JP2000223993A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動特性の信頼性を向上し、且つ周波数の調
整を容易に行うことのできる圧電振動子を提供する。 【解決手段】 一端部が容器１２に固定されると共に当
該容器１２内に気密封止される圧電振動片１１と、当該
圧電振動片１１の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して
設けられると共に外部端子を接続する接続部３０を有す
る励振電極膜１７と、該励振電極膜１７の先端側に設け
られた周波数微調整部３６とを具備する圧電振動子にお
いて、前記周波数微調整部３６に、前記励振電極膜１７
を構成するＣｒ膜と一緒に形成されたＣｒ膜と最上層に
Ａｕ膜が形成された積層膜３７とを設ける。
整を容易に行うことのできる圧電振動子を提供する。 【解決手段】 一端部が容器１２に固定されると共に当
該容器１２内に気密封止される圧電振動片１１と、当該
圧電振動片１１の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して
設けられると共に外部端子を接続する接続部３０を有す
る励振電極膜１７と、該励振電極膜１７の先端側に設け
られた周波数微調整部３６とを具備する圧電振動子にお
いて、前記周波数微調整部３６に、前記励振電極膜１７
を構成するＣｒ膜と一緒に形成されたＣｒ膜と最上層に
Ａｕ膜が形成された積層膜３７とを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話及びコン
ピューターなどの情報機器に用いる圧電振動子に関す
る。
ピューターなどの情報機器に用いる圧電振動子に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図８に示すように、従来の表面実装型の
圧電振動子５０は、圧電振動片５１とこの圧電振動片５
１の一端を固定する容器５２と、容器５２を封止する蓋
体５３とからなる。圧電振動片５１が固定される容器５
２は、圧電振動片５１の振動を妨げない程度の空間を画
成する凹部５４を有し、この凹部５３内には他の部分よ
りも深さの浅い段差部５５が設けられている。また、圧
電振動片５１上には、例えば、Ｃｒ膜及びＡｕ膜等から
なる励振電極膜５６が設けられている。そして、圧電振
動片５１は、この励振電極膜５６を介して、容器５２の
段差部５５の上面に半田材又は導電性接着剤等の接着層
５７によって固定される。また、この容器５２は、上部
に圧電振動片５１の固定と同様の接着層５７によって蓋
体５３が接合され、圧電振動片５１が容器５２の凹部５
３内に気密封止される。
圧電振動子５０は、圧電振動片５１とこの圧電振動片５
１の一端を固定する容器５２と、容器５２を封止する蓋
体５３とからなる。圧電振動片５１が固定される容器５
２は、圧電振動片５１の振動を妨げない程度の空間を画
成する凹部５４を有し、この凹部５３内には他の部分よ
りも深さの浅い段差部５５が設けられている。また、圧
電振動片５１上には、例えば、Ｃｒ膜及びＡｕ膜等から
なる励振電極膜５６が設けられている。そして、圧電振
動片５１は、この励振電極膜５６を介して、容器５２の
段差部５５の上面に半田材又は導電性接着剤等の接着層
５７によって固定される。また、この容器５２は、上部
に圧電振動片５１の固定と同様の接着層５７によって蓋
体５３が接合され、圧電振動片５１が容器５２の凹部５
３内に気密封止される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
圧電振動子では、励振電極膜５６はＣｒ膜及びＡｕ膜で
構成され、その最上層にＡｕ膜を全面的に使用している
ため、接着層５７として半田材を用いて圧電振動片を固
定する場合、又は半田材を用いて外部配線を接続する場
合、半田材に含まれる錫（Ｓｎ）が励振電極膜５６の最
上層を構成するＡｕ膜の中に拡散されてしまい励振電極
膜５６に経時変化を与えるという問題がある。すなわ
ち、Ａｕ膜の抵抗値が変化してしまい、圧電振動片の周
波数が変化してしまうという問題がある。
圧電振動子では、励振電極膜５６はＣｒ膜及びＡｕ膜で
構成され、その最上層にＡｕ膜を全面的に使用している
ため、接着層５７として半田材を用いて圧電振動片を固
定する場合、又は半田材を用いて外部配線を接続する場
合、半田材に含まれる錫（Ｓｎ）が励振電極膜５６の最
上層を構成するＡｕ膜の中に拡散されてしまい励振電極
