JPS644694B2 - - Google Patents
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- JPS644694B2 JPS644694B2 JP8455081A JP8455081A JPS644694B2 JP S644694 B2 JPS644694 B2 JP S644694B2 JP 8455081 A JP8455081 A JP 8455081A JP 8455081 A JP8455081 A JP 8455081A JP S644694 B2 JPS644694 B2 JP S644694B2
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 22
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 15
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 12
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000001256 tonic effect Effects 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、結合音又型水晶振動子、特に、音又
腕先端付近の電極形状に関する。
腕先端付近の電極形状に関する。
従来、電子腕時計には+5゜×カツトの屈曲振動
を用いた音又型水晶振動子が用いられている。こ
の振動子は室温で周波数温度特性が放物線になる
ため、時間精度の点で有利だからである。また、
低周波のため消費エネルギーが少ないという利点
もある。しかし、この振動子を用いても1ケ月の
誤差は数秒程度になる。
を用いた音又型水晶振動子が用いられている。こ
の振動子は室温で周波数温度特性が放物線になる
ため、時間精度の点で有利だからである。また、
低周波のため消費エネルギーが少ないという利点
もある。しかし、この振動子を用いても1ケ月の
誤差は数秒程度になる。
そこで、更に精度を向上させ、同時に消費エネ
ルギーの少ない電子時計を実現するため、低周波
で室温で3次の周波数温度特性を有する結合音又
型水晶振動子が実現された。結合音又型水晶振動
子については、特開昭54−116191号、特開昭55−
75325号、特開昭55−75326号に詳細に述べられて
いる。
ルギーの少ない電子時計を実現するため、低周波
で室温で3次の周波数温度特性を有する結合音又
型水晶振動子が実現された。結合音又型水晶振動
子については、特開昭54−116191号、特開昭55−
75325号、特開昭55−75326号に詳細に述べられて
いる。
本発明にかかれる結合音又型水晶振動子は、主
振動として、屈曲振動の第一高調波(F1モー
ド)、幅振動として捩り振動の基本波(T0モー
ド)を用いたものである。ただし主振動とは、発
振させて使用する振動を意味する。
振動として、屈曲振動の第一高調波(F1モー
ド)、幅振動として捩り振動の基本波(T0モー
ド)を用いたものである。ただし主振動とは、発
振させて使用する振動を意味する。
F1のモードの共振周波数をfF、TOモードの共
振周波数をfTとする。ただし、fF、fTは同一温度
における値である。fFとfTの差を △f=fF−fT と定義する。結合音又型水晶振動子の周波数温度
特性は、△fによつて決まる。△fが特定の値△
fOのとき、室温で3次の周波数温度特性が得られ
るのである。この振動子を量産する際、問題とな
るのは、量産上、避けられない外形寸法のばらつ
きから、fF、fTがばらついてしまい、その結果、
△fがばらつき、最終的に周波数温度特性がばら
つくことである。また、単一モードの振動子の場
合と同じく、主振動の共振周波数が所定の値から
ずれるという問題もある。そこで、この振動子を
量産するには、周波数温度特性の調整と主振動の
共振周波数の調整が不可欠である。
振周波数をfTとする。ただし、fF、fTは同一温度
における値である。fFとfTの差を △f=fF−fT と定義する。結合音又型水晶振動子の周波数温度
特性は、△fによつて決まる。△fが特定の値△
fOのとき、室温で3次の周波数温度特性が得られ
るのである。この振動子を量産する際、問題とな
るのは、量産上、避けられない外形寸法のばらつ
きから、fF、fTがばらついてしまい、その結果、
