JP4836016B2 - 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の各製造方法及び水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 - Google Patents
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本発明の水晶振動子の製造方法の第2の態様は、前記第1音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第2音叉腕の側面に形成された電極に接続され、かつ、前記第2音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第1音叉腕の側面に形成された電極に接続されるように、前記電極を形成する工程によって前記電極が形成されたときに、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が32.768kHzより高く形成され、前記電極の形成後に、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記発振周波数が、29.4kHzから32.75kHzの範囲内にあるように、水晶ウエハ内に形成された前記第1音叉腕と前記第2音叉腕に重りが形成され、その重りの形成後に、前記重りの一部又は全部をレーザー又はプラズマエッチング法によって除去して、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記発振周波数が、32.2kHzから33.08kHzの範囲内にあるように、水晶ウエハ内で周波数を調整する第1の態様に記載の水晶振動子の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第1の態様は、第1の態様または第2の態様に記載の水晶振動子の製造方法と、または第1の態様に記載の水晶ユニットの製造方法と、増幅回路の増幅器と、帰還回路のコンデンサーと抵抗素子と、を備えた水晶発振器の製造方法で、前記音叉型屈曲水晶振動子は前記基本波モード振動の周波数安定係数S1と前記2次高調波モード振動の周波数安定係数S2を備え、S1=r1/2Q1 2で与えられ、S2=r2/2Q2 2で与えられ、S1<S2の関係が得られるように、前記音叉形状と前記溝と前記電極の寸法が決定されていて、前記水晶発振器から出力される出力信号は、32.764kHzから32.772kHzの範囲内にある発振周波数を備えている水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶振動子の第1の態様は、音叉基部と前記音叉基部に接続された少なくとも第1音叉腕と第2音叉腕とを備えた音叉形状の音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉型屈曲水晶振動子は基本波モード振動と2次高調波モード振動を備え、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々に溝が、溝幅W2が0.03mm〜0.12mmの範囲内にあるように形成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の間隔はW4で与えられ、前記間隔W4は0.05mm〜0.35mmの範囲内にあり、前記第1音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第2音叉腕の側面に形成された電極に接続され、かつ、前記第2音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第1音叉腕の側面に形成された電極に接続され、前記溝の長さl1と前記音叉型屈曲水晶振動子の全長lとの比l1/lが0.2〜0.78の範囲内にあり、かつ、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記基本波モード振動の等価直列抵抗R1が、前記2次高調波モード振動の等価直列抵抗R2より小さくなるように、前記溝の長さl1の寸法と前記音叉型屈曲水晶振動子の全長lの寸法が決定されていて、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数が29.4kHzから32.75kHzの範囲内にあるように、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記第1音叉腕と前記第2音叉腕に金属膜が形成され、前記金属膜の一部または全部はレーザーまたはプラズマエッチング法によって除去される金属膜であって、前記音叉型屈曲水晶振動子は前記基本波モード振動のフイガーオブメリットM1と、r1/2Q1 2によって定義される周波数安定係数S1を備え、かつ、前記2次高調波モード振動のフイガーオブメリットM2と、r2/2Q2 2によって定義される周波数安定係数S2を備え、M1>M2になるように、前記音叉形状と前記溝と前記電極の寸法が決定され、前記音叉型屈曲水晶振動子はS1<S2の関係を備えている水晶振動子である。
本発明の水晶ユニットの第1の態様は、第1の態様に記載の水晶振動子と、前記音叉型屈曲水晶振動子を収納するケースと、前記ケースの開口部をカバーする蓋と、を備えた水晶ユニットで、前記音叉型屈曲水晶振動子は前記ケースの固定部に固定され、前記蓋が前記ケースの開口部に接続されている水晶ユニットである。
本発明の水晶発振器の第1の態様は、第1の態様に記載の水晶振動子と、あるいは第1の態様に記載の水晶ユニットと、増幅器とコンデンサーと抵抗素子とを備えた水晶発振回路を備えて構成される水晶発振器で、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記電極は前記増幅器と前記コンデンサーと前記抵抗素子とに電気的に接続されていて、前記水晶発振回路は1pFから15pFの負荷容量を備え、前記水晶発振回路の出力信号はバッフア回路を介して出力され、その出力信号の周波数は32.764kHzから32.772kHzの範囲内にある水晶発振器である。