膜５６に経時変化を与えるという問題がある。すなわ
ち、Ａｕ膜の抵抗値が変化してしまい、圧電振動片の周
波数が変化してしまうという問題がある。
【０００４】この問題を解決するために、励振電極膜を
Ｃｒ膜単層で形成した圧電振動子が考えられるが、励振
電極膜をＣｒ膜のみとすると、軽量すぎて圧電振動片の
周波数の調整が難しいという問題がある。本発明は、こ
のような事情に鑑み、振動特性の信頼性を向上し、且つ
周波数の調整を容易に行うことのできる圧電振動子を提
供することを課題とする。
Ｃｒ膜単層で形成した圧電振動子が考えられるが、励振
電極膜をＣｒ膜のみとすると、軽量すぎて圧電振動片の
周波数の調整が難しいという問題がある。本発明は、こ
のような事情に鑑み、振動特性の信頼性を向上し、且つ
周波数の調整を容易に行うことのできる圧電振動子を提
供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の態様は、一端部が容器に固定されると共に当該容器
内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の表
裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に外
部端子を接続する接続部を有する励振電極膜と、該励振
電極膜の先端側に設けられた周波数微調整部とを具備す
る圧電振動子において、前記周波数微調整部は、前記励
振電極膜を構成するＣｒ膜と一緒に形成されたＣｒ膜と
最上層にＡｕ膜が形成された積層膜とを有することを特
徴とする圧電振動子にある。
明の態様は、一端部が容器に固定されると共に当該容器
内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の表
裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に外
部端子を接続する接続部を有する励振電極膜と、該励振
電極膜の先端側に設けられた周波数微調整部とを具備す
る圧電振動子において、前記周波数微調整部は、前記励
振電極膜を構成するＣｒ膜と一緒に形成されたＣｒ膜と
最上層にＡｕ膜が形成された積層膜とを有することを特
徴とする圧電振動子にある。
【０００６】かかる本発明では、半田の拡散の原因とな
るＡｕがマウント部から遠くなり、半田が飛散しても付
着しない距離となり、振動特性の劣化がなくなる。
るＡｕがマウント部から遠くなり、半田が飛散しても付
着しない距離となり、振動特性の劣化がなくなる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明を詳
細に説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る水晶
振動子の断面図であり、図２は、水晶振動片の平面図及
びそのＡ−Ａ鋳f面、Ｂ−Ｂ鋳f面図及びＣ−Ｃ鋳f面で
ある。本実施形態の圧電振動子は、例えば、水晶（Ｓｉ
Ｏ2）からなる水晶振動片を有する水晶振動子である。
その構造は、基本的には、従来の圧電振動子の構造と同
様であり、図１に示すように、水晶振動片１１とこの水
晶振動片１１の一端が固定される容器１２と、この容器
１２を気密封止する蓋体１３とを有する。
細に説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る水晶
振動子の断面図であり、図２は、水晶振動片の平面図及
びそのＡ−Ａ鋳f面、Ｂ−Ｂ鋳f面図及びＣ−Ｃ鋳f面で
ある。本実施形態の圧電振動子は、例えば、水晶（Ｓｉ
Ｏ2）からなる水晶振動片を有する水晶振動子である。
その構造は、基本的には、従来の圧電振動子の構造と同
様であり、図１に示すように、水晶振動片１１とこの水
晶振動片１１の一端が固定される容器１２と、この容器
１２を気密封止する蓋体１３とを有する。
【０００８】この水晶振動片１１は、容器１２の凹部１
４内に設けられた段差部１５に半田材等の接着層１６を
介して固定されている。また、この水晶振動片１１が固
定された容器１２の上部には、水晶振動片１１と同様の
接着層１６によって蓋体１３が接合され、これにより水
晶振動片１１が容器１２の凹部１４内に気密封止されて
いる。
４内に設けられた段差部１５に半田材等の接着層１６を
介して固定されている。また、この水晶振動片１１が固
定された容器１２の上部には、水晶振動片１１と同様の
接着層１６によって蓋体１３が接合され、これにより水
晶振動片１１が容器１２の凹部１４内に気密封止されて
いる。
