JP2009130445A - 振動子、および振動子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動部分に加えて固定部分を有する振動子において、振動部分に金属膜を付着することによって周波数調整を行う場合に、金属膜を付着する必要がない固定部分において、周波数調整用の金属膜が不可避的に付着する可能性がある部分に金属膜を予め形成しておく。金属膜を予め形成しておくことによって、周波数調整時に固定部分に調整用の金属膜が付着した場合であっても、電気的特性が変化しないようにすることで、電極パターンの電気容量の変化を低減し、また、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制する。
【選択図】図1
Description
本発明の振動子の態様において、固定部と、所定間隔を開けて配置された振動部とを有する振動子である。振動部は、その表面に振動部の振動周波数を調整するための周波数調整用金属膜を有する。一方、固定部は、固定部に設けられた電極の電気特性を安定化させる電気特性安定用金属膜を有する。この電気特性安定用金属膜は、その表面上であって振動部に設けた周波数調整用金属膜と所定間隔を挟んで並列する位置に設ける。
10,10A,10B…振動脚
11…周波数粗調整用金属膜
12…周波数微調整用金属膜
13…電極用膜
14A,14B…余剰付着部
15…枠体
20…固定脚
21…電気特性安定用金属膜
22…側面電極
23…端部電極
24…裏面電極
25…支持部
30…基部
31…電極
40…付着用マスク
110A,110B…振動脚
111A,111B…周波数調整用金属膜
114…余剰付着部
120…固定脚
122…側面電極
141A,141B…開口部
Claims (17)
- 固定部と、所定間隔を開けて配置された振動部とを有する振動子において、
前記振動部は、その表面に前記振動部の振動周波数を調整するための周波数調整用金属膜を有し、
前記固定部は、前記固定部に設けられた電極の電気特性を安定化させる電気特性安定用金属膜を、その表面上であって前記周波数調整用金属膜と前記所定間隔を挟んで並列する位置に有することを特徴とする振動子。 - 前記周波数調整用金属膜は、前記振動部の表面上に付着用マスクを用いて形成される金属膜であり、
前記電気特性安定用金属膜は、前記固定部の表面上であって、少なくとも前記付着用マスクの位置ずれ範囲を含む領域に形成される金属膜であることを特徴とする、請求項1に記載の振動子。 - 前記周波数調整用金属膜と電気特性安定用金属膜の互いに対向する辺部の長さにおいて、前記電気特性安定用金属膜側の辺部の長さは、前記周波数調整用金属膜の辺部の長さよりも等しいか又は長いことを特徴とする、請求項1又は2に記載の振動子。
- 前記電気特性安定用金属膜は、前記固定部に設けた電極と電気的に接続することを特徴とする請求項1から3の何れか一つに記載の振動子。
- 前記固定部は固定脚であり、前記振動部は振動脚であり、振動脚と固定脚は基部を介して振動部材によって一体に形成されることを特徴とする、請求項1から4の何れか一つに記載の振動子。
- 前記振動部材は、水晶、セラミックス、シリコンの何れかであることを特徴とする、請求項5に記載の振動子。
- 前記振動脚は、この振動脚の脚材を挟んで対向する2面の内、
一方の面に周波数を粗調整するための周波数粗調整用金属膜を有し、他方の面に周波数を微調整するための周波数微調整用金属膜を有し、
前記周波数粗調整用金属膜は前記周波数調整用金属膜により形成し、
前記周波数微調整用金属膜は振動脚に設ける電極用膜により形成することを特徴とする請求項5又は6に記載の振動子。 - 前記付着用マスクは、その材質を金属とするメタルマスク、その材質をセラミックスとするセラミックスマスク、その材質を水晶とする水晶マスク、その材質をシリコンとするシリコンマスクのいずれかであることを特徴とする請求項2から7のいずれか一つに記載の振動子。
- 前記周波数調整用金属膜は、真空蒸着またはスパッタリングを用いて形成されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか一つに記載の振動子。
- 前記周波数微調整用金属膜は、パターンニングを用いたエッチングによって形成されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか一つに記載の振動子。
- 固定脚と、所定間隔を開けて配置された振動脚とを有する振動子の製造方法において、
振動脚および固定脚にパターンニングを用いたエッチングによって電極用膜を形成する電極用膜形成工程と、
前記振動脚に付着用マスクによるマスクパターンを用いた付着により周波数調整用の周波数調整用金属膜を形成する膜付着工程とを備え、
前記電極用膜形成工程において、前記固定脚の表面上であって、前記周波数調整用金属膜と所定間隔を挟んで並列する位置に、前記固定脚に設けられた電極の電気特性を安定化させる電気特性安定用金属膜を形成することを特徴とする、振動子の製造方法。 - 前記膜付着工程は、前記振動脚の表面上に付着用マスクを用いて前記周波数調整用金属膜を成膜し、
前記電極用膜形成工程は、前記膜付着工程の前段階において、前記固定脚の表面上の少なくとも前記付着用マスクの位置ずれ範囲を含む領域に前記電気特性安定用金属膜を形成しておくことを特徴とする、請求項11に記載の振動子の製造方法。 - 前記膜付着工程において、前記電極用膜形成工程で前記振動脚に形成された前記電極用膜の上に、付着用マスクによるマスクパターンを用いた付着により周波数調整用の周波数調整用金属膜を形成することを特徴とする、請求項11または12に記載の振動子の製造方法。
- 前記膜付着工程において、前記周波数調整用金属膜を堆積し、周波数調整用金属膜の堆積量によって前記振動脚の振動周波数を調整する周波数調整工程を有することを特徴とする、請求項11から13のいずれか一つに記載の振動子の製造方法。
- 前記膜付着工程の後に、レーザービームまたはイオンビームにより前記周波数調整用金属膜をトリミングして振動周波数を調整する周波数調整工程を有することを特徴とする、請求項11から13のいずれか一つに記載の振動子の製造方法。
- 前記付着用マスクは、その材質を金属とするメタルマスク、その材質をセラミックスとするセラミックスマスク、その材質を水晶とする水晶マスク、その材質をシリコンとするシリコンマスクのいずれかであることを特徴とする請求項11から15のいずれか一つに記載の振動子の製造方法。
- 前記膜付着工程は、真空蒸着またはスパッタリングで行うことを特徴とする請求項11から16のいずれか一つに記載の振動子の製造方法。
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