JP4411492B2 - 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器と情報通信機器 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 248
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims description 76
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 76
- 238000004891 communication Methods 0.000 title claims description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 62
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 54
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 13
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 13
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 11
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 28
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 2
- 241001089723 Metaphycus omega Species 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 210000004899 c-terminal region Anatomy 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
本発明の水晶振動子の第2の態様は、第1の態様において、前記フレームの幅W 6 は0.45mm以下に、かつ、前記フレームの長さL 3 は0.3mm〜1.85mmの範囲内にあると共に、前記接続部分の幅Wsは0.41mm以下に、かつ、前記接続部分の長さL 2 は0.04mm〜0.5mmの範囲内にある水晶振動子である。
本発明の水晶ユニットの第1の態様は、少なくとも音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値|−RL 1 |を備えて構成される水晶発振回路に搭載される水晶振動子を備えた水晶ユニットで、前記水晶振動子は音叉基部と前記音叉基部に接続された一端固定、他端自由の音叉腕を備えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉型屈曲水晶振動子と、ケースと、蓋とを備えて構成される水晶ユニットであって、前記音叉腕は第1音叉腕と第2音叉腕を備えて構成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は上面と下面と側面とを有し、前記音叉基部の側面に一方の接続部分を介して一方のフレームが接続され、前記音叉基部の側面に他方の接続部分を介して他方のフレームが接続されていて、前記一方のフレームと前記他方のフレームは音叉の叉部側と異なる音叉の外側に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と共通の方向に延びて形成され、前記一方のフレームと前記他方のフレームは前記音叉基部に対して互いに反対の位置にあって、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と前記音叉基部と前記一方のフレームと前記他方のフレームとは、エッチング加工にて一体に形成されていて、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々には溝が形成されていると共に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は音叉先端部と、前記音叉先端部と反対の位置にあり前記音叉基部に接続される他端部を備え、かつ、前記音叉先端部と前記他端部の間に2つの異なる幅を備えていて、1つの幅は前記音叉先端部の側に位置し、他の1つの幅は前記音叉先端部の側と反対の位置にある前記他端部の側に位置し、かつ、前記音叉先端部の側に位置している幅より小さく、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々に形成された前記溝は、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた振動腕の上面と下面の各々に形成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面と下面の各々に形成された溝の側面に第1電極が配置され、溝の前記側面に対抗する音叉腕の側面に第2電極が配置され、前記第1音叉腕の前記第1電極は前記第2音叉腕の前記第2電極に電気的に接続され、前記第1音叉腕の前記第2電極は前記第2音叉腕の前記第1電極に電気的に接続されると共に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の一方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記一方のフレームの面の上に配置された電極に接続され、かつ、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の他方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記他方のフレームの面の上に配置された電極に接続され、前記音叉型屈曲水晶振動子は基本波モード振動の等価インダクタンスL m1 と等価直列抵抗R 1 を備えていて、前記音叉型屈曲水晶振動子のL m1 とR 1 は2L m1 +R 1 ≦|−RL 1 |の関係を備えている水晶ユニットである。
本発明の水晶ユニットの第2の態様は、第1の態様において、前記音叉基部の長さL 1 は0.5mm未満で、かつ、前記接続部分の長さL 2 より大きく、前記フレームの先端部は音叉の叉部と前記音叉先端部の間にある水晶ユニットである。
