JPS59135916A - 結合音叉型水晶振動子 - Google Patents
結合音叉型水晶振動子Info
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- JPS59135916A JPS59135916A JP1031383A JP1031383A JPS59135916A JP S59135916 A JPS59135916 A JP S59135916A JP 1031383 A JP1031383 A JP 1031383A JP 1031383 A JP1031383 A JP 1031383A JP S59135916 A JPS59135916 A JP S59135916A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tuning fork
- temperature characteristic
- electrode
- fork arm
- adjustment
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims abstract 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims abstract 4
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 5
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、結合音叉型水晶振動子に関する。本発明にお
ける結合音叉型水晶振動子とは、屈曲第１高調波に捩り
基本波を結合させ、室温において３次曲線状の周波数温
度特性を実現するものである。
ける結合音叉型水晶振動子とは、屈曲第１高調波に捩り
基本波を結合させ、室温において３次曲線状の周波数温
度特性を実現するものである。
第１図は結合音叉型水晶振動子である。１は振動子で・
・・を付けた部分けＡｕ電極、２は支持材、３はプラグ
、４はＡｕｉ［極を除去するためのレーザビームで５は
レーザビーム４をスイーフスル方向（Ｘ方向）を示して
いる。６，７はレーザビームによりＡｕ電極が除去され
た部分で、６は周波数調整を行った部分、７は温特調整
を行った部分である。尚、Ｘ、Ｙ、Ｚは各々、音叉の長
手方向、幅方向、厚み方向を示している。
・・を付けた部分けＡｕ電極、２は支持材、３はプラグ
、４はＡｕｉ［極を除去するためのレーザビームで５は
レーザビーム４をスイーフスル方向（Ｘ方向）を示して
いる。６，７はレーザビームによりＡｕ電極が除去され
た部分で、６は周波数調整を行った部分、７は温特調整
を行った部分である。尚、Ｘ、Ｙ、Ｚは各々、音叉の長
手方向、幅方向、厚み方向を示している。
第２図は温特調整を行う位置と変位、歪みの関係を示し
ている。８はτ〕上での屈曲モードのＸ方向変位ｕｘで
ある。Ｔ下は音叉腕の中心線である。９はＣＤ上での屈
曲モードにより生ずる歪みｅで ｄ”ｕｚ ６＝ｔ−コ嘗丁 ・・・・・・（１）と表される。
ている。８はτ〕上での屈曲モードのＸ方向変位ｕｘで
ある。Ｔ下は音叉腕の中心線である。９はＣＤ上での屈
曲モードにより生ずる歪みｅで ｄ”ｕｚ ６＝ｔ−コ嘗丁 ・・・・・・（１）と表される。
ただしｄは丁１とて１との距離である。（１）式からＴ
１上では歪みは零で、音叉腕の端に行く程大きくなるこ
とが判る。１０は屈曲第１高調波の振動の節である。こ
の節をはさんだ位置１１で温特調整を行う訳である。１
２は周波数調整を行う位置である。
１上では歪みは零で、音叉腕の端に行く程大きくなるこ
とが判る。１０は屈曲第１高調波の振動の節である。こ
の節をはさんだ位置１１で温特調整を行う訳である。１
２は周波数調整を行う位置である。
さて、第２図から温特調整位置１１での歪みは周波数調
整位置１２での歪みよりも大きいことが判る。温特調整
９周波数調整はレーザビームによりＡｕ［極を高熱にし
て蒸発させて行う。その際、高熱により水晶が影響を受
ける。この影響は振動歪みの大きい部分をレーザ加工し
た場合程、顕著に現れる。即ち、レーザ加工により振動
子のＯ工（共振抵抗）が劣化するという影響が出る。こ
れは、周波数調整位置１２ではほとんど生じないが、温
特調整位置１１では問題となってくる。即チ、レーザ加
工回数（レーザビームをスイープする回数）が多い振動
子ではＣ工が顕著に劣化し、量産上、歩留り低下をもた
らすのである。
整位置１２での歪みよりも大きいことが判る。温特調整
