JP5125590B2 - 圧電振動デバイスの周波数調整方法 - Google Patents
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Description
以下、音叉型水晶振動子を例に挙げて、本発明による第1の実施形態について、周波数調整工程を中心に説明する。本実施形態で使用される音叉型水晶振動子は、音叉型水晶振動片が、上部が開口した筐体内部の搭載電極上に金属バンプを介して接合され、前記開口部を、封止材を介して板状の蓋体で接合した構成となっている。ここで、本実施形態では音叉型水晶振動子の公称周波数は32.768kHzとなっている。なお、前記公称周波数は一例であり、他の周波数にも適用可能である。
本実施形態における第2の実施形態を、図6を用いて説明する。図6は本発明の第2の実施形態を示す粗調整工程後の腕部先端の断面図であり、簡略化のために一対の腕部2、2の内、1本の腕部2について表示している。なお、図6において音叉振動片に形成される各種電極の記載は省略している。また、第1の実施形態と同様の構成については、同番号を付して説明を割愛するとともに、前述の実施形態と同様の効果を有する。以下、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
2 腕部
3 基部
4 調整用金属膜
5 残渣部
6 段部
Claims (2)
- 音叉型圧電振動片の腕部先端領域に形成された調整用金属膜の質量を減じることによって周波数調整を行う、圧電振動デバイスの周波数調整方法であって、
前記腕部の主面側に形成された前記調整用金属膜の、大部分または全領域を薄肉化して、周波数の粗調整を行う粗調整工程と、
前記粗調整工程において薄肉化された領域の一部もしくは全領域を、面状に照射されるイオンビームを用いたイオンエッチングでさらに薄肉化または除去することによって、周波数の微調整を行う微調整工程とからなる圧電振動デバイスの周波数調整方法。 - 音叉型圧電振動片の腕部先端領域に形成された調整用金属膜の質量を減じることによって周波数調整を行う、圧電振動デバイスの周波数調整方法であって、
出力を可変させてレーザービームを前記腕部の主面側に形成された前記調整用金属膜に照射して調整用金属膜の大部分または全領域を薄肉化し、薄肉化された領域内に段部を形成して周波数の粗調整を行う粗調整工程と、
前記粗調整工程において薄肉化された領域の一部もしくは全領域を、さらに薄肉化または除去することによって、周波数の微調整を行う微調整工程とからなる圧電振動デバイスの周波数調整方法。
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