【０００９】また、図２に示すように、水晶振動片１１
の上面、下面及び側面には、クロム（Ｃｒ）からなる金
属膜をパターニングすることにより、励振電極膜１７が
それぞれ独立して形成されている。この励振電極膜１７
は、水晶振動片１１の長手方向端部まで延設されてお
り、その長手方向端部近傍は、外部端子を接続する接続
部３０となっている。すなわち、励振電極膜１７の長手
方向端部は、水晶振動片１１の幅方向略中央部で分離さ
れた２つの第１の電極膜２１となっており、それぞれ、
水晶振動片１１の幅方向側面を介して上下面に連続的に
形成されている。そして、水晶振動片１１上面側の第１
の電極膜２１上には、さらに、Ｃｒからなる第２の電極
膜２２とＡｕからなる第３の電極膜２３とが形成され
て、外部端子を接続する接続部３０となっている。
の上面、下面及び側面には、クロム（Ｃｒ）からなる金
属膜をパターニングすることにより、励振電極膜１７が
それぞれ独立して形成されている。この励振電極膜１７
は、水晶振動片１１の長手方向端部まで延設されてお
り、その長手方向端部近傍は、外部端子を接続する接続
部３０となっている。すなわち、励振電極膜１７の長手
方向端部は、水晶振動片１１の幅方向略中央部で分離さ
れた２つの第１の電極膜２１となっており、それぞれ、
水晶振動片１１の幅方向側面を介して上下面に連続的に
形成されている。そして、水晶振動片１１上面側の第１
の電極膜２１上には、さらに、Ｃｒからなる第２の電極
膜２２とＡｕからなる第３の電極膜２３とが形成され
て、外部端子を接続する接続部３０となっている。
【００１０】また、水晶振動片１１の先端部は、水晶振
動片１１の周波数を調整するための周波数調整部３４と
なっており、水晶振動片１１の一方面側に、第１の電極
膜２１を介して周波数調整用重り３５が設けられてい
る。この周波数調整用重り３５は、詳しくは後述するよ
うに、レーザトリミングによってこの重さを調整して、
水晶振動片１１の周波数を調整するためのものである。
動片１１の周波数を調整するための周波数調整部３４と
なっており、水晶振動片１１の一方面側に、第１の電極
膜２１を介して周波数調整用重り３５が設けられてい
る。この周波数調整用重り３５は、詳しくは後述するよ
うに、レーザトリミングによってこの重さを調整して、
水晶振動片１１の周波数を調整するためのものである。
【００１１】また、水晶振動片１１の周波数調整用重り
３５とは反対側の面の基端部側は、水晶振動片１１の周
波数の微調整を行うための周波数微調整部３６となって
おり、本実施形態では、接続部３０と同様にＣｒからな
る第１の電極膜２１上に、Ｃｒからなる第２の電極膜２
２とＡｕからなる第３の電極膜２３とからなる周波数調
整用膜３７が形成されている。これらの膜は、周波数調
整用重り３５と同様に、これらの膜の重さを調整して水
晶振動片１１の周波数を調整するものである。
３５とは反対側の面の基端部側は、水晶振動片１１の周
波数の微調整を行うための周波数微調整部３６となって
おり、本実施形態では、接続部３０と同様にＣｒからな
る第１の電極膜２１上に、Ｃｒからなる第２の電極膜２
２とＡｕからなる第３の電極膜２３とからなる周波数調
整用膜３７が形成されている。これらの膜は、周波数調
整用重り３５と同様に、これらの膜の重さを調整して水
晶振動片１１の周波数を調整するものである。
【００１２】ここで、水晶振動片１１上への各電極膜の
製造工程について説明する。なお、図３は、それぞれ各
電極膜の製造工程を示す断面図であり、断面図であり、
図４は、Ｂ−Ｂ鋳f面図である。まず、図３（ａ）に示
すように、水晶振動片１１の全面に、Ｃｒからなる金属
膜２０をスパッタリング等によって成膜する。
製造工程について説明する。なお、図３は、それぞれ各
電極膜の製造工程を示す断面図であり、断面図であり、
図４は、Ｂ−Ｂ鋳f面図である。まず、図３（ａ）に示
すように、水晶振動片１１の全面に、Ｃｒからなる金属
膜２０をスパッタリング等によって成膜する。
【００１３】次に、図３（ｃ）に示すように、金属膜２
０をパターニングして、励振電極膜１６を形成すると共
に、接続部となる部分及び水晶振動片１１の上下面の先
端部に第１の電極膜２１を形成する。次いで、図３
（ｄ）に示すように、水晶振動片１１の上面側の第１の
電極膜２１上に第２の電極膜２２及び第３の電極膜２３
を形成する。本実施形態では、周囲をマスキング材等の
マスク部材２４によって覆い、第２の電極膜２２及び第
３の電極膜２３を、順次、スパッタリングによって成膜
し、水晶振動片１１の基端部を接続部３０とすると共
