JP4726133B2 - 圧電振動子および圧電振動ジャイロ - Google Patents

Description

本発明は、衝撃や加速度等を検出するセンサに好適な圧電振動子及び圧電振動子を使用する圧電振動ジャイロに関する。

電気−機械変換機能と機械−電気変換機能とを有する圧電振動子は、センサ、発振器、表面弾性波フィルタ、超音波モータ、音響素子、トランスなど、幅広い分野に用いられている。圧電振動子に用いられる圧電材料にはジルコン酸チタン酸鉛系の磁器組成物やニオブ酸リチウム等の圧電単結晶材料が知られている。

特に、圧電単結晶材料は機械的品質係数（以下、Ｑｍとよぶ）が高く、温度変化に対して特性変化が小さく、材料の結晶構造が均一で信頼性も高く、量産性が良いという特徴がある。そのため、センサ、発振器、表面弾性波フィルタ等の電子部品用の圧電材料として広く用いられている。

例えば、角速度を検出する振動ジャイロに水晶やタンタル酸リチウムの単結晶を音叉形状にして用いる提案がなされている。このような圧電単結晶材料を用いた圧電振動子は特許文献１に開示されている。

また、これらの圧電単結晶材料を用いた圧電振動子を製造する場合には、まず、圧電単結晶のウエハーに電極となる金属薄膜をスパッタや真空蒸着等で１層成膜する。次に、フォトリソグラフでレジストをパターニングした後、金属薄膜をエッチングして電極パターンを形成する。ここで再びフォトリソグラフでレジストをパターニングし、エッチングやサンドブラストにより所望の形状に加工して、最後にダイシングソーで圧電振動子を個片に切り分けて１枚のウエハーから多数の圧電振動子を得ている。さらに、前記の圧電振動子をパッケージに入れて、ワイヤーボンディングやＧＧＩ（Gold to Gold Interconnection）で実装配線をし、最後に封止して製品にしている。このような圧電振動子の製造方法や圧電振動子は、特許文献２に開示されている。

特開２０００−１９３４５７号公報 特開２００４―１８７０９７号公報

圧電振動子の特性を示すＱｍは、共振時の機械的振動の鋭さを示すパラメータであるが、その逆数である１／Ｑｍは振動エネルギーの損失を示す。つまり、Ｑｍが大きな値であればそれだけ振動エネルギーの損失は小さいと言える。また、振動エネルギーの損失となる要因が存在するとＱｍの値は小さくなる。損失となる要因には、圧電振動子の実装状態や表面状態、周囲の環境条件等などが挙げられる。これらの要因を考慮すると、圧電振動子の振動エネルギー損失１／Ｑｍは、材料固有の損失をηＭ、それ以外の要因がｎ個あるとし、第１の要因による損失をη１、第２の要因による損失をη２、第ｎの要因による損失をηｎとすると式（１）で表すことができる。

１／Ｑｍ＝ηＭ＋η１＋η２＋・・・＋ηｎ・・・（１）

圧電単結晶材料のように材料自体のＱｍの値が大きい圧電振動子では材料固有の損失ηＭは非常に小さいので、他の損失要因の影響を大きく受け、Ｑｍの値が著しく小さくなる。圧電振動子のＱｍの値が小さくなると、この圧電振動子を使用した製品が所望の特性を得ることができなくなってしまう。例えば、圧電振動子を用いた圧電振動ジャイロの場合では、圧電振動ジャイロの感度はＱｍに比例するので、Ｑｍの値が小さくなると感度が低下するという問題が生じる。従って、可能な限り損失要因を取り除きＱｍの値が小さくなるのを防ぐ必要がある。

近年、電子部品の小型化に伴い、使用される圧電振動子の小型化も進んでいる。しかしながら、圧電振動子の寸法が小さくなると、従来の圧電振動子の構成では、圧電振動子全体に占める電極の割合が大きくなり、電極の存在自体が損失要因となり圧電振動子のＱｍの値を小さくするという問題点がある。一方、電極の影響を低減させるために、電極の厚みを極端に薄くすることも考えられるが、そうすると電極自体の電気抵抗が大きくなり、特性に影響を与え、また、ワイヤーボンディングやＧＧＩなどの配線時のストレスによって電極が損傷して接続不良が発生するといった問題が生じる。

