JP5099385B2 - 振動片及び振動子 - Google Patents
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Description
[適用例1]本適用例に係る振動片の製造方法は、
相互に反対を向いて厚みを定義する第1及び第2の表面を有し、基部及び前記基部から前記厚み方向に直交して並んで延びる複数の腕部を含む支持体であって、前記複数の腕部のそれぞれの前記第1の表面に下部電極膜が形成され、前記下部電極膜上に圧電膜が形成され、前記圧電膜上に上部電極膜が形成され、前記複数の腕部のそれぞれの少なくとも一部に、前記第2の表面が露出している露出領域を有する支持体を用意し、
前記第2の表面の前記露出領域をエッチングする工程を含み、
前記エッチングによって前記厚みを減らして、前記複数の腕部の前記厚み方向に関する曲げ剛性を低くする。本適用例によれば、腕部の厚みを調整し、曲げ剛性を調整することによって振動周波数を調整することができる。腕部の厚みによる周波数調整は重さによる調整よりも調整量が大きいので、振動周波数の調整範囲を拡大することができる。
[適用例2]本適用例に係る振動片の製造方法において、
前記エッチングを行う前に、前記複数の前記腕部の前記第2の表面には錘金属膜が形成されており、
前記露出領域をエッチングする工程において、前記錘金属膜の表面もエッチングする。[適用例3]本適用例に係る振動片の製造方法は、
相互に反対を向いて厚みを定義する第1及び第2の表面を有し、基部及び前記基部から前記厚み方向に直交して並んで延びる複数の腕部を含む支持体であって、前記複数の腕部のそれぞれの前記第1の表面に下部電極膜が形成され、前記下部電極膜上に圧電膜が形成され、前記圧電膜上に上部電極膜が形成され、前記複数の腕部のそれぞれの少なくとも一部に、前記第2の表面が露出している露出領域を有する支持体を用意し、
前記第2の表面の前記露出領域に補強金属膜を形成する工程を含み、
前記補強金属膜によって、前記複数の腕部の前記厚み方向に関する曲げ剛性を高くする。本適用例によれば、腕部の厚みを調整し、曲げ剛性を調整することによって振動周波数を調整することができ、腕部の厚みによる周波数調整は重さによる調整よりも調整量が大きいので、振動周波数の調整範囲を拡大することができる。
[適用例4]本適用例に係る振動片の製造方法において、
前記支持体は、圧電材料から構成されてなる。
[適用例5]本適用例に係る振動子の製造方法は、
相互に反対を向いて厚みを定義する第1及び第2の表面を有し、基部及び前記基部から前記厚み方向に直交して並んで延びる複数の腕部を含む支持体であって、前記複数の腕部のそれぞれの前記第1の表面に下部電極膜が形成され、前記下部電極膜上に圧電膜が形成され、前記圧電膜上に上部電極膜が形成され、前記複数の腕部のそれぞれの少なくとも一部に、前記第2の表面が露出している露出領域を有する支持体を用意する工程と、
前記第2の表面の前記露出領域をエッチングし、前記エッチングによって前記厚みを減らして、前記複数の腕部の前記厚み方向に関する曲げ剛性を低くする工程と、
前記振動片をパッケージの内部に収容する工程と、
蓋で前記パッケージを塞ぐ工程と、
を含む。
[適用例6]本適用例に係る振動子の製造方法は、
相互に反対を向いて厚みを定義する第1及び第2の表面を有し、基部及び前記基部から前記厚み方向に直交して並んで延びる複数の腕部を含む支持体であって、前記複数の腕部のそれぞれの前記第1の表面に下部電極膜が形成され、前記下部電極膜上に圧電膜が形成され、前記圧電膜上に上部電極膜が形成され、前記複数の腕部のそれぞれの少なくとも一部に、前記第2の表面が露出している露出領域を有する支持体を用意する工程と、
前記第2の表面の前記露出領域に補強金属膜を形成し、前記補強金属膜によって、前記複数の腕部の前記厚み方向に関する曲げ剛性を高くする工程と、
前記振動片をパッケージの内部に収容する工程と、
蓋で前記パッケージを塞ぐ工程と、
を含む。
図1(A)〜図3は、本発明の第1の実施の形態に係る振動片の製造方法を説明する図である。本実施の形態では、支持体10を用意する。支持体10は、水晶などの圧電材料(例えば、Zカット板、ATカット板、Xカット板)から構成してもよいし、シリコンから構成してもよい。支持体10は、相互に反対を向いて厚みを定義する第1及び第2の表面12,14を有する。支持体10は、基部16及び基部16から厚み方向に直交して並んで延びる複数(奇数個)の腕部18を含む。腕部18の並ぶ方向において中間に位置する1つの腕部18の幅は、残りの腕部18の幅よりも広くてもよいし、同じであってもよい。ただし、全ての腕部18は、同じ厚みになっている。この形状は、板材をエッチング(ウエットエッチング及びドライエッチングの少なくとも一方)することによって得ることができる。
1/ρ=M/EI
の関係を有する。曲げ剛性EIが高いほど曲がりにくい。
図10のように、中立軸AXに平行な辺の長さ(幅)b、中立軸AXに垂直な辺の長さ(厚み)tの長方形の断面を有する腕部18の断面2次モーメントItは、It=bt3/12となる。したがって、厚み方向に関する断面2次モーメントおよび曲げ剛性は、腕部18の厚みtの3乗に比例するため、厚みを調整することで、厚み方向の曲がりやすさを大きく制御することができる。
F=k・t/L2(k:比例定数)
の関係を有する。
図6は、本発明の第1の実施の形態に係る振動片の製造方法の第1の変形例を説明する図である。この変形例では、下部電極膜(図示せず)、圧電膜122及び上部電極膜126を有する第1の表面112に錘金属膜128を形成し、第2の表面(図6の裏面)には錘金属膜を形成しない。腕部118の第2の表面の全体が、支持体110の材料が露出する露出領域であってもよい。この支持体110の第2の表面の露出領域に対してエッチングを行う。この場合、エッチング後の第2の表面は平坦になる。その他の内容は、上記実施の形態で説明した内容を適用することができる。この変形例でも、腕部118の厚みを減らして周波数調整を行うことができる。
図7は、本発明の第1の実施の形態に係る振動片の製造方法の第2の変形例を説明する図である。この変形例では、第2の表面214に錘金属膜が形成されない支持体210を用意し、第2の表面214の露出領域230に対してエッチングを行い、その後、第2の表面214に錘金属膜228を形成する。その他の内容は、上記実施の形態で説明した内容を適用することができる。この変形例でも、腕部218の厚みを減らして周波数調整を行うことができる。
