JP2010130400A - 圧電振動デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 水晶振動子1は、水晶振動板2と第1蓋部材3と第2蓋部材4とで構成されており、水晶振動板2は、表裏一対の励振電極23が形成された振動部20と、振動部よりも厚肉に形成された枠部29と、振動部と枠部との間に、振動部よりも薄肉に形成された薄肉部28とが一体成形されている。振動部20には第1接合電極25が形成され、第1蓋部材3の一主面31には、他主面37に形成された外部接続端子34と電気的に繋がった第2接合電極33が形成されている。そして、第1接合電極25と第2接合電極33とが金属ロウ材を介して一体化接合されることによって、励振電極23が外部接続端子34と電気的に繋がっている。
【選択図】 図1
Description
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下に示す実施例では、圧電振動デバイスとして水晶振動子を本発明に適用した場合を示す。図1は本発明の第1の実施形態を示す水晶振動子の長辺方向の断面模式図であり、図2は図1で各部材に分解した図である。以下、まず水晶振動子の主要構成部材について説明した後、その製造方法について説明する。
本実施形態における第2の実施形態を、第1の実施形態と同様に圧電振動板として水晶振動板を用いた水晶振動子を例に挙げて図4乃至6を用いて説明する。図4は本発明の第2の実施形態を示す水晶振動板の平面図である。図5は本発明の第2の実施形態を示す水晶振動板の長辺方向の断面模式図で、図6は図4のA部の拡大斜視図である。なお、第1の実施形態と同様の構成については同番号を付して説明の一部を割愛するとともに、前述の実施形態と同様の効果を有する。以下、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
2 水晶振動板
20 振動部
23 励振電極
24 引出電極
25 第1接合電極
28 薄肉部
29 枠部
3 第1蓋部材
33 第2接合電極
34 外部接続端子
4 第2蓋部材
5 接合材
50 金メッキ層
51 第1接合材
52 第2接合材
53 第3接合材
54 第4接合材
6 貫通部
7 壁面導体
8 突起部
Claims (3)
- 表裏一対の励振電極を有する圧電振動板と、該圧電振動板の表裏外周に接合材を介して各々接合され、前記励振電極を気密封止する蓋部材とで構成された圧電振動デバイスであって、
前記圧電振動板は、励振電極が形成された振動部と、
該振動部を包囲し、該振動部よりも厚肉に形成された枠部と、
振動部と枠部との間に、振動部よりも薄肉に形成された薄肉部あるいは貫通部、または前記薄肉部と前記貫通部の組合せ構成とが一体成形されており、
前記振動部には、励振電極から該振動部の一主面側に引き出された第1接合電極が形成され、
一方の蓋部材の一主面には、該蓋部材の他主面に形成された外部接続端子と電気的に繋がった第2接合電極が形成されてなり、
第1接合電極と第2接合電極とが金属ロウ材を介して一体化接合されることによって、励振電極が外部接続端子と電気的に繋がっていることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 前記振動部の表裏主面のうち、少なくとも一方の主面には振動部と同材料からなる突起部が該振動部と一体的に成形され、該突起部には前記第1接合電極が形成されてなり、
前記突起部は、該突起部の上面が前記枠部の一主面と略同一平面となる厚さで形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動デバイス。 - 前記圧電振動板が平面視矩形状のATカット水晶板からなり、該圧電振動板の長辺側をX軸、該圧電振動板の短辺側をZ’軸としたとき、前記薄肉部の領域のうち、Z’軸方向の一部領域に貫通部が形成されてなり、
前記貫通部の上端と下端を繋ぐ壁面導体が、該貫通部の内壁面に部分的に被着され、
前記振動部の一主面側の励振電極は、前記壁面導体を経由して他主面側へ引き回され、前記第1接合電極と電気的に繋がっていることを特徴とする請求項1乃至2に記載の圧電振動デバイス。
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