従って、本発明は上記従来技術の問題点を解決することを課題とする。具体的には、Ｑｍの値を小さくせず小型化できる圧電振動子および小型で、高精度、高信頼性を有する圧電振動ジャイロを提供することを課題とする。

本発明は前記課題を解決するために、以下の手段を採用した。即ち、本発明は、圧電素子に２層の電極層を設け、１層目の電極層にパターニングで駆動電極と検出電極とを設け、２層目の電極層は圧電振動子にしたときに振動する部分以外の部分にパターニングで入出力電極を設け圧電振動子の振動する部分の電極層を１層とすることをその要旨とする。

本発明によれば、第１の電極層と第２の電極層とが順に、音叉形状の圧電素子の一面のみに積層形成されてなる圧電振動子であって、前記第１の電極層が形成された振動部と、前記振動部と接続し電極層と対向する面がパッケージに固定された固定部からなり、前記固定部に形成された全体の電極層は、前記第１の電極層を下地として前記第２の電極層から形成され、前記第１の電極層及び前記第２の電極層は、金属薄膜からなり、前記振動部に電界を付与して駆動するための駆動電極と、生じる電荷を検出する検出電極と、基準電位電極が、前記圧電素子の長さ方向にそれぞれ平行に形成され、前記固定部に前記駆動電極、前記検出電極、前記基準電極にそれぞれ連続する、外部の回路と接続をするための入出力電極が形成されてなることを特徴とする圧電振動子が得られる。

本発明による圧電振動子は、ジルコン酸チタン酸鉛系の磁器組成物や圧電単結晶材料からなる圧電素子の表面にスパッタ法や真空蒸着法等で金属の薄膜を２層に形成する。１層目の金属薄膜は圧電素子に直接形成してこれを第１の電極層とする。さらに、第１の電極層の上に２層目の金属薄膜を形成してこれを第２の電極層とする。

第１の電極層は圧電振動子に電界を印加して駆動するための駆動電極と、圧電振動子に加わった外力により発生する電荷を検出するための検出電極とをパターニングにより形成する。また、駆動電極と検出電極となる第１の電極層は圧電振動子の振動する部分に設け、圧電振動子を固定する部分にも延在するようにパターニングする。

第２の電極層は、圧電振動子の振動する部分には設けず、圧電振動子を固定する部分に延在させた第１の電極層の上に設ける。このような構成にすることで、圧電振動子の振動する部分の電極層は１層であるため電極の影響による損失が低減し、電極層が２層となっている部分で配線を行うことで接続不良が発生しない圧電振動子となる。

本発明によれば、前記第１の電極層は、厚さが１００Å以上、１０００Å以下であり、前記第２の電極層は、厚みが５００Å以上、５００００Å以下であることを特徴とする圧電振動子が得られる。

本発明による圧電振動子は、第１の電極層の厚さを１００Å以上、１０００Å以下にして、第２の電極層の厚さを５００Å以上、５００００Å以下とすることで、圧電振動子を小型にしても、さらに電極の影響による損失が低減し、配線時に電極が損傷せず、より接続不良が発生しない圧電振動子が得られる。

第１の電極層は圧電振動子の振動部に影響を与えずに圧電素子との密着強度も確保する必要があり、その厚さは、２００Åより薄いと密着強度が下がり、８００Åより厚いと電気抵抗値が大きくなり、振動子の振動を拘束し、検出感度が下げるので、２００Å以上、８００Å以下が好ましく、４００Å以上、６００Å以下とするのがより好ましい。また第２の電極層はワイヤーボンディングでのワイヤーの接合に耐える必要があると同時に形成する時間やコストを考慮する必要がある。そのため、第２の電極層の厚さは、１０００Åより薄いと密着強度が下がり、１００００Åより厚いとコストが増えるので、１０００Å以上、１００００Å以下が好ましく、１５００Å以上、３０００Å以下とするのがより好ましい。

本発明によれば、前記圧電素子は、ＬｉＮｂＯ₃、ＬｉＴａＯ₃、ＺｎＯ、水晶、ランガサイトのいずれかの単結晶材料からなることを特徴とする圧電振動子が得られる。

本発明による圧電振動子は、圧電素子にジルコン酸チタン酸鉛系の磁器組成物を使用するのが好ましいが、より大きなＱｍの値を持つ圧電振動子を得るためには、ＬｉＮｂＯ₃、ＬｉＴａＯ₃、ＺｎＯ、水晶、ランガサイトのいずれかの圧電単結晶材料を使用するのがより好ましい。

