JP2010183634A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010183634A5 JP2010183634A5 JP2010094456A JP2010094456A JP2010183634A5 JP 2010183634 A5 JP2010183634 A5 JP 2010183634A5 JP 2010094456 A JP2010094456 A JP 2010094456A JP 2010094456 A JP2010094456 A JP 2010094456A JP 2010183634 A5 JP2010183634 A5 JP 2010183634A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tuning fork
- tuning
- crystal
- groove
- fork arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052904 quartz Inorganic materials 0.000 claims 29
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 29
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 29
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 13
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000010329 laser etching Methods 0.000 claims 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims 1
Claims (12)
- 音叉基部と前記音叉基部に接続された少なくとも第１音叉腕と第２音叉腕とを備えた音叉型屈曲水晶振動子の製造方法で、
水晶ウエハを準備する工程と、
前記水晶ウエハの上面と下面の各々に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜の上にレジストを塗布する工程と、
前記音叉基部と前記第１音叉腕と前記第２音叉腕とを備えた音叉形状を形成する工程と、
前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々に溝を形成する工程と、
前記第１音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第２音叉腕の側面に形成された電極に接続され、かつ、前記第２音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第１音叉腕の側面に形成された電極に接続されるように、前記電極を形成する工程と、
前記音叉型屈曲水晶振動子を前記水晶ウエハから切り離す工程と、
前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数を少なくとも２回、かつ、異なる工程で調整する工程と、を含むことを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の容量比ｒ １ が、前記音叉型屈曲水晶振動子の２次高調波モード振動の容量比ｒ ２ より小さくなるように、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の厚みの寸法と前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々に形成された溝の厚みの寸法を決定する工程を備えていることを特徴とする請求項１に記載の水晶振動子の製造方法。
- 前記第１音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第２音叉腕の側面に形成された電極に接続され、かつ、前記第２音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第１音叉腕の側面に形成された電極に接続されるように、前記電極を形成する工程によって前記電極が形成されたときに、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が３２．７６８ｋＨｚより高く形成され、前記電極の形成後に、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記発振周波数が、２９．４ｋＨｚから３２．７５ｋＨｚの範囲内にあるように、水晶ウエハ内に形成された前記第１音叉腕と前記第２音叉腕に重りが形成され、その重りの形成後に、前記重りの一部又は全部をレーザー又はプラズマエッチング法によって除去して、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記発振周波数が、３２．２ｋＨｚから３３．０８ｋＨｚの範囲内にあるように、水晶ウエハ内で周波数が調整され、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ １ が、前記音叉型屈曲水晶振動子の２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ ２ より大きくなるように、前記音叉形状と前記溝と前記電極の寸法を決定する工程を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の水晶振動子の製造方法。
- 前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々に形成された溝は、各音叉腕の長さ方向に沿って形成された長溝で、音叉の叉部付近に形成された前記長溝の端部は、音叉の叉部より各音叉腕の自由端側に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の水晶振動子の製造方法。
- 前記音叉基部は第１幅Ｗ ５ を備えた第１基部部分と前記第１幅Ｗ ５ より小さい第２幅Ｗ ６ を備えた第２基部部分を備え、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々の一端部は前記第１基部部分に接続されていて、前記音叉基部の幅が曲線的に徐々に狭くなる部分又は前記音叉基部の幅が直線的に徐々に狭くなる部分が、前記第１基部部分と前記第２基部部分の間に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の水晶振動子の製造方法。
- 請求項３から請求項５のいずれか１項に記載の水晶振動子の製造方法と、前記音叉型屈曲水晶振動子の２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ ２ が３０より小さくなるように、前記音叉形状と前記溝と前記電極の寸法を決定する工程と、を備えていて、前記音叉型屈曲水晶振動子を前記水晶ウエハから切り離し、ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する第１工程と、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が３２．７６４ｋＨｚから３２．７７２ｋＨｚの範囲内にあるように、周波数を調整する第２工程と、前記ケースに蓋を真空中で接続する第３工程と、を含み、第１工程から第３工程の順になされることを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