本発明の水晶発振器の第1の態様は、少なくとも増幅器を備えて構成される増幅回路と、音叉基部と前記音叉基部に接続された一端固定、他端自由の音叉腕を備えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子と、コンデンサとを少なくとも備えて構成される帰還回路からなる水晶発振回路を備えた水晶発振器で、増幅回路と帰還回路からなる前記水晶発振回路の増幅回路の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値|−RL1|と基本波モード振動の等価直列抵抗R1との比が増幅回路の2次高調波モード振動の負性抵抗の絶対値|−RL2|と2次高調波モード振動の等価直列抵抗R2との比より大きくなるように前記水晶発振回路は構成されていて、前記音叉型屈曲水晶振動子を備えて構成された前記水晶発振回路の出力信号が基本波モード振動の発振周波数であって、前記音叉腕は第1音叉腕と第2音叉腕を備えて構成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は上面と下面と側面とを有し、前記音叉基部の側面に一方の接続部分を介して一方のフレームが接続され、前記音叉基部の側面に他方の接続部分を介して他方のフレームが接続されていて、前記一方のフレームと前記他方のフレームは音叉の叉部側と異なる音叉の外側に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と共通の方向に延びて形成され、前記一方のフレームと前記他方のフレームは前記音叉基部に対して互いに反対の位置にあって、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と前記音叉基部と前記一方のフレームと前記他方のフレームとは、エッチング加工にて一体に形成されていて、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々には溝が形成されていると共に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は音叉先端部と、前記音叉先端部と反対の位置にあり前記音叉基部に接続される他端部を備え、かつ、前記音叉先端部と前記他端部の間に2つの異なる幅を備えていて、1つの幅は前記音叉先端部の側に位置し、他の1つの幅は前記音叉先端部の側と反対の位置にある前記他端部の側に位置し、かつ、前記音叉先端部の側に位置している幅より小さく、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々に形成された前記溝は、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた振動腕の上面と下面の各々に形成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面と下面の各々に形成された溝の側面に第1電極が配置され、溝の前記側面に対抗する音叉腕の側面に第2電極が配置され、前記第1音叉腕の前記第1電極は前記第2音叉腕の前記第2電極に電気的に接続され、前記第1音叉腕の前記第2電極は前記第2音叉腕の前記第1電極に電気的に接続されると共に、前記第1電極と前記第2電極は、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕に溝を有する前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットM1が、2次高調波モード振動のフイガーオブメリットM2より大きくなるように配置されていて、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の一方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記一方のフレームの面の上に配置された電極に接続され、かつ、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の他方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記他方のフレームの面の上に配置された電極に接続され、前記音叉型屈曲水晶振動子は基本波モード振動の等価インダクタンスL m1 を備えていて、前記水晶発振回路は|−RL 1 |−R 1 ≧2L m1 の関係を備えて構成される水晶発振器である。
本発明の情報通信機器の第1の態様は、少なくとも増幅器を備えて構成される増幅回路と、音叉基部と前記音叉基部に接続された一端固定、他端自由の音叉腕を備えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子と、コンデンサとを少なくとも備えて構成される帰還回路からなる水晶発振回路を備えた水晶発振器を備えて構成される情報通信機器で、増幅回路と帰還回路からなる前記水晶発振回路の増幅回路の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値|−RL1|と基本波モード振動の等価直列抵抗R1との比が増幅回路の2次高調波モード振動の負性抵抗の絶対値|−RL2|と2次高調波モード振動の等価直列抵抗R2との比より大きくなるように前記水晶発振回路は構成されていて、前記音叉型屈曲水晶振動子を備えて構成された前記水晶発振回路の出力信号が基本波モード振動の発振周波数で、前記出力信号は情報通信機器用の規準信号源であって、前記音叉腕は第1音叉腕と第2音叉腕を備えて構成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は上面と下面と側面とを有し、前記音叉基部の側面に一方の接続部分を介して一方のフレームが接続され、前記音叉基部の側面に他方の接続部分を介して他方のフレームが接続されていて、前記一方のフレームと前記他方のフレームは音叉の叉部側と異なる音叉の外側に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と共通の方向に延びて形成され、前記一方のフレームと前記他方のフレームは前記音叉基部に対して互いに反対の位置にあって、前記第1音叉腕と前記第 2音叉腕と前記音叉基部と前記一方のフレームと前記他方のフレームとは、エッチング加工により一体に形成されていて、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々には溝が形成されていると共に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は音叉先端部と、前記音叉先端部と反対の位置にあり前記音叉基部に接続される他端部を備え、かつ、前記音叉先端部と前記他端部の間に2つの異なる幅を備えていて、1つの幅は前記音叉先端部の側に位置し、他の1つの幅は前記音叉先端部の側と反対の位置にある前記他端部の側に位置し、かつ、前記音叉先端部の側に位置している幅より小さく、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々に形成された前記溝は、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた振動腕の上面と下面の各々に形成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面と下面の各々に形成された溝の側面に第1電極が配置され、溝の前記側面に対抗する音叉腕の側面に第2電極が配置され、前記第1音叉腕の前記第1電極は前記第2音叉腕の前記第2電極に電気的に接続され、前記第1音叉腕の前記第2電極は前記第2音叉腕の前記第1電極に電気的に接続されると共に、前記第1電極と前記第2電極は、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕に溝を有する前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットM1が、2次高調波モード振動のフイガーオブメリットM2より大きくなるように配置されていて、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の一方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記一方のフレームの面の上に配置された電極に接続され、かつ、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の他方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記他方のフレームの面の上に配置された電極に接続され、前記音叉型屈曲水晶振動子は基本波モード振動の等価インダクタンスL