△fがばらつき、最終的に周波数温度特性がばら
つくことである。また、単一モードの振動子の場
合と同じく、主振動の共振周波数が所定の値から
ずれるという問題もある。そこで、この振動子を
量産するには、周波数温度特性の調整と主振動の
共振周波数の調整が不可欠である。
本発明は、周波数温度特性の調整とfFを設数値
fFOに調整することが目的である。
fFOに調整することが目的である。
第1図は、△fを調整するための原理と方法を
示したものである。1は結合音又型水晶振動子、
2はF1モードの振動方向、3はTOモードの振動
方向、4はF1モードの変位Uxの分布で、音又腕
先端を1、又部を0として描いてある。X、Y′、
Z′軸は水晶原石の電気軸、電気軸周りに回転され
た機械軸、電気軸周りに回転された光軸を示す。
F1モードは音又腕の約0.8の位置に節があり、こ
の位置でT0モードは節になつていない。そこで、
この位置に、あらかじめ金属膜6を厚めに蒸着し
ておき、レーザービーム7を矢印8で示される方
向にスキヤンして、該金属膜6を除去すると、fF
をあまり変化させず、fTを大きく変化させること
ができる。即ち、△fを△f0に調整することによ
り、周波数温度特性を調整することが可能であ
る。
示したものである。1は結合音又型水晶振動子、
2はF1モードの振動方向、3はTOモードの振動
方向、4はF1モードの変位Uxの分布で、音又腕
先端を1、又部を0として描いてある。X、Y′、
Z′軸は水晶原石の電気軸、電気軸周りに回転され
た機械軸、電気軸周りに回転された光軸を示す。
F1モードは音又腕の約0.8の位置に節があり、こ
の位置でT0モードは節になつていない。そこで、
この位置に、あらかじめ金属膜6を厚めに蒸着し
ておき、レーザービーム7を矢印8で示される方
向にスキヤンして、該金属膜6を除去すると、fF
をあまり変化させず、fTを大きく変化させること
ができる。即ち、△fを△f0に調整することによ
り、周波数温度特性を調整することが可能であ
る。
周波数温度特性の調整後、該周波数温度特性を
変化させずに、fFを調整する方法について述べ
る。
変化させずに、fFを調整する方法について述べ
る。
第2図は、音又腕の0.8〜1の部分において、
レーザービームでその位置の金属膜を除去したと
きのfF、fTの変化量△fF、△fTを示したものであ
る。横軸が位置、縦軸が周波数変化量で、△fF、
△fTとも同一スケールで描いてある。第2図か
ら、位置Aで△fFと△fTが等しくなる。そこで、
位置Aの金属膜を除去すると、△fを△f0に維持
したまま、fFをfF0に合わせることができる。とこ
ろが、この方法では、レーザービームで除去する
場所がAからはずれると、△fFと△fTが異なつて
くるため、位置Aを含む広い面積で金属膜を除去
すると、周波数温度特性がずれてしまう。即ち周
波数調整範囲が狭いという欠点がある。そこで、
この欠点を除くため以下のようにする。位置A〜
1では△fFの方が大きく、位置0.8〜Aでは△fTの
方が大きい。そこで、位置A〜1の部分と位置
0.8〜Aの部分において、 △fF=△fT となるように、特殊な形状の電極を形成すればよ
い。
レーザービームでその位置の金属膜を除去したと
きのfF、fTの変化量△fF、△fTを示したものであ
る。横軸が位置、縦軸が周波数変化量で、△fF、
△fTとも同一スケールで描いてある。第2図か
ら、位置Aで△fFと△fTが等しくなる。そこで、
位置Aの金属膜を除去すると、△fを△f0に維持
したまま、fFをfF0に合わせることができる。とこ
ろが、この方法では、レーザービームで除去する
場所がAからはずれると、△fFと△fTが異なつて
くるため、位置Aを含む広い面積で金属膜を除去
すると、周波数温度特性がずれてしまう。即ち周
波数調整範囲が狭いという欠点がある。そこで、
この欠点を除くため以下のようにする。位置A〜
1では△fFの方が大きく、位置0.8〜Aでは△fTの
方が大きい。そこで、位置A〜1の部分と位置
0.8〜Aの部分において、 △fF=△fT となるように、特殊な形状の電極を形成すればよ
い。
第3図にその形状の一例を示す。〓印を施した
部分10は△f調整用電極、〓印を施した部分9
はfF調整用電極である。fF調整用電極9を第3図
の如くV字形とし、この部分をレーザービームで
除去すると、その位置にかかわらず、△fF=△fT
となる。このV字形の形状は、T0モードが音又
腕の中心を軸に捩れることを利用したものであ