本発明によれば、前記第１の電極層は、Ｃｒ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｗのいずれか１つの金属からなり、前記第２の電極層は、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｗのいずれか１つの金属からなることを特徴とする圧電振動子が得られる。

本発明による圧電振動子は、第１の電極層にＣｒ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｗのいずれか１つの金属を使用し、第２の電極層にＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｗのいずれか１つの金属を使用することで、電極としての電気抵抗値が小さくなり、前記金属を組合せることにより、電極の影響による損失が低減し、圧電素子との密着強度や電極層同士の密着強度が向上し、配線時に電極が損傷せず、より接続不良が発生しない圧電振動子が得られる。

本発明による圧電振動子を音叉形状にすることで、損失が少なく、特性劣化の少ない角速度検出用の振動ジャイロに好適な圧電振動子となる。

本発明によれば、前記圧電素子に前記第１の電極層を形成する第１の電極形成工程と、前記第１の電極層の上面に前記第２の電極層を形成する第２の電極形成工程と、前記圧電振動子の振動部に対応する前記第２の電極層を除去するエッチング工程とを有することを特徴とする圧電振動子の製造方法が得られる。

本発明による圧電振動子は、第１の電極形成工程でジルコン酸チタン酸鉛系の磁器組成物や圧電単結晶材料からなる圧電素子の表面にスパッタ法や蒸着法等で第１の電極層となる金属薄膜を形成し、次に、第２の電極形成工程で前記第１の電極層の上に前記第１の電極形成工程同様にスパッタ法や蒸着法等で第２の電極層となる金属薄膜を形成し、さらに、エッチング工程で前記第２の電極層にフォトリソグラフでフォトレジストをパターニングし、前記圧電振動子の振動部に形成された前記第２の電極層をウエットエッチングすることにより得られる。

第１の電極形成工程及び第２の電極形成工程で用いる金属薄膜の形成には、一般的な薄膜形成法ならいずれも適用することができる。従って、スパッタ法や蒸着法に限定されるものではなく、蒸着やその他の手法から適宜選定すれば良い。また、エッチング工程において使用するエッチングの手法も一般的なエッチング方法ならいずれも適用することができるので、ウエットエッチングに限られず、第２の電極層をパターニングでき、圧電振動子の振動部に形成された第２の電極層が除去できる手法であれば良い。エッチング工程においては、さらに、第２の電極層がエッチングされて露出した第１の電極層をパターニングするためのエッチング工程を含めても良い。

前記圧電素子に前記第１の電極層を形成する第１の電極形成工程と、前記圧電振動子の振動部にレジストを形成するレジスト形成工程と、前記第２の電極層を形成する第２の電極形成工程と、前記レジストを除去するレジスト除去工程とを有することを特徴とする圧電振動子の製造方法が得られる。

本発明による圧電振動子は、第１の電極形成工程でジルコン酸チタン酸鉛系の磁器組成物や圧電単結晶材料からなる圧電素子の表面にスパッタ法や蒸着法等で第１の電極層となる金属薄膜を形成し、次に、レジスト形成工程で第１の電極層の上に、圧電振動子の振動部に第２の電極形成時に電極が形成されないようにパターニングされたレジストを形成した後、第２の電極形成工程で前記第１の電極層の上に前記第１の電極形成工程同様にスパッタ法や蒸着法等で第２の電極層となる金属薄膜を形成し、さらにレジスト除去工程で前記レジストを除去することにより得られる。

第１の電極形成工程及び第２の電極形成工程で用いる金属薄膜の形成手法はスパッタ法や蒸着法に限定されるものではなく、蒸着やその他の手法から適宜選定すれば良い。また、レジスト除去工程はレジストが除去されれば良く選択されたレジストに合わせて除去する手法を適宜選定すれば良い。

本発明によれば、前記圧電振動子を用いてなることを特徴とする圧電振動ジャイロが得られる。本発明では、前記圧電振動子をパッケージに入れて、ワイヤーボンディングやＧＧＩ（Gold to Gold Interconnection）で前記第２の電極層に形成された電極に実装配線をして封止することにより前記圧電振動子を用いる圧電振動ジャイロが得られる。