m1 を備えていて、前記水晶発振回路は|−RL 1 |−R 1 ≧2L m1 の関係を備えて構成される情報通信機器である。
W3となるように形成される。又、溝幅W2はW2≧W1,W3を満足する条件で形成される。更に具体的に述べると、本実施例では、溝幅W2と振動腕幅Wとの比(W2/W)が0.35より大きく、1より小さくなるように、好ましくは、0.35〜0.95で、図2で示すように、溝の厚みt1と振動腕の厚みtとの比(t1/t)が0.79より小さくなるように、好ましくは、0.01〜0.79となるように溝が振動(音叉)腕に形成されている。このように形成することにより、振動腕の中立線41と42を基点とするモーメントが大きくなる。即ち、電気機械変換効率が良くなるので、等価直列抵抗R1の小さい、Q値の高い、しかも、容量比の小さい屈曲水晶振動子を得る事ができる。
mm以下に、好ましくは、0.15mm〜0.53mmの範囲内にある。また、フレームの幅W6は0.45mm以下に、フレームの長さL3は2.1mm以下に、振動の漏れを低減するために、好ましくは、L3は0.3mm〜1.85mmの範囲内にある。また、接続部分の幅Wsは0.41mm以下に、接続部分の長さが最小となる長さL2は0.04mm〜0.5mmの範囲内にある。更に、基本波モードで振動する良好な音叉型屈曲水晶振動子を得るためには、溝の長さL0と全長Ltとの間には密接な関係が存在する。
は小型化を図るために、0.5mm未満の寸法を有する。好ましくは、0.015mm〜0.45mmの範囲内にある。同時に、L1とL2の差、即ち、L1−L2は−0.1mm〜0.32mmの範囲内にある。特に、WH>W5のとき、長さL4は0.012mm〜0.38mmの範囲内にある。本実施例では、フレーム36とフレーム37は接続されていないが、音叉先端部付近を通過するように両フレームを接続しても良い。即ち、本発明は前記形状をも包含する。また、本実施例では、フレームは基部の側面から接続部分を介して設けられているが、本発明はこれに限定されるものでなく、振動腕(音叉腕)の間に基部から突出するようにフレームを設けても良い。更に、本実施例では、振動腕に溝を設け、その中に電極を配置しているが、本発明はこれに限定されるものでなく、溝を設けない(平面)で、振動腕の上下面にそれぞれの溝の電極と極性が同じ電極を配置しても良い。これらのことは以下に述べる実施例の屈曲水晶振動子にも適用できることは言うまでもない。
内にあるときには、Q1<Q2の関係が得られる場合がある。
trは水晶発振回路の出力の最大出力電圧の80%に達する時間を言う。また、Lm1は音叉形状の屈曲水晶振動子の基本波モード振動での電気的等価回路の等価インダクタンスで
きくしないで、trを短くするために本発明の振動子の基本波モード振動(基準周波数が32.768kHz)での等価インダクタンスLm1は12kHより小さく、好ましくは、10.9kH以下にある。上記各実施例の音叉形状の屈曲水晶振動子の基本波モード振動での基準周波数として32.768kHzが用いられるが、本発明はこの周波数に限定されるものでなく、10kHz〜200kHzの基準周波数に適用される。
W4、W5、W6 音叉腕の間隔、音叉腕の全幅、フレームの幅
L0、L1 溝の長さ、音叉基部の長さ
L2、L3 接続部分の長さ、フレームの長さ
Lt 音叉の全長
Claims (6)
- 少なくとも音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値|
は音叉基部と前記音叉基部に接続された一端固定、他端自由の音叉腕を備えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕は第1音叉腕と第2音叉腕を備えて構成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は上面と下面と側面とを有し、前記音叉基部の側面に一方の接続部分を介して一方のフレームが接続され、前記音叉基部の側面に他方の接続部分を介して他方のフレームが接続されていて、前記一方のフレームと前記他方のフレームは音叉の叉部側と異なる音叉の外側に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と共通の方向に延びて形成され、前記一方のフレームと前記他方のフレームは前記音叉基部に対して互いに反対の位置にあって、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と前記音叉基部と前記一方のフレームと前記他方のフレームとは、エッチング加工にて一体に形成されていて、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々には溝が形成されていると共に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は音叉先端部と、前記音叉先端部と反対の位置にあり前記音叉基部に接続される他端部を備え、かつ、前記音叉先端部と前記他端部の間に2つの異なる幅を備えていて、1つの幅は前記音叉先端部の側に位置し、他の1つの幅は前記音叉先端部の側と反対の位置にある前記他端部の側に位置し、かつ、前記音叉先端部の側に位置している幅より小さく、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々に形成された前記溝は、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた振動腕の上面と下面の各々に形成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面と下面の各々に形成された溝の側面に第1電極が配置され、溝の前記側面に対抗する音叉腕の側面に第2電極が配置され、前記第1音叉腕の前記第1電極は前記第2音叉腕の前記第2電極に電気的に接続され、前記第1音叉腕の前記第2電極は前記第2音叉腕の前記第1電極に電気的に接続されると共に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の一方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記一方のフレームの面の上に配置された電極に接続され、かつ、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の他方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記他方のフレームの面の上に配置された電極に接続され、前記音叉型屈