る。
部分10は△f調整用電極、〓印を施した部分9
はfF調整用電極である。fF調整用電極9を第3図
の如くV字形とし、この部分をレーザービームで
除去すると、その位置にかかわらず、△fF=△fT
となる。このV字形の形状は、T0モードが音又
腕の中心を軸に捩れることを利用したものであ
る。
第4図に各部の大きさを示す。斜辺11,12
は、図示の如く曲線となるのが普通である。図示
の角度θ、θ′は、 θ=45゜〜85゜ θ′=45゜〜85゜ である。また、△f調整用電極10は、音又腕長
を1としたとき音又腕先端から、0.1〜0.5の範囲
に、fF調整用電極9は、音又腕先端から0〜0.2
の範囲に形成しなければならない。こうして、△
fを△f0に合わせた後、△fを△f0に維持したま
ま、fFをfF0に合わせることができる。
は、図示の如く曲線となるのが普通である。図示
の角度θ、θ′は、 θ=45゜〜85゜ θ′=45゜〜85゜ である。また、△f調整用電極10は、音又腕長
を1としたとき音又腕先端から、0.1〜0.5の範囲
に、fF調整用電極9は、音又腕先端から0〜0.2
の範囲に形成しなければならない。こうして、△
fを△f0に合わせた後、△fを△f0に維持したま
ま、fFをfF0に合わせることができる。
第5図に本発明の他の具体例を示す。13は音
又腕、〓印14、〓印15、〓印16はそれぞ
れ、fF調整用電極、△f調整用電極、fF粗調整用
電極である。fF粗調整用電極をfF調整用電極と併
用することにより、fF調整範囲が広くなるという
利点がある。この具体例において、fF、△fを調
整したときのfF、fTの変化の推移を第6図に示
す。横軸は調整ステツプ、縦軸は周波数である。
横軸の、、、の各ステツプは、それぞ
れ、初期状態、fF粗調後状態、△f調整後状態、
完成状態である。A1、A2、A3は、それぞれ、fF
粗調操作、△fは調整操作、fF微調操作である。
先ず、fF粗調操作A1について説明する。fF粗調整
用電極16の部分では、Ux、τは共に大きい為、
この部分の電極をレーザービームで除去すると、
fF、fTは共に上昇する。fFがfFOよりも100ppm程度
低いところまで達したらfF粗調操作A1は終了し、
ステツプに到達する。次は、△f調整操作A2
を行なう。△f調整用電極15をレーザービーム
で除去すると、fFは僅かしか上昇せず、fTが大き
く上昇する。△fが△fOに達したら、△f調整操
作A2は終了し、ステツプに到達する。最後は
fF微調整操作A3を行う。fF調整用電極14をレー
ザービームで除去すると、△fが△fOのまま、fF
が上昇し、fFをfFOに合わせることができる。こう
して完成状態に到達する。この状態では、fFは
fFOに一致し、周波数温度特性は室温で3次曲線
となつている。尚、第5図の具体例での各電極位
置は、音又腕長を1とすると、音又腕先端から、 fF調整用電極……0〜0.2 △f調整用電極……0.1〜0.4 fF粗調整用電極……0.3〜0.5 である。これら3種の電極は音又腕の表裏に等し
い膜厚で付けることが必要である。その理由を以
下に述べる。
又腕、〓印14、〓印15、〓印16はそれぞ
れ、fF調整用電極、△f調整用電極、fF粗調整用
電極である。fF粗調整用電極をfF調整用電極と併
用することにより、fF調整範囲が広くなるという
利点がある。この具体例において、fF、△fを調
整したときのfF、fTの変化の推移を第6図に示
す。横軸は調整ステツプ、縦軸は周波数である。
横軸の、、、の各ステツプは、それぞ
れ、初期状態、fF粗調後状態、△f調整後状態、
完成状態である。A1、A2、A3は、それぞれ、fF
粗調操作、△fは調整操作、fF微調操作である。
先ず、fF粗調操作A1について説明する。fF粗調整
用電極16の部分では、Ux、τは共に大きい為、
この部分の電極をレーザービームで除去すると、
fF、fTは共に上昇する。fFがfFOよりも100ppm程度
低いところまで達したらfF粗調操作A1は終了し、
ステツプに到達する。次は、△f調整操作A2
を行なう。△f調整用電極15をレーザービーム
で除去すると、fFは僅かしか上昇せず、fTが大き
く上昇する。△fが△fOに達したら、△f調整操
作A2は終了し、ステツプに到達する。最後は
fF微調整操作A3を行う。fF調整用電極14をレー
ザービームで除去すると、△fが△fOのまま、fF
が上昇し、fFをfFOに合わせることができる。こう
