、前記各種電極の形成時に、振動片4の表裏両面に金からなる一対の接合部(7a,7b,7c,7d)も形成されている。なお、本搭載電極9もクロムを下地層として、その上層に金膜が成膜された構成となっている。
本実施形態における第2の実施形態を、図5乃至図6を用いて説明する。図5は本発明の第2の実施形態を示す音叉型水晶振動片の腕幅方向の断面図であり、簡略化のために一対の腕部の内、1本の腕部について表している。図6は本発明の第2の実施形態を示す音叉型水晶振動片の長手方向断面図である。なお、図6において音叉振動片に形成される各種電極の記載は省略している。また、第1の実施形態と同様の構成については、同番号を付して説明を割愛するとともに、前述の実施形態と同様の効果を有する。以下、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
本実施形態における第3の実施形態を、図7乃至図9を用いて説明する。図7は本発明の第3の実施形態を示す音叉型水晶振動片の腕部の斜視図であり、図8は図7のA−A線における断面図で、図9は図7のB−B線における断面図である。なお、本実施形態は後述する無電極領域に形成される凹部以外の部位については、第2の実施形態と同様の構成となっている。したがって、第2の実施形態と同様の構成については、同番号を付して説明を割愛するとともに、前述の実施形態と同様の効果を有する。以下、第2の実施形態との相違点を中心に説明する。
本実施形態における第4の実施形態を、図10を用いて説明する。図10は本発明の第4の実施形態を示す音叉型水晶振動片の腕部の斜視図である。なお、前述の実施形態と同様の構成については、同番号を付して説明を割愛するとともに、前述の実施形態と同様の効果を有する。以下、第3の実施形態との相違点を中心に説明する。
2 蓋体
3 筐体
4 音叉型水晶振動片
5 封止材
6 金属膜
7 接合部
7a、7b 表側接合部
7c、7d 裏側接合部
8 金属バンプ
9 搭載電極
10 段部
11 内部空間
12 内底面
13 堤部
14 励振電極
15 側面電極
16 凹部
41、42 腕部
43、44、47、48、49、50 調整用金属膜
45、46 金属膜
51 基部
Claims (5)
- 基部と一対の腕部とからなる音叉型圧電振動片が、筐体内部に接合されてなる圧電振動デバイスの製造方法であって、
多数個の前記圧電振動片が一体的に形成された圧電振動片集合体において、
各圧電振動片の基部の表裏面には、圧電振動片と筐体とを接合するための一対の接合部が各々設けられており、
各圧電振動片に、複数の電極を形成する電極形成工程と、
各圧電振動片の腕部先端領域の外周面に、調整用金属膜を形成する調整膜形成工程と、
前記腕部の表裏面の内、一方の面上にある調整用金属膜にレーザービームもしくはイオンビームを照射し、当該調整用金属膜の質量を削減することによって周波数調整を行う周波数調整工程と、
各圧電振動片を前記圧電振動片集合体から分割した後に、前記腕部の表裏面の内、他方の面と同一面側にある一対の接合部を筐体内部に接合する接合工程とを、
有する圧電振動デバイスの製造方法。 - 前記調整用金属膜が、前記腕部の先端領域の外周面の内、表裏面のいずれか一方の面だけに形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動デバイスの製造方法。
- 前記電極間の無電極領域に凹部を形成することを特徴とする請求項1乃至2に記載の圧電振動デバイスの製造方法。
- 請求項1乃至3の製造方法によって製造された圧電振動デバイス。
- 表裏主面に一対の接合部を有する基部と、対向する表裏主面を有する一対の腕部とからなる音叉型圧電振動片が、筐体内部に接合されてなる圧電振動デバイスであって、
前記圧電振動片は、表面に複数の電極と、当該電極間に凹部が形成された無電極領域を有し、前記表裏主面の内、少なくとも一方の主面には、前記主面の外周よりも内側に離間して周波数調整用金属膜が形成されており、
一方の主面にある周波数調整用金属膜に対して、質量削減による周波数調整が行われた後、他方の主面にある接合部が筐体内部に接合されていることを特徴とする圧電振動デバイス。
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