本発明による圧電振動子は、圧電素子に２層の電極層を設け、１層目の電極層にパターニングで駆動電極と検出電極とを設け、２層目の電極層は圧電振動子にしたときに振動する部分以外の部分にパターニングで入出力電極を設け、圧電振動子の振動する部分の電極層を１層にする。また、本発明による圧電振動子を使用して圧電振動ジャイロとする。

本発明による圧電振動子は、圧電素子に２層の電極層を設け、１層目の電極層にパターニングで駆動電極と検出電極とを設け、２層目の電極層は圧電振動子にしたときに振動する部分以外の部分にパターニングで入出力電極を設け、圧電振動子の振動する部分の電極層を１層にする。また、本発明による圧電振動子を使用して圧電振動ジャイロとする。

以下、具体的な例を挙げ、本発明の圧電振動ジャイロについて、図面を参照しながら詳細に説明する。

（実施例１）
図１は、実施例による圧電振動子の図である。図１（ａ）は側面図であり、図１（ｂ）は上面図である。本実施例による圧電振動子１は、図１（ａ）に図示するように、圧電素子１１の上に第１の電極層１２を形成し、第１の電極層１２の上に第２の電極層１３を形成した。また図１（ｂ）に図示するように、本実施例による圧電振動子１は、音叉形状にして、圧電振動子１の振動部１５と固定部１４には、圧電素子１１の表面に第１の電極層１２をパターニングして、第１の駆動電極１２ｂ、第２の駆動電極１２ｄ、第１の検出電極１２ｃ、第２の検出電極１２ｅ、基準電位電極１２ａを設けた。また、固定部１４には第２の電極層１３をパターニングして前記第１の電極層をパターニングした形状と同形状にし、前記第１の電極層が下地となるように第１の駆動電極１３ｂ、第２の駆動電極１３ｄ、第１の検出電極１３ｃ、第２の検出電極１３ｅ、基準電位電極１３ａを設けた。

本実施例では、圧電素子１１はＬｉＮｂＯ₃の圧電単結晶からなる厚さ０．２ｍｍのウエハーを使用した。このウエハー上に第１の電極形成工程で、第１の電極層１２として厚さ５００ÅのＣｒの薄膜を形成し、第２の電極形成工程で、その上に第２の電極層１３として厚さ２０００ÅのＡｕの薄膜を形成した。次に、エッチング工程において、フォトリソグラフでフォトレジストをパターニングした後、第２の電極層１３としたＡｕをウエットエッチングして、圧電振動子１の振動部１５の部分はＡｕを除去し、固定部１４は外部の回路となる信号処理回路等と電気的な接続をするための第１の駆動電極１３ｂ、第２の駆動電極１３ｄ、第１の検出電極１３ｃ、第２の検出電極１３ｅ、基準電位電極１３ａが形成されるようにＡｕを残した。

次に、エッチング工程で再びフォトリソグラフでフォトレジストをパターニングしてからＣｒをウエットエッチングした。この時、圧電振動子の振動部１５に、基準電位電極１２ａ、第１の駆動電極１２ｂ、第１の検出電極１２ｃ、第２の駆動電極１２ｄ、第２の検出電極１２ｅが形成されるように第１の電極層１２であるＣｒの薄膜を残した。第２の電極層１３は第１の電極層１２の上面に形成されているので、基準電位電極１２ａと１３ａ、第１の駆動電極１２ｂと１３ｂ、第１の検出電極１２ｃと１３ｃ、第２の駆動電極１２ｄと１３ｄ、第２の検出電極１２ｅと１３ｅは、各々電気的な接続がなされている。

このように、ＬｉＮｂＯ₃の圧電単結晶のウエハー上に多数の電極を設けた後、ドライフィルムレジストをウエハーに貼り付け、フォトリソグラフでドライフィルムレジストをパターニングしてからサンドブラストでウエハーを研削して圧電振動子の音叉形状を形成し、最後にダイシングソーで個片に切り出し、圧電振動子１とした。本実施例で製作した圧電振動子１の寸法は長さが５．０ｍｍで幅が０．７ｍｍ長さ５．０ｍｍ、厚さが０．２ｍｍであり、音叉形状を成す部分の幅は０．２ｍｍ、振動部１５の長さは４．５ｍｍとした。