- 請求項３から請求項５のいずれか１項に記載の水晶振動子の製造方法と、前記音叉型屈曲水晶振動子の２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ ２ が３０より小さくなるように、前記音叉形状と前記溝と前記電極の寸法を決定する工程と、を備えていて、前記音叉型屈曲水晶振動子をケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する第１工程と、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が３２．７６４ｋＨｚから３２．７７２ｋＨｚの範囲内にあるように、前記音叉型屈曲水晶振動子の周波数を調整する第２工程と、前記ケースに蓋を接続する第３工程と、前記ケースに設けられた穴を真空中で低融点ガラス又は金属を用いて封止する第４工程と、を含み、第１工程から第４工程の順になされることを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
- 請求項３から請求項５のいずれか１項に記載の水晶振動子の製造方法と、前記音叉型屈曲水晶振動子の２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ ２ が３０より小さくなるように、前記音叉形状と前記溝と前記電極の寸法を決定する工程と、を備えていて、前記音叉基部に切り欠き部を形成する第１工程と、前記音叉型屈曲水晶振動子を前記水晶ウエハから切り離し、ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する第２工程と、前記ケースに蓋を接続する第３工程と、前記ケースに設けられた穴を真空中で低融点ガラス又は金属を用いて封止する第４工程と、を含み、第１工程から第４工程の順になされ、前記ケースに蓋を接続する第３工程の後に、かつ、前記ケースに設けられた穴を真空中で低融点ガラス又は金属を用いて封止する第４工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振 動子の基本波モード振動の発振周波数を真空中で調整する工程を、あるいは前記ケースに設けられた穴を真空中で低融点ガラス又は金属を用いて封止する第４工程の後に、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が３２．７６６ｋＨｚから３２．７７ｋＨｚの範囲内にあるように、前記音叉型屈曲水晶振動子の周波数を調整する工程を備えていることを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
- 請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の水晶振動子の製造方法と、または請求項６から請求項８のいずれか１項に記載の水晶ユニットの製造方法と、増幅回路の増幅器と、帰還回路のコンデンサーと抵抗と、を備えた水晶発振器の製造方法で、前記水晶発振器から出力される出力信号は、３２．７６４ｋＨｚから３２．７７２ｋＨｚの範囲内にある発振周波数を備えていることを特徴とする水晶発振器の製造方法。
- 音叉基部と前記音叉基部に接続された少なくとも第１音叉腕と第２音叉腕とを備えた音叉形状の音叉型屈曲水晶振動子で、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各々に溝が、前記溝の溝幅Ｗ ２ と音叉腕幅Ｗとの比Ｗ ２ ／Ｗが０．３５〜０．９５の範囲内に、かつ、溝幅Ｗ ２ が０．０３ｍｍ〜０．１２ｍｍの範囲内にあるように形成され、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の間隔はＷ ４ で与えられ、前記間隔Ｗ ４ と前記溝幅Ｗ ２ はＷ ４ ≧Ｗ ２ の関係を満足するように構成され、かつ、前記間隔Ｗ ４ は０．０５ｍｍ〜０．３５ｍｍの範囲内にあり、前記第１音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第２音叉腕の側面に形成された電極に接続され、かつ、前記第２音叉腕に形成された溝の面の上に形成された電極が、前記第１音叉腕の側面に形成された電極に接続され、前記溝の厚みｔ １ と前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の厚みｔとの比ｔ １ ／ｔが０．０１〜０．７９の範囲内にあり、かつ、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の容量比ｒ １ が、前記音叉型屈曲水晶振動子の２次高調波モード振動の容量比ｒ ２ より小さくなるように、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の厚みｔの寸法と前記溝の厚みｔ １ の寸法が決定され、前記溝の長さｌ １ と前記音叉型屈曲水晶振動子の全長ｌとの比ｌ １ ／ｌが０．２〜０．７８の範囲内にあり、かつ、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ １ が、２次高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒ ２ より小さくなるように、前記溝の長さｌ １ の寸法と前記音叉型屈曲水晶振動子の全長ｌの寸法が決定されていて、前記音叉型屈曲水晶振動子は基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ １ と周波数安定係数Ｓ １ を備え、かつ、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ ２ と周波数安定係数Ｓ ２ を備え、Ｍ １ ＞Ｍ ２ になるように、前記音叉形状と前記溝と前記電極の寸法が決定され、前記音叉型屈曲水晶振動子はＳ １ ＜Ｓ ２ の関係を備えていることを特徴とする水晶振動子。
- 請求項１０に記載の水晶振動子と、前記音叉型屈曲水晶振動子を収納するケースと、前記ケースの開口部をカバーする蓋と、を備えた水晶ユニットで、前記音叉型屈曲水晶振動子は前記ケースの固定部に固定され、前記蓋が前記ケースの開口部に接続されていることを特徴とする水晶ユニット。
- 請求項１０に記載の水晶振動子と、あるいは請求項１１に記載の水晶ユニットと、増幅器とコンデンサーと抵抗素子とを備えた水晶発振器で、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記電極は前記増幅器と前記コンデンサーと前記抵抗素子とに電気的に接続されていることを特徴とする水晶発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010094456A JP4836016B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の各製造方法及び水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010094456A JP4836016B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の各製造方法及び水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003158697A Division JP4517332B2 (ja) | 2003-04-28 | 2003-04-28 | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010183634A JP2010183634A (ja) | 2010-08-19 |