備えていることを特徴とする水晶振動子。 - 少なくとも音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値|
トで、前記水晶振動子は音叉基部と前記音叉基部に接続された一端固定、他端自由の音叉腕を備えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉型屈曲水晶振動子と、ケースと、蓋とを備えて構成される水晶ユニットであって、前記音叉腕は第1音叉腕と第2音叉腕を備えて構成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は上面と下面と側面とを有し、前記音叉基部の側面に一方の接続部分を介して一方のフレームが接続され、前記音叉基部の側面に他方の接続部分を介して他方のフレームが接続されていて、前記一方のフレームと前記他方のフレームは音叉の叉部側と異なる音叉の外側に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と共通の方向に延びて形成され、前記一方のフレームと前記他方のフレームは前記音叉基部に対して互いに反対の位置にあって、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と前記音叉基部と前記一方のフレームと前記他方のフレームとは、エッチング加工にて一体に形成されていて、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々には溝が形成されていると共に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は音叉先端部と、前記音叉先端部と反対の位置にあり前記音叉基部に接続される他端部を備え、かつ、前記音叉先端部と前記他端部の間に2つの異なる幅を備えていて、1つの幅は前記音叉先端部の側に位置し、他の1つの幅は前記音叉先端部の側と反対の位置にある前記他端部の側に位置し、かつ、前記音叉先端部の側に位置している幅より小さく、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々に形成された前記溝は、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた振動腕の上面と下面の各々に形成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面と下面の各々に形成された溝の側面に第1電極が配置され、溝の前記側面に対抗する音叉腕の側面に第2電極が配置され、前記第1音叉腕の前記第1電極は前記第2音叉腕の前記第2電極に電気的に接続され、前記第1音叉腕の前記第2電極は前記第2音叉腕の前記第1電極に電気的に接続されると共に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の一方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記一方のフレームの面の上に配置された電極に接続され、かつ、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の他方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記他方のフレームの面の上に配置された電極に
- 少なくとも増幅器を備えて構成される増幅回路と、音叉基部と前記音叉基部に接続された一端固定、他端自由の音叉腕を備えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子と、コンデンサとを少なくとも備えて構成される帰還回路からなる水晶発振回路を備えた水晶発振器で、増幅回路と帰還回路からなる前記水晶発振回路の増幅回路の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値|−RL1|と基本波モード振動の等価直列抵抗R1との比が増幅回路の2次高調波モード振動の負性抵抗の絶対値|−RL2|と2次高調波モード振動の等価直列抵抗R2との比より大きくなるように前記水晶発振回路は構成されていて、前記音叉型屈曲水晶振動子を備えて構成された前記水晶発振回路の出力信号が基本波モード振動の発振周波数であって、前記音叉腕は第1音叉腕と第2音叉腕を備えて構成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は上面と下面と側面とを有し、前記音叉基部の側面に一方の接続部分を介して一方のフレームが接続され、前記音叉基部の側面に他方の接続部分を介して他方のフレームが接続されていて、前記一方のフレームと 前記他方のフレームは音叉の叉部側と異なる音叉の外側に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と共通の方向に延びて形成され、前記一方のフレームと前記他方のフレームは前記音叉基部に対して互いに反対の位置にあって、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と前記音叉基部と前記一方のフレームと前記他方のフレームとは、エッチング加工にて一体に形成されていて、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々には溝が形成されていると共に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は音叉先端部と、前記音叉先端部と反対の位置にあり前記音叉基部に接続される他端部を備え、かつ、前記音叉先端部と前記他端部の間に2つの異なる幅を備えていて、1つの幅は前記音叉先端部の側に位置し、他の1つの幅は前記音叉先端部の側と反対の位置にある前記他端部の側に位置し、かつ、前記音叉先端部の側に位置している幅より小さく、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々に形成された前記溝は、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた振動腕の上面と下面の各々に形成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面と下面の各々に形成された溝の側面に第1電極が配置され、溝の前記側面に対抗する音叉腕の側面に第2電極が配置され、前記第1音叉腕の前記第1電極は前記第2音叉腕の前記第2電極に電気的に接続され、前記第1音叉腕の前記第2電極は前記第2音叉腕の前記第1電極に電気的に接続されると共に、前記第1電極と前記第2電極は、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕に溝を有する前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットM1が、2次高調波モード振動のフイガーオブメリットM2より大きくなるように配置されていて、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の一方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記一方のフレームの面の上に配置された電極に接続され、かつ、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の他方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記他方のフレームの面の上に配置された電極に接続され、前記音叉型屈曲水晶振動子は基