９周波数調整はレーザビームによりＡｕ［極を高熱にし
て蒸発させて行う。その際、高熱により水晶が影響を受
ける。この影響は振動歪みの大きい部分をレーザ加工し
た場合程、顕著に現れる。即ち、レーザ加工により振動
子のＯ工（共振抵抗）が劣化するという影響が出る。こ
れは、周波数調整位置１２ではほとんど生じないが、温
特調整位置１１では問題となってくる。即チ、レーザ加
工回数（レーザビームをスイープする回数）が多い振動
子ではＣ工が顕著に劣化し、量産上、歩留り低下をもた
らすのである。
そこで本発明の目的は、温特調整によりＯ工が劣化しな
いような対策を講じた結合音叉型水晶振動子を提供する
ことで（ある。
いような対策を講じた結合音叉型水晶振動子を提供する
ことで（ある。
第３図は本発明の一枚体例である。前述した如く、（１
）式より歪みは音叉腕の端で最も大きい。従って、この
部分はレーザ加工の影響を強く受ける。そこで温特調整
位置において音叉腕の端のＡｕ電極を除去して、水晶を
露出させておく。この水晶の露出した部分が１４である
。この部分のＡｕ電極を除去するには、フォトリソグラ
フィー法をの部分であるが、φの部分で温特調整を行う
。
）式より歪みは音叉腕の端で最も大きい。従って、この
部分はレーザ加工の影響を強く受ける。そこで温特調整
位置において音叉腕の端のＡｕ電極を除去して、水晶を
露出させておく。この水晶の露出した部分が１４である
。この部分のＡｕ電極を除去するには、フォトリソグラ
フィー法をの部分であるが、φの部分で温特調整を行う
。
１３が温特調整位置である。この部分は歪みが小さい為
レーザ加工の影響が少く、Ｃ工の劣化も実際上問題にな
らない。１４の部分はレーザビームに対して透明な為レ
ーザビームをスイープしても何ら影響が無い。
レーザ加工の影響が少く、Ｃ工の劣化も実際上問題にな
らない。１４の部分はレーザビームに対して透明な為レ
ーザビームをスイープしても何ら影響が無い。
第４図は温特調整位置１５の音叉腕先端からの距離及び
幅を示す。音叉腕の全長を１とすると節１０は先端から
約０．２２のところに位置している。従って温特調整位
置は先端から０．１〜ｏ、 ４の範囲に設定される。音
叉腕の幅をＷ、温特調整位置の幅をＷとすると、少くと
も 「Ｗ／Ｗは０．８以下」 でないと効果か無い。
幅を示す。音叉腕の全長を１とすると節１０は先端から
約０．２２のところに位置している。従って温特調整位
置は先端から０．１〜ｏ、 ４の範囲に設定される。音
叉腕の幅をＷ、温特調整位置の幅をＷとすると、少くと
も 「Ｗ／Ｗは０．８以下」 でないと効果か無い。
第５図は本発明の他の具体例である。１６は温特調整位
置である。右図の側面図に示したように、この部分のみ
Ａｕを厚めに蒸着しである。こうすると、１回のレーザ
加工での温特調整が大きくとれるので、少い加工回数で
温特調整ができる。
置である。右図の側面図に示したように、この部分のみ
Ａｕを厚めに蒸着しである。こうすると、１回のレーザ
加工での温特調整が大きくとれるので、少い加工回数で
温特調整ができる。
これはＯ工劣化という観点からは、言うまでも無く好ま
しいことである。
しいことである。
第３図〜第５図で述べてきた対策を講じて、磁度におい
てＣ工の歩留りが向上した。また本発明になる結合音叉
型水晶振動子を腕時計の如き小型携帯機器に応用した場
合には、低消費電力化に大きく寄与するものである。
てＣ工の歩留りが向上した。また本発明になる結合音叉
型水晶振動子を腕時計の如き小型携帯機器に応用した場
合には、低消費電力化に大きく寄与するものである。
以上述べてきた通り、温特調整位置において音叉腕の両
端の電極をあらかじめ除去しておくことにより、レーザ
加工に伴うＣＩ劣化の少い結合音叉型水晶振動子を提供
することができる。
端の電極をあらかじめ除去しておくことにより、レーザ
加工に伴うＣＩ劣化の少い結合音叉型水晶振動子を提供
することができる。
第１図・・・・・・従来の結合音叉型水晶振動子第２図
・・・・・・温特調整位置と屈曲モードの変位歪みとの
関係を示す 第３図・・・・・・本発明の一具体例 第４図・・・・・・温特調整位置の配置を示す第５図・
・・・・・本発明の他の具体例１・・・・・・結合音叉
型水晶振動子 ２・・・・・・支持材 ３・・・・・・プラグ ４・・・・・・レーザビーム ５・・・・・・レーザビームをスイープする方向６・・
・・・・周波数調整をした部分 ７・・・・・・温特調整をした部分 ８・・・・・・屈曲モードのＸ方向変位９・・・・・・
