JP2009239860A - 圧電振動片及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】腕部18と励振部23とからなる部位が、温度が高くなるほど固有振動周波数が低くなる特性を有するベース1を用意する。その後に、腕部18の第1の区間19に、温度が高くなるほど固有振動周波数が高くなる特性を有するシリコン酸化膜30を、膜厚を調整して支持させることで、腕部18と励振部23とからなる部位の温度に対する固有振動周波数の特性を調整する。その後に、腕部18の第1の区間19よりも基部16から離れた第2の区間21に、錘金属膜28を、膜厚を調整して支持させることで、腕部18の駆動時の振動周波数を調整する。振動周波数の調整は、シリコン酸化膜30の膜厚に影響を与えないように行う。
【選択図】図3
Description
[適用例1]本適用例に係る圧電振動片の製造方法は、
(a)基部及び前記基部から延びる腕部と、前記腕部の長さ方向の第1の区間に支持された励振部と、を含むベースであって、前記腕部と前記励振部とからなる部位が、温度が高くなるほど固有振動周波数が低くなる特性を有するベースを用意する工程と、
(b)前記(a)工程後に、前記腕部の前記第1の区間に、シリコン酸化膜を、膜厚を調整して支持させることで、前記腕部と前記励振部とからなる前記部位の温度に対する固有振動周波数の特性を調整する工程と、
(c)前記(b)工程後に、前記腕部の前記第1の区間よりも前記基部から離れた第2の区間に、錘金属膜を、支持させることで、前記腕部の駆動時の振動周波数を調整する工程と、
を含み、
前記(c)工程は、前記金属膜の膜厚を選択的に調整する工程を含む。本適用例によれば、温度が高くなるほど固有振動周波数が低くなる特性を有するベースに、これとは反対の特性を有するシリコン酸化膜を支持させることで、特性が打ち消し合って、振動周波数が温度変化の影響を受けにくい特性になる。
[適用例2]本適用例に係る圧電振動片の製造方法において、
前記基部及び前記腕部はシリコン又は水晶からなり、
前記励振部は圧電膜と前記圧電膜を挟む一対の電極膜とを有する。
[適用例3]本適用例に係る圧電振動片の製造方法において、
前記(b)工程は、さらに、前記シリコン酸化膜をエッチング工程を有する。
[適用例4]本適用例に係る圧電振動片の製造方法において、
前記(c)工程前に、前記錘金属膜を前記ベースに形成し、
前記(c)工程で、前記錘金属膜の一部を除去する。
[適用例5]本適用例に係る圧電振動片は、
基部及び前記基部から延びる腕部と、前記腕部の長さ方向の第1の区間に支持された励振部と、を含むベースであって、前記腕部と前記励振部とからなる部位が、温度が高くなるほど固有振動周波数が低くなる特性を有するベースと、
前記腕部の前記第1の区間に支持され、前記腕部と前記励振部とからなる部位の温度が高くなるほど固有振動周波数が高くなる特性を調整シリコン酸化膜と、
前記腕部の前記第1の区間よりも前記基部から離れた第2の区間に支持された錘金属膜と、
を含む。
[適用例6] 本適用例に係る圧電振動片において、
前記基部及び前記腕部はシリコン又は水晶からなり、
前記励振部は圧電膜と前記圧電膜を挟む一対の電極膜とを有する圧電振動片。
Claims (6)
- (a)基部及び前記基部から延びる腕部と、前記腕部の長さ方向の第1の区間に支持された励振部と、を含むベースであって、前記腕部と前記励振部とからなる部位が、温度が高くなるほど固有振動周波数が低くなる特性を有するベースを用意する工程と、
(b)前記(a)工程後に、前記腕部の前記第1の区間に、シリコン酸化膜を、膜厚を調整して支持させることで、前記腕部と前記励振部とからなる前記部位の温度に対する固有振動周波数の特性を調整する工程と、
(c)前記(b)工程後に、前記腕部の前記第1の区間よりも前記基部から離れた第2の区間に、錘金属膜を、支持させることで、前記腕部の駆動時の振動周波数を調整する工程と、
を含み、
前記(c)工程は、前記錘金属膜の膜厚を選択的に調整する工程を含む圧電振動片の製造方法。 - 請求項1に記載された圧電振動片の製造方法において、
前記基部及び前記腕部はシリコン又は水晶からなり、
前記励振部は圧電膜と前記圧電膜を挟む一対の電極膜とを有する圧電振動片の製造方法。 - 請求項1又は2に記載された圧電振動片の製造方法において、
前記(b)工程は、さらに、前記シリコン酸化膜をエッチングする工程を有する圧電振動片の製造方法。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載された圧電振動片の製造方法において、
前記(c)工程は、さらに、前記錘金属膜の一部を除去する工程を有する圧電振動片の製造方法。 - 基部及び前記基部から延びる腕部と、前記腕部の長さ方向の第1の区間に支持された励振部と、を含むベースであって、前記腕部と前記励振部とからなる部位が、温度が高くなるほど固有振動周波数が低くなる特性を有するベースと、
前記腕部の前記第1の区間に支持され、前記腕部と前記励振部とからなる部位の温度が高くなるほど固有振動周波数が高くなる特性を調整するシリコン酸化膜と、
前記腕部の前記第1の区間よりも前記基部から離れた第2の区間に支持された錘金属膜と、
を含む圧電振動片。 - 請求項5に記載された圧電振動片において、
前記基部及び前記腕部はシリコン又は水晶からなり、
前記励振部は圧電膜と前記圧電膜を挟む一対の電極膜とを有する圧電振動片。
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