| JP2010183634A5 true JP2010183634A5 (ja) | 2010-11-18 |
| JP4836016B2 JP4836016B2 (ja) | 2011-12-14 |
Family
ID=42764723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010094456A Expired - Lifetime JP4836016B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の各製造方法及び水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4836016B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5910287B2 (ja) * | 2012-04-25 | 2016-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器および電子機器 |
| JP6083189B2 (ja) * | 2012-10-16 | 2017-02-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子および発振器の製造方法、基板の外観検査方法 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54113297A (en) * | 1978-01-26 | 1979-09-04 | Seiko Epson Corp | Tuning fork-type crystal vibrator |
| FR2467487A1 (fr) * | 1979-10-15 | 1981-04-17 | Ebauches Sa | Resonateur piezoelectrique |
| JPH0220110A (ja) * | 1988-07-08 | 1990-01-23 | Nippon Carbide Ind Co Inc | 薄型水晶振動子 |
| JPH0310507A (ja) * | 1989-06-08 | 1991-01-18 | Seiko Electronic Components Ltd | 屈曲水晶振動子 |
| JP3322153B2 (ja) * | 1997-03-07 | 2002-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型水晶振動片 |
| WO2000044092A1 (fr) * | 1999-01-20 | 2000-07-27 | Seiko Epson Corporation | Vibreur et dispositif electronique comportant un vibreur |
| JP3729249B2 (ja) * | 2000-09-01 | 2005-12-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片の製造方法、振動片、振動片を有する振動子、発振器及び携帯電話装置 |
| JP2002261575A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-09-13 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| JP3931662B2 (ja) * | 2001-01-15 | 2007-06-20 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| JP3969131B2 (ja) * | 2001-03-27 | 2007-09-05 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子とその製造方法 |
| JP3975696B2 (ja) * | 2001-06-25 | 2007-09-12 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子の製造方法および圧電振動子 |
| JP2003069376A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-07 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
-
2010
- 2010-03-30 JP JP2010094456A patent/JP4836016B2/ja not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4609196B2 (ja) | 圧電振動片および圧電デバイスならびに電子機器および携帯電話装置 | |
| JP4415389B2 (ja) | 圧電デバイス | |
| KR100712758B1 (ko) | 압전 진동편 및 압전 디바이스 | |
| JP4838873B2 (ja) | 圧電振動片および圧電デバイス | |
| JP4301201B2 (ja) | 圧電発振器 | |
| JP2007096900A (ja) | 圧電振動片および圧電デバイス | |
| JP2006148857A (ja) | 圧電振動片および圧電デバイス | |
| JP2010119095A (ja) | 音叉型圧電振動片、圧電フレーム及び圧電デバイス | |
| JP5135566B2 (ja) | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器及びそれらの製造方法 | |
| JP2009100480A5 (ja) | ||
| JP2011082945A (ja) | 屈曲振動片、屈曲振動子、および電子デバイス | |
| JP2008228334A5 (ja) | ||
| JP5272121B2 (ja) | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器と情報通信機器及びそれらの製造方法 | |
| JP2011024225A5 (ja) | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器と情報通信機器及びそれらの 製造方法 | |
| JP2008048274A (ja) | 圧電振動片および圧電デバイス | |
| JP2007208771A (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子及び圧電発振器 | |
| JP2008259216A5 (ja) | ||
| JP2010004456A (ja) | 圧電振動片および圧電デバイス | |
| JP2008022413A (ja) | 圧電振動片および圧電デバイス | |
| JP2010183634A5 (ja) | ||
| JP4379119B2 (ja) | 水晶振動子 | |
| JP2007006091A (ja) | 圧電振動片および圧電デバイス | |
| JP2008278489A5 (ja) | ||
| JP4517332B2 (ja) | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の製造方法 | |
| JP2008048275A (ja) | 圧電振動片および圧電デバイス |