（実施例２）
図２は、実施例による圧電振動ジャイロの断面構造図である。本実施例では、実施例１で製作した圧電振動子１を使用して圧電振動ジャイロ２を製作した。図２は、圧電振動子１の振動部を通り、長手方向と厚さ方向に対して平行な面で切断した断面を図示している。圧電振動子１はパッケージ１８に接着固定した。パッケージ１８の内底面２０には配線パターンを設け、信号処理回路が内蔵された専用ＩＣ１７を実装した。また、圧電振動子１の第２の電極層１３で形成した電極とパッケージ１８の内底面２０に設けた配線パターンとをワイヤー１６でワイヤーボンディングすることで、圧電振動子１と専用ＩＣ１７は接続される。さらに、圧電振動子１と専用ＩＣ１７が実装、配線された後、上蓋１９でパッケージ１８の開口部を封止した。本発明の圧電振動ジャイロ２の外形寸法は幅５．０ｍｍ、長さ７．０ｍｍ、高さ１．０ｍｍである。本実施例では、内蔵した圧電振動子１が小型なので圧電振動ジャイロ２も非常に小型化できた。

圧電振動子１には図１に図示したように、第１の駆動電極１２ｂと基準電位電極１２ａ間に電界を印加すると同時に、これとは逆相の電界を第２の駆動電極１２ｄと基準電位電極１２ａ間に印加することで、圧電振動子１の幅方向に２つの振動部が互いに方向が違う振動をし、音叉振動が励振される。圧電振動子１が音叉振動している状態で、圧電振動子１の長さ方向を軸とする回転角速度が外部から加わると、音叉振動方向に対し垂直方向にコリオリ力が発生する。このコリオリ力によって、第１の検出電極１２ｃと基準電位電極１２ａとの間、および、第２の検出電極１２ｅと基準電位電極１２ａとの間に電荷が発生し、それを電気的信号として検出することで角速度が検出できる。

専用ＩＣ１７は、圧電振動子１を駆動して音叉振動を発生さるための駆動信号を第１の駆動電極１２ｂと第２の駆動電極１２ｄに出力する機能と、圧電振動子１の第１の検出電極１２ｃと第２の検出電極１２ｅから出力される電気的信号を演算処理して角速度を示す電気信号に変換する機能を有する。

ここで、比較をするために圧電振動子の振動部に設ける電極層を２層のままにした圧電振動子を製作し、前記同様に圧電振動ジャイロを製作した。図３は、比較用の圧電振動子の図であり、図３（ａ）は側面図、図３（ｂ）は上面図である。実施例１同様に圧電素子３１にＬｉＮｂＯ₃の圧電単結晶からなる厚さ０．２ｍｍのウエハーを使用し、ウエハー上に第１の電極形成工程で、第１の電極層３２として厚さ５００ÅのＣｒの薄膜を形成し、第２の電極形成工程で、その上に第２の電極層３３として厚さ２０００ÅのＡｕの薄膜を形成した。

比較用の圧電振動子３は、レジストマスクで第１の電極層３２となるＣｒと第２の電極層３３となるＡｕをエッチングして電極形成するため、固定部３４だけでなく振動部３５も電極が２層構造になる。そのため振動部３５の電極厚さはＣｒとＡｕの厚さを併せた２５００Åになっており、本発明の圧電振動子と比較して、振動部の電極厚みは約５倍の厚さになっている。

従来の圧電振動子と本発明の圧電振動子のＱｍを比較すると、従来の圧電振動子のＱｍが平均４０００であったのに対し、実施例１によるの圧電振動子のＱｍは平均８０００であり、Ｑｍが約２倍と向上している。これは振動子の振動部の電極厚みを薄くすることで、電極による振動エネルギーの損失を小さくなったためと考えられる。

さらに、従来の圧電振動子３を使用して圧電振動ジャイロを製作し、実施例２による圧電振動ジャイロとの特性の比較を行った結果、同じ回路条件で感度を比較すると、従来の圧電振動ジャイロの感度は平均０．３１ｍＶ／度／秒であったのに対し、実施例２による圧電振動ジャイロの感度は平均０．６６ｍＶ／度／秒であり、約２倍の感度が得られた。これは前述した通り、圧電振動ジャイロの感度は圧電振動子のＱｍに比例するので、Ｑｍが２倍向上した効果により圧電振動ジャイロとしての感度も２倍になったものである。