図1は本発明の水晶発振器を構成する水晶発振回路図の一実施例である。本実施例では、水晶発振回路1は増幅器(CMOSインバータ)2、帰還抵抗4、ドレイン抵抗7、コンデンサー5,6と音叉形状の屈曲水晶振動子3から構成されている。即ち、水晶発振回路1は、増幅器2と帰還抵抗4とを具えて構成される増幅回路8とドレイン抵抗7、コンデンサー5,6と屈曲水晶振動子3とを具えて構成される帰還回路9から構成されている。詳細には、本発明の水晶発振器は水晶発振回路を具えて構成され、水晶発振回路は増幅回路と帰還回路とを具えて構成されていて、増幅回路は少なくとも増幅器から構成され、帰還回路は少なくとも音叉形状の屈曲水晶振動子とコンデンサーから構成されている。又、本発明の水晶発振器に用いられる音叉形状の屈曲水晶振動子は図3と図4で詳述される。
(1)音叉形状の屈曲水晶振動子を多数個ウエハ内に形成し、重りの形成および周波数調整をウエハ内で行うので、作業性に優れ、安価な振動子が得られると同時に、安価な水晶発振器が実現できる。
(2)増幅回路の基本波モード振動の増幅率α1と2次高調波モード振動の増幅率α2との比が帰還回路の2次高調波モード振動の帰還率β2と基本波モード振動の帰還率β1との比より大きく、かつ、基本波モード振動の増幅率α1と基本波モード振動の帰還率β1の積が1より大きくなるように水晶発振器は構成されているので、負荷容量が小さくても、水晶発振器の出力信号は、基本波モード振動の周波数が出力として得られると共に、消費電流の少ない水晶発振器が実現できる。
(3)基本波モード振動のフイガーオブメリットM1が2次高調波モード振動のフイガーオブメリットM2より大きい振動子を具えて水晶発振器は構成されるので、出力信号が基本波モード振動の周波数が得られると共に、高い周波数安定性を有する水晶発振器が実現できる。即ち、高い時間精度を有する水晶発振器を得る事ができる。
V1、V2 入力電圧、出力電圧
W2、W、W4 溝幅、音叉腕の腕幅、音叉腕の間隔
W1、W3 音叉腕の部分幅
l1、l2、l 溝の長さ、音叉基部の長さ、音叉形状の屈曲水晶振動子の全長
t、t1 音叉腕の厚み、溝の厚み
Claims (7)
- 音叉基部と前記音叉基部に接続された少なくとも第1音叉腕と第2音叉腕とを備えた音叉型屈曲水晶振動子の製造方法で、
水晶ウエハを準備する工程と、
前記水晶ウエハの上面と下面の各々に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜の上にレジストを塗布する工程と、
前記音叉基部と前記第1音叉腕と前記第2音叉腕とを備えた音叉形状を形成する工程と、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々に溝を形成する工程と、
前記第1音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第2音叉腕の側面に形成された電極に接続され、かつ、前記第2音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第1音叉腕の側面に形成された電極に接続されるように、前記電極を形成する工程と、
前記音叉型屈曲水晶振動子を前記水晶ウエハから切り離す工程と、
前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数を少なくとも2回、かつ、異なる工程で調整する工程と、
前記音叉型屈曲水晶振動子は基本波モード振動と2次高調波モード振動を備え、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記基本波モード振動のフイガーオブメリットM1が、前記2次高調波モード振動のフイガーオブメリットM2より大きくなるように、前記音叉形状と前記溝と前記電極の寸法を決定する工程と、
前記音叉型屈曲水晶振動子の前記基本波モード振動の等価直列抵抗R 1 が、前記2次高調 波モード振動の等価直列抵抗R 2 より小さくなるように、前記音叉型屈曲水晶振動子の全 長と前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々に形成された溝の寸法を決定する工程と、
を含み、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記基本波モード振動の容量比r1が、前記2次高調波モード振動の容量比r2より小さくなるように、前記音叉型屈曲水晶振動子は形成さ れていることを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 前記第1音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第2音叉腕の側面に形成された電極に接続され、かつ、前記第2音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第1音叉腕の側面に形成された電極に接続されるように、前記電極を形成する工程によって前記電極が形成されたときに、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が32.768kHzより高く形成され、前記電極の形成後に、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記発振周波数が、29.4kHzから32.75kHzの範囲内にあるように、水晶ウエハ内に形成された前記第1音叉腕と前記第2音叉腕に重りが形成され、その重りの形成後に、前記重りの一部又は全部をレーザー又はプラズマエッチング法によって除去して、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記発振周波数が、32.2kHzから33.08kHzの範囲内にあるように、水晶ウエハ内で周波数を調整することを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子の製造方法。
