JP2013078043A - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】励振電極と調整膜25,26,27が形成された圧電振動子の共振周波数を測定する工程と、励振電極と調整膜が形成された圧電振動子の一次温度係数を測定または推定する工程と、測定した共振周波数と前記測定または推定した一次温度係数から、所望の共振周波数と所望の一次温度係数となるように調整膜を除去する部位と量とを決定する工程と、前工程で決定された調整膜の除去する部位と量の調整膜を除去する工程とを有する圧電振動子の製造方法とする。
【選択図】図3
Description
つりあいを実現している。
ΔF/F(T)=A3×(T−T0)^3+A1(T−T0)+A0
と表わされる。A3は、3次曲線の鋭さを表し、A1は一次の傾きを表す。T0は、変曲点温度である。頂点温度が存在するときの頂点温度Zは、
Z= T0−√(−A1/3/A3)という関係となる。
2、3、4 脚
5、6 接続電極
7、8、9 表面電極
10、11、12 裏面電極
13、14、15 側面電極
16、19、22 斜めの端面
25、26、27 調整膜
100 3脚捩りモード圧電振動子
101 セラミックパッケージ
102 導電性接着材
103 イオンガン
104 金属のリッド
105 金すずのロウ材
200 3脚捩りモード圧電振動子
201 パッケージ
202 導電性接着材
204 リッド
205 金すずのロウ材
Claims (15)
- 基部と、基部より延出し振動する脚とを有する圧電振動子の製造方法であって、
前記脚に前記脚を振動させる励振電極を形成する工程と、
前記脚に共振周波数を調整する調整膜を形成する工程と、
前記励振電極と前記調整膜が形成された前記圧電振動子の共振周波数を測定する工程と、
前記励振電極と前記調整膜が形成された前記圧電振動子の一次温度係数を測定または推定する工程と、
前記測定した共振周波数と前記測定または推定した一次温度係数から、所望の共振周波数と所望の一次温度係数となるように前記調整膜を除去する部位と量とを決定する工程と、
前工程で決定された前記調整膜の除去する部位と量の前記調整膜を除去する工程とを有することを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 前記調整膜を除去する工程において、
前記共振周波数と前記一次温度係数とが同時に調整されることを特徴とする請求項1記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記調整膜を除去する工程において、
前記共振周波数を調整するための部位と前記一次温度係数を調整するための部位とが同じ部位であることを特徴とする請求項2記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記調整膜を除去する工程において、
前記共振周波数と前記一次温度係数とが異なる工程で調整されることを特徴とする請求項1記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記調整膜を除去する工程において、
前記共振周波数を調整するために前記調整膜を除去した後、前記一次温度係数を調整するために前記調整膜を除去することを特徴とする請求項4記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記調整膜を除去する工程において、
前記一次温度係数を調整するために前記調整膜を除去した後、前記共振周波数を調整するために前記調整膜を除去することを特徴とする請求項4記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記脚は、表面と裏面と第一の側面と第二の側面とを有する角柱状であり、
前記励振電極を形成する工程で、前記脚の表面、裏面、第一の側面、第二の側面に前記励振電極を形成し、
前記調整膜を形成する工程で、前記脚の裏面と第一の側面と第二の側面に前記調整膜を形成することを特徴とする請求項1から6のいずれか1つに記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記調整膜を除去する部位は、
前記脚の裏面の前記脚の前記基部側および又は自由端側の調整膜であることを特徴とする請求項7記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記一次温度係数のみを調整するために前記調整膜を除去する部位は、
前記脚の裏面の前記脚の幅方向の中心の調整膜であることを特徴とする請求項8記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記一次温度係数を調整するために前記調整膜を除去する部位を、
前記脚の基部側の前記調整膜を除去することで、前記一次温度係数を+に調整し、
前記脚の自由端側の前記調整膜を除去することで、前記一次温度係数を−に調整することを特徴とする請求項9記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記共振周波数のみを調整するために前記調整膜を除去する部位は、
前記脚の裏面の前記脚の幅方向の両端部の調整膜であることを特徴とする請求項8記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記圧電振動子を収納容器内に気密封止する工程を有し、
前記気密封止する工程の後に、前記調整膜を除去することを特徴とする請求項1から11のいずれか1つに記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記収納容器は、パッケージとリッドで構成されており、
少なくとも前記リッドは、ガラスからなり、
ガラスを透過するレーザービームを用いて前記調整膜を除去することを特徴とする請求項12記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記収納容器は、パッケージとリッドで構成されており、
少なくとも前記リッドは、シリコンからなり、
シリコンを透過する赤外線レーザービームを用いて前記調整膜を除去することを特徴とする請求項12記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記圧電振動子は、水晶からなり、
前記基部の幅方向を水晶の結晶軸のX軸とし、
前記脚の前記基部からの延出方向を水晶の結晶軸のY軸と一致させた状態から、結晶軸のX軸を中心に回転し、Y軸より31度から36度の範囲にあることを特徴とする請求項1から14のいずれか1つに記載の圧電振動子の製造方法。
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