また、実施例１による圧電振動子は、振動部の電極の厚みは第１の電極層のみで５００Åであるが、ワイヤーボンディングする部分である固定部の電極の厚みは第１の電極層１２と第２の電極層１３との２層で形成されているので、その厚さは２５００Åになり、ワイヤーボンディングをするのに必要な厚みが十分に確保でき、ワイヤー接続部の信頼性が十分に得られる。

前述した如く、本発明によれば、小型で、高いＱｍを維持した圧電振動子および小型で、高精度、高信頼性の圧電振動ジャイロの提供が可能となる。

本発明による圧電振動子及び圧電振動ジャイロは、角速度を検出するジャイロスコープとして利用できる他に、自動車のナビゲーションシステムや姿勢制御、或いは、カメラ一体型ＶＴＲの手振れ補正装置等利用できる。

実施例による圧電振動子を示す図。図１（ａ）は側面図、図１（ｂ）は上面図。 実施例による圧電振動ジャイロの断面構造図。 比較用の圧電振動子を示す図。図３（ａ）は側面図、図３（ｂ）は上面図。

符号の説明

１ 圧電振動子
２ 圧電振動ジャイロ
３ 比較用の圧電振動子
１１、３１ 圧電素子
１２、３２ 第１の電極層
１２ａ、１３ａ、３３ａ 基準電位電極
１２ｂ、１３ｂ、３３ｂ 第１の駆動電極
１２ｃ、１３ｃ、３３ｃ 第１の検出電極
１２ｄ、１３ｄ、３３ｄ 第２の駆動電極
１２ｅ、１３ｅ、３３ｅ 第２の検出電極
１３、３３ 第２の電極層
１４、３４ 固定部
１５、３５ 振動部
１６ ワイヤー
１７ 専用ＩＣ
１８ パッケージ
１９ 上蓋
２０ 内底面

Claims (7)

1. 第１の電極層と第２の電極層とが順に、音叉形状の圧電素子の一面のみに積層形成されてなる圧電振動子であって、前記第１の電極層が形成された振動部と、前記振動部と接続し電極層と対向する面がパッケージに固定された固定部からなり、前記固定部に形成された全体の電極層は、前記第１の電極層を下地として前記第２の電極層から形成され、前記第１の電極層及び前記第２の電極層は、金属薄膜からなり、前記振動部に電界を付与して駆動するための駆動電極と、生じる電荷を検出する検出電極と、基準電位電極が、前記圧電素子の長さ方向にそれぞれ平行に形成され、前記固定部に前記駆動電極、前記検出電極、前記基準電極にそれぞれ連続する、外部の回路と接続をするための入出力電極が形成されてなることを特徴とする圧電振動子。
2. 前記第１の電極層は、厚さが１００Å以上、１０００Å以下であり、前記第２の電極層は、厚みが５００Å以上、５００００Å以下であることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子。
3. 前記圧電素子は、ＬｉＮｂＯ_３、ＬｉＴａＯ_３、ＺｎＯ、水晶、ランガサイトのいずれかの単結晶材料からなることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の圧電振動子。
4. 前記第１の電極層は、Ｃｒ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｗのいずれか１つの金属からなり、前記第２の電極層は、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｗのいずれか１つの金属からなることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の圧電振動子。
5. 前記圧電素子に前記第１の電極層を形成する第１の電極形成工程と、前記第１の電極層の上面に前記第２の電極層を形成する第２の電極形成工程と、前記圧電振動子の振動部に対応する前記第２の電極層を除去するエッチング工程とを有することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の圧電振動子の製造方法。
6. 前記圧電素子に前記第１の電極層を形成する第１の電極形成工程と、前記圧電振動子の振動部にレジストを形成するレジスト形成工程と、前記第２の電極層を形成する第２の電極形成工程と、前記レジストを除去するレジスト除去工程とを有することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の圧電振動子の製造方法。
7. 請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の圧電振動子を用いてなることを特徴とす
   る圧電振動ジャイロ。

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