して完成状態に到達する。この状態では、fFは
fFOに一致し、周波数温度特性は室温で3次曲線
となつている。尚、第5図の具体例での各電極位
置は、音又腕長を1とすると、音又腕先端から、 fF調整用電極……0〜0.2 △f調整用電極……0.1〜0.4 fF粗調整用電極……0.3〜0.5 である。これら3種の電極は音又腕の表裏に等し
い膜厚で付けることが必要である。その理由を以
下に述べる。
第7図は、0℃〜40℃での屈曲第一高調波の共
振周波数の変化量△を縦軸にとり、△fを横軸に
とり、製造のばらつきによる温度特性のばらつき
を黒点で示したものである。点17の特性を有す
る振動子の−Z′面の△f調整用電極のみをレーザ
ービームで除去すると△は矢印19の如く変化
し、+Z′面の△f調整用電極のみをレーザービー
ムで除去すると△は矢印18の如く変化する。−
Z′面と+Z′面の両面の△f調整用電極をレーザー
ビームで除去すると矢印20の如く△fは変化す
る。点21の特性を有する振動子の−Z′面のみ、
+Z′面のみ、+Z′面と−Z′面の両面にそれぞれ同
様の操作を施すと、矢印23,22,24の如く
△が変化する。もしも、片面の△f調整用電極だ
けを除去すると、点17は点21の振動子では、
△=0となる△fが異なつてしまう。ところが、
両面の△f調整用電極をレーザービームで除去す
れば、矢印20,24が示す如く、2つの振動子
は△f=△fOで△=0となる。これは、量産する
際、△fを管理することで、周波数温度特性を調
整できるので、大きな利点である。このことは、
fF調整用電極、fF粗調整用電極に対しても言える
ことである。
振周波数の変化量△を縦軸にとり、△fを横軸に
とり、製造のばらつきによる温度特性のばらつき
を黒点で示したものである。点17の特性を有す
る振動子の−Z′面の△f調整用電極のみをレーザ
ービームで除去すると△は矢印19の如く変化
し、+Z′面の△f調整用電極のみをレーザービー
ムで除去すると△は矢印18の如く変化する。−
Z′面と+Z′面の両面の△f調整用電極をレーザー
ビームで除去すると矢印20の如く△fは変化す
る。点21の特性を有する振動子の−Z′面のみ、
+Z′面のみ、+Z′面と−Z′面の両面にそれぞれ同
様の操作を施すと、矢印23,22,24の如く
△が変化する。もしも、片面の△f調整用電極だ
けを除去すると、点17は点21の振動子では、
△=0となる△fが異なつてしまう。ところが、
両面の△f調整用電極をレーザービームで除去す
れば、矢印20,24が示す如く、2つの振動子
は△f=△fOで△=0となる。これは、量産する
際、△fを管理することで、周波数温度特性を調
整できるので、大きな利点である。このことは、
fF調整用電極、fF粗調整用電極に対しても言える
ことである。
第8図a,b,cは本発明の他の具体例であ
る。〓印、〓印、〓印を施した各電極は、△f調
整用電極、fF調整用電極、fF精調整用電極であ
る。これらの各電極位置は、音又腕の長さを1と
すると、音又腕先端から、 (a)の場合 △f調整用電極……0.1〜0.4 fF調整用電極……0.2〜0.5 (b)の場合 △f調整用電極……0.1〜0.4 fF調整用電極……0.2〜0.5 fF粗調整用電極……0〜0.2 (c)の場合 △f調整用電極……0.1〜0.4 fF調整用電極……0〜0.2と0.2〜0.5 である。
る。〓印、〓印、〓印を施した各電極は、△f調
整用電極、fF調整用電極、fF精調整用電極であ
る。これらの各電極位置は、音又腕の長さを1と
すると、音又腕先端から、 (a)の場合 △f調整用電極……0.1〜0.4 fF調整用電極……0.2〜0.5 (b)の場合 △f調整用電極……0.1〜0.4 fF調整用電極……0.2〜0.5 fF粗調整用電極……0〜0.2 (c)の場合 △f調整用電極……0.1〜0.4 fF調整用電極……0〜0.2と0.2〜0.5 である。
以上、述べてきた調整方法を有効に行うには、
あらかじめ、各電極に厚く金属を蒸着、スパツ
タ、メツキ等をしておくとよい。
あらかじめ、各電極に厚く金属を蒸着、スパツ
タ、メツキ等をしておくとよい。
以上の実施例において、第3図、第5図、第8
図の〓〓の部分を第1金属膜錘りとし、第3図、
第5図、第8図の〓〓の部分を第2金属膜錘りと
する。
図の〓〓の部分を第1金属膜錘りとし、第3図、
第5図、第8図の〓〓の部分を第2金属膜錘りと
する。
以上の本発明の説明中で調整は総てレーザービ
ームで行うとしたが、蒸着でも可能であり、レー
