JP4687993B2 - 圧電振動片、圧電振動子、および圧電振動片の周波数調整方法 - Google Patents
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Description
発振周波数を調整しようとする前記ウェハ1は、真空チャンバ内部に搬入され、画像認識装置によってウェハ1とウェハ1に形成されている各音叉型水晶振動片2,2・・・の位置が認識される。この際、音叉型水晶振動片2上の周波数調整のレーザー照射エリアである前記調整電極の位置が設定されることになる。その状態で各音叉型水晶振動片2の周波数を測定し、各音叉型水晶振動片2の調整量が決定される。
この決定された発振周波数の調整量に基づく調整信号はレーザー制御手段に送られる。このレーザー制御手段では、ウェハ1上に形成されている各音叉型水晶振動片2,2・・・に対する発振周波数を前記目標周波数との差だけ変化させるためにレーザー照射により前記調整電極が除去されるエリア(レーザー照射座標)が決定される。この決定に従って、レーザー照射機はレーザー制御手段により制御され、前記決定された調整電極が除去されるエリアに対するレーザー照射を連続して行う。
上述のレーザー照射動作が終了した後、再び、全ての音叉型水晶振動片2,2・・・に対して発振周波数の測定動作に移る。この発振周波数の測定動作では、各音叉型水晶振動片2,2・・・の発振周波数が目標周波数に一致しているか否かが判定される。この際、発振周波数が目標周波数に一致している場合にはウェハ1は真空チャンバから取り出されて後工程に搬送される。一方、発振周波数が目標周波数に一致していない場合には、前記と同様の周波数調整動作が再度行われる。
2 音叉型水晶振動片(圧電振動片)
Claims (5)
- 基部と、この基部から突出するとともに励振電極と周波数調整膜が形成された複数の脚部とからなる圧電振動片が有り、前記周波数調整膜を増減することで周波数調整されてなる圧電振動片であって、
各脚部先端部であり、周波数調整側の主面領域の一部には、圧電振動片の母材に設けられた有底の凹部か、圧電振動片の母材によって形成された凸部のうち少なくとも一方が形成され、前記周波数調整膜は、前記脚部の主面と前記凹部と凸部の少なくとも一方によって形成される側壁部の一部または全部に形成されてなることを特徴とする圧電振動片。 - 前記脚部の主面には、前記凹部、あるいは凸部とは脚部の主面を介して独立して形成された溝部を有し、前記励振電極の一部が前記溝部の内部に形成されてなることを特徴とする特許請求項1に記載の圧電振動片。
- 前記周波数調整膜は脚部の表裏主面において、両主面に形成される領域と1主面のみに形成される領域を具備してなることを特徴とする特許請求項1、または特許請求項2に記載の圧電振動片。
- 特許請求項1乃至3に記載の圧電振動片がパッケージ基体に搭載されることを特徴とする圧電振動子。
- 特許請求項1乃至3に記載の圧電振動片の周波数調整方法であって、各脚部先端部であり、周波数調整側の主面領域の一部には、圧電振動片の母材に設けられた有底の凹部か、圧電振動片の母材によって形成された凸部のうち少なくとも一方が形成され、前記周波数調整膜は、前記脚部の主面と前記凹部と凸部の少なくとも一方によって形成される側壁部の一部または全部に形成されてなるとともに、前記側壁部を含んだ周波数調整膜を増減することで周波数調整することを特徴とする圧電振動片の周波数調整方法。
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