- 少なくとも増幅器を備えて構成される増幅回路と、音叉基部と前記音叉基部に接続された一端固定、他端自由の音叉腕を備えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子と、コンデンサとを少なくとも備えて構成される帰還回路からなる水晶発振回路を備えた水晶発振器を備えて構成される情報通信機器で、増幅回路と帰還回路からなる前記水晶発振回路の増幅回路の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値|−RL1|と基本波モード振動の等価直列抵抗R1との比が増幅回路の2次高調波モード振動の負性抵抗の絶対値|−RL2|と2次高調波モード振動の等価直列抵抗R2との比より大きくなるように前記水晶発振回路は構成されていて、前記音叉型屈曲水晶振動子を備えて構成された前記水晶発振回路の出力信号が基本波モード振動の発振周波数で、前記出力信号は情報通信機器用の規準信号源であって、前記音叉腕は第1音叉腕と第2音叉腕を備えて構成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は上面と下面と側面とを有し、前記音叉基部の側面に一方の接続部分を介して一方のフレームが接続され、前記音叉基部の側面に他方の接続部分を介して他方のフレームが接続されていて、前記一方のフレームと前記他方のフレームは音叉の叉部側と異なる音叉の外側に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と共通の方向に延びて形成され、前記一方のフレームと前記他方のフレームは前記音叉基部に対して互いに反対の位置にあって、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と前記音叉基部と前記一方のフレームと前記他方のフレームとは、エッチング加工により一体に形成されていて、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々には溝が形成されていると共に、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は音叉先端部と、前記音叉先端部と反対の位置にあり前記音叉基部に接続される他端部を備え、かつ、前記音叉先端部と前記他端部の間に2つの異なる幅を備えていて、1つの幅は前記音叉先端部の側に位置し、他の1つの幅は前記音叉先端部の側と反対の位置にある前記他端部の側に位置し、かつ、前記音叉先端部の側に位置している幅より小さく、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の 上面と下面の各々に形成された前記溝は、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた振動腕の上面と下面の各々に形成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面と下面の各々に形成された溝の側面に第1電極が配置され、溝の前記側面に対抗する音叉腕の側面に第2電極が配置され、前記第1音叉腕の前記第1電極は前記第2音叉腕の前記第2電極に電気的に接続され、前記第1音叉腕の前記第2電極は前記第2音叉腕の前記第1電極に電気的に接続されると共に、前記第1電極と前記第2電極は、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕に溝を有する前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットM1が、2次高調波モード振動のフイガーオブメリットM2より大きくなるように配置されていて、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の一方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記一方のフレームの面の上に配置された電極に接続され、かつ、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の他方の音叉腕の前記他端部の側に位置している前記幅を備えた前記振動腕の上面に形成された溝の側面に配置された前記第1電極は、前記他方のフレームの面の上に配置された電極に接続され、前記音叉型屈曲水晶振動子は基本波モ
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006189802A JP4411492B6 (ja) | 2003-06-30 | 2006-06-13 | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器と情報通信機器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003205844 | 2003-06-30 | ||
JP2003205844 | 2003-06-30 | ||
JP2006189802A JP4411492B6 (ja) | 2003-06-30 | 2006-06-13 | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器と情報通信機器 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003436310A Division JP4026074B2 (ja) | 2003-06-30 | 2003-12-05 | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006325240A JP2006325240A (ja) | 2006-11-30 |
JP4411492B2 true JP4411492B2 (ja) | 2010-02-10 |
JP4411492B6 JP4411492B6 (ja) | 2011-11-30 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006325240A (ja) | 2006-11-30 |
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