ザービームと蒸着の併用でも可能である。
ームで行うとしたが、蒸着でも可能であり、レー
ザービームと蒸着の併用でも可能である。
また、本発明の考え方は、他の振動モードを用
いた結合音又型水晶振動子にも適用できることは
明白である。即ち、主振動の共振周波数調整用電
極と主振動の周波数温度特性調整用電極を音又腕
上に設けることにより適用可能である。
いた結合音又型水晶振動子にも適用できることは
明白である。即ち、主振動の共振周波数調整用電
極と主振動の周波数温度特性調整用電極を音又腕
上に設けることにより適用可能である。
以上、述べた如く、屈曲振動の第一高調波と捩
り振動の基本波の結合を用いた結合音又型水晶振
動子において、音又腕先端に、fF調整用電極、△
f調整用電極、fF粗調整用電極を設け、fF、△f
を所定のfFO、△fOに合せ込むことが可能となつ
た。本発明により、結合音又型水晶振動子の歩留
りを向上させることができる。また、本発明にな
る結合音又型水晶振動子を電子腕時計に用いるこ
とにより、長寿命、高精度を実現できる。
り振動の基本波の結合を用いた結合音又型水晶振
動子において、音又腕先端に、fF調整用電極、△
f調整用電極、fF粗調整用電極を設け、fF、△f
を所定のfFO、△fOに合せ込むことが可能となつ
た。本発明により、結合音又型水晶振動子の歩留
りを向上させることができる。また、本発明にな
る結合音又型水晶振動子を電子腕時計に用いるこ
とにより、長寿命、高精度を実現できる。
第1図は、周波数温度特性の調整法の説明図。
第2図は、周波数温度特性を変えずに、屈曲振動
の共振周波数を調整する方法の説明図。第3図
は、本発明の一具体例。第4図は、V字形のfF調
整用電極。第5図は、本発明の他の具体例。第6
図は、fF、△f調整操作を行つたときの屈曲振
動、捩り振動の共振周波数の推移を示した図。第
7図は、+Z′面、−Z′面の違いを説明するための
図。第8図a,b,cは、本発明の他の具体例を
示す図である。 1……結合音又型水晶振動子、2……屈曲振動
の振動方向、3……捩り振動の振動方向、4……
屈曲振動の変位分布、5……捩り振動の捩り角分
布、6……節部に蒸着された金属膜、7……レー
ザービーム、8……レーザービームの掃引方向、
9……fF調整用電極、10……△f調整用電極、
11,12……V字形電極の斜辺、13……音又
腕、14……fF調整用電極、15……△f調整用
電極、16……fF粗調整用電極、17……ばらつ
いている振動子のうちの一つ、18……+Z′面の
△f調整用電極のみに調整を施したときの挙動、
19……−Z′面の△f調整用電極のみに調整を施
したときの挙動、20……+Z′面と−Z面の△f
調整用電極に調整を施したときの挙動、21……
ばらついている振動子のうちの他の一つ、22…
…+Z′面の△f調整用電極のみに調整を施したと
きの挙動、23……−Z′面の△f調整用電極のみ
に調整を施したときの挙動、24……+Z′面と−
Z′面の△f調整用電極に調整を施したときの挙
動。
第2図は、周波数温度特性を変えずに、屈曲振動
の共振周波数を調整する方法の説明図。第3図
は、本発明の一具体例。第4図は、V字形のfF調
整用電極。第5図は、本発明の他の具体例。第6
図は、fF、△f調整操作を行つたときの屈曲振
動、捩り振動の共振周波数の推移を示した図。第
7図は、+Z′面、−Z′面の違いを説明するための
図。第8図a,b,cは、本発明の他の具体例を
示す図である。 1……結合音又型水晶振動子、2……屈曲振動
の振動方向、3……捩り振動の振動方向、4……
屈曲振動の変位分布、5……捩り振動の捩り角分
布、6……節部に蒸着された金属膜、7……レー
ザービーム、8……レーザービームの掃引方向、
9……fF調整用電極、10……△f調整用電極、
11,12……V字形電極の斜辺、13……音又
腕、14……fF調整用電極、15……△f調整用
電極、16……fF粗調整用電極、17……ばらつ
いている振動子のうちの一つ、18……+Z′面の
△f調整用電極のみに調整を施したときの挙動、
19……−Z′面の△f調整用電極のみに調整を施
したときの挙動、20……+Z′面と−Z面の△f
調整用電極に調整を施したときの挙動、21……
ばらついている振動子のうちの他の一つ、22…
…+Z′面の△f調整用電極のみに調整を施したと
きの挙動、23……−Z′面の△f調整用電極のみ
に調整を施したときの挙動、24……+Z′面と−
Z′面の△f調整用電極に調整を施したときの挙