に、先端部の周波数微調整部３６に周波数調整用膜３７
を形成する。なお、マスキング部材２４は、その後除去
すればよい。
０をパターニングして、励振電極膜１６を形成すると共
に、接続部となる部分及び水晶振動片１１の上下面の先
端部に第１の電極膜２１を形成する。次いで、図３
（ｄ）に示すように、水晶振動片１１の上面側の第１の
電極膜２１上に第２の電極膜２２及び第３の電極膜２３
を形成する。本実施形態では、周囲をマスキング材等の
マスク部材２４によって覆い、第２の電極膜２２及び第
３の電極膜２３を、順次、スパッタリングによって成膜
し、水晶振動片１１の基端部を接続部３０とすると共
に、先端部の周波数微調整部３６に周波数調整用膜３７
を形成する。なお、マスキング部材２４は、その後除去
すればよい。
【００１４】次いで、図３（ｅ）に示すように、水晶振
動片１１先端部の周波数調整部３４に、すなわち、周波
数調整用膜３７とは反対側の第１の電極膜２１上に、例
えば、銀（Ａｇ）等の金属材料からなる周波数調整用重
り３５を形成する。次に、水晶振動片１１の周波数を測
定し、その測定値に基づいて周波数調整用重り３５及び
周波数調整用膜３７の一部をレーザトリミングして重さ
を調整することにより、水晶振動片１１を目的の周波数
に調整する。例えば、本実施形態では、図４に示すよう
に、周波数調整用重り３５及び周波数調整用膜３７に、
その厚さ方向にレーザ光を照射して貫通孔３８を形成す
ることにより重さを調整している。すなわち、まず、周
波数調整用重り３５に貫通孔３８を形成することによ
り、水晶振動片１１の周波数を概略調整し、その後、周
波数調整用膜３７に貫通孔３９を形成することにより、
水晶振動片１１の周波数の微調整を行う。
動片１１先端部の周波数調整部３４に、すなわち、周波
数調整用膜３７とは反対側の第１の電極膜２１上に、例
えば、銀（Ａｇ）等の金属材料からなる周波数調整用重
り３５を形成する。次に、水晶振動片１１の周波数を測
定し、その測定値に基づいて周波数調整用重り３５及び
周波数調整用膜３７の一部をレーザトリミングして重さ
を調整することにより、水晶振動片１１を目的の周波数
に調整する。例えば、本実施形態では、図４に示すよう
に、周波数調整用重り３５及び周波数調整用膜３７に、
その厚さ方向にレーザ光を照射して貫通孔３８を形成す
ることにより重さを調整している。すなわち、まず、周
波数調整用重り３５に貫通孔３８を形成することによ
り、水晶振動片１１の周波数を概略調整し、その後、周
波数調整用膜３７に貫通孔３９を形成することにより、
水晶振動片１１の周波数の微調整を行う。
【００１５】また、周波数調整用重り３５に貫通孔３８
を形成する際、本実施形態では、周波数調整用重り３５
が水晶振動片１１の垂直下方に位置するようにして、水
晶振動片１１の周波数調整用重り３５とは逆側、すなわ
ち上方からレーザ光を照射することによって形成した。
これにより、周波数調整用重り３５等から万が一金属が
飛散した場合でも、その飛散した金属は下方に落下し、
水晶振動片１１への再付着を抑えることができる。な
お、照射されたレーザ光は、水晶振動片１１を透過する
ため、周波数調整用重り３５のみに貫通孔３８が形成さ
れる。
を形成する際、本実施形態では、周波数調整用重り３５
が水晶振動片１１の垂直下方に位置するようにして、水
晶振動片１１の周波数調整用重り３５とは逆側、すなわ
ち上方からレーザ光を照射することによって形成した。
これにより、周波数調整用重り３５等から万が一金属が
飛散した場合でも、その飛散した金属は下方に落下し、
水晶振動片１１への再付着を抑えることができる。な
お、照射されたレーザ光は、水晶振動片１１を透過する
ため、周波数調整用重り３５のみに貫通孔３８が形成さ
れる。
【００１６】このように水晶振動片１１の周波数を調整
すると、その後、この水晶振動片１１を容器１２の凹部
１４に固定し、この容器１２を蓋体１３によって気密封
止して圧電振動子とする。このように、本実施形態で
は、水晶振動片１１の基端部近傍にＡｕからなる第３の
電極膜２３を最上層とした積層膜を設けて接続部３０と
すると共に、水晶振動片１１の先端部の周波数微調整部
３６にも質量の大きいＡｕからなる第３の電極膜２３を
含む積層膜からなる周波数調整膜３７を形成するように
したので、上述のようなレーザトリミングによる質量調
整により周波数調整量を大きくすることができる。した
がって、水晶振動片１１の振動特性を向上することがで
きる。また、励振電極膜１７は、Ｃｒ単層で形成してい
るため、接続部３０に外部端子を半田付けした際に、半