図8は、本発明の第2の実施の形態に係る振動片の製造方法を説明する図である。本実施の形態で用意する支持体310は、第2の表面314に錘金属膜が形成されない点を除き、第1の実施の形態で用意する支持体10と同じである。腕部318の第2の表面314の全体が、支持体310の材料が露出する露出領域330であってもよい。
Claims (5)
- 相互に反対を向いて厚みを定義する第1及び第2の表面を有し、基部及び前記基部から前記厚み方向に直交して並んで延びる複数の腕部を含む支持体と、
前記複数の腕部のそれぞれの前記第1の表面に形成された下部電極膜と、
前記下部電極膜上に形成された圧電膜と、
前記圧電膜上に形成された上部電極膜と、
前記複数の腕部のそれぞれの前記第2の表面の先端部分に形成された錘金属膜と、
を備え、
前記複数の腕部のそれぞれの前記第2の表面には、前記錘金属膜以外の金属膜は形成されておらず、
前記第1の表面および前記第2の表面によって定義される前記腕部の厚みは、前記錘金属膜が形成された部分のほうが、前記錘金属膜が形成されていない部分よりも大きい、振動片。 - 請求項1に記載の振動片と、
パッケージと、
を含み、
前記パッケージ内の底部に、前記振動片の前記基部が固定され、
前記振動片の前記腕部は、前記パッケージ内で片持ち梁状に支持された、振動子。 - 請求項2において、
前記振動片の前記第1の表面側が、前記パッケージの底部と対向するように固定された、振動子。 - 請求項3において、
前記パッケージは、前記錘金属膜が外部から視認可能に設けられた光透過性部材を有する、振動子。 - 請求項2ないし請求項4のいずれか一項において、
前記パッケージの底部と前記振動片との間の距離は、前記振動片の基部が固定される領域よりも、前記腕部の先端部と対向する領域のほうが大きい、振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010131924A JP5099385B2 (ja) | 2010-06-09 | 2010-06-09 | 振動片及び振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010131924A JP5099385B2 (ja) | 2010-06-09 | 2010-06-09 | 振動片及び振動子 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008005768A Division JP4533934B2 (ja) | 2008-01-15 | 2008-01-15 | 振動片及び振動子の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010246142A JP2010246142A (ja) | 2010-10-28 |
JP2010246142A5 JP2010246142A5 (ja) | 2011-02-24 |
JP5099385B2 true JP5099385B2 (ja) | 2012-12-19 |
Family
ID=43098581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010131924A Active JP5099385B2 (ja) | 2010-06-09 | 2010-06-09 | 振動片及び振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5099385B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020170962A1 (ja) | 2019-02-18 | 2020-08-27 | 株式会社バルカー | 圧電センサーおよび圧電センサーの製造方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5829648B2 (ja) * | 1976-12-29 | 1983-06-24 | 松島工業株式会社 | 音叉形水晶振動子の固有周波数調整方法 |
JPS56114422A (en) * | 1980-02-13 | 1981-09-09 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezoelectric oscillator |
JPH11346137A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-12-14 | Seiko Epson Corp | 水晶振動子の製造方法 |
JP2001217677A (ja) * | 2000-01-31 | 2001-08-10 | Seiko Epson Corp | 音叉型圧電振動片及びその製造方法、その周波数調整加工装置、音叉型圧電振動子 |
JP2002185282A (ja) * | 2000-12-19 | 2002-06-28 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
JP2003133885A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
JP4288914B2 (ja) * | 2002-08-21 | 2009-07-01 | パナソニック株式会社 | 共振デバイスの製造方法 |
JP4694953B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2011-06-08 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
JP2007173915A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 圧電デバイスユニット及びその製造方法 |
JP4404218B2 (ja) * | 2006-03-29 | 2010-01-27 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉振動子およびその製造方法 |
-
2010
- 2010-06-09 JP JP2010131924A patent/JP5099385B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010246142A (ja) | 2010-10-28 |
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