動。
Claims (1)
- 1 屈曲振動に捩り振動を結合させた結合音叉型
水晶振動子において、音叉腕上で前記屈曲振動の
節となる位置とその近傍に屈曲振動周波数fFと捩
り振動周波数の周波数差△fを調整する第1金属
膜錘りを設け、前記第1金属膜錘りの位置から音
叉腕先端方向もしくは音叉腕根元方向のいずれか
の方向に向かつて伸長する第2金属膜錘りとを形
成してなり、且つ前記第2金属膜錘りは前記音叉
腕の幅にほぼ等しい幅の金属膜錘りを除去もしく
は付着したとき前記屈曲振動周波数fFの変位量△
fFと前記捩り振動周波数の変位量△fTとがほぼ等
しくなる位置Aを境にし、前記第1金属膜錘りの
位置から前記位置Aに向かつて徐々に幅が広くな
る金属膜部分と前記位置Aから音叉先端方向もし
くは音叉腕根元方向に向かつて徐々に広がる略V
字形の金属膜錘り非着部分を形成するよう前記音
叉腕の周辺両側に形成される金属膜部分とから形
成され、更に前記第2金属膜錘りは前記音叉腕の
長手方向と直角な方向にいずれの箇所の金属膜錘
りを除去もしくは付着しても前記周波数差△fを
ほぼ一定に保つ形状に形成され、且つ前記第1金
属膜錘りと前記第2金属膜錘りは音叉腕の両面に
形成されたことを特徴とする結合音叉型水晶振動
子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8455081A JPS57199310A (en) | 1981-06-02 | 1981-06-02 | Coupling tuning fork type quartz oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8455081A JPS57199310A (en) | 1981-06-02 | 1981-06-02 | Coupling tuning fork type quartz oscillator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS57199310A JPS57199310A (en) | 1982-12-07 |
JPS644694B2 true JPS644694B2 (ja) | 1989-01-26 |
Family
ID=13833748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8455081A Granted JPS57199310A (en) | 1981-06-02 | 1981-06-02 | Coupling tuning fork type quartz oscillator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS57199310A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5185787B2 (ja) * | 2007-12-21 | 2013-04-17 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子及びその製造方法 |
US7948157B2 (en) * | 2007-12-21 | 2011-05-24 | Seiko Instruments, Inc. | Piezoelectric oscillator having a tuning fork piezoelectric vibrating piece |
JP5136154B2 (ja) * | 2008-03-27 | 2013-02-06 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片の周波数調整方法 |
JP6100582B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2017-03-22 | シチズンファインデバイス株式会社 | 捩り振動子 |
-
1981
- 1981-06-02 JP JP8455081A patent/JPS57199310A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS57199310A (en) | 1982-12-07 |
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