田が飛散しても励振電極膜１７に半田が拡散することが
ない。
すると、その後、この水晶振動片１１を容器１２の凹部
１４に固定し、この容器１２を蓋体１３によって気密封
止して圧電振動子とする。このように、本実施形態で
は、水晶振動片１１の基端部近傍にＡｕからなる第３の
電極膜２３を最上層とした積層膜を設けて接続部３０と
すると共に、水晶振動片１１の先端部の周波数微調整部
３６にも質量の大きいＡｕからなる第３の電極膜２３を
含む積層膜からなる周波数調整膜３７を形成するように
したので、上述のようなレーザトリミングによる質量調
整により周波数調整量を大きくすることができる。した
がって、水晶振動片１１の振動特性を向上することがで
きる。また、励振電極膜１７は、Ｃｒ単層で形成してい
るため、接続部３０に外部端子を半田付けした際に、半
田が飛散しても励振電極膜１７に半田が拡散することが
ない。
【００１７】また、さらに、接続部３０以外の励振電極
膜１７上に、各励振電極膜１７の短絡を防止するため
の、例えば、ＳｉＯ2からなる保護膜を設けるようにし
てもよい。これにより、より確実に励振電極膜１７への
半田の拡散が防止できる。また、保護膜によって、各励
振電極膜１７間での短絡を確実に防止することができる
と共に、励振電極膜１７の酸化も防止することができ
る。したがって、水晶振動片１１の振動特性を低下させ
ることがなく、信頼性を向上することができる。
膜１７上に、各励振電極膜１７の短絡を防止するため
の、例えば、ＳｉＯ2からなる保護膜を設けるようにし
てもよい。これにより、より確実に励振電極膜１７への
半田の拡散が防止できる。また、保護膜によって、各励
振電極膜１７間での短絡を確実に防止することができる
と共に、励振電極膜１７の酸化も防止することができ
る。したがって、水晶振動片１１の振動特性を低下させ
ることがなく、信頼性を向上することができる。
【００１８】なお、上述の実施形態では、周波数調整膜
３７を周波数微調整部３６、すなわち、水晶振動片１１
に周波数調整用膜３７を周波数調整用重り３５より基端
部側に設けるようにしたが、これに限定されず、例え
ば、図５に示すように、周波数調整用膜３７の一部を周
波数調整用重り３５と対向する領域まで延設するように
してもよい。
３７を周波数微調整部３６、すなわち、水晶振動片１１
に周波数調整用膜３７を周波数調整用重り３５より基端
部側に設けるようにしたが、これに限定されず、例え
ば、図５に示すように、周波数調整用膜３７の一部を周
波数調整用重り３５と対向する領域まで延設するように
してもよい。
【００１９】また、上述の実施形態では、周波数調整用
膜３７を周波数調整用重り３５とは反対側の面に設ける
ようにしたが、これに限定されず、例えば、図６に示す
ように、これらを水晶振動片１１の同一面に設けるよう
にしてもよい。何れにの構成であっても、水晶振動片１
１の先端部の周波数微調整部３６に、Ａｕからなる第３
の電極膜を最上層とした周波数調整用膜３７を設けるこ
とにより、水晶振動片１１の周波数調整の範囲が大きく
なり、且つ周波数をより細かく調整することができる。
膜３７を周波数調整用重り３５とは反対側の面に設ける
ようにしたが、これに限定されず、例えば、図６に示す
ように、これらを水晶振動片１１の同一面に設けるよう
にしてもよい。何れにの構成であっても、水晶振動片１
１の先端部の周波数微調整部３６に、Ａｕからなる第３
の電極膜を最上層とした周波数調整用膜３７を設けるこ
とにより、水晶振動片１１の周波数調整の範囲が大きく
なり、且つ周波数をより細かく調整することができる。
【００２０】また、本実施形態の水晶振動子１０は、凹
部１４を有する容器１２内に圧電振動片１１を固定した
構造であるが、このような構造に限定されず、例えば、
図７に示すように、水晶振動片４１と枠４２とが一体的
に形成された水晶振動板４３の上下面に、水晶振動片４
１の振動を妨げない程度の空間を画成する凹部４４を有
する一対の蓋体４５を接合した構造であってもよい。こ
のような構造であっても、上述と同様の効果を得ること
ができる。
部１４を有する容器１２内に圧電振動片１１を固定した
構造であるが、このような構造に限定されず、例えば、
図７に示すように、水晶振動片４１と枠４２とが一体的
に形成された水晶振動板４３の上下面に、水晶振動片４
１の振動を妨げない程度の空間を画成する凹部４４を有
する一対の蓋体４５を接合した構造であってもよい。こ
のような構造であっても、上述と同様の効果を得ること
ができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、接続
部と水晶振動片の先端部の周波数微調整部にＡｕからな
る電極膜を設けるようにしたので、水晶振動片の周波数
調整の範囲が広くなり、水晶振動片の周波数をより細か
く調整することができる。また、接続部の半田付け時に
半田が飛散しても励振電極膜に半田が拡散することがな
く振動特性の安定した水晶振動子が得られるという効果
を奏する。
部と水晶振動片の先端部の周波数微調整部にＡｕからな
る電極膜を設けるようにしたので、水晶振動片の周波数
調整の範囲が広くなり、水晶振動片の周波数をより細か
く調整することができる。また、接続部の半田付け時に
半田が飛散しても励振電極膜に半田が拡散することがな
く振動特性の安定した水晶振動子が得られるという効果
を奏する。
【図１】本発明の一実施形態に係る水晶振動子の断面図
である。
である。
【図２】本発明の一実施形態に係る水晶振動片の平面図
及び断面図である。
及び断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る水晶振動片の製造工
程を示す断面図である。
程を示す断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る水晶振動片の要部断
面図である。
面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る水晶振動片の他の例
を示す要部断面図である。
を示す要部断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る水晶振動片の他の例
を示す要部断面図である。
を示す要部断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る水晶振動子の断面
図である。
図である。
【図８】従来技術に係る水晶振動子の断面図である。
１０ 水晶振動子 １１ 水晶振動片 １２ 容器 １３ 蓋体 １７ 励振電極膜 ２１ 第１の電極膜 ２２ 第２の電極膜 ２３ 第３の電極膜 ３０ 接続部 ３４ 周波数調整部 ３５ 周波数調整用重り ３６ 周波数微調整部 ３７ 周波数調整用膜
Claims (1)
- 【請求項１】 一端部が容器に固定されると共に当該容
器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の
表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に
外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜と、該励
振電極膜の先端側に設けられた周波数微調整部とを具備
する圧電振動子において、 前記周波数微調整部は、前記励振電極膜を構成するＣｒ
膜と一緒に形成されたＣｒ膜と最上層にＡｕ膜が形成さ
れた積層膜とを有することを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11023080A JP2000223993A (ja) | 1999-01-29 | 1999-01-29 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11023080A JP2000223993A (ja) | 1999-01-29 | 1999-01-29 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000223993A true JP2000223993A (ja) | 2000-08-11 |
Family
ID=12100450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11023080A Pending JP2000223993A (ja) | 1999-01-29 | 1999-01-29 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000223993A (ja) |
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-
1999
- 1999-01-29 JP JP11023080A patent/JP2000223993A/ja active Pending
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