屈曲モードの歪み １０・・・屈曲モードの節 １１・・・温特調整位置 １２・・・周波数調整位置 １３・・・本発明に、なる温特調整領域１４・・・Ａｕ
［極を除去し水晶の露出した部分１５・・・本発明にな
る温特調整領域 １６・・・本発明の他の具体例による温特調整領域以
上 出願人 株式会社諏訪精工舎 代理人 弁理士 最上 務 第１図 第２図 第３図 第４図 第 ５図
・・・・・・温特調整位置と屈曲モードの変位歪みとの
関係を示す 第３図・・・・・・本発明の一具体例 第４図・・・・・・温特調整位置の配置を示す第５図・
・・・・・本発明の他の具体例１・・・・・・結合音叉
型水晶振動子 ２・・・・・・支持材 ３・・・・・・プラグ ４・・・・・・レーザビーム ５・・・・・・レーザビームをスイープする方向６・・
・・・・周波数調整をした部分 ７・・・・・・温特調整をした部分 ８・・・・・・屈曲モードのＸ方向変位９・・・・・・
屈曲モードの歪み １０・・・屈曲モードの節 １１・・・温特調整位置 １２・・・周波数調整位置 １３・・・本発明に、なる温特調整領域１４・・・Ａｕ
［極を除去し水晶の露出した部分１５・・・本発明にな
る温特調整領域 １６・・・本発明の他の具体例による温特調整領域以
上 出願人 株式会社諏訪精工舎 代理人 弁理士 最上 務 第１図 第２図 第３図 第４図 第 ５図
Claims (2)
- （１）屈曲第１高調波と捩り基本波の結合を利用した結
合音叉型水晶振動子において、音叉腕全長を１としたと
き、先端から０．１〜０．４の位置に音叉腕幅の８０％
以下の幅の温特調整用電極を有することと、該温特調整
用電極の幅方向両側に電極が付着しておらず、水晶表面
が露出していることを特徴とする結合音叉型水晶振動子
。 - （２） 温特調整用電極が周辺の電極よりも、あらか
じめ厚く形成されていることを特徴とする特許請の範囲
第１項記載の結合音叉型水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1031383A JPS59135916A (ja) | 1983-01-25 | 1983-01-25 | 結合音叉型水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1031383A JPS59135916A (ja) | 1983-01-25 | 1983-01-25 | 結合音叉型水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59135916A true JPS59135916A (ja) | 1984-08-04 |
Family
ID=11746751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1031383A Pending JPS59135916A (ja) | 1983-01-25 | 1983-01-25 | 結合音叉型水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59135916A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013078043A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Citizen Finetech Miyota Co Ltd | 圧電振動子の製造方法 |
| JP2013078045A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Citizen Finetech Miyota Co Ltd | 圧電振動子およびその製造方法 |
-
1983
- 1983-01-25 JP JP1031383A patent/JPS59135916A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013078043A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Citizen Finetech Miyota Co Ltd | 圧電振動子の製造方法 |
| JP2013078045A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Citizen Finetech Miyota Co Ltd | 圧電振動子およびその製造方法 |
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