- 請求項1または請求項2に記載の水晶振動子の製造方法と、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記基本波モード振動のフイガーオブメリットM1が65より大きく、かつ、前記2次高調波モード振動のフイガーオブメリットM2が30より小さくなるように、前記音叉形状と前記溝と前記電極の寸法を決定する工程と、を備えていて、前記音叉基部に切り欠き部を形成する第1工程と、前記音叉型屈曲水晶振動子を前記水晶ウエハから切り離し、ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する第2工程と、前記ケースに蓋を接続する第3工程と、前記ケースに設けられた穴を真空中で低融点ガラス又は金属を用いて封止する第4工程と、を含み、第1工程から第4工程の順になされ、ケースの固定部に前記音 叉型屈曲水晶振動子を固定する第2工程の後に、かつ、前記ケースに蓋を接続する第3工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数を調整する工程を 備えていることを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
- 請求項1または請求項2に記載の水晶振動子の製造方法と、または請求項3に記載の水晶ユニットの製造方法と、増幅回路の増幅器と、帰還回路のコンデンサーと抵抗素子と、を備えた水晶発振器の製造方法で、前記音叉型屈曲水晶振動子は前記基本波モード振動の周波数安定係数S1と前記2次高調波モード振動の周波数安定係数S2を備え、S1=r1/2Q1 2で与えられ、S2=r2/2Q2 2で与えられ、S1<S2の関係が得られるように、前記音叉形状と前記溝と前記電極の寸法が決定されていて、前記水晶発振器から出力される出力信号は、32.764kHzから32.772kHzの範囲内にある発振周波数を備えていることを特徴とする水晶発振器の製造方法。
- 音叉基部と前記音叉基部に接続された少なくとも第1音叉腕と第2音叉腕とを備えた音叉形状の音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉型屈曲水晶振動子は基本波モード振動と2次高調波モード振動を備え、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々に溝が、溝幅W2が0.03mm〜0.12mmの範囲内にあるように形成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の間隔はW4で与えられ、前記間隔W4は0.05mm〜0.35mmの範囲内にあり、前記第1音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第2音叉腕の側面に形成された電極に接続され、かつ、前記第2音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第1音叉腕の側面に形成された電極に接続され、前記溝の長さl1と前記音叉型屈曲水晶振動子の全長lとの比l1/lが0.2〜0.78の範囲内にあり、かつ、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記基本波モード振動の等価直列抵抗R1が、前記2次高調波モード振動の等価直列抵抗R2より小さくなるように、前記溝の長さl1の寸法と前記音叉型屈曲水晶振動子の全長lの寸法が決定されていて、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数が29.4kHzから32.75kHzの範囲内にあるように、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記第1音叉腕と前記第2音叉腕に金属膜が形成され、前記金属膜の一部または全部はレーザーまたはプラズマエッチング法によって除去される金属膜であって、前記音叉型屈曲水晶振動子は前記基本波モード振動のフイガーオブメリットM1と、r1/2Q1 2によって定義される周波数安定係数S1を備え、かつ、前記2次高調波モード振動のフイガーオブメリットM2と、r2/2Q2 2によって定義される周波数安定係数S2を備え、M1>M2になるように、前記音叉形状と前記溝と前記電極の寸法が決定され、前記音叉型屈曲水晶振動子はS1<S2の関係を備えていることを特徴とする水晶振動子。
- 請求項5に記載の水晶振動子と、前記音叉型屈曲水晶振動子を収納するケースと、前記ケースの開口部をカバーする蓋と、を備えた水晶ユニットで、前記音叉型屈曲水晶振動子は前記ケースの固定部に固定され、前記蓋が前記ケースの開口部に接続されていることを特徴とする水晶ユニット。
- 請求項5に記載の水晶振動子と、あるいは請求項6に記載の水晶ユニットと、増幅器とコンデンサーと抵抗素子とを備えた水晶発振回路を備えて構成される水晶発振器で、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記電極は前記増幅器と前記コンデンサーと前記抵抗素子とに電気的に接続されていて、前記水晶発振回路は1pFから15pFの負荷容量を備え、前記水晶発振回路の出力信号はバッフア回路を介して出力され、その出力信号の周波数は32.764kHzから32.772kHzの範囲内にあることを